JPH06313881A - 液晶表示装置及び液晶表示装置の欠陥修正方法 - Google Patents
液晶表示装置及び液晶表示装置の欠陥修正方法Info
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- JPH06313881A JPH06313881A JP5104582A JP10458293A JPH06313881A JP H06313881 A JPH06313881 A JP H06313881A JP 5104582 A JP5104582 A JP 5104582A JP 10458293 A JP10458293 A JP 10458293A JP H06313881 A JPH06313881 A JP H06313881A
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Abstract
輝度液晶表示装置の輝点絵素を修正し、実質的に欠陥の
ない液晶表示装置を得る。 【構成】 マイクロレンズアレイ基板が貼り合わせられ
る入射側透明基板の輝点絵素と同一の照射経路上にある
表面付近に、凹部を形成する。この凹部により照明光を
散乱させ、輝点絵素が周囲の正常絵素に対して欠陥とし
て目立たないよう修正する。
Description
晶が封入され、表示用の絵素がマトリクス状に配列され
た透過型液晶パネルにおいて、照明光入射側透明基板に
マイクロレンズアレイ基板が貼り合わされた高輝度液晶
表示装置及び液晶表示装置の輝点欠陥を修正する方法に
関する。
ティブマトリクス駆動方式の液晶パネルは、貼り合わさ
れる一対のガラス基板の内の一方のガラス基板上にマト
リクス状に配設される絵素電極にTFT(薄膜トランジ
スタ)を形成し、このTFTのスイッチング動作により
各絵素電極の選択、非選択を行って表示動作を行う。
極やソ−ス電極およびドレイン電極等を積層した多層構
造であるため、これらの金属薄膜をガラス基板上に積層
する工程と、これら金属薄膜をパタ−ニングする工程が
繰り返し行われる。このため欠陥のない完全なTFTを
作製するには、製造工程において各種条件を維持、管理
するために非常な努力を要する。
が得られていない欠陥TFTを発生することもあり、欠
陥が修復可能ものはその欠陥内容により、それぞれの修
正技術を用いて修復が図られる。このようなTFTの欠
陥の一例として、回路形成パタ−ン上での修復ができず
表示駆動した場合に、TFTに接続された絵素電極に相
当する絵素が輝点となって表示画面上で認識される輝点
欠陥がある。
者を含む発明者等による特願平3−36279号があ
り、図8に示す。この方法は輝点絵素5を照射する照明
光40の照射経路上に位置する出射側の透明基板27の
表面付近(修正部16)に凹部18が形成され、該凹部
の底面17A、および側面17Bを粗面化処理すること
により輝点絵素の透過光を抑制し、該輝点絵素の輝度低
減を行う修正手法をとる。
ンズアレイ基板を貼り合わせた高輝度タイプの液晶表示
装置に上記輝点絵素の修正を施した液晶表示装置を得る
ことであり、また輝点絵素を修正をする修正方法を課題
とする。
は、マイクロレンズアレイ基板が貼り合わされた入射側
透明基板と、表示用の絵素がマトリクス状に配列された
透明基板間に液晶が封入された透過型液晶パネルと、該
透過型液晶パネルのマイクロレンズアレイ基板方向より
表示用の照明光を照射する光源手段とを有する液晶表示
装置において、輝点欠陥が発生している絵素を照射する
照明光の照射経路上に位置する入射側の透明基板の表面
付近に凹陥加工部が形成され、且つ該凹陥加工部を光散
乱特性を示す粗面形状に形成していることにより上記目
的が達成される。
法は、上記マイクロレンズアレイ基板を入射側透基板に
貼り合わせする工程前に、該入射側の透明基板の表面付
近に凹陥加工部を形成する方法であり、この修正工程に
おいて、照明光を透過型液晶パネルに照射して絵素に発
生している輝点欠陥を検出する工程と、輝点欠陥が発生
している絵素を照射する照明光の照射経路上に位置する
入射側の透明基板の表面付近に凹陥加工部を形成する工
程と、該凹陥加工部の表面を一部粗面化処理して光散乱
領域を形成する工程とを含んでなり、そのことにより上
記目的が達成される。
状の粗面を形成する粗面化処理を行う。
