JPH0631268B2 - 有機ハロヒドロシランの直接合成法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、活性化ケイ素と有機ハライドおよび水素の混
合物および活性化ケイ素触媒それ自体との接触反応によ
り、有機ハロヒドロシランを製造する直接合成法に関す
る。さらに詳しくは、本発明は、反応混合物中に許容さ
れた微量金属の濃度の制御および使用する反応器の型よ
り増大した反応速度および選択性、および選択した金属
添加剤の賢明な添加、反応の過程の間におけるハロシラ
ンおよび／または有機ハロシランの外因的量の賢明な添
加による反応の改良された速度、安定性および選択性を
示す直接合成法に関する。

本発明は、要約すれば、次の通りである：活性化ケイ素
と有機ハライドおよび水素の混合物との制御された濃度
の選択された金属原子の存在下の接触反応により、有機
ハロヒドロシランを選択的に製造する直接合成法。

定義 この明細書を通じて、種々の用語および略号を反復して
使用する。それらの意味の早期の理解を促進するため
に、それらの定義は次の通りである： 直接合成＝本発明の１工程の合成法、これにより有機ハ
ロヒドロシランは、制御された濃度の選択された金属原
子のおよび特定した反応条件（両者は以後定義する）の
存在下に、および触媒と接触させて、固定床、攪拌床、
流動床またはスラリー相の反応器内で、活性化ケイ素を
有機ハライドおよび水素の混合物と反応させることによ
って選択的かつ直接製造される。

有機ハロヒドロシラン＝一般式Ｒ_ａＨ_ｂＳｉＸ_ｃの化合
物の１種または２種以上、含まれる特定の場合において
理解されるように、以後より完全に定義する。

ＭｅＳｉＨ＝式ＣＨ_３ＳｉＨＣｌ_２、（ＣＨ_３）_２Ｓｉ
ＨＣｌおよびＣＨ_３ＳｉＨ_２Ｃｌのメチルクロロヒドロ
シランの有機シラン化合物の１種または２種以上。

ＤＨ＝ＣＨ_３ＳｉＨ_２Ｃｌ。

ＤＭ＝（ＣＨ_３）_２ＳｉＨＣｌ。

ＭＤ＝ＣＨ_３ＳｉＨＣｌ_２。

有機ハロシラン＝一般式Ｒ_ｄＳｉＸ_４−ｄの有機シラン
化合物の１種または２種以上、含まれる特定の場合にお
いて理解されるように、以後より完全に定義する。

Ｍ＝（ＣＨ_３）_３ＳｉＣｌ。

Ｔ＝ＣＨ_３ＳｉＣｌ_３。

Ｄ＝（ＣＨ_３）_２ＳｉＣｌ_２。

ハロシラン＝一般式Ｈ_ｄＳｉＸ_４−ｄの化合物の１種ま
たは２種以上、含まれる特定の場合において理解される
ように、以後より完全に定義する。

ＴＣ＝ＨＳｉＣｌ_３。

ＨＶＳ＝高沸点分画、大気圧において約７０℃以上、一
般に主としてメチルクロロジシラン。

ｔｒ＝微量、ガスクロマトグラフィーにより０．０５重
量％より少ない。

ＧＣ＝ガスクロマトグラフィー。

ＧＣ／ＭＳ＝ガスクロマトグラフィー／質量分析計。

ＧＣ＝ＦＴＩＲ＝ガスクロマトグラフィー／フーリエ変
換赤外分光学。

ｏｄ＝外径。

ｉｄ＝内径。

Ｍ^２／ｇ＝平方メートル／グラム。

ＢＥＴ＝ブルナウアー−エメット−テラー。

ＮＡ＝分析せず。

ＮＤ＝検出せず。

Ｍｅ＝メチル。

ｗｔ．％＝重量％。

Ｖｏｌ．％＝容量％。

ｇｍ／kg＝ｇ／km。

ｍｏｌｅ ％＝モル％ ｇｍ＝ｇ ｌｉｔ／ｍｉｎ＝／分 Ｈｒ＝時間 ｍｉｎ＝分 シランの製造は、ハロシランまたは有機ハロシランまた
は有機ハロヒドロシランのいずれにかかわらず、長い間
知られて来ている。有機ハロヒドロシランは多くの用途
を有し、そして一般に有機ケイ素カップリング剤、シリ
コーン界面活性剤の合成の中間体として、およびヒドロ
シリル化および再分布反応において有用である。事実、
これらの化合物は、現在のＭＤにより得ることのできる
有機ハロヒドロシランの供給が要求を満足しないような
要求になってきた。

米国特許第２，３８０，９９５号（Ｒｏｃｈｏｗ）は、
ケイ素をメチルハライドと触媒の存在下に反応させるこ
とを開示している。しかしながら、この方法はケイ素生
成物の混合物を生成し、メチルハロヒドロシランは低い
収率で生成し、そして混合物の少量のみを構成し、一般
に、メチルハライドがメチルクロライドであるとき、Ｃ
Ｈ_３ＳｉＨＣｌ_２は約５重量％より少なく、そして（Ｃ
Ｈ_３）_２ＳｉＨＣｌは約１重量％より少なく、ＣＨ_３Ｓ
ｉＨ_２Ｃｌは生成しない。生成する生成物の全体は、Ｈ
ＳｉＣｌ_３、ＳｉＣｌ_４、（ＣＨ_３）_３ＳｉＣｌ、ＣＨ
_３ＳｉＣｌ_３、（ＣＨ_３）_２Ｓｉｃｌ２および構造（Ｃ
Ｈ_３）_ｘＳｉ_２Ｃｌ_６−ｘ′のジシラン、ならびにジシ
ラメタン、シロキサンおよび炭化水素の混合物から成る
（米国特許第２．５９８，４３５号、米国特許第２，６
８１，３５５号、および米国特許第２．７０９，１７６
号）。これらの混合物は、少量の生成したメチルクロロ
ヒドロシランを同様な沸点の炭化水素の副生物から単離
しかつ精製することを必要とする［米国特許第３，７０
４，２６０号（１９７２年１１月２８日発行、Ｍ．Ｊ．
Ｗｙｎｎ）、および米国特許第４，１８１，６７３号
（１９８０年１月１日発行、Ｈ．Ｓｃｈｕｍａｎｎ，ｅ
ｔ ａｌ．）］。

ブールヘブ（Ｖｏｏｒｈｅｖｅ）［有機ハロシラン：シ
リコーンに対する前駆体（Ｏｒｇａｎｏｈａｌｏｓｉｌ
ａｎｅｓ：Ｐｒｏｃｕｒｓｏｒｓ ｔｏ Ｓｉｌｉｃｏ
ｎｅｓ）、ニューヨーク州エルセビーア、ｐｐ．１９０
−２０１］は、エチルクロライドと銅活性化ケイ素との
直接反応の主要生成物としてＣ_２Ｈ_５ＳｉＨＣｌ_２を報
告している。より望ましい（Ｃ_２Ｈ_５）_２ＳｉＨＣｌお
よびＣ_２Ｈ_５ＳｉＨ_２Ｃｌは、水素をエチルクロライド
と一緒に高圧反応条件下に添加するとき、得られないこ
とが報告されている［トイツ国公開８５９，１６４号、
１９５２年１２月１１日発行、およびツレツカヤ（Ｔｕ
ｒｅｔｓｋａｙａ）ら、Ｋｈｉｍ．Ｐｒｏｍ．，ｐ１８
（１９６３）］。これらのｔｅｊｕｎは所望の有機ハロ
ヒドロシランのすべての３種類を満足すべき高い速度お
よび／または選択性で生成することができない。

水素、塩化水素または金属水素化物を使用してシランを
調製する種々の方法は発表されて来ているが、それらの
すべてはは有機ハロヒドロシランについての急に成長す
る要求を満足することが出来なかった。メチルクロロジ
シランから（ＣＨ_３）_２ＳｉＨＣｌおよび（ＣＨ_３）_２
を合成する接触水素化法は、米国特許第３，６３９，１
０５号（１９７２年２１日発行、Ｗ．Ｈ．Ａｔｗｅｌｌ
ら）、米国特許第４，０５９，６０８号（１９７７年１
１月２２日発行、Ｃａｌａｓら）および米国特許第４，
０７９．０７１号（１９７８年３月１４日発行、Ｒ．
Ｓ．Ｎｅａｌｅ）に開示されている。これらの方法は出
発物質としてジシランの使用を必要とするが、ジシラン
は直接反応法において通常得られる生成物の小さい分画
を表すにすぎない。例えば、米国特許第４，５００，７
２４号（１９８５年２月１９日発行、Ｗａｒｄら）にお
いて、ジシランは生成するシランの約１〜６重量％を表
す。さらに、生成するジシランは典型的には（ＣＨ_３）
_２ＳｉＨＣｌの高い収率に導く［ＣＩ（ＣＨ_３）_２Ｓ
ｉ］_２の欠乏する。ジＳｉの塩化水素化は、米国特許第
２，７０４，１７６号、米国特許第２，８４２，５８０
号、およびＣａｌａｓら、Ｊ．Ｏｒｇａｎｏｍｅｔ．Ｃ
ｈｅｍ．、２２５、１１７−１３０（１９８２）に開示
されているように、典型的には、より多くのＣＨ_３Ｓｉ
Ｃｌ_３、ＣＨ_３ＳｉＨＣｌ_２多くの（ＣＨ_３）_２ＳｉＣ
ｌ_２を生成し、そして（ＣＨ_３）_２ＳｉＨＣｌまたはＣ
Ｈ_３ＳｉＨ_２Ｃｌを生成しない。

アルキルハロシランをアルキルハロヒドロシランの直接
水素化する試みは、また、不成功におわった。この反応
は約１０００℃程度に高い温度および約１５００ｐｓｉ
ｇの圧力においてＰｄ触媒を使用してさえ遅い（日本国
特許５７−４７９１７号；米国特許第２，５９５，６２
０号）。式Ｒ_２ＳｉＨＣｌおよびＲＳｉＨ_２Ｃｌの有機
ハロヒドロシランはこのような高い温度に耐えるために
十分に安定ではないので、この反応はそれ以上の複雑性
を導入する。

ＮａＨ［Ｃｈａｌｋ、Ｊ．Ｏｒｇａｎｏｍｅｔ．Ｃｈｅ
ｍ．Ｖｏｌ．２１、９５−１０１（１９７０）；Ａｎｔ
ｉｐｉｎら、Ｒｕｓｓ．Ｊ．Ｇｅｎ．Ｃｈｅｍ．、Ｖｏ
ｌ．４０、ｐ．７８９（１９７０）；米国特許第３，７
０４，２６１号、１９７２年１１月２８日発行、Ｂｅｒ
ｇｅｒら］、ＣａＨ_２［Ｓｉｍｏｎら、Ｊ．Ｏｒｇａｎ
ｏｍｅｔ．Ｃｈｅｍ．Ｖｏｌ．２０６、２７９（１９８
１）］、ＮａＢＨ_４［米国特許第４，１１５，４２６
号、１９７８年９月１９日発行、Ｈｉｌｌｒｏｄら］お
よびＬｉＡｌＨ_４［Ｅａｂｏｒｎら、Ｊ．Ｏｒｇａｎｏ
ｍｅｔ．Ｃｈｅｍ．Ｖｏｌ．１８、３７１（１９６
９）］を使用するアルキルクロロシランの金属水素化物
の還元を経るアルキルクロロハロシランの合成は、また
開示されている。これらは商業的に実施されない。なぜ
なら、金属水素化物のコストは比較的高く、そして還元
の間に理論量の金属塩化物を廃棄しなくてはならないか
らである。

式ＲＳｉＨＸ_２の有機ハロヒドロシランの収率は、ロチ
ョウ（Ｒｏｃｈｏｗ）の直接反応の合成において有機塩
化物（例えば、ＣＨ_３Ｃｌ）およびハロゲン化水素（例
えば、ＨＣｌ）の使用により増加する［参照、Ｇｏｒｂ
ｕｎｏｗら、Ｄｏｌｋ．Ａｋａｄ．Ｎａｕｌ．ＳＳ
Ｒ．、Ｖｏｌ．１９４、ｐ．９２（１９７０）］。しか
しながら、大量の望ましさに劣るＲＳｉＸ_３が同時に生
成し、そしこの方法は非経済的である。

ロチョウ（Ｒｏｃｈｏｗ）の直接反応の合成における水
素−有機ハライド（例えば、ＣＨ_３Ｃｌ、Ｃ_２Ｈ_５Ｃ
ｌ）混合物の使用は、次の文献に開示されている：米国
特許第２，３８０，９９８号、１９４５年８月７日発
行、Ｓｐｒｕｎｇ；ら英国特許第５９０，６５４号；英
国特許第５７５，６７４号；ドイツ国特許第８５９，１
６４号；Ｔｕｒｅｔｓｋａｙａら、Ｋｈｉｍ．Ｐｒｏ
ｍ．、ｐ．１８（１９６３）。これらの開示は、ＲＨＳ
ｉＣｌ_２の生成が増大するが、Ｒ_２ＳｉＨＣｌまたはＲ
ＳｉＨ_２Ｃｌの生成は増大しないことを報告している。

デクッカー（ＤｅＣｏｏｋｅｒ）ら、［Ｊ．Ｏｒｇａｎ
ｏｍｅｔ．Ｃｈｅｍ．Ｖｏｌ．２１、９５−１０１（１
９７０）；Ｐｈ．Ｄ．Ｄｉｓｓ．Ｕｎｉｖ．Ｄｅｌｆ
ｔ，Ｔｈｅ Ｎｅｔｈｅｒｌａｎｄｓ、１９７６、Ｃｈ
ａｐｓ．５および６］は、ＣＨ_３ＣｌおよびＨ_２の混合
物を使用する直接反応の合成において使用する銅活性ケ
イ素に３００〜３７０℃においてＺｎ、ＣｄおよびＡｌ
を添加すると、ＣＨ_３ＳｉＨＣｌ_２および（ＣＨ_３）_２
ＳｉＨＣｌに対する選択性を低下することを開示してい
る。それらの結果の要約を表１に示す。データが示すよ
うに、メチルクロロヒドロシランに対する選択性は水素
化の分圧および温度を高くすることによって増大する。
しかしながら、反応速度は遅く、変化し、そして安定な
一定の容積活性は、１０〜１５重量％のＣｕ触媒を使用
してさえ、達成されない［ＤｅＣｏｏｋｅｒ、１９７
６、Ｐｈ．Ｄ．Ｄｉｓｓ．，Ｃｈｐ．５、ｐｐ．５７−
６３；Ｃｈｐ．６、ｐｐ．６４−７３］。さらに、反応
の性能のパラメーター、例えば、ＣＨ_３ＳｉＨＣｌ_２対
（ＣＨ_３）_２ＳｉＨＣｌの比およびメチルクロロヒドロ
シラン（すなわち、ＣＨ_３ＳｉＨＣｌ_２＋（ＣＨ_３）_２
ＳｉＨＣｌ）の全体の優越性は反復実験についてさえ変
動する。論説は０．１重量％のＺｎおよび０．０５重量
％のＡｌを含有する一定の塊（すなわち、Ｓｉ、Ｃｕお
よびＳｉとのＣｕ合金の緊密な混合物）からＣＨ_３Ｓｉ
ＨＣｌ_２および（ＣＨ_３）_２ＳｉＨＣｌの直接反応反応
の合成の運動速度論のデータ（Ｃｈａｐ．６）を表す。
しかしながら、高い所望の化合物に対する選択性および
安定な容積活性に誘導するＺｎ、ＣｄおよびＡｌの最大
の許容可能なレベルは明らかにされていない。著者らは
メチルクロロヒドロシランに対する低い選択性を低いＣ
ｕＣｌ濃度に関連付けていること（Ｃｈｐ．６、ｐ．６
４）は注意するに値する。大気圧より高い圧力における
操作について教示は存在しない。

