JP2006145341A - ガスサンプリング方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導入ガス切換器1に入口ポート2、3、4から各々a、b、cのサンプリングガスを、入口ポート5から標準ガスを切換供給し、出口6からのガスはポンプ13で吸引する音速ノズル11に導入している。音速ノズルの上流に希釈ガスとトレーサーガスを導入し、圧力計G1とG2で圧力差を計測し、サンプリング点の圧力によるサンプリング量の変化を計測圧力により補正する。ポンプ13から排出されるガスは、ニードルバルブ15を介してガスサンプリングユニットとしての恒温槽16の外に設けたQMS、或いはFTIR等の組成分析・計量装置17に導き、組成の分析及び流量の測定を行う。ニードルバルブ15と組成分析・計量装置17との間には校正用の標準ガスを供給可能とする。
【選択図】図1
Description
2、3、4、5 入口ポート
6 出口ポート
7 管路
8 フィルタ
10 標準ガス供給装置
11 音速ノズル
12 管路
13 ポンプ
14 管路
15 ニードルバルブ
16 恒温槽
17 組成分析・計量装置
Claims (20)
- 音速ノズルにより調量したサンプリングガスの組成及び流量を測定するガスサンプリング方法において、
前記音速ノズルの上流に、サンプリングガスの主成分とは異なる成分からなる希釈ガスとサンプリングガス流量測定用のトレーサーガスを導入し、サンプリングガスの主成分ガス組成が変化してもサンプリング誤差の増加を防止することを特徴とするガスサンプリング方法。 - 前記希釈ガスと前記トレーサーガスを同一ガスで兼用することを特徴とする請求項1記載のガスサンプリング方法。
- 前記希釈ガス或いはトレーサーガスに窒素、アルゴン、ヘリウム、クリプトン、キセノン、6フッ化硫黄(SF6)のガスのいずれかを使用することを特徴とする請求項1又は請求項2記載のガスサンプリング方法。
- サンプリング装置及び該サンプリング装置へのサンプリングガス供給管路を、水の露点より充分高温に維持する恒温手段内に設置することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のサンプリング方法。
- 前記音速ノズルにおけるサンプリング点の圧力によるサンプリング量の変化を、前記音速ノズル前後に設けた圧力センサーによる計測圧力により補正することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のガスサンプリング方法。
- 前記圧力センサーを前記恒温手段の外部に配置したことを特徴とする請求項4及び5に記載のガスサンプリング方法。
- 前記圧力センサーを接続する圧力測定用導管に、圧力測定誤差が生じない程度の定流量の乾燥ガスを流すことを特徴とする請求項6記載のガスサンプリング方法。
- 前記乾燥ガスは、前記トレーサーガスを兼ねることを特徴とする請求項7記載のガスサンプリング方法。
- 前記サンプリングガスをポンプにより吸引することを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載のサンプリング方法。
- 前記トレーサーガス、希釈ガス、ガス成分分析装置用の校正ガスの少なくともいずれか一つは、供給される気体の質量流量を質量流量計によって計測し、前記質量流量計のデータにより前記気体の流量を測定する他の流量計を実時間校正して精密流量計とし、前記両流量計の流量計測データにより流量供給管のバルブを制御することにより作製、調整されたガスを使用することを特徴とする請求項1〜9のいずれか一つに記載のガスサンプリング方法。
- 音速ノズルにより調量されたサンプリングガスの組成及び流量を測定するガスサンプリング装置において、
前記音速ノズルの上流に、サンプリングガスの主成分とは異なる成分からなる希釈ガスとサンプリングガス流量測定用のトレーサーガスを導入することを特徴とするガスサンプリング装置。 - 前記希釈ガスと前記トレーサーガスが同一ガスであることを特徴とする請求項11記載のガスサンプリング装置。
- 前記希釈ガス或いはトレーサーガスとして窒素、アルゴン、ヘリウム、クリプトン、キセノン、6フッ化硫黄(SF6)のガスのいずれかを使用することを特徴とする請求項11又は請求項12記載のガスサンプリング装置。
- サンプリング装置及び該サンプリング装置へのサンプリングガス供給管路を、水の露点より充分高温に維持する恒温手段内に設置することを特徴とする請求項11〜13のいずれか一つに記載のサンプリング装置。
- 前記音速ノズルの前後に圧力センサーを設け、前記音速ノズルのサンプリング点の圧力によるサンプリング量の変化を、前記圧力センサーによる計測圧力により補正することを特徴とする請求項11〜14のいずれか一つに記載のガスサンプリング装置。
- 前記圧力センサーを前記恒温手段の外部に配置したことを特徴とする請求項14及び15に記載のガスサンプリング装置。
- 前記圧力センサーを接続する圧力測定用導管に、圧力測定誤差が生じない程度の定流量の乾燥ガスを流すことを特徴とする請求項16記載のガスサンプリング装置。
- 前記乾燥ガスは、前記トレーサーガスを兼ねることを特徴とする請求項17記載のガスサンプリング装置。
- 前記サンプルガスを吸引するポンプを設けたことを特徴とする請求項11〜18のいずれか一つに記載のサンプリング装置。
- 前記トレーサーガス、希釈ガス、ガス成分分析装置用の校正ガスの少なくともいずれか一つは、供給される気体の質量流量を計測する質量流量計と、前記気体の流量を計測する他の流量計と、前記質量流量計のデータにより前記他の流量計を実時間校正して精密流量計とする手段と、前記両流量計の流量計測データにより流量供給管のバルブを制御する制御手段とを備えた精密流量測定装置により作製、調整されたガスを使用することを特徴とする請求項11〜19のいずれか一つに記載のガスサンプリング装置。
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