ムを用いたレ−ザ−エッチングにより前記凹陥加工部を
形成し、及び/又は前記凹陥加工部の表面に粗面化処理
を行う。
下に接近して形成し、該凹陥部の表面に粗面化処理を施
す。このことにより、この部分に入射される照明光はマ
イクロレンズの集光効果がまだ発揮されない段階である
ため、凹陥部での入射光拡散による減光効果も大きく、
粗面化レベルを選択することにより輝点絵素を透過する
光量を周囲の正常絵素に合わせることが可能である。ま
た、マイクロレンズ直下に接近しての凹陥部形成である
ため、修正サイズはマイクロレンズサイズと同等、すな
わち1絵素サイズで光り漏れが発生しない。この結果、
輝点絵素の存在が周囲の正常絵素に対して目立たない状
態になる。すなわち輝点絵素が修正されたことになる。
正方法を模式的に示しており、エキシマレ−ザ−発振器
9から出射されたレ−ザ−ビ−ム10はスリットパタ−
ン11を通り、紫外線反射ミラ−12で反射された後、
レンズ13を経て載置台14上にセットされた液晶パネ
ル1の輝点修正部16に集光されて照射される。 図2
に斜線で示すように、この輝点修正部16は照射光に対
して輝点を発生している輝点絵素5と同一の照射経路上
にある。また、本実施例の輝点修正部16は、図3に示
すように貼り合わされる一対のガラス基板の内、光源か
らの照明光40が液晶パネル1に入射される側のガラス
基板2の表面付近に選定される。入射側のガラス基板2
の内面にはブラックマスク24の開口部が絵素に対応し
て配列され、液晶に電圧を印加するための対向電極25
が設けられている。
基板27の内面にはマトリクス状に配列された絵素電極
28と該絵素電極28への給電をスイッチングするTF
T29が形成され、両ガラス基板2と27間には90度
またはそれ以上ねじれ配向されたツイステッドネマティ
ック液晶層26が封入されている。
レ−ザ−ビ−ム10の入射方向は液晶パネル1に対する
照明光40の入射方向に一致している。
16の外形サイズが拡大された形状のパタ−ンが形成さ
れており、該スリットパタ−ン11を通した縮小スリッ
ト露光によりレ−ザ−ビ−ム10が輝点修正部16の位
置に精度よく照射されるようになっている。加えて、こ
のようなスリットパタ−ン11を用いれば、次に説明す
る粗面17を種々の凹凸段差で形成できる利点がある。
また、載置台14は、例えば水平面内において、X−Y
直交2軸方向に移動可能になっており、該載置台14の
移動によりレ−ザ−ビ−ム10を所望の輝点修正部16
に照射できるようになっている。
て、液晶パネル1に光源より照明光を照射し、駆動状態
にある液晶パネル1の表示画像を表示面上に投影し、こ
の投影像を検査装置の検査又は検査員の視認により行わ
れる。
を用いた凹部18の形成については、図3および図4、
図5に示すように、底面にむけて狭幅になった四角錘
状、あるいは円錐状をなす凹部18を輝点絵素5に対応
するガラス基板2の表面部分、すなわち輝点修正部16
に形成し、且つ該凹部18の底面および側面(傾斜面)
に粗面17A、17Bを形成し、これにより輝点絵素5
を透過する照明光を減光または遮光する。
はエキシマレ−ザ−を用いたエッチング加工により以下
のようにして形成される。まず、スリットパタ−ン11
を通して縮小露光されるレ−ザ−ビ−ム10の縮小率お
よびレ−ザ−ビ−ム10のエネルギ−密度を適宜の値に
設定した上でエキシマレ−ザ−発振器9からレ−ザ−ビ
−ム10を輝点修正部16に照射し、これにより凹部1
8を形成する。次いで、スリットパタ−ン11に図6に
示されるように丸穴61が形成されたメッシュ状のスリ
ットパタ−ンマスク60を挿入し、この状態でレ−ザ−
ビ−ム10を凹部18に照射する。これにより、凹部1
8の側面及び底面に鋸歯状の粗面17Bが形成され、同
時に底面にメッシュ状の粗面17Aが形成される。
形状および円錐形状いずれの場合もマイクロレンズのサ
イズ相当とし、傾斜角度は5〜20度、深さが100μ
m以上のものが好ましい。
−ザ−ショット数を変えることにより可能であり、所望
の減光レベルに粗面化した液晶パネルはこの後、図7に
示すようにマイクロレンズアレイ30を入射側透明基板
2の表面に透明性接着剤32を用いて貼り合わせる。こ
の時凹部18内には該接着剤32の粘度や透明電極表面