フランス国特許第１，５２３，９１２号は、ＣＨ_３Ｃｌ
−Ｈ_２混合物から３５０−３８０℃および０−２．５気
圧ゲージにおいてＣＨ_３ＳｉＨＣｌ_２および（ＣＨ_３）
_２ＳｉＨＣｌを直接反応により合成することを開示して
おり、ここでメチルクロロヒドロシランに対する選択性
は第VIII金属の塩類（例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉの塩化
物、シュウ酸塩およびギ酸塩）をケイ素の接触塊の０．
３〜１０重量％、好ましくは０．３〜２重量％で添加す
ることによって改良される。この特許の実施例に例示さ
れている条件下に（ＣＨ_３）_２ＳｉＨＣｌおよびＣＨ_３
ＳｉＨＣｌ_２の生成を表２に示す。

デクッカー（ＤｅＣｏｏｋｅｒ）（ｌｏｃ．ｃｉｔ．）
の教示と対照的に、このフランス国特許（実施例５およ
び８、特許請求の範囲６）は、０．２５〜０．５重量％
のＺｎＣｌ_２（０．１２〜０．２５重量％のＺｎに等し
い）を塊中に有利に含めてメチルクロロヒドロシランに
対する選択性が改良されことを開示している。しかしな
がら、ＣＨ_３ＳｉＨＣｌ_２対（ＣＨ_３）_２ＳｉＨＣｌに
比、または水素の分圧の有用な範囲、または他の金属、
例えば、Ｃｄ、ＡｌまはＳｎの最大許容可能なレベルの
制御に関する教示は存在しない。実施例８は１５重量％
のＣｕを使用するが、有用な銅触媒のレベルはそれ以外
明らかにされていない。第VIIIの不存在下に反応の性能
は、また、報告れていない。さらに、添加剤として２．
５重量％のＮｉＣｌ_２を使用して２．５気圧ゲージおよ
び３５０℃における合成の実施は、（ＣＨ_３）_２ＳｉＨ
Ｃｌに対する選択性を破壊する（表２の実施例１および
３参照］。

示されているように、この文献は有機ハロヒドロシラン
に対する要求を満足することができる適当な直接反応の
方法を開示していない。参考文献のいずれも、高い反応
速度および有機ハロヒドロシランに対する高い選択性の
両者をすぐれた再現性および方法の安定性をもって生ず
る、有機ハロヒドロシラン、とくにアルキルクロロヒド
ロシランを安定に、再現性をもって生成する方法の条件
を開示または示唆していない。

本発明により達成される目的のうちで、１つは絶えず一
定し、再現性ある方法で、有機ハロヒドロシランの直接
合成の円滑な方法を提供することである。他の目的は、
ケイ素−水素結合を有する化合物に対する選択性および
ケイ素の全体転化に悪影響を及ぼさないで、速度が高く
かつ再現性がある、有機ハロヒドロシランの直接合成を
提供することである。他の目的は以下の説明から明らか
となるであろう。

本発明は、増大した反応速度、再現性および有機ハロヒ
ドロシランに対する選択性、ならびにケイ素の全体の転
化率を示す、有機ハロヒドロシランを製造する直接合成
法に関する。この方法は存在する微量金属の量の制御、
使用する反応系のタイプ、およびこの系へのある種の添
加剤の添加を伴う。前記方法の主目的を達成するために
要求される本発明の直接合成法の重要な面は、活性化ケ
イ素の床におけるある種の特定した金属原子の濃度の制
御；使用する特定の補助剤および促進剤およびそれらの
濃度；活性化ケイ素へのケイ化カルシウムの添加の反応
への効果；および高い選択性および速度において固定床
の反応器内で直接合成を実施することによって式ＲＨ_２
ＳｉＸの有機ハロヒドロシランを直接製造する能力、従
来報告されて来ていない成果、を包含する。

上のロショウ（Ｒｏｃｈｏｗ）が開示するシランを製造
する直接反応の方法は、基体−固体反応器、例えば、固
定床、攪拌床、または流動床の反応器、すべて既知であ
る、内で便利に実施される。この従来の方法において、
有機ハライドを活性化ケイ素と触媒、促進剤および補助
剤と接触させて反応させてシランの混合物を形成する。
しかしながら、従来開示された方法は一般式Ｒ_ａＨ_ｂＳ
ｉＸ_ｃの有機ハロヒドロシランの十分に有意な量を製造
せず、一般式Ｒ_ｄＳｉＸ_４−ｄの有機ハロシランの形成
はかなりな程度になる。経る有機ハロヒドロシランの商
業的要求および必要性にかんがみて、多くの試みがこれ
らの化合物の形成を増加するためになされて来ている
が、いずれも十分に成功して来ていない。本発明の直接
合成法はこれの実施に成功した；この直接合成法は、有
機ハロヒドロシランを絶えず一定して再現性をもって、
従来達成されたより高い反応速度、収率および選択性で
製造することができる。これらの利点現在達成される意
味は、完全には予測不可能であった。

本発明の方法において、一般式： Ｒ_ａＨ_ｂＳｉＸ_ｃ （Ｉ） の有機ハロヒドロシランは、直接合成法により、増大し
た量および収率で製造される。この式において、Ｒは約
２０個までの炭素原子を有する脂肪族または芳香族の、
飽和または不飽和のヒドロカルビル基、例えば、約１０
個まで、好ましくは約６個までの炭素原子を有するアル
キルまたはアルケニル；６まで１０個の環原子を有する
アリール、アルカリールまたはアラルキルであり、そし
てアルキル基は上に定義したとおりである；４〜７個の
環原子を有し、そして上に定義したアルキルまたはアル
ケニル基により置換されることができるシクロアルキ
ル；Ｘはハロゲン原子，例えば、塩素、臭素、ヨウ素お
よびフッ素である；ａ、ｂおよびｃは１または２の値を
有する整数であり、ただしａ＋ｂ＋ｃの合計は４であ
る。式（Ｉ）の亜属は式ＲＨ_２ＳｉＸ、ＲＳｉＨＸ_２お
よびＲＳｉＨ_２Ｘである。このような化合物の例示は下
表であり、ここで上の式により表される化合物のＲ、
ｘ、ａ、ｂおよびｃの成分および値が示されている。

本発明の改良された直接合成法は、式ＲＸ（式中、Ｒお
よびＸは上に定義したとおりである）の有機ハライドを
活性化ケイ素と反応させる。述べることのできる適当な
有機ハライドの例は、塩化メチル、臭化メチル、ヨウ化
メチル、塩化エチル、臭化エチル、塩化フェニル、臭化
ビニルなどである。活性化ケイ素と反応することが知ら
れている任意の有機ハライドを使用することができ、好
ましいものは用いる反応条件下に揮発するものであり、
これらの化合物は当業者によく知られている。塩化メチ
ルは好ましい。

約９９．６重量％の最小純度の標準の商用塩化メチル
は、好ましい出発物質である。しかしながら、微量の汚
染物質を除去するための手段、または揮発性禁止剤およ
び毒性物質（例えば、ＣＯ、ＣＯ_２、Ｏ_２、Ｈ_２Ｏ、Ｓ
Ｏ_２）の導入を防止する手段を、必要に応じて、設ける
ことができる。

用語活性化ケイ素は、この技術において受け入れられて
いる意味を有する。それは、触媒、１種または２種以上
の促進剤および１種または２種以上の補助剤が混入され
ているケイ素を意味する。

本発明において、活性化は、便利な既知の方法により、
例えば、触媒（例えば、銅）およびケイ素を含有する溶
融物を固化し、そして固体を粒子に粉砕するか、あるい
は米国特許第２，３８０，９９６号に記載されているよ
うにケイ素および触媒の混合物を加熱するか、あるいは
米国特許第２，３８０，９９７号および米国特許第４，
３１４，９０８号（１９８２年２月９日発行、Ｄｏｗｎ
ｉｎｇら）に記載されているように、ケイ素、触媒およ
び促進剤の混合物を水素および／または塩化水素の存在
下に加熱するか、あるいは米国特許第２，１１９，８０
８号に記載されているように触媒の塩（例えば、塩化第
一銅）およびケイ素の混合物を高温に加熱することによ
り達成することができる。これらおよび多くの他の活性
化法、触媒、促進剤および補助剤はこの分野において知
られている。

この分野において知られているように、活性化はある量
の触媒、促進剤および活性化をケイ素中に混入すること
方法である。これは有機ハライド−水素混合物の反応に
使用したのと同一の反応器において、あるいは別の反応
器において実施することができる。後者の場合におい
て、活性化ケイ素は典型的にはかつ望ましくは、有機ハ
ライド−水素混合物に無水の非酸化雰囲気中で移す。

本発明の直接合成法のための好ましい活性化の方法は、
塩化第一銅およびクロロシラン（ＨＳｉＣｌ_３、ＳｉＣ
ｌ_４）、メチルクロロシラン（ＣＨ_３ＳｉＣｌ_３、（Ｃ
Ｈ_３）_２ＳｉＣｌ_２）、またはそれらの混合物を使用す
る。クロロシランおよびメチルクロロシランは、ケイ素
および塩化第一銅の混合物を流動化するために十分な量
で、蒸発させかつ反応器中に移送する。活性化ケイ素の
引き続く性能を障害しない、他の気体、例えば、水素、
窒素、アルゴンおよびヘリウムを、蒸発したクロロシラ
ンと一緒に添加して流動化を促進する。２００℃以上の
温度はこの活性化に必要であり、そして２８０〜３８０
℃の値は好ましい。

本発明において使用する触媒は、金属元素、例えば、銅
または銀、またはそれらの化合物である。上のものを包
含する適当な触媒は、よく知られており、そして文献に
完全に記載されている。しかしながら、文献は微量の他
の元素の存在が反応に及ぼす有意な作用を認識していな
い。受け入れられている理論は、金属原子はケイ素とと
もに融合し、そしてケイ素中に拡散して、合金または固
溶体を形成し、これは有機ハライドと反応する相であ
る。

本発明の直接合成法のために好ましい触媒は、粉末状の
金属の銅、無水銅化合物、またはそれらの混合物であ
る。しかしながら、金属の銀、その化合物およびそれら
の混合物は、また、有効な化合物であることが知られて
いる。個々にまたは混合物で使用するために適当な銅化
合物の例は、酸化第一銅、塩化第一銅、塩化第二銅、窒
化銅、水酸化銅、およびカルボン酸銅、例えば、ギ酸銅
である。しかしながら、これは制限的または排他的リス
トではない。

銅化合物は、特記しない限り、硫化銅および鉛およびそ
の銅の中間化合物のようなものであり、これらは反応に
その速度および／または選択性および／または安定性に
マイナスの作用を及ぼすことが知られている化合物また
は元素の許容され得ないレベルを導入する。さらに、ア
ルキルハロヒドロシランに対する選択性を傷害する、Ｚ
ｎ、Ｓｎ、Ｃｄおよび他のジアルキルジハロシランの形
成は、後述するように、回避すべきであるか、あるいは
それらの濃度は前以て規定したレベルに維持すべきであ
る。

好ましい銅触媒は塩化第一銅。他の好ましい触媒は、
銅、塩化第一銅、および酸化第二銅の粉末状混合物であ
り、これらは、例えば、溶融した銅のアトマイジングお
よび部分的酸化により、電解的にまたは化学的に製造さ
れた銅金属の部分的酸化により、あるいは酸化第二銅の
不完全な酸化により製造される。セメンテーションによ
り製造される銅および銅酸化物の混合物は、一般に、引
き続いて示すように、アルキルハロヒドロシランに対す
る選択性を低下する量のＺｎ、ＣｄおよびＳｎを含有す
る。セメンテーションの間、水性銅含有溶液をＡｌ、Ｆ
ｅ、Ｚｎまたは電気化学系列が銅より高い他の金属と接
触させる。銅は沈澱し、そして金属は溶解する。部分的
空気酸化の結果、沈澱は銅、酸化第一銅および酸化第二
銅の混合物である。このようにして調製された銅触媒は
セメント触媒として知られている。そのように調製され
ない、部分的に酸化された銅触媒は、非セント触媒と呼
ばれる。ギ酸銅は他の好ましい触媒であり、とくに層状
結晶構造をもつギ酸銅はことに好ましい。この結晶構造
は、３．０−３．１オングストロームおよび５．０−
６．５オングストロームのｄ−間隔において、ギ酸銅の
Ｘ線粉末パターンにおいて強い反射により特徴づけられ
る。好ましいギ酸触媒は、また、約１７０〜約２００℃
の完全な熱分解を行う。ギ酸銅は水和されているか、あ
るいは無水であることができるが、望ましくは層状構造
を保存することが知られている方法により調製された無
水固体である。

本発明を特徴づける選択性および速度の値を達成するた
めに、触媒中のＣｄおよびＺｎの濃度は全体で０．０７
重量％以下、好ましくは０．０１重量％以下であるべき
である。Ｓｎの含量は最大０．０７重量％であるべきで
あり、好ましくは０．００５重量％以下である。触媒の
鉄およびアルミニウムの含量は、各々、好ましくは最大
０．３重量％である。Ｚｎ、ＣｄおよびＳｎの述べた濃
度は本発明にとって臨界的である。

１００ミクロンの最大サイズまでの触媒粒子は、本発明
の方法に有用である。しかしながら、粒子は５０ミクロ
ンより小さく、最も好ましくは２〜２５ミクロンであ
る。０．１m²／ｇの最小ＢＥＴ表面積は、一般に、受け
入れることができる。１m²／ｇ以上の値は、触媒のすぐ
れた分散に好ましい。

ケイ素を活性化するために要求される銅の量は、通常、
使用するケイ素の約１０重量％より少ない。一般に、
０．０５〜３重量％の範囲の銅の量は最適であることが
分かった。アルキルハロヒドロシランの直接合成につい
ての先行技術［参照、デクッカー（Ｄｅｃｏｏｋｅｒ）
ら、モロゾフ（Ｍｏｒｏｚｏｖ）ら、ｌｏｃ．ｃｉ
ｔ．］は、１０〜１５重量％の範囲の銅の使用を開示し
ている。しかしながら、本発明は０．５〜１．５重量％
の銅濃度を使用し、そして上に記載する性能を達成す
る。

本発明の直接合成法において使用するケイ素は、好まし
くは少なくとも約９８．５重量％のＳｉを含有する工業
銘柄の材料である。従来の直接反応の方法において使用
する工業銘柄のケイ素中に存在する微量の金属は、Ｎ．
Ｐ．ロブセビチ（Ｌｏｂｕｓｅｖｉｃｈ）ら、Ｒｕｓ
ｓ．Ｊｏｕｒ．Ａｐｐｌ．Ｃｈｅｍ．、Ｖｏｌ．４９、
No.、ｐｐ．２１６８−２１７８（１９７６）により同
定された。一般に、従来の合成において使用されるケイ
素は、本発明において使用することができるが、ただし
次の規格を満足すべきである：Ｓｉ≧９８．５重量％、
Ａｌ＝０．１−０．４重量％、Ｆｅ＝０．３−０．６重
量％、Ｃａ＝０．０１−０．１５重量％、Ｔｉ＝０．０
３−０．０６重量％、Ｍｎ＝０．００５−０．０１重量
％、Ｚｎ＜０．００５重量％、Ｓｎ≦０．０００５重量
％、Ｐｂ＜０．００１重量％、Ｂｉ＜０．００５重量
％、Ｎｉ＝０．００１−０．２重量％、Ｃｒ＝０．００
５−０．０２重量％、Ｃｏ≦０．００５ｅ、Ｃｄ≦０．
００５重量％。Ａｌ、Ｂｉ、Ｃｄ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｐｂ、
Ｓｂ、ＳｎおよびＺｎのレベルは、とくに、ＲＳｉＨ_２
ＸおよびＲＳｉＨＸ_２化合物に対する選択性について臨
界的である。例えば、０．４重量％を越えるＡｌ値は、
反応生成物において＜１０重量％のＭｅ_２ＳｉＨＣｌに
導くことがある。０．１重量％より低いＡｌの値はケイ
素の反応性を傷害することがある。ジメチルジクロロシ
ランの形成の促進剤および普通の補助剤、例えば、Ｚ
ｎ、Ｃｄ、Ｂｉ、Ｓｂ、Ｓｎは、上に示した範囲を越え
る濃度で存在するとき、有機ハロヒドロシラン化合物の
生成を阻害するであろう。Ｐｂの規格はことに臨界的で
ある。０．００５重量％程度に近い値は反応性をかなり
損失させることがある。本発明においてことに好ましい
ケイ素は、０．００４−０．０２重量％のＮｉおよび
０．００２−０．０１重量％のＣｒを含有するものであ
る。

広い範囲、例えば、２８×Ｄメッシュ（すなわち、５０
０ミクロン以下）のケイ素粒子を合成において使用する
ことができる。しかしながら、ケイ素粒子は約４８メッ
シュより小さく（すなわち、３００ミクロンより小さ
く）かつ約３２５メッシュより大きい（すなわち、４５
ミクロンより大きい）ことが好ましい。より小さい粒子
サイズは床のすぐれた流動化に寄与し、そして熱移動を
促進する傾向がある。所定の反応において使用する粒子
サイズは、反応器のサイズおよび合成の規模に依存す
る。実験室の実験において、好ましい好ましいサイズの
範囲は６５×１５０メッシュ（すなわち、１０４−２０
８ミクロン）であることが分かったが、この分布は本発
明の方法の成功において必須であると考えられない。

予備成形した金属ケイ化物、例えば、カルシウム、マグ
ネシウムおよび銅のケイ化物は、また、合成において、
個々の相で、あるいは元素状ケイ素と混合して存在する
ことができる。カルシウムケイ化物（例えば、ＣａＳｉ
_２）の存在は、１〜１０重量％の比較的適度の量で存在
するときでさえ、ＲＳｉＨ_２Ｘの形成にとくに有益であ
る。好ましいレベルは２〜８重量％である。これは反応
温度および粒子の流動化の両者を制御可能な限界に維持
するという要求に従う。カルシウムケイ化物とアルキル
ハライドとの反応は非常に発熱性である。結局、ケイ素
中の＞１０重量％のカルシウムケイ化物の存在は望まし
くない作用を有することがある。また、カルシウムケイ
化物は、有機ハロヒドロシランｃｍｏの形成速度および
とくにＲＳｉＨ_２Ｘに対する選択性にマイナスの作用を
及ぼす量のＡｌ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｓｎおよび他の金属を含
有しない。

本発明の直接合成法において、有機ハライドと反応する
活性化ケイ素の床中に存在する、種々の金属原子の濃度
は臨界的である。活性化ケイ素の床が次の重量％の値で
金属原子を含有することは、この直接合成の重要な特徴
である。亜鉛、アンチモンおよびカドミウムは、個々に
あるいは合計、約０．０５重量％より少なく、好ましく
は約０．０１重量％より少なく、最も好ましくは０．０
０５重量％より少ない。スズの濃度は約０．０１重量％
より少なく、好ましくは約０．００５重量％より少な
く、最も好ましくは０．０００５重量％より少ない。ニ
ッケルの濃度は約０．００１〜約０．０２重量％、好ま
しくは約０．００２〜約０．０１重量％、最も好ましく
は約０．００４〜約０．００８重量％である。クロムの
濃度は約０．００１〜約０．０６重量％、最も好ましく
は約０．０００５〜約０．０１重量％である。アルミニ
ウムの濃度は約０．１〜約０．４重量％、好ましくは約
０．１〜約０．２重量％であることができる。

先行技術の従来の直接反応の方法において、促進剤は式
Ｒ_２ＳｉＸ_２（式中、ＲおよびＸは上に定義したとおり
である）のジ有機ジハロシランの生成を増強するため、
有意な濃度で含められた。これらの普通の促進剤は元
素、例えば、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｈｇ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉおよ
びそれらの化合物である。しかしながら、本発明の直接
合成法において、有意な量のこのような普通の促進剤の
１種または２種以上の存在は有害であり、そして有機ハ
ロヒドロシランの生成に対する選択性を低下する；こう
して、それらの量はここに規定する臨界的値に制御しな
くてはならない。

本発明の直接合成法において、用語促進剤は元素、Ｎ
ｉ、Ｃｒ、Ｒｈ、Ｐｄおよびそれらの化合物を意味す
る。これらの促進剤は、今回、式Ｉの有機ハロヒドロシ
ランの生成を増大することが分かったものである。

本発明の方法において使用する促進剤は、有機ハロヒド
ロシランの直接合成法において満足すべき速度および選
択性を与える。本発明の促進剤は、有効レベルで使用す
るとき、本発明の直接合成法において、ＲＳｉＨＸ_２、
Ｒ_２ＳｉＨＸおよび／またはＲＳｉＨ_２Ｘの生成の増大
を促進する。促進剤は、好ましくは、元素、酸化物、ハ
ロゲン化物、またはケイ化物として粉末の形態であり、
粒子サイズの分布は触媒のそれに類似する。有益なかつ
持続した速度および選択性のために、粒子の塊全体にわ
たってよく分布した促進剤を含有するケイ素から調製さ
れた、活性化ケイ素を使用することが望ましい。不均質
の分布は利益の実現を一時的にもたらすだけである。

フランス国特許第１，５２３，９１２号は、有機ハロヒ
ドロシランに対する全体の選択性（すなわち、ＭｅＳｉ
ＨまたはＭｅＳｉＨ／Ｄ）を増加するために、第VIIIの
元素（例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ）の塩類の使用を開示
している。しかしながら、Ｒ_２ＳｉＨＣｌよりＲＨＳｉ
Ｃｌ_２に対して好適な、あるいはその逆に対して好適な
促進剤な選択に関して教示または示唆が存在しない。本
発明はＭＤ／ＤＭの両者を促進剤の選択ならびにその濃
度により制御することを教示する。フランス国特許第
１，５２３，９１２号において、ニッケル塩類（例え
ば、塩化ニッケル、シュウ酸ニッケル、およびギ酸ニッ
ケル）は活性化ケイ素中に０．３〜１０重量％で使用す
る。ニッケル塩の濃度の下限（すなわち、０．３重量
％）は０．１２〜０．１４重量％のＮｉに等しい。

本発明は、０．１重量％より少なく、好ましくは０．０
０２〜０．０８重量％、最も０．００４〜０．０２重量
％である。これらの範囲における濃度において、ニッケ
ルは活性化ケイ素と有機ハライド−水素混合物との間の
反応するの速度を増加する。フランス国特許第１，５２
３，９１２号において教示と反対に、一般式、Ｒ_２Ｓｉ
ＨＣｌの有機ハロヒドロシラン（例えば、（ＣＨ_３）_２
ＳｉＨＣｌ）の選択性は、反応するを大気圧より高い圧
力において実施するとき、これらの低いニッケル濃度に
おいて維持される。０．１重量％を越えるニッケル濃度
は、有機ハロヒドロシランを犠牲にして、有機トリハロ
シラン、ＲＳｉＸ_３（例えば、ＣＨ_３ＳｉＣｌ_３）の生
成の増加を促進する。Ｎｉの好ましい値の使用は、一般
に、反応を２９０〜３２５℃および０〜３０ｐｓｉｇに
おいてＨ_２−ＣＨ_３Ｃｌの５０：５０または６０：４０
容量で流動床において実施するとき、ＭＤ／ＤＭ＝２ｈ
５、ＭｅＳｉＨ／Ｄ＞１．０、速度＞１重量％／時間を
生ずる。

活性化ケイ素に＜０．５重量％でクロムを添加すると、
ＲＳｉＨＸ_２（例えば、ＣＨ_３ＳｉＨＣｌ_２）に関して
Ｒ_２ＳｉＨＸ（例えば、（ＣＨ_３）_２ＳｉＨＣｌ）に対
する選択性が改良される。０．１重量％より少ないか、
あるいはそれに等しい添加はとくに有利である。活性化
ケイ素混合物内に保持される濃度は、好ましくは、０．
００５〜０．００６重量％である。こうして、０．００
５重量％のＣｒを含有するケイ素の使用は、反応を６０
容量％のＨ_２−４０容量％のＣＨ_３Ｃｌを使用して３２
０℃および３０ｐｓｉｇにおいて流動床内で実施すると
き、ＭＤ／ＤＭ＝２〜３およびＭｅＳｉＨ／Ｄ＝６〜８
を与えた。

ロジウムは、また、１重量％以下の濃度で導入すると
き、一般式、Ｒ_２ＳｉＨＸ（例えば、（ＣＨ_３）_２Ｓｉ
ＨＣｌ）の有機ハロヒドロシランに対する選択性を増加
する。対照的に、パラジウムを０．５重量％で含める
と、化合物、ＲＳｉＨＸ_２（例えば、ＣＨ_３ＳｉＨＣｌ
_２）に対する選択性を増加する。ＲｈおよびＰｄの両者
は第VIII族の元素である。しかしながら、Ｒ_２ＳｉＨＸ
および／またはＲＳｉＨＸ_２の含量の制御にそれらを使
用することは、フランス国特許第１，５２３，９１２号
開示されていない。

過去において使用された補助剤は、一般に、Ｓｎおよび
Ｃｓのような元素、およびそれらの化合物であった。こ
れらは反応速度および／または反応おジ有機ジハロシラ
ンＲ_２ＳｉＸ_２に対する選択性を改良するためにおよび
／または高沸点化合物、例えば、ジシランの生成を減少
するために添加されてきた。予備条件は、触媒および促
進剤の両者が適切な量で存在するということである。

本発明の直接合成法において、補助剤は式Ｈ_ｄＳｉＸ_ｅ
のハロシランおよび式Ｒ′_ｆＳｉＸ_４−ｆ′の有機ハロ
シランであり、式中Ｒ′は１〜６個、好ましくは１また
は２個の炭素原子を有するアルキル、またはフェニルで
あり、そして好ましくはメチルであり、Ｘはハロゲンで
あり、ｄは０〜３の値を有し、ｅは１〜４の値を有し、
ｄ＋ｅの合計は４であり、そしてｆは１〜３の値を有す
る。さらに、式Ｉの有機ハロヒドロシランは、また、適
当な補助剤である。補助剤は、床中に注入するとき、ケ
イ素および触媒粒子の混合物を活性化し、ならびに有機
ハロヒドロシランに対する選択性を増強する、上の式の
化合物である。こうして、それらは速度および選択性を
増加するという、完全に予測されなかった二重の利益を
提供する。

本発明の直接合成法において使用する補助剤は、上で定
義したハロシラン（例えば、ＨＳｉＣｌ_３、ＳｉＣ
ｌ_４）、有機ハロヒドロシラン、有機ハロシラン（例え
ば、ＣＨ_３ＳｉＣｌ_３）およびそれらの混合物であり、
有機ハロヒドロシランの本発明の直接合成の速度にそれ
らの主な作用を及ぼす。それらは２つの異なるモードで
使用することができる。第１に、補助剤は触媒、促進
剤、およびケイ素の混合物を活性化するために使用する
ことができる。このモードにおいて、補助剤は通常蒸発
し、その蒸気を使用して固体の混合物を活性化温度（例
えば、２８０〜３５０℃）において流動化する。蒸気
は、また、ある量の不活性、例えば、窒素、アルゴン、
ヘリウム、および水素と混合することができる。第２の
モードにおいて、補助剤は本発明の直接合成の過程の間
の短い（すなわち、１時間より少ない）または長い期間
にわたって導入することができる。典型的には、速度の
増大は補助剤の注入の停止後に観察される。

活性化工程において使用するとき、補助剤は床を流動化
するために使用する気体の少なくとも約１０容量％であ
るべきである。これより低い値は有効であることがある
が、反応の性能は変動することがある。補助剤として流
動化気体の＞５０容量％を使用すること、最も好ましく
は９０〜１０容量％を使用することが好ましい。補助剤
は活性化から蒸気を実質的に非転化の形態で凝縮するこ
とによって回収する。それは引き続く活性化に再循環し
かつ再使用することができる。

ハロシランまたは有機ハロシランまたは有機ハロヒドロ
シランを本発明の直接合成の過程の間に注入するとき、
補助剤の使用の利益を完全に実現する場合、注入は急速
に実施することが必須である。注入の期間の間、合成の
全体の速度は抑制される。したがって、この期間は最大
６時間、好ましくは１時間以下に制限することが望まし
い。約１〜２０分の期間は実験室の作業ににおいて有利
であることが発見された。しかしながら、これより短い
期間を、利益がそれらの使用により除去されない場合、
使用することができる。

補助剤の注入量は、反応器内の活性化ケイ素の重量に基
づいて最小０．００１重量％／分であろう。最大量は、
反応器から固体粒子を追い出すことのできる気体（すな
わち、有機ハライド、水素および補助剤）の合計の体積
を構成する程大きくないであろう。約１０重量％／分の
値は実際的な上限である。好ましい範囲は約０．０２〜
３重量％／分である。有機ハライド反応成分に関して、
補助剤は重量基準でやく０．００２〜２倍、好ましくは
約０．２〜２倍である。

生成物の交差汚染を回避するために、補助剤として、直
接合成を本発明の方法より実施するのと同一のハロゲン
および有機基を有するハロシラン、有機ハロヒドロシラ
ンおよび有機ハロシランを使用することが望ましい。例
えば、ＣＨ_３ＳｉＣｌ_３はＣ_２Ｈ_５ＳｉＢｒ_３よりもメ
チルクロロヒドロシランの直接合成における直接剤とし
て好ましい。

ケイ素の活性化の間に補助剤を使用すると、ケイ素表面
上の銅触媒の分散が改良される。水素の延長した使用
（すなわち、水素−有機ハライド混合物中の）は、銅粒
子を焼結させ、そして反応速度を減少させる。補助剤の
間欠的注入により、焼結を逆にすること、あるいは前以
て設定することが可能であり、分散を増加し、そして反
応速度を改良することができる。

先行技術［Ｒｕｓｓ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｃｈｅｍ．、Ｖｏ
ｌ．３８、No.１２、ｐｐ．２８８６（１９６５）；１
系列のロブセビチ（Ｌｏｂｕｓｅｖｉｃｈ）らの論文、
Ｒｕｓｓ．Ｊ．Ｇｅｎ．Ｃｈｅｍ．、Ｖｏｌ．４８、N
o.１２、ｐｐ．２０５５−２０６０（１９７８）；Ｖ
ｏ．４８、No.１１、ｐｐ．２２９０−２３０７（１９
７８）］は、メチルクロロシランおよびクロロシランを
普通の反応中に塩化メチルと活性化ケイ素との間に再循
環することができることを教示している。メチルトリク
ロロシランを注入すると、反応の間のその追加の形成は
抑制され、そしてジメチルジクロロシランに対する選択
性は増大した。しかしながら、反応の全体の速度は、ま
た、再循環の実験の間に抑制された。さらに、Ｚｎ、Ｃ
ｄ、Ｓｂ、またはＡｌおよびそれらとアルカリ金属塩
類、例えば、ＫＣｌとの混合物を含有する普通の促進剤
は、ジメチルジクロロシランに対する選択性を高くする
ために要求された。本発明は、メチルクロロヒドロシラ
ンの直接合成に関し、そして塩化メチルおよび水素の双
方を共反応成分として必要とする。従来の促進剤は、本
発明の活性化ケイ素に対する添加剤として特別に禁忌を
示す。そのうえ、注入後の速度は、塩化メチル−水素混
合物および上に規定した組成を有する活性化ケイ素を同
時にを使用したときにのみ観測される。

有機ハライド−水素混合物の水素の含量は、本発明の直
接合成の速度および選択性の双方に影響を及ぼす。速度
は水素の分圧の増加とともに現象した。しかしながら、
有機ハロヒドロシランに対する選択性は水素の分圧とと
もに増加する。生成物中の有機ハロヒドロシランの合計
の百分率（すなわち、ＭｅＳｉＨの％）として表した選
択性、および水素の分圧（または有機ハライド−水素混
合物中のＨ_２のパーセント）の間の関係はＳ字状（ｓｉ
ｇｍｏｉｄａｌ）である。混合物の２０容量％より少な
い水素の濃度は、低い選択性を与える（例えば、ＭｅＳ
ｉＨ＜３０重量％、ＭｅＳｉＨ／Ｄ＜１）。８５容量％
を越える濃度は、非常に高い選択性を与える（例えば、
ＭｅＳｉＨ＜７５重量％、ＭｅＳｉＨ／Ｄ＞３）。選択
性と速度の最良のバランスは、約４０〜７５容量％の水
素、好ましくは約４５〜６０容量％の水素で作業するこ
とによって達成される。好ましい範囲において、速度は
本発明の好ましい条件下に１．５％Ｓｉ／時間より大き
くかつＭｅＳｉＨ／Ｄ＞１．５である。

本発明において使用する気体の反応成分（すなわち、有
機ハライド−水素混合物および必要に応じて補助剤）の
合計量は、最小量として、活性化ケイ素の粒子を流動化
するために十分でなくてはならず、そして、もちろん、
ケイ素粒子が反応してしまう前に、活性化した塊を反応
器から完全に排出または浄化する流れよりより少なくな
くてはならない。流動化のための最小流は、モノグラ
フ、流動化の工業（Ｆｌｕｉｄｉｚａｔｉｏｎ Ｅｎｇ
ｅｎｅｅｒｉｎｇ）、Ｄ．クニイ（Ｋｕｎｉｉ）および
Ｏ．レベンスピエル（Ｌｅｖｅｎｓｐｉｅｌ）（Ｊｏｈ
ｎ Ｗｉｌｅｙ ＆ ｓｏｎｓ，ＮＹ，１９８６）に記
載されているように、気体密度の知識、活性化ケイ素の
密度および粒子サイズの分布、および反応の温度から計
算することができる。床を多数回この最小流れで操作
し、そして、なお、流動状態で反応器内に含有される活
性化ケイ素の粒子を反応させて保持することは可能であ
る。例えば、実験室のガラス反応器内で大気圧および３
２５℃において、平均サイズ１４９微生物のケイ素粒子
の最小直線流動化速度はほぼ１．５cm／秒であることが
分かった。炭素鋼の反応器内の３０ｐｓｉｇおよび３０
０℃における粒子の直線流動化速度は１．７３cm／秒で
あることが分かった。ブールヘベ（Ｖｏｏｒｈｏｅｖ
ｅ）（ｌｏｃ．ｃｉｔ．Ｐ．１５４）は１．８cm／秒お
よびルブセビチ（Ｌｕｂｕｓｅｖｉｃｈ）（Ｓｏｖｉｅ
ｔ Ｃｈｅｍ．Ｉｎｄ．No.２、ｐ．８３（１９７
４））は２．０cm／秒を、平均１５０ミクロンのケイ素
粒子１０５−２５０ミクロンについての実験的に決定し
た値として報告した。この最小の２〜５倍の操作値は、
本発明の方法によるＲＳｉＸ_３およびＲ_２ＳｉＨＸの直
接合成に好ましい。本発明の方法によるＲＳｉＨ_２Ｘの
直接合成は、固定床の反応器において最もよく実施され
る。

有機ハロヒドロシランの製造のための本発明の直接合成
の最小温度は、有機ハライドと活性化ケイ素との間の反
応の開始温度により設定される。これらの温度は上に引
用したモノグラフ中にブールヘベ（Ｖｏｏｒｈｏｅｖ
ｅ）およびペトロフ（Ｐｅｔｒｏｖ）ら、有機ケイ素の
モノマーの合成（Ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ ｏｆ Ｏｒｇａ
ｎｏｓｉｌｉｃｏｎ Ｍｏｎｏｍｅｒｓ）、Ｃｏｎｓｕ
ｌｔａｎｔｓ Ｂｕｒｅａｕ発行、Ｎ．Ｙ．（１９８
６）に報告されている。例えば、大気圧において、塩化
メチルの最小温度は約２９０℃である。最大許容温度は
有機ハライドの熱分解の開始により決定することができ
る。このような熱分解は、通常、望ましさに劣る有機ト
リハロシラン、ＲＳｉＸ_３、および炭化水素副生物の形
成の顕著な増加が伴う。３８０℃以上の温度は低いＲ_２
ＳｉＨＸの形成および／またはＲ_２ＳｉＨＸの分解に導
く。

最適な温度は、有機ハライドの熱分解または有機ハロヒ
ドロシランの熱安定性の複雑さを生じないで、容易な反
応および生成物の蒸発を可能とする温度である。有機ハ
ライドが塩化メチルであり、そして水素の含量が５０容
量％であるとき、凝縮反応生成物中のメチルクロロヒド
ロシランの含量は一般に最適な温度範囲において少なく
とも約５０重量％である。この範囲は大気圧において約
３００〜３７０℃、好ましくは約３２０〜３４０℃であ
る。２〜５気圧において、温度は広く約２６０〜３５０
℃、好ましくは約２８０〜３３０℃である。これらの好
ましい範囲内で、流動床の反応器において実施される反
応について、生成物の組成は温度とともに統計学的に有
意に変化しない。

以上から理解できるように、有機ハロヒドロシランの生
成について本発明の直接合成法は大気圧において、ある
いは大気圧より高い圧力において実施することができ
る。圧力下に合成を実施することは望ましい。なぜな
ら、これは反応速度を増加し、そして水素、有機ハライ
ド、および活性化ケイ素の使用をより効率的にするから
である。約６気圧ゲージ以上の最大圧力（流動床の反応
器の上部で測定した）は制御可能な反応速度を保証す
る。約２〜４気圧ゲージの最適な範囲は、この方法を、
許容され得る選択性において長期間にわたって円滑にか
つ制御可能に実施できるようにする。

好ましい形態において、本発明の直接合成法は、流動床
の反応器内で、銅活性化ケイ素、ニッケル促進剤、気体
の有機ハライド−水素混合物、および気体の有機ハライ
ド補助剤を利用して実施される。反応器は気体混合物の
連続的導入のための単一のまたは多数のノズルを有す
る。銅活性化ケイ素，促進剤および補助剤の連続的また
は間欠的添加の手段も設けられている。気体の反応生成
物、未反応の有機ハライドおよび水素および浄化された
微細粒子を連続的に取り出す手段は、また、設けられて
いる。普通の技術および装置は知られており、そして利
用することができる。実施例１１に示されているよう
に、ＲＳｉＨ_２Ｃｌの合成は固定床の反応器内で優先的
に実施される。

固体粒子を熱気体から分離するための普通の手段（例え
ば、サイクロンおよび／またはフィルター）ならびに分
離されているが、必要に応じて流動床の反応器に接続さ
れている容器内で熱生成物を冷却および凝縮する普通の
手段を利用することができる。流動床の反応器および反
応生成物の分離および回収に関する他の操作の詳細は、
当業者によく知られており、こうして、ここで詳しく説
明しない。

定常状態の操作は、典型的には、直接反応における状態
として定義され、ここで速度および選択性のパメーター
は初期の誘導または不安定な期間後、安定な値を獲得す
る。活性化ケイ素、促進剤および反応性の有機ハライ
ド、またはそれと他の気体との混合物が供給されると、
それらの好ましい速度で、定常状態の条件は非常に長い
時間、例えば、１０パーセントより少ないＳｉ転化から
５０パーセントより多いＳｉの転化まで延長する。

ジ有機ジハロシランは、従来の先行技術のロショウ（Ｒ
ｏｃｈｏｗ）の直接反応の方法の好ましい生成物であ
る。この優越性の定量的測度は重量比、重量％Ｒ_２Ｓｉ
Ｘ_２／重量％ＲＳｉＸ_３、通常Ｄ／Ｔと略し、直接合成
の選択性と呼ばれる、である；本発明の方法によるこれ
らの値をここに報告する。

本発明は有機ハロヒドロシランの好ましい合成に関す
る。結局、反応の選択性の他の定量的測度が要求され
る。これらの性能のパラメーターは、有機ハライドが塩
化メチル（ＭｅＣｌ）の場合について下に定義する。

実施例および表において、表ＭｅＳｉＨは、反応中のメ
チルクロロヒドロシランの全体の含量を意味する。こう
して、 ＭｅＳｉＨ＝（ＭｅＨＳｉＣｌ_２＋Ｍｅ_２ＳｉＨＣｌ＋
ＭｅＳｉＨ_２Ｃｌ） それは重量またはモル百分率で表される。

Ｍｅ_２ＳｉＨＣｌに関するＭｅＨＳｉＣｌ_２について示
された優越性は、モルまたは重量比は、ＭｅＨＳｉＣｌ
_２／Ｍｅ_２ＳｉＨＣｌ、ＭＤ／ＤＭと略す、により示さ
れる。表現、 ＭｅＳｉＨ／Ｄ＝（ＭｅＨＳｉＣｌ_２＋Ｍｅ_２ＳｉＨＣ
ｌ＋ＭｅＳｉＨ_２Ｃｌ）／Ｍｅ_２ＳｉＣｌ_２は、従来の
主要生成物、ジメチルジクロロシラン、に関するＳｉＨ
化合物の全体の選択性を測定する。それは重量比はまた
はモル比のいずれであることもできる。

本発明の直接合成法の全体の速度は、単位時間当たりに
反応した原料の量として、例えば、反応したＳｉのｇ／
反応器内のＳｉのkg／時間、または反応したＳｉのパー
セント／時間、、または反応したＭｅＣｌのｇ／反応器
内のＳｉのｇの／時間として定義される。これらの定義
を本発明において使用する。さらに、本発明の合成に適
切な他の定義、ことに転化した水素の重量または体積ま
たはモル分率（または百分率）／単位時間および生成し
た有機ハロヒドロシランのモルまたは重量量／単位時間
が存在する。有機ハロヒドロシランに対する高い選択性
は、すべての反応生成物を生成する全体のケイ素の転化
速度がＲＳｉＨＸ_２＋Ｒ_２ＳｉＨＸ＋ＲＳｉＨ_２Ｘの形
成の特定の速度の合計より非常に大きくないであろうこ
とを保証する。

本発明の直接合成法に従い、好ましいかつ定義した活性
化ケイ素を利用すると、高い反応速度および高い有機ハ
ロヒドロシランに対する選択性の両者が得られる。気体
反応混合物として塩化メチル−水素の好ましい場合につ
いて、１重量％の転化したＳｉ／時間より大きい本発明
による反応速度および選択性、反応生成物の５０重量％
より大きいＭｅＳｉＨ、ＭＤ／ＤＭ≦５．０、ＭｅＳｉ
Ｈ／Ｄ＞１．０が同時に定常状態で達成される。好まし
くは、定常状態の条件において、本発明による反応速度
は２重量％のＳｉの転化／時間より大きく、ＭｅＳｉＨ
＞７０重量％、ＭＤ／ＤＭ≦３．０およびＭｅＳｉＨ／
Ｄ＞２．０である。これらの定常状態の速度および選択
性は、約２９０〜３３０℃の温度および約４気圧ゲージ
までの圧力において達成することができる。

しかしながら、より重要なことには、本発明はメチルク
ロロヒドロシランの本発明の直接合成の速度および選択
性のパラメーターの制御を教示する。パラメーターの値
は、活性化ケイ素の微量金属の含量ならびに注入した特
定のクロロシランまたはメチルクロロシランに依存す
る。この柔軟性は下の実施例において完全に例示され
る。

前述のように、従来の先行技術の方法の主要な生成物
は、有機ハライドとして塩化メチルを使用するとき、Ｈ
ＳｉＣｌ_３、Ｍｅ_２ＳｉＨＣｌ、ＭｅＨＳｉＣｌ_２、Ｍ
ｅ_３ＳｉＣｌ、ＳｉＣｌ_４、ＭｅＳｉＣｌ_３、Ｍｅ_２Ｓ
ｉＣｌ_２、Ｍｅ_ｘＳｉ_２Ｃｌ_６−ｘ（０＜ｘ≦６、ｘは
整数である）、種々のメチルクロロシランメタン、メチ
ルクロロジシロキサン、およびメチルクロロトリシラン
である。このリストにおいて、Ｍｅ_２ＳｉＣｌ_２以後の
化合物は、すべて、７０℃以上の正常の沸点を有し、そ
して重質物またはより高い沸点の分画からなる。典型的
には、Ｍｅ_２ＳｉＣｌ_２は反応生成物の少なくとも８０
重量％であり、ＭｅＳｉＣｌ_３は１〜５重量％であり、
そしてより高い沸点の分画は１〜６重量％である。

塩化メチルおよび水素の使用による本発明の方法により
形成した化合物は、ＭｅＳｉＨ_２Ｃｌがまた生成する以
外、同一である。本発明の好ましい化合物はＭｅＳｉＨ
_２Ｃｌ、Ｍｅ_２ＳｉＨＣｌ、およびＭｅＨＳｉＣｌ_２で
ある。本発明に関すると、これらの化合物の全体の含量
は少なくとも５０重量％、好ましくは少なくとも７０重
量％である。ＭｅＳｉＨ_２Ｃｌは少なくとも１重量％で
あり、Ｍｅ_２ＳｉＨＣｌは少なくとも１０重量％であ
り、好ましくは少なくとも２０重量％であり、ＭｅＨＳ
ｉＣｌ_２は少なくとも４０重量％であり、好ましくは少
なくとも５０重量％である。これらの有機ハロヒドロシ
ランを直接このような高い選択性で合成できるというこ
とは、完全に予期されずかつ予測されなかった。

本発明を使用することにより、副生物のあるものの典型
的なレベルは次の通りである：ＭｅＳｉＣｌ_３は最大２
０重量％であり、Ｍｅ_２ＳｉＣｌ_２は２０〜５０重量％
の範囲であり、Ｍｅ_３ＳｉＣｌは少なくとも１．０重量
％であり、そして高沸点の分画は最大１．０重量％であ
る。事実、本発明の直接合成の方法は、一般に、高沸点
の分画を検出不可能な（すなわち、ガスクロマトグラフ
ィーにより＜０．０５重量％）のレベルに減少すること
ができる。

以下の実施例により、本発明をさらに説明する。実施例
において、ある種の触媒およびケイ素の材料を使用し
た；理解を促進するために、これらを表３および４に記
載する。

表３は実施例において使用した銅触媒の分析を要約す
る。

実施例において使用したケイ素は商業的に入手可能な源
から入手し、そしてすべての材料は約１００ミクロン〜
約２０８ミクロンの粒子サイズを有した。表４は実施例
において使用したケイ素材料の微量元素の分析を要約す
る。

実施例において、２つの異なる反応器を使用した。反応
器Ａは大気圧においてのみ使用し、そして反応器Ｂは大
気圧より高い圧力において使用できるために適切な構成
をもっていた。これらを下に説明する。

反応器Ａ これは全体の長さが９１cmであり、内径が３．５cmであ
る、普通のバイコール（Ｖｙｃｏｒ ）流動床の反応器
であった。反応器の基部における焼結ガラスのフリット
は、ケイ素または活性化ケイ素の粒子を支持しそして、
反応気体（すなわち、有機ハライド−水素混合物）が床
に入るとき、それを分散する。バイコールの溜は、窒素
と通気し、反応器にその基部付近にフリットの真上に取
り付けられていて、反応器への触媒、促進剤の間欠的添
加および／またはケイ素または活性化ケイ素の添加を可
能とする。溜と反応器との接合は、通常、弁により閉じ
られている。２つの熱電対は反応器の上部を通してケイ
素または活性化ケイ素の粒子の床中に垂直に配置されて
いる。一方の熱電対はディジタル温度計の接続されてい
る。他方はヒーター／コントローラー装置へのフィード
バック信号を提供する。電気加熱線およびガラス繊維の
断熱材は、反応器の全長に沿って巻き付けられている。
２本の加熱線はヒーター／コントローラー装置に接続さ
れている。その上部において、反応器は凝縮室にバイコ
ールの側面のアーム、内径２．５cmおよび長さ２０cm、
により接続する。凝縮室は固体の二酸化炭素およびイソ
プロパノールで−６３℃〜−７８℃に保持されている。
反応生成物の凝縮した試料は、通常毎時に、秤量した容
器中に抜き出す。未反応の有機ハライドは２３〜３０℃
において蒸留し、そして残留物はｇｃ、ｇｃ／ｍｓ、お
よび／またはｇｃ／ＦＴＩＲにより分析する。

反応器Ｂ これは長さ１８３cm×内径５．０８cmの炭素鋼の流動床
の反応器であった。焼結金属のフリットはその基部にお
いてケイ素または活性化ケイ素の床を支持し、そして気
体の反応成分をそれが床に入るとき分散する。窒素で通
気する、フランジ付き炭素鋼の溜は、反応器にその基部
付近にフリットの真上に取り付けられていて、反応器へ
の触媒、促進剤の間欠的添加および／またはケイ素また
は活性化ケイ素の添加を可能とする。溜と反応器との接
合は、通常、弁により閉じられている。２つの熱電対は
ケイ素または活性化ケイ素の粒子の床中に位置する。一
方の熱電対はヒーター／コントローラー装置へのフィー
ドバックを提供する。他方はディジタル温度計の接続さ
れている。外側表面を絶縁体と一緒にカバーする電気ヒ
ーターは反応器の全長に沿って配置されている。ヒータ
ーはヒーター／コントローラー装置に接続されている。
反応器の上部におけるゲージは反応器の圧力を測定す
る。反応器の出口は炭素鋼のサイクロンに接続されてお
り、そしてサイクロンは下流を焼結金属のフィルターに
接続する。気体の反応器の流出物からの浄化された固体
の分離はサイクロンおよびフィルターにより達成され
る。凝縮の出口の下流に位置する背圧制御弁は、反応器
Ｂを１００ｐｓｉｇまでの圧力で動作可能とする。サン
プリングおよび分析は、反応器Ａについて説明したよう
にして実施する。

両者の反応器について、気体の有機ハライド、水素およ
び窒素はそれぞれの商用ボンベから共通の反応器の入口
へステンレス鋼の管を通して選ばれる。すべての気体は
別々に処理して微量の酸素（例えば、ＯＸＩＣＬＥＡＲ
を使用する、；Ｌａｂｃｌｅａｒ、カリフォルニア州
オークランド）および湿分（例えば、Ｄｒｉｅｒｉｔｅ
および／またはＬｎｄｅ ４Ａモレキュラーシーブを
使用する）を除去した後、反応器に入れる。液体の補助
剤（例えば、ＣＨ_３ＳｉＣｌ_３）は共通の入口を通して
注射ポンプ、計量ポンプ、または加圧気体（例えば、Ｎ
_２、Ｈ_２または有機ハライド）の流れにより供給する。
共通の入口は補助剤の沸点よりかなり高い温度に加熱し
て、気体の流れ全体が反応器に入るようにする。使用し
た流量計は目盛り定めし、そして逆止め弁を運搬ライン
中に設置して、供給源の不注意の汚染を防止する。実施
例において述べられているすべての気体の流速は、２１
℃および反応の記載する圧力におけるものである。

実施例１ この実施例は、全体のメチルクロロヒドロシラン（Ｍｅ
ＳｉＨ）に対する選択性の亜鉛の悪影響を説明する。実
験１Ａは反応成分に亜鉛を添加しないで実施し、これに
対して実験１Ｂにおいて、亜鉛の含量はＺｎＣＯ_２の添
加により増加した。両者の実験において、２４６．９ｇ
のケイ素、Ｓｉ−１、および３．１ｇのセメント銅触
媒、Ｃ−４を反応器Ａにおいて混合し、そして１／分
の窒素の流速で窒素の流動化の下に３２５℃に加熱し
た。次いで、塩化水素の気体を１／分の流速で反応器
の基部に３０分間流してケイ素を活性化した。１０〜２
０℃の発熱がこの間に観測された。この活性化の間、ケ
イ素の約１〜２重量％がクロロシラン、主としてトリク
ロロシランに転化し、これを取り出し、凝縮し、集め、
そして秤量した。

実験１Ａ ケイ素を活性化する塩化水素の流れを停止すると、４７
２ｍ／分の水素および１，０１３ｍ／分の塩化メチ
ルの混合物（３２容量％の水素）を反応器の床中にフリ
ットを通して導入し、そして反応を３２５℃において８
時間流動化の条件下に続けた。開始において、活性化ケ
イ素の全体の亜鉛の濃度は１５．２ｐｐｍであり、反応
の完結において、それは５ｐｐｍより少なかった。

実験１Ｂ ケイ素を活性化する塩化水素の流れを停止すると、０．
５ｇの炭酸亜鉛を２．８ｇのケイ素、Ｓｉ−１と混合
し、反応器に溜を通して、水素−塩化メチル混合物の導
入の直前に添加した。気体混合物の流れを３２５℃の反
応温度において８時間続けた。反応の開始において、活
性化ケイ素の全体の亜鉛の濃度は１，０４６ｐｐｍであ
り、反応の完結において、それは約７０±２０ｐｐｍで
あった。

両者の実験において、試料を毎時集め、未反応の塩化メ
チルの除去後、ガスクロマトグラフィーにより分析し
た。毎時の試料の平均組成を表５に記載する。データは
次の結論を支持する： （１）初期の活性化ケイ素中の全体の亜鉛濃度の減少
は、約９１．４パーセントのメチルクロロヒドロシラン
（ＤＭ＋ＭＤ）の平均の毎時濃度増加させた；実験１Ｂ
における１５．１重量％から実験１Ａにおける２８．９
パーセントに。

（２）メチルクロロヒドロシランに対する選択性は、活
性化ケイ素が５０ｐｐｍより少ない亜鉛を含有すると
き、より大きかった。

（３）実験１Ｂにおけるより高い亜鉛含量はケイ素のよ
り高い反応速度および実験１Ａと比較して実験１Ｂにお
ける８時間の反応期間にわたるより大きい全重量の全体
の生成物混合物の形成と関連したが、全体のメチルクロ
ロヒドロシランの形成に対する選択性の抑制は実験１Ｂ
において非常に大きかったので、実験１Ａにおいて生成
した３３．７８ｇのメチルクロロヒドロシランの絶対の
合計の重量は実験１Ｂにおいて生成した１７．４８ｇの
それをかなり越えた。

実施例２ この実施例は、メチルクロロヒドロシラン（ＭｅＳｉ
Ｈ）に対する選択性へのスズ含量の影響を説明する。

実験２Ａ、２Ｂ、２Ｃ これらは反応器Ａにおいて実施し、３００ｇのケイ素、
Ｓｉ−５、および表３におけるリストから選択した単一
の銅触媒を使用した。７．５ｇのセメント銅触媒Ｃ−４
を実験２Ａにおいて使用し、７．５ｇの非セメント銅触
媒Ｃ−５を２Ｂにおいて使用し、そして２４ｇの塩化第
一銅触媒Ｃ−１を２Ｃにおいて使用した。ＨＣｌでケイ
素を活性化する手順は実施例１に記載した通りであっ
た。反応は３２５℃において６１５．８ｍ／分のＣＨ
_３Ｃｌおよび６５３．３ｍ／分のＨ_２の混合物（５
１．５容量％のＨ_２）を使用して８時間実施した。反応
生成物のサンプリングおよび分析は、実施例１に記載す
るように毎時に実施した。

実験２Ｄ 実験２Ｄにおいて、反応器Ｂに１４００ｇのケイ素Ｓｉ
−１、７５ｇの塩化第一銅Ｃ−２、および１．５ｇのＳ
ｎＣｌ_２の混合物を供給し、２．６／分の窒素の流速
で１気圧において３３５℃に加熱した。次いで、ＨＣｌ
を２．３／分で１気圧において１時間導入し、その間
温度は３４８℃に上昇した。生成した組成トリクロロシ
ランの重量は３６０．４ｇであった。ＨＣｌの流れを停
止した後、１．８４／分のＣＨ_３Ｃｌおよび１．５６
／分のＨ_２の混合物（４６容量％のＨ_２）を導入し
た。気体の流れは３０ｐｓｉｇおよび２１℃におけるも
のである。反応は３３５℃および３０ｐｓｉｇにおいて
２０時間実施した。３０〜４０℃の発熱が反応の最初の
２時間に起こった。試料を表８に示す間隔で集めた。試
料はガスクロマトグラフィーにより分析した。

４回の実験の活性化ケイ素の試料中のＣｕ、Ｓｎ、およ
びＺｎの初期濃度を表６に記載する。初期のＺｎ濃度は
すべて５０ｐｐｍより少ないことに注意すべきである。

表７が示すように、初期のＳｎ濃度が２９．３ｐｐｍで
ある、実験２Ａは、メチルクロロヒドラシランに対する
選択性が有意に劣り、そして実験２Ｂにおよび２Ｃの反
応より多くのメチルクロロジシラン（ＨＶＳ）を与え
た。

表８は、実験２Ｄの２０時間の反応の間に周期的に集め
た、累積試料の組成を記載する。データが示すように、
定常状態の速度および組成は２０時間の反応の間に確立
されなかった。活性化ケイ素中の高いＳｎ濃度は、メチ
ルクロロヒドラシランに対する選択性（ＭｅＳｉＨおよ
びＭｅＳｉＨ／Ｄ）を非常に低くし、そしてメチルクロ
ロジシラン（ＨＶＳ）およびメチルトリクロロシラン
（Ｔ）の生成をかなり多くした。

一緒にすると、この実施例の４回の実験が示すように、
活性化ケイ素中のＳｍ濃度が１０ｐｐｍより小さく、か
つＺｎが５０ｐｐｍより小さく、好ましくは２０ｐｐｍ
より小さいとき、生成物混合物中のメチルクロロヒドロ
シランの合計の濃度（ＭｅＳｉＨ）は５０重量％を越
え、そしてＭｅＳｉＨ／Ｄの比は１．０より大きくある
ことができる。

実施例３ この実施例は、活性化ケイ素中の粒子すべてを通して分
布する４０〜１００ｐｐｍのニッケルを含有するケイ素
を使用する、反応速度およびメチルクロロヒドロシラン
（ＭｅＳｉＨ）に対する選択性への利益を説明する。

実験３Ａ、３Ｂ、３Ｂ ３つの異なるケイ素試料（Ｓｉ−１、Ｓｉ−４、Ｓｉ−
５）を、この実施例において要約する３つの別々の実験
において使用した；反応器Ｂをすべての３つの実験に使
用した。実験において使用したケイ素および触媒の量
は、表９に記載する。この表は、また、反応温度、圧
力、および塩化メチルの流速、実験の各々の期間、およ
び最初に活性化ケイ素中に存在するＣｕ、Ｓｎ、Ｚｎ、
およびＮｉの濃度を示す。

レイ素および触媒混合物の活性化は実験２Ｄに記載する
ように気体のＨＣｌを使用して実施したが、ただしＨＣ
ｌの流れ期間は実験３ａにおいて６０分および実験３Ｂ
および３Ｃにおいて３０分であった。

表１０は、実験の各々において得られた粗製の（すなわ
ち、生成物は溶解した塩化メチルをなお含有する）生成
物混合物の合計量、塩化メチルについて調節した生成物
の各々の組成、および合成の速度および選択性のパラメ
ーターを記載する。

データが示すように、活性化ケイ素中の約１０〜１００
ｐｐｍのニッケル濃度は高いメチルクロロヒドロシラン
に対する選択性を与えた。この実施例の３つの実験の各
々において、ＭｅＳｉＨ／Ｄ比は１．０より大きく、そ
してＭｅＳｉＨは５０重量％より大きかった。しかしな
がら、ケイ素粒子の初期のニッケル濃度が１６ｐｐｍよ
り大きい、実験３Ａにおける速度を、初期のニッケル濃
度が、それぞれ、５３ｐｐｍおよび８３ｐｐｍである、
実験３Ｂおよび３Ｃにおける速度と比較すると、示され
るように、速度はやく４０〜１００ｐｐｍのニッケル濃
度においてより高い。さらに、ケイ素試料Ｓｉ−４およ
びＳｉ−５中のニッケル促進剤は触媒的に有効な状態で
存在しなくてはならない。

実施例４ この実施例は、本来低いまたは不活性のニッケル含量を
もつケイ素試料（これによりメチルクロロヒドロシラ
ン、ＭｅＳｉＨの直接合成における反応性入る低い）
が、ニッケル粉末を添加して、活性化ケイ素内に有効ニ
ッケル濃度を維持することによって、促進されてより早
い持続速度で反応できることを示す。この試料は、ま
た、反応生成物の組成へのニッケル添加の効果を例示す
る。

この実施例の３つの実験は、反応器Ｂにおいて、別々に
実施した。

実験４Ａ ケイ素試料Ｓｉ−１をこの実施例において使用した。実
験３Ａ（表９および１０）において、このケイ素は本来
低いレベルのニッケルを含有することを示した。

９００ｇのケイ素Ｓｉ−１、および４５．１ｇの塩化第
一銅触媒Ｃ−６の混合物を窒素の流動化の下に３３０℃
に加熱し、次いで、実験２Ｄを記載するように、２．３
／分の気体のＨＣｌで３０分間活性化した。活性化の
間、９．０ｇのニッケル粉末（１ミクロンの粒子サイ
ズ、マサシュセッツ州、Ａｌｈｐａ Ｉｎｏｒｇａｎｉ
ｃｓ，Ｉｎｃ．；ロットNo.１００６７５）を反応器に
添加した。ＨＣｌの流れの停止後、２．２／分の水素
を３０分間使用して、活性化ケイ素からクロロシラン脱
着した。

反応のため、ＣＨ_３ＣｌおよびＨ_２の両者を１．２５
／分に設定し、反応の圧力を３０ｐｓｉｇに設定し、そ
して温度を２８０℃に設定した。次いで、反応温度を３
１０℃に増加し、そして反応を前述の条件下に続けた。
２時間後、９ｇのニッケルおよび３０ｇのＳｉ−１の混
合物を再び溜を通して反応器中に供給し、そして反応の
性能をさらに５時間監視した。

表１１は、実験の間に取った毎時の試料についての速度
および選択性のパラメーターを記載する。データが示す
ように、Ｓｉ−１および外部から誘導したニッケルを使
用して構成した活性化した塊の初期の反応速度（０．７
７％のＳｉ／時間）は、実験４Ａにおいて３５℃だけ温
度が低いにもかかわらず、実験３Ａにおいて観測された
ものより高かった。データは、また、示すように、この
最初に高い速度はそれ以上のニッケルの添加の不存在下
に非常に低いレベル減少した。６〜７時間の間の速度の
増加は、温度の３１０℃への増加により生じた。第７時
間後に実施した第２回のニッケルの添加（反応器内のケ
イ素に基づいて１重量％に等しい）は、第８時間に１％
のＳｉ／時間に反応速度を増加した。しかしながら、９
〜１２時間の間速度が減少するとき、この速度の増加は
一時的のみであった。結局、外因的に誘導されたニッケ
ルの効果は、添加を頻繁にするか、あるいは連続して、
ニッケルの有効な化学的形態および活性化ケイ素中の有
効なニッケル濃度の両者を維持しない限り、寿命が短
い。

実験４Ｂ この実施例の実験は、実験３Ｃを８時間を越えて続ける
ことによって実施した。６０ｇのケイ素Ｓｉ−４中に
９．１〜９．６ｇのニッケルを、第９時間、第１７時
間、および第２０時間の開始に、添加した。２１時間が
経過するまで、反応は３１０〜３２０℃および３０ｐｓ
ｉｇにおいて、２．１７／分のＣＨ_３Ｃｌおよび２．
１７／分のＨ_２を使用して続けた。その時間の終わり
において、冷却した活性化ケイ素の試料をニッケルの分
析のために採取した。

表１２は、集めた毎時の試料の組成およびそれの関係す
る性能のパラメーター（すなわち、速度、選択性）を記
載する。観察されるように、第９時間および第１７時間
に反応器に９．１ｇのニッケルの添加後、および第２０
時間に９．６ｇのニッケルの添加後、反応速度は実施例
３Ｃにおいて報告したものを越えた値（１．６〜２．６
％のＳｉ／時間）に増加した。しかしながら、速度の増
加の各々は、期間１３−１６時間、２１−２３時間、お
よび２８−２９時間についてのデータにおいて見られる
ように一時的であった。実験が示すように、本来ニッケ
ルが欠乏するケイ素の試料Ｓｉ−１を使用する外因的ニ
ッケルにより生ずる、一時的速度の増加は、また、本来
有効レベルのニッケルを含有するケイ素の試料Ｓｉ−４
を使用して観測された。明らかなように、外因的ニッケ
ルの主な作用は速度の増加である。

反応後の活性化ケイ素のニッケル濃度は、分析により
０．３１８重量％であることが分かった。しかしなが
ら、第２８時間後において、反応速度は１％のＳｉ／時
間より小さく減少した。結局、この結果が示すように、
反応速度の増加を観測するためには、活性化ケイ素中の
ニッケル濃度を０．１重量％より大きくすることは十分
でない。ニッケルは、また、好ましくは、実施例３にお
けるように、最良の結果のためには、活性化ケイ素の粒
子のすべてを通して分布した、触媒的に有効な形態でニ
ッケルは存在しなくてはならない。

実験４Ｃ この実施例の実験は３１０〜３３２、３０ｐｓｉｇにお
いて、１．４２／分のＨ_２および１．４４／分のＣ
Ｈ_３Ｃｌを使用して実施した。活性化ケイ素を９００ｇ
のケイ素Ｓｉ−４、４５．０ｇの塩化第一銅Ｃ−６およ
び０．９ｇのニッケル粉末（１ミクロンの粒子サイズ、
Ａｌｆａ Ｉｎｏｒｇａｎｉｃｓ；ロットNo.１００６
７５）および気体のＨＣｌから３００〜３４３℃におい
て実験２Ｄを記載するようにして調製した。ＨＣｌの活
性化したは３０分間続けた。次いで、水素を２．４／
分、０ｐｓｉｇにおいて導入して、活性化ケイ素の粒子
からクロロシランを脱着した。次いで、水素−塩化メチ
ル混合物を注入した。最初の反応温度は３３０℃であっ
た。

表１３における注を除外して、ケイ素Ｓｉ−４と混合し
たニッケル粉末の毎時の添加を反応器に実施して、触媒
的に活性なニッケルを有効レベルに維持しかつ実験４Ａ
および４Ｂにおいて観測された速度の減少を防止した。
固体の添加量を表１３に報告する。また、表１３に、平
均の毎時の温度、粗製反応生成物の毎時の重量、および
時間の各々の開始における反応器内で計算されるケイ素
の重量を示す。反応は合計２９時間続け、その終わりに
おいて、活性化ケイ素の冷却した試料を分析し、そして
０．２０３重量％のＮｉを含有することが分かった。

表１４は、毎時の試料の組成ならびに試料の各々につい
ての選択性の値を記載する。データが示すように、ニッ
ケル粉末の頻繁な添加は、実験４Ａおよび４Ｂにおいて
観測されたものに比較して、定常なかつ例外的に高い反
応速度に導いた。反応器内に含有される活性化ケイ素の
０．１重量％にニッケルの添加を維持すると、３３０℃
±２℃において３．３４重量％のＳｉ／時間程度に高い
速度が得られた。定常状態の平均は２．６４±０．３４
重量％のＳｉ／時間であった。３２０℃±４℃におい
て、活性化ケイ素の０．０５重量％に等しいニッケルの
添加で、定常状態の速度は１．４０±０．１８重量％の
Ｓｉ／時間であった。活性化ケイ素の０．２４重量％の
ニッケル添加は、３１５℃±４℃において１．２５±
０．０７重量％のＳｉ／時間であった。

反応生成物の組成は、また、ニッケル粉末の添加に応答
した。メチルトリクロロシラン応答したジメチルジクロ
ロシランは、Ｎｉ添加直後の毎時の試料において増加し
た。（参照、表１１、試料８；表１２、試料１７、２
４）。実験４Ｃの２４−２９時間の間に使用したニッケ
ルのより高いレベル（参照、表１３）は、また、実験の
より早い部分に関してその期間におけるメチルトリクロ
ロシランの生成を増加した（参照、表１４）。結局、ニ
ッケルの添加は反応生成物中のメチルクロロヒドロシラ
ンの百分率を減少し、そしてまたＭｅＳｉＨ／Ｄ比を減
少した。（参照、表１１、試料８；表１２、試料１７、
２４）。したがって、速度の利益を獲得し、メチルトリ
クロロシランの生成を最小にし、そしてメチルクロロヒ
ドロシランに対する選択性を所望の限界内に維持するた
めには、ニッケルの添加を調節することが必要である。
ニッケルは連続的にまたは間欠的に反応器内の活性化ケ
イ素の０．０１〜０．２５重量％の値で添加して、これ
らの目的を満足することが好ましい。

実施例５ この実施例は、メチルクロロヒドロシラン（ＭｅＳｉ
Ｈ）に対する選択性が、ニッケル粉末よりはむしろギ酸
ニッケルニッケル促進剤源として使用するとき、低くな
ることを示す。結局、ギ酸ニッケルの使用はより高いメ
チルトリクロロシランを生成する。２つの別々の実験を
この実施例において要約する。両者の実験は反応器Ｂに
おいて実施した。

実験５Ａ ４２．５ｇの塩化第一銅粉末Ｃ−２、および８５０ｇの
Ｓｉ−３の混合物を窒素（２．５／分、１気圧）の流
動化の下に３２０℃に加熱した。次いで、塩化水素気体
（２．５／分、１気圧）を３０分間導入した。集めた
クロロシランの合計量は１０８．６ｇであった。

反応は１．４／分の水素および１．４／分の塩化メ
チルの混合物を使用して３２５±２℃、３０ｐｓｉｇに
おいて実施した。反応の間、ある量のニッケル粉末およ
びケイ素Ｓｉ−３を時間の間隔で添加した。そのように
添加した量を表１５に示す。反応生成物を毎時に集め、
未反応の塩化メチルの蒸発後、ガスクロマトグラフィー
により分析した。反応は２１時間続けた。

表１６は毎時の試料の組成および関連する速度および選
択性の値を記載する。ケイ素の試料Ｓｉ−３および触媒
Ｃ−２から構成した活性化ケイ素は５０容量％の塩化メ
チル−水素に対して３２５〜３３０℃、３０ｐｓｉｇに
おいて、添加したニッケル粉末の不存在下に、未反応性
であったことは、注目するに値する。表１６のデータが
示すように、０．１〜１重量％のニッケル粉末を添加す
ると、毎時の反応生成物中のメチルクロロヒドロシラン
の合計の濃度は５０重量％より大きく、ＭｅＳｉＨ／Ｄ
比は一般に２より大きく、そしてメチルトリクロロシラ
ンの濃度は一般に２０重量％より小さい。実験５Ａにお
ける０．１〜０．２重量％のニッケル粉末の添加（試料
７〜１０、表１６）は、メチルクロロヒドロシランに対
する最高の選択性を与えた。

実験５Ｂ この実施例において使用するための無水ギ酸ニッケル
（Ｎｉ（ＯＯＣＨ）_２）は、ビルクムシャウ（Ｂｉｒｃ
ｕｍｓｈａｗ）およびエドワーズ（Ｅｄｗａｒｄｓ）
（Ｊｏｕｒ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．、ｐ．１８００（１９
５０））に従い、炭酸ニッケルおよびギ酸から調製し
た。脱水は生の沈澱をアセトンで洗浄し、そしてそれを
１６時間真空（１０^−５トル）することによって実施し
た。乾燥した固体の化学分析は３１．６０重量％のＮｉ
を示した。式Ｎｉ（ＯＯＣＨ）_２について計算したニッ
ケルの含量は３１．７７％である。

この実験の活性化ケイ素は、８００ｇのケイ素Ｓｉ−
３、および４０．９ｇの塩化第一銅Ｃ−２の混合物を窒
素（２．５／分、１気圧）の流動化の下に３２５℃に
加熱し、次いで窒素をＨＣｌで置換することによって作
った。ＨＣｌの流れを３０分間続けた。集めたクロロシ
ランの重量は１６０．４ｇであった。

反応は１．４／分の水素および１．４／分の塩化メ
チルの混合物を３２５±２℃、３０ｐｓｉｇにおいて１
３時間実施した。反応器に時間の間隔で添加した、無水
ギ酸ニッケルおよび６５×１５０メッシュのケイ素Ｓｉ
−３の量を、表１５に報告する。上の実施例５を記載す
るように、毎時の試料を集め、そして分析した。

表１７は、毎時の試料の各々の組成、選択性および速度
を記載する。１〜７時間の間、ニッケルの添加は反応器
内に含有されるケイ素の０．１重量％であり、その後、
すなわち、７〜１３時間は０．２重量％であった。デー
タが示すように、表１７のＭｅＳｉＨおよびＭｅＳｉＨ
／Ｄの値は一般に表１６の１〜１０時間のそれより低
い。ギ酸ニッケルの使用は、また、同一の等価重量のニ
ッケル粉末を使用して観測されたものよりも低い（ＣＨ
_３）_２ＳｉＨＣｌ（ＤＭ）および高いＣＨ_３ＳｉＣｌ_３
（Ｔ）を生じた。事実、表１７の毎時の試料中のＣＨ_３
ＳｉＣｌ_３の濃度は一般に２０重量％以上であった。

実施例６ この実施例は、活性化ケイ素中のすべての粒子を通して
分布した約６０ｐｐｍのクロムを含有するケイ素の使用
から得られる、メチルクロロヒドロシランに対する高い
選択性を例示する。

実験６Ａおよび６Ｂ ２つの実験をこの実施例において要約する。両者は反応
器Ｂにおいて実施した。６０ｐｐｍの容積クロム濃度を
含有する、ケイ素の試料Ｓｉ−１を実験６Ａにおいて使
用し、そして７．９ｐｐｍのクロムを含有するＳｉ−４
を使用した。両者の場合において、塩化第一銅触媒Ｃ−
６を使用した。実験６Ａおよび６Ｂに関連する使用した
試薬の量および他の実験条件を表１８を記載する。実験
６Ａおよび６Ｂにおけるケイ素の活性化の手順および実
施は、それぞれ、実験４Ａおよび４Ｂに前に記載するも
のと同一であった。

表１８は、また、２つの実験の間に集めた毎時の試料の
平均の毎時の組成および選択性を記載する。データが示
すように、６０ｐｐｍのＣｒを有するケイ素の試料（実
験６Ａ）は７２．６５重量％のメチルクロロヒドロシラ
ン（ＭｅＳｉＨ）を与え、これに対して７．９ｐｐｍの
Ｃｒを有するもの（実験６Ｂ）は同一反応条件下に５
４．８０重量％（ＭｅＳｉＨ）を与えた。ＭｅＳｉＨ／
Ｄ比は前者の試料について４．５〜５．０であり、そし
て後者について１．７〜２．０であった。しかしなが
ら、より低いＣｒ含量のケイ素試料はジメチルクロロシ
ラン、（ＣＨ_３）_２ＳｉＨＣｌに対してより選択性であ
った。これは実験６Ｂについてより低いＭＤ／ＤＭ値に
おいて反映された。

一般に、少なくとも６０重量％のメチルクロロヒドロシ
ランに対する選択性は、反応を５０／５０容量％の水素
−塩化メチルを使用して実施したとき、３０〜１５００
ｐｐｍのＣｒを含有するケイ素試料を使用して実現され
た。

実施例７ この実施例は、亜鉛と同様に、アンチモンがメチルクロ
ロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）の選択的合成を阻害する
ことを示す。

反応器Ａに２９０ｇのＳｉ−５を供給し、窒素（１／
分）の流動化の下に３２５℃に加熱した。次いで、同一
速度のＨＣｌで窒素を置換し、そして３０分間維持し
た。温度は３３３℃に増加した。１２ｇの銅触媒Ｃ−
１、および１０ｇのケイ素Ｓｉ−５の混合物を溜から添
加した。ＨＣｌの流れをさらに１５分間続けた。（窒素
（６００ｍ／分）を窒素と置換し、そしてメチルクロ
ロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）の合成を再開した。合計
７２．３ｇのクロロシランをＨＣｌの活性化したから集
めた。

メチルクロロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）の合成の間、
０．５ｇの触媒Ｃ−１＋０．５ｇのケイ素Ｓｉ−５を反
応の塊に２時間毎に溜から添加した、第７時間後、添加
剤を０．１ｇのＳｂＣｌ_３；０．５ｇのケイ素Ｓｉ−５
に変え、そして反応をさらに２時間続けた。反応温度は
実験の間３３０±２℃であった。

表１９は、９つの集めた毎時の試料についての組成およ
び反応のパラメーターを記載する。ＳｂＣｌ_３（反応器
内のケイ素に基づいて３７０ｐｐｍのＳｂＣｌ_３および
１９７．５ｐｐｍのＳｂに等しい）の添加は、メチルク
ロロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）に対する選択性を効果
的に破壊し、そして反応速度を減少させた。ジメチルジ
クロロシラン、メチルトリクロロシランおよびメチルク
ロロジシランの形成は増大した。

使用したアンチモンのレベルは、ジメチルジクロロシラ
ンの形成を促進するために先行技術（米国特許第４，６
５６，３０１号）において教示されている範囲内であ
る。添加したアンチモンの金属または化合物の不存在下
に実施した前の実験と一緒に、この実施例が示すよう
に、活性化ケイ素中のアンチモンの濃度は、メチルクロ
ロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）に対する高い選択性およ
び高い反応速度を同時実現できるようにするためには、
２０ｐｐｍ以下に維持しなくてはならない。

実施例８ この実施例は、直接合成の生成物中のジメチルクロロヒ
ドロシラン（ＣＨ_３）_２ＳｉＨＣｌの含量を、メチルジ
クロロヒドロシラン、ＣＨ_３ＳｉＨＣｌ_２のそれに関し
て、高い純度のＣａＳｉ_２を活性化ケイ素に添加するこ
とによって増加することができることを示す。

２つの実験をこの実施例において要約する。両者は反応
器Ａにおいて、実施例１Ａに記載する手順に従い、３０
０ｇのケイ素Ｓｉ−１、および２５℃の触媒Ｃ−２を使
用して実施した。各場合において、反応は３２９±２℃
において、カルシウムケイ化物の添加前に、ＣＨ_３Ｃｌ
（５２８ｍ／分）およびＨ_２（５４８ｍ／分）の混
合物を使用して５時間実施した。

実験８Ａ ９９．５％の承認された純度のＣａＳｉ_２（Ｃｅｒａ
ｃ，ｉｎｃ．）をＸ線回折により分析し、そして９９±
１重量％であることが分かった。この試料は、また、
０．１重量％のＡｌおよび０．０８重量％のＦｅを含有
した。２０ｇのこの粉末（−２００メッシュの粒子サイ
ズ）を１０ｇの触媒Ｃ−２と混合し、そして第６時間の
開始に反応器に添加した。ＣａＳｉ_２の添加量は反応器
内のケイ素の７．５重量％となった。反応をさらに３時
間５０．９容量％のＨ_２−ＣＨ_３Ｃｌ混合物を使用して
続けた。累積試料の分析は表１９に示す。

実験８Ｂ ＣａＳｉ_２（商用銘柄、Ｅｌｋｅｍ Ｍｅｔａｌｓ Ｃ
ｏ．）をＸ線回折および重量分析により６８±４重量％
であると分析された。この試料は、また、１．９重量％
のＡｌおよび２．０重量％のＦｅを含有した。２０重量
のこの粉末＋１３ｇの触媒Ｃ−２を反応器に第６時間の
開始に添加した。その時間にＣａＳｉ_２の添加量は反応
器内のケイ素の８．０５重量％となった。反応をさらに
５時間５０．９容量％のＨ_２−ＣＨ_３Ｃｌ混合物を使用
して続けた。累積試料の分析は表１９に示す。

表１９は、また、カルシウムケイ化物の添加前に、実験
８Ａおよび８Ｂにおいて集めた１０の毎時の対照試料の
平均組成を示す。データが示すように、７〜８重量％の
高い純度のＣａＳｉ_２は２０．１重量％の（ＣＨ_３）_２
ＳｉＨＣｌ、すなわち、対照よりの約４０％の増加を与
えた。対照的に、より低い純度のＣａＳｉ_２は９．５５
重量％の（ＣＨ_３）_２ＳｉＨＣｌ、ほぼ対照に関して４
８％の減少を与えた。さらに、ＣＨ_３ＳｉＨＣｌ_２に関
する（ＣＨ_３）_２ＳｉＨＣｌの形成は対照に比較して増
加し、そしてＭＤ／ＤＭ比は減少する。この実施例が、
また、示すように、反応への添加剤の添加は、好ましく
は、メチルクロロヒドロシランに対する選択性を減少す
る元素（例えば、Ａｌ、Ｆｅ）を実質的に含んではなら
ない。

実施例９ この実施例は、塩化メチル−水素混合物の水素の含量
が、大気圧において、メチルクロロシランの直接合成の
選択性および速度のパラメーターへおよぼす作用を明ら
かにする。

実験９Ａ〜９Ｋ １１の実験をこの実施例において要約する。各々は反応
器Ａにおいて、表２０に記載する量のケイ素および銅触
媒を使用して実施した。実験１ＡのＨＣｌ活性化手順を
使用した。表２０は、また、塩化メチルおよび水素の流
速および反応のパラメーターのデータを表す。実験の間
の平均の反応温度は３２８±３℃であった。

実験９Ａ〜９Ｈは、＜２３ｐｐｍのスズ、＜２ｐｐｍの
亜鉛、および５０ｐｐｍのニッケルを含有する活性化ケ
イ素を使用して実施した。水素の含量の増加は、メチル
クロロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）に対する選択性を増
加させた。事実、重量％のＭｅＳｉＨ対容量％のＨ_２の
プロットはＳ字形であり、急速なＭｅＳｉＨの増加の領
域は４０〜６０容量％のＨ_２であった。これらの条件下
に実施した反応は不安定な反応の性能を示すように思わ
れる。なぜなら、水素の含量の小さい変化は生成物の組
成の大きい変化を生ずるからである。６０容量％より大
きい水素の含量はより安定な選択性の値を与えるが、水
素の相対的モル転化は水素の流れの増加とともに減少し
た。さらに、反応速度の鋭い減少は５０容量％以上の水
素において起こった。ほぼ５０容量％のＨ_２（実験９Ｃ
および９Ｄ）において、塩化メチルの転化は約１１モル
％であり、そして水素の転化は約２モル％であった。

実験９Ｉ〜９Ｋにおける活性化ケイ素の各々は、１８ｐ
ｐｍのＮｉ、１５ｐｐｍのＳｎ、および１５ｐｐｍのＺ
ｎを含有した。表２０が示すように、水素の含量はこの
活性化した塊を使用する直接合成の速度に本質的に影響
を及ぼさず、そしてメチルクロロヒドロシラン（ＭｅＳ
ｉＨ）の変化は４８〜６４容量％のＨ_２の間で起こらな
かった。しかしながら、メチルクロロヒドロシランに対
する選択性実験９Ａ〜９Ｈにおけるより低かった。スズ
の望ましくないレベルの存在は、（ＣＨ_３）_２ＳｉＨＣ
ｌの形成に主要なマイナスの作用を及ぼした。

実施例１０ この実施例は、大気圧（０ｐｓｉｇ）において４０〜６
０容量％のＨ_２を使用するとき起こり得る、メチルクロ
ロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）の生成における不安定な
反応の性能は、大気圧より高い圧力において反応を実施
することによって回避することができることを示す。

実験１０Ａ〜１０Ｆ ６つの実験は、すべて反応器Ｂにおいて実施し、この実
施例において要約する。実験は、触媒的に有効な形態
で、＜２ｐｐｍのスズ、＜１５ｐｐｍのＺｎ、および少
なくとも８０ｐｐｍのニッケルを含有する活性化ケイ素
を使用して実施した。ＨＣｌの活性化手順は実験２Ｄに
記載したものであった。塩素メチルおよび水素の流速
は、表２１に実験の数値の結果とともに記載する。平均
の反応温度は、実験１０Ａ、１０Ｂおよび１０Ｃにおい
て３２５±３℃であり、そして１０Ｄ、１０Ｅおよび１
０Ｆにおいて３２９±２℃であった。圧力は３１±１ｐ
ｓｉｇに保持した。

表２１のデータが示すように、より高い反応速度は０ｐ
ｓｉｇ（実験９Ａ〜９Ｈ）におけるより３０ｐｓｉｇに
おいて実現され、そして再現性ある結果は５０〜７２容
量％のＨ_２をを使用して大気圧より高い圧力において得
ることができる。気体供給物中の水素の含量を増加する
ときの速度の増加は、大気圧におけるより３０〜６０ｐ
ｓｉｇにおいて劇的ではない。実験１０Ｂ（６２容量％
のＨ_２）において、塩化メチルの転化は２８モル％であ
り、そして水素の転化は２．８モル％であった。これら
の値はより低い水素の分圧において増加したので、５０
容量％のＨ_２（実験１０Ｄ）において、それらは、それ
ぞれ、３３モル％および４．５モル％であった。結局、
ケイ素、塩化メチルおよび水素のより効率よい利用は１
気圧絶対（０ｐｓｉｇ）以上において起こる。

実施例１１ この実施例は、ＣＨ_３ＳｉＨ_２Ｃｌ（ＤＨ）を含有する
メチルクロロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）の直接合成を
説明する。

実験１１Ａ〜１１Ｇ この実施例のすべての７つの実験は、反応器Ｂにおい
て、活性化ケイ素の粒子の床を流動化するために要求さ
れるより低い気体の流速を使用して実施した。実験（１
１Ａ〜１１Ｇ）の各々について、活性化した塊は炉内で
９８０℃において、表２２に示す量のケイ素および銅触
媒から調製した。しかしながら、塩化メチルおよび水素
との反応の直前に、塊をＨＣｌで３００℃において反応
器Ｂ内でエッチングした。形成したクロロシランをメチ
ルクロロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）と別々に集め、そ
して秤量した。表２２は、塩化メチルおよび水素の流
速、反応の温度および圧力、実験の各々の期間および反
応生成物の組成を記載する。

比較のため、米国特許第３，４４５，２００号（１９６
９年５月２０日発行、Ｄｕｎｏｇｕｅｓら）に記載され
ているようにして、ＣＨ_３ＳｉＨＣｌ_２（ＭＤ）をヘキ
サメチルホスホルアミド（ＨＭＰＡ）とともに不均化す
ることによってＣＨ_３ＳｉＨ_２Ｃｌ（ＤＨ）を調製し、
そして生成物をＧＣ、ＧＣ／Ｍａ、および２９Ｓｉ Ｎ
ＭＲにより特徴づけた。ＧＣ／ＭＳは親のピークをｍ／
ｅ ８０に、基準のピークをｍ／ｅ ７９（１つのＨの
損失）に、および次の追加の断片を示した：ｍ／ｅ ７
８（Ｈ原子の損失）、ｍ／ｅ ６５（ＣＨ_３の損失）お
よびｍ／ｅ ４５（Ｃｌの損失）。２９ Ｓｉ ＮＭＲ
の共鳴は、−１０．８０ｐｐｍ（テトラメチルシランに
関して）において観測された。

表２２のデータが示すように、ＣＨ_３ＳｉＨ_２Ｃｌ
_２（ＤＨ）は０〜５０ｐｓｉｇおよび３００〜３５０℃
において固定床の反応器において観測された。実験１０
Ａ、１０Ｃ、１０Ｆ、および１０Ｇにおいて、ＣＨ_３Ｓ
ｉＨ_２Ｃｌ（ＤＨ）の存在は毛管ＧＣ／ＭＳおよび充填
したカラムのＧＣにおける塩化メチルのピークの下がる
へりにおける不完全に分解される肩の観測によって確立
された。充填したカラムのＧＣによる定量的分析を可能
とするためには、これらの実施例におけるＣＨ_３Ｃｌか
らのＣＨ_３ＳｉＨ_２Ｃｌ（ＤＨ）の分解能は不十分であ
った。ＧＣ／ＦＴＩＲを、また、使用して、充填カラム
のＧＣにおいて塩化メチルと同時に溶離する成分はほぼ
２２００cm^-1、９６０cm^-1、９１０cm^-1、６８０cm^-1お
よび５１０cm^-1においてＳｉＨの振動を有することが示
された。

実施例１２ この実施例は、メチルクロロヒドロシラン（ＭｅＳｉ
Ｈ）の直接合成の速度へのメチルクロロシラン（Ｍ、
Ｔ、Ｄ）の作用を増強することを説明する。この実施例
の実験は合計５１時間、９日間にわたって、実施し、そ
の間、（ＣＨ_３）_２ＳｉＣｌ_２（Ｄ］、ＣＨ_３ＳｉＣｌ
_３（Ｔ）、（ＣＨ_３）_３ＳｉＣｌ（Ｍ）およびそれらの
混合物のある量を活性化ケイ素の粒子の流動床中に間欠
的に注入した。

２５０ｇのケイ素Ｓｉ−６、および１２．５ｇの触媒Ｃ
−６の混合物を反応器Ａに供給した。追加の触媒または
触媒を反応器に実験の間に添加しなかった。この混合物
をアルゴン（１／分）の流動化下に３５０℃に加熱し
た。しばらくして、（ＣＨ_３）_２ＳｉＣｌ_２（Ｄ）を含
有しかつ注射器ポンプに取り付けられた注射器を、反応
器の入口管に漏れないステンレス鋼のＬｕｅｒｌｏｋ
取付を使用して取り付けた。取り付けの点は反応器の基
部の支持フリットから１０．１６cm（４インチ）離れた
ところであった。この点は、また、塩化メチルおよび水
素の入口より下流であって、流動床中へのメチルクロロ
シラン蒸気の最大の輸送を保証した。反応器の入口管を
電気的に加熱し、そして断熱材で完全に包装して。メチ
ルクロロシランの蒸発を急速にかつ完全にした。インラ
インの熱電対は蒸気の温度を記録した。反応器の温度が
３５０℃に、そして入口の温度が１１０℃到達したと
き、水素（１／分）とアルゴンを置換し、そして（Ｃ
Ｈ_３）_２ＳｉＣｌ_２（Ｄ）の注入を開始した。保証時間
において、合計１３．５ｇの（ＣＨ_３）_２ＳｉＣｌ
_２（Ｄ）を注射器ポンプにより供給した。反応器から出
る（ＣＨ_３）_２ＳｉＣｌ_２（Ｄ）の蒸気をドライアイス
／イソプロパノール冷却剤で凝縮した。しかしながら、
多少の（ＣＨ_３）_２ＳｉＣｌ_２（Ｄ）がコンデンサーか
ら水素と一緒に逃げることが視的に観察された。

メチルクロロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）の直接合成
は、反応温度が３３０℃に到達し、そして気体の流れが
６１５ｍ／分のＣＨ_３Ｃｌおよび５００ｍ／分のＨ
_２に変化した後、開始した。試料を毎時に集め（２３−
２４時間を除外する）、そして過剰の塩化メチルを蒸発
させた後、ＧＣにより分析した。床の温度は全体の実験
の間３３０〜３３２℃に維持した。

実験の間および添加の間に注入した（ＣＨ_３）_２ＳｉＣ
ｌ_２（Ｄ）、ＣＨ_３ＳｉＣｌ_３（Ｔ）および（ＣＨ_３）
_２ＳｉＨＣｌ（Ｍ）の量を表２３に記載する。混合物を
使用するとき（１５−１８時間、２３−２４時間、２９
−３２時間、３５時間、４０時間、４３時間）、表はま
た混合物の組成を示す。例えば、１５−１８時間の期
間、注入した混合物は８６．４重量％の（ＣＨ_３）_２Ｓ
ｉＣｌ_２（Ｄ）および１３．６重量％のＣＨ_３ＳｉＣｌ
_３（Ｔ）を含有した。

表２３は、また、定量的ＧＣ分析から計算した毎時の試
料の構成成分の絶対重量を記載する。この表において、
試料の重量は、サンプリングの各々の間において回収さ
れた、メチルクロロシラン（Ｍ、Ｔ、Ｄ）、メチルクロ
ロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）、トリクロロシラン（Ｔ
Ｃ）および未反応の塩化メチルの合計の量を意味する。

表２４は、毎時の試料の百分率組成および性能のパラメ
ーターを記載する。生成物の重量は、直接合成の間に実
際につくられたメチルクロロシラン（Ｍ、Ｔ、Ｄ）、メ
チルクロロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）、トリクロロシ
ラン（ＴＣ）の重量である。それは、塩化メチルの重量
および注入された化合物の各々の重量を試料の重量から
引くことによって計算した。表２４における値の計算に
おいて、次の関係が試料中の成分の各々に適用されると
考えた。

回収された量＝注入した量＋反応器において形成した量
−（床中に吸着された量＋床において反応した量＋蒸発
により損失した量） 吸着、反応、および蒸発による損失は、注入を実施しな
いときでさえ、起こった。別々の対照実験において注入
から回収されるメチルクロロシランのＧＣおよびＧＣ／
ＭＳの分析は、注入したメチルクロロシランの化学的転
移（ｔｒａｓｆｏｒｍａｔｉｏｎ）の検出可能な証拠を
示さなかった。したがって、計算において、損失はほぼ
一定でありかつ無視できると推定した。回収されたもの
と添加したものとの間の差は、直接合成において形成し
たもののそれである。試料において回収された特定の化
合物の重量が注入した量より少ないとき、不足は前方に
送られ、正味の形成が実現されるまで、引き続く試料か
ら減じた。Ｄ、Ｍ、およびＴについて表２４にはいるブ
ランクは、欠乏が存在する場合についてである。

表２３および２４に表すデータが示すように、メチルク
ロロシランの添加（５−８時間、１５−１８時間、２３
−２４時間、３０−３３時間、３６時間、４１時間、４
４時間）の間、導入した化合物の形成は抑制され、そし
てケイ素の全体の転化は減少した。また、生成物中のメ
チルクロロヒドロシラン（ＤＭ、ＭＤ、ＭｅＳｉＨ）の
百分率の増加が存在したが、形成したこれらの化合物の
絶対量は減少した。３０−３３時間の間、Ｄ＋Ｔの注入
は各時間の最初の３０分に限定した。その場合におい
て、添加の間の毎時の速度の減少は明らかでなく、そし
てすべての生成物の正味の形成が存在した。添加の最大
速度は、実験の全体の間、０．１〜０．１５ｇであっ
た。

ＤおよびＴ（１５−１８時間、２３−２４時間、３０−
３０時間）またはＭおよびＴ（３６時間、４１時間、４
４時間）の混合物は、注入前の値の２〜５倍である、注
入後の速度の増加を与えた。メチルクロロヒドロシラン
（ＭｅＳｉＨ）の製造のための本発明の直接合成法によ
り０ｐｓｉｇにおいて、この実験で達成された高い速度
（３５時間において３．０７％のＳｉの転化／時間ま
で）は、先行技術において前例がない。表２３が示すよ
うに、増加した生成物のための形成は前に注入した化合
物に適用されないが、メチルクロロシランおよびメチル
クロロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）のすべてに適用され
る。しかしながら、（ＣＨ_３）_２ＳｉＨＣｌ（ＤＭ）お
よびＣＨ_３ＳｉＨＣｌ_２（ＭＤ）は添加後減少すること
に注意すべきである（表２４）。したがって、ＭｅＳｉ
Ｈ／Ｄは１より小さいことがある。

また、データが示すように、ＭＤ／ＤＭ比は反応器に注
入されるメチルクロロシラン化合物の選択により制御す
ることができる。この比は、一般に、ＤまたはＭ＋Ｔの
添加後＞２であるが、Ｄ＋Ｔの添加後＜２であった。

実施例１３ この実施例は、（ＣＨ_３）_３ＳｉＣｌ（Ｍ）および／ま
たはＣＨ_３ＳｉＣｌ_３（Ｔ）を＞０．１ｇ／分の速度
で、本発明のメチルクロロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）
の流動床の直接合成に注入することにより得られる利益
を明らかにする。

特記しない限り、この実施例の２つの別々の実験は実施
例１２に記載する方法で反応器Ａにおいて実施した。実
験１３ａにおけるメチルクロロシランの注入速度の範囲
は、０．２〜０．９ｇ／分であった。反応温度は３３１
±２℃であった。実験１３Ｂにおいて、添加速度はほぼ
２ｇ／分であり、そして反応温度は３５５±２℃に保持
した。

実験１３Ａ ２５０ｇのケイ素Ｓｉ−６、および１２．８３ｇ／触媒
Ｃ−６を反応器に供給し、そしてアルゴン（１／分）
の流動化下に３５０℃に加熱した。次いで、ＣＨ_３Ｃｌ
（６１５ｍ／分）およびＨ_２（５０８ｍ／分）をア
ルゴンと置換した。同時に、ＣＨ_３ＳｉＣｌ_３（Ｔ）を
注射器ポンプから供給し、そして１００℃に保持された
反応器の入口ライン内で蒸発させた。合計１５．３ｇの
ＣＨ_３ＳｉＣｌ_３（Ｔ）を次の１時間で０．２６ｇ／分
の平均速度で注入した。３７０℃までの発熱は、注入の
間に起こり、３０分間続いた。最初の毎時の試料をコン
デンサーから取り出した後、反応器の温度を３３０℃に
減少した。この温度（±２℃）を実験の残りの３２時間
の間維持した。

表２５は、実験の間および添加の間の他の時間に注入さ
れた、ＣＨ_３ＳｉＣｌ_３（Ｔ）および（ＣＨ_３）_３Ｓｉ
Ｃｌ（Ｍ）の量を記載する。試料中に存在する化合物の
各々の絶対重量を、また、表２５に報告する。毎時の生
成物混合物の組成および性能のパラメーターを表２６に
要約する。

実験３８Ｂ ２５０ｇのケイ素Ｓｉ−６、および１２．８ｇの触媒Ｃ
−６を、反応器Ａにおいてアルゴンとともに、実施例１
２におけるように、３５０℃に加熱した。反応の前に、
床を３５０℃において４８時間流動化した。ＣＨ_３Ｃｌ
（６１５ｍ／分）、Ｈ_２（５０８ｍ／分）およびＣ
Ｈ_３ＳｉＣｌ_３（Ｔ）の注入をすべて同時に開始した。
１９．９０ｇのＣＨ_３ＳｉＣｌ_３（Ｔ）を、１０分の注
入期間の間、加熱した反応器入口（１２８℃）中に送っ
た。注入の間および直後における入口ライン中の可視の
液体の不存在は、ＣＨ_３ＳｉＣｌ_３（Ｔ）の急速な蒸発
および移送を実証した。反応器の温度は最初に３５３℃
であった。発熱はこの実験において観測されなかった。

１０分間のＣＨ_３ＳｉＣｌ_３（Ｔ）、２０．２１ｇの第
２パルスを、第２時間の間に適用した。表２７および２
８は、この実験の１０時間の間のデータを記載する。

表２５−２８のデータが示すように、＞１％のＳｉの転
化／時間の直接合成の速度および有利な選択性（ＭｅＳ
ｉＨ＞５０重量％、ＭｅＳｉＨ／Ｄ＞１）は、メチルク
ロロシランの注入を３０分以内に、好ましくは２０分以
内に完結するとき、実現された。実施例１２の結果を一
緒にすると、また、これらのデータが示すように、添加
剤として（ＣＨ_３）_３ＳｉＣｌ（Ｍ）および／またはＣ
Ｈ_３ＳｉＣｌ_３（Ｔ）を使用することは、全体の反応の
性能にとって有益である。混合物において、（ＣＨ_３）
_３ＳｉＣｌ（Ｍ）の含量は０．００１重量％程度に低く
あることができるが、好ましくは１０〜３０重量％であ
る。そのうえ、ＣＨ_３ＳｉＣｌ_３（Ｔ）を使用すると
き、頻繁な間隔で（実験室の研究において１〜１０時
間）添加を反復して、経済的に価値に劣る生成物のＣＨ
_３ＳｉＣｌ_３（Ｔ）の形成を１０重量％以下に抑制する
ことは、より高い価値の生成物の形成に有利である。

この実施例において使用したメチルクロロシランの添加
の速度は、０．２５ｇ／分〜２．０２ｇ／分の範囲であ
った。より高い速度は商業的規模の実施のために望まし
い。事実、反応器からケイ素のすべてを完全に浄化する
までの気体の流れに対応する、添加の速度は有益であ
る。しかしながら、これらよりかなり低い添加の速度を
用いることが好ましい。この実施例の実験において使用
した塩化メチルの流速およびケイ素の重量に基づいて、
注入期間の間、メチルクロロシラン（Ｍ、Ｔ、Ｄ）の添
加量は塩化メチルの重量の０．２〜２．０倍であるか、
あるいは反応器内のケイ素の重量の０．００１〜０．１
倍であると、計算することができる。

実施例１４ この実施例は、メチルクロロシラン補助剤の効力のある
作用は、塩化メチル−水素混合物を使用して実現される
が、塩化メチル単独では実現されないことを明らかにす
る。

この実施例の実験は、２５０ｇのケイ素Ｓｉ−６、およ
び１３．５ｇの触媒Ｃ−６を使用して、実施例１２に記
載するようにして実施した。最初の１９時間の間に、直
接合成は塩化メチル（１／分）を使用し、そして（Ｃ
Ｈ_３）_３ＳｉＣｌ（Ｍ）（１、８、１０時間）および
（ＣＨ_３）_２ＳｉＣｌ_２（Ｄ）（１６時間）を間欠的に
注入して実施した。次の１２時間の間、Ｈ_２（５０８ｍ
／分）およびＣＨ_３Ｃｌ（６１５ｍ／分）を使用
し、かつ（ＣＨ_３）_２ＳｉＣｌ_２（Ｄ）（２１、２６時
間）およびＣＨ_３ＳｉＣｌ_３（Ｔ）（３６、４３時間）
を注入した。最後の１時間は、再び、塩化メチル（１
／分）単独を使用して実施した。注入したメチルクロロ
シランの量および注入の期間を表２９に記載する。

表２９〜３０が示すように、塩化メチル単独（１〜１９
時間）では、メチルクロロシランおよびメチルクロロヒ
ドロシラン（ＭｅＳｉＨ）の直接合成は、反応器に１〜
１．５ｇ／分のパルス速度で（ＣＨ_３）_３ＳｉＣｌ
（Ｍ）および（ＣＨ_３）_２ＳｉＣｌ_２（Ｄ）を添加した
にもかかわらず、非常に劣って進行した（速度＜０．５
％／時間）。第１２時間に４５容量％のＨ_２−５５容量
％のＣＨ_３Ｃｌの導入および（ＣＨ_３）_２ＳｉＣｌ
_２（Ｄ）（１．４４ｇ／分）の注入は、すべての生成物
の形成を増加した。この改良された性能は、さらに（Ｃ
Ｈ_３）_２ＳｉＣｌ_２（Ｄ）（２５時間）およびＣＨ_３Ｓ
ｉＣｌ_３（３３、４１時間）の添加で、塩化メチルおよ
び水素の混合物が反応成分であるかぎり（４５時間ま
で）持続した。１．０／分で塩化メチル単独を再導入
する（４６−４９時間）と、最初の１９時間の間で観測
された低い速度に戻った。この実施例において、塩化メ
チル単独を使用する直接合成を、（ＣＨ_３）_２ＳｉＣｌ
_２（Ｄ）に対する高い選択性およびその高い形成速度に
好適である亜鉛およびスズの促進剤を使用しないで、実
施した。実施例１および実施例２において、これらの促
進剤はメチルクロロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）の形成
に好適ではないことが示された。先行技術が教示するよ
うに、塩化メチルを使用する直接合成において、反応速
度は塩化メチルの分圧に直接比例する［デクッカー（Ｄ
ｅＣｏｏｋｅｒ）、Ｐｈ．Ｄ Ｄｉｓｓ．ｌｏｃ．ｃｉ
ｔ．ｐｐ．６４−７３；サドウスキ（Ｓａｄｏｗｓｋ
ｉ）ら、Ｚ．Ａｎａｒｇ．Ａｌｌｑ．Ｃｈｅｍ．、Ｖｏ
ｌ．４４３、ｐ．１８９（１９７８）；ゴルブノフ（Ｇ
ｏｒｂｕｎｏｖ）ら、Ｒｕｓｓ．Ｃｈｅｍ．Ｒｅｖ．、
Ｖｏｌ．４３、ｐ．２９１（１９７４）］。メチルクロ
ロヒドロシラン（ＭｅＳｉＨ）の直接合成のこの実施例
において例示したように、より低い塩化メチルの分圧を
使用してより高い反応速度が観測されたことは、先行技
術において前例を見ない。

本発明の主な特徴および態様は、次の通りである。

１、一般式： Ｒ_ａＨ_ｂＳｉＸ_ｃ （Ｉ） の有機ハロヒドロシランを、活性化ケイ素を一般式： ＲＸ の有機ハライドおよび水素の混合物と触媒量の触媒と接
触させて高温において反応させて、選択的に製造するこ
とからなり、式中、 Ｒは約２０個までの炭素原子を有するヒドロカルビル基
であり、 Ｘはハロゲン原子であり、そして ａ、ｂおよびｃは１または２の整数であり、ただしａ＋
ｂ＋ｃの合計は４であり、ここで活性化ケイ素の床中の
次の金属原子の濃度は、次の通りである： （ｉ）Ｚｎ、ＳｂおよびＣｄは、個々にまたは合計、ケ
イ素の０．０５重量％より少なく、 （ii）Ｓｎはケイ素の０．０１重量％より少なく、 （iii）Ｎｉはケイ素の約０．００１〜約０．０２重量
％であり、 （iv）Ｃｒはケイ素の約０．００１〜約０．０６重量％
であり、そして （ｖ）Ｃｕはケイ素の１０重量％までである、ことを特
徴とする有機ハロヒドロシランの直接合成法。

２、前記金属原子の濃度は、 （ｉ）Ｚｎ、ＳｂおよびＣｄは、個々にまたは合計、ケ
イ素の０．０１重量％より少なく、 （ii）Ｓｎはケイ素の０．００５重量％より少なく、 （iii）Ｎｉはケイ素の約０．００２〜約０．０１重量
％であり、 （iv）Ｃｒはケイ素の約０．００４より少なく、そして （ｖ）Ｃｕはケイ素の約０．０５〜約３重量％までであ
る、 である上記第１項記載の直接合成法。

３、前記金属原子の濃度は、 （ｉ）Ｚｎ、ＳｂおよびＣｄは、個々にまたは合計、ケ
イ素の０．００５重量％より少なく、 （ii）Ｓｎはケイ素の０．０００５重量％より少なく、 （iii）Ｎｉはケイ素の約０．００４〜約０．００８重
量％であり、 （iv）Ｃｒはケイ素の約０．０００５〜約０．０１重量
％であり、そして （ｖ）Ｃｕはケイ素の約０．５〜約１．５重量％までで
ある、 である上記第１項記載の直接合成法。

４、Ｒはメチルであり、そしてＸは塩素である上記第１
項記載の直接合成法。

５、前記触媒（ｖ）は銅、銀、または銅−銀混合物の触
媒である、上記第１項記載の直接合成法。

６、選択的に製造される前記有機ハロヒドロシランは、
Ｒ_２ＳｉＨＸおよびＲＳｉＨＸ_２からなる混合物であ
り、ここでＲおよびＸは上記第１項において定義したと
おりであり、前記有機ハライドは塩化メチレンであり、
前記触媒は銅触媒であり、そしてＺｎ＋Ｓｂ＋Ｃｄの合
計濃度は０．０００８重量％より少なく、Ｓｎの濃度は
約０．０００３重量％であり、Ｎｉの濃度は約０．００
１８重量％であり、そしてＣｒの濃度は約０．００６重
量％である、上記第１項記載の直接合成法。

７、前記活性化ケイ素の床中に約１〜約１０重量％のカ
ルシウム、マグネシウムまたは銅のケイ化物が存在す
る、上記第１項記載の直接合成法。

８、選択的に製造される前記有機ハロヒドロシランは、
Ｒ_２ＳｉＨＸおよびＲＳｉＨＸ_２からなる混合物であ
り、ここでＲおよびＸは上