の粗面条件等により、接着剤32が入り込まない空洞部
が形成される。また接着剤32の屈折率や前記空洞部の
形成条件を適切に選ぶことにより、減光量が適切化され
る。
O2レ−ザ−によるレ−ザ−エッチングで行ってもよい
し、あるいはダイヤモンド針や超硬合金製の針を用いた
触刻によって行うこともできるが、エキシマレ−ザ−エ
ッチングによればこれらの方法に比して以下に示す利点
がある。まず、触刻法と比較すると、粗面加工が容易に
なると共に、凹凸形状の精度がよい粗面17を形成でき
る利点がある。
レ−ザ−エッチングは熱加工であるため、輝点修正部1
6周囲のガラスに熱的ダメ−ジを与えることになるが、
エキシマレ−ザ−エッチングによればこのような熱的ダ
メ−ジを与えることがないという利点がある。従って、
以上の理由によりエキシマレ−ザ−エッチングにより粗
面17を形成する修正方法が実施する上で最も好ましい
ものになる。
ガスとして、発振波長193nmのArF、発振波長2
48nmのKrF、発振波長308nmのXeCl等が
使用され、該封入ガスの種類によってエキシマレ−ザ−
発振器9のパルスエネルギ−が異なり、粗面の表面粗さ
も異なることになるが、本発明者等による以下の実験結
果により、封入ガスとしてKrFを使用したエキシマレ
−ザ−エッチング加工が最も好ましい修正方法であるこ
とを確認できた。
散させる粗面化に最適なエキシマレ−ザ−ガス種類を検
討するため、封入ガスの種類を変え、同一のパルスショ
ット条件で実験したところ、粗面の表面粗さはKrFが
最も粗く、次いでArFであった。一方、封入ガスとし
てXeClを使用した場合は、レ−ザ−ビ−ム10がガ
ラス面を透過するため粗面化処理はできなかった。そし
て、表面粗さを最も粗面化できたKrFによる粗面を顕
微鏡で観察すると、粗面が砂粒状を呈し、透過照明の透
過が十分に抑制されることが確認できた。
ルタ−については、単板パネル方式の投影型液晶表示装
置に用いられている液晶パネルのようにR(赤)、G
(緑)、B(青)の三原色カラ−フィルタ−が交互に透
明基板上に配列されたもの、また3枚パネル方式の投影
型液晶表示装置に用いられている液晶パネルのように各
パネル毎にR(赤)、G(緑)、B(青)の三原色カラ
−フィルタ−を専用とするもの、即ちカラ−フィルタ−
が液晶パネル内にある場合、あるいは液晶パネルから独
立した位置にある場合、いずれのカラ−フィルタ−形式
の液晶パネルであっても本発明の修正方法は同様に実施
することができる。
わせた高輝度タイプ液晶表示装置に前記先行出願(特願
平3−36279号)の修正方法を用いた断面図を示し
ている。この液晶表示装置は、マイクロレンズ31を各
絵素28に対応して配置されたマイクロレンズアレイ基
板30を照明光40の入射側透明基板2の表面に貼り合
わされて構成され、各絵素28への照明光40はマイク
ロレンズ31による集光効果で高輝度の液晶表示装置を
実現している。この高輝度タイプ液晶表示装置におい
て、輝点絵素5を照射する照明光40の照射経路上に位
置する出射側の透明基板27の表面付近(修正部16)
に凹部18が形成され、該凹部の底面17A、および側
面17Bを粗面化処理することにより輝点絵素の透過光
を抑制し、該輝点絵素の輝度低減を行う。
より、集光効果が発揮される出射側透明基板27の表面
に前記修正方法で修正した場合、マイクロレンズ31の
集光効果のため修正部を透過する光量が増え、輝点の輝
度低減が周囲の正常な絵素の輝度レベルと同程度迄に低
減させることが困難になる。またマイクロレンズに入光
する光軸の角度ズレも配慮する必要もあることから、修
正部16の修正サイズは絵素ピッチの1.3倍以上が必
要となり、このサイズで修正した場合は表示画面で修正
点の大きさが目立つことになる問題がある。
き高輝度液晶表示装置に於ける輝点欠陥絵素を正常絵素
と同程度まで減光させるため、本発明では粗面化凹陥部
をマイクロレンズの直下に接近して形成し、且つ、該凹
陥部は空洞を保持することにより、輝点絵素への入光が
この凹陥部で拡散され、輝点欠陥絵素が周囲の正常絵素
に対し目立たなくなり、また、修正サイズも絵素サイズ
相当でよいため、このことも修正点が目立たない大きな
効果がある。
置を用いた欠陥修正方法を模式的に示す図面。
照射経路上にあることを示す図面。
れ、且つ凹部の側面および底面が粗面であることを示す
液晶パネル断面図。
向矢視図。
矢視図。
トパタ−ンマスクを示す図面。
されて完成品となった液晶パネルを示す断面図。
特許の修正方法を示す液晶パネル断面図。
Claims (6)
- 【請求項1】マイクロレンズアレイ基板が貼り合わされ
た入射側透明基板と、反対側透明基板間に液晶が封入さ
れた透過型液晶パネルと、上記マイクロレンズアレイ基
板方向より表示用の照明光を照射する光源手段とを有す
る液晶表示装置において、輝点欠陥が発生している絵素
を照射する照明光の照射経路上に位置する入射側の透明
基板の表面付近に凹陥加工部を形成した液晶表示装置。 - 【請求項2】前記凹陥加工部の底面が光散乱用粗面に形
成された請求項1記載の液晶表示装置。 - 【請求項3】前記凹陥加工部を空洞とする請求項1記載
の液晶表示装置。 - 【請求項4】マイクロレンズアレイ基板が貼り合わされ
た入射側透明基板と、反対側透明基板間に液晶が封入さ
れた透過型液晶パネルと、該透過型液晶パネルのマイク
ロレンズアレイ基板方向より表示用の照明光を照射する
光源手段とを有する液晶表示装置の欠陥修正方法におい
て、上記マイクロレンズアレイ基板を入射側透明基板に
貼り合わせする工程前に、輝点欠陥を検出する工程と、
該輝点欠陥が発生している絵素を照射する照明光の照射
経路上に位置する入射側の透明基板の表面付近に凹陥加
工部を形成する工程とを行う液晶表示装置の欠陥修正方
法。 - 【請求項5】前記凹陥加工部の底面に粗面を形成する粗
面化処理を行う請求項4記載の液晶表示装置の欠陥修正
方法。 - 【請求項6】エキシマレ−ザ−ビ−ムを用いたレ−ザ−
エッチングにより前記凹陥加工部を形成し、及び/又は
前記凹陥加工部の表面に粗面化処理を行う請求項4又は
請求項5記載の液晶表示装置の欠陥修正方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10458293A JP3192269B2 (ja) | 1993-04-30 | 1993-04-30 | 液晶表示装置の欠陥修正方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Family
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Country Status (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100751281B1 (ko) * | 2004-09-27 | 2007-08-23 | 가부시끼가이샤 도시바 | 액정 디스플레이의 결함 화소 수정 방법 및 결함 화소 수정장치 |
WO2009019913A1 (ja) | 2007-08-09 | 2009-02-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | 液晶表示装置及びその製造方法 |
US20100182561A1 (en) * | 2007-08-08 | 2010-07-22 | Masaki Ikeda | Liquid crystal display device and method of manufacturing same |
-
1993
- 1993-04-30 JP JP10458293A patent/JP3192269B2/ja not_active Expired - Fee Related
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WO2009019913A1 (ja) | 2007-08-09 | 2009-02-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | 液晶表示装置及びその製造方法 |
US8203690B2 (en) | 2007-08-09 | 2012-06-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device and method of manufacturing same |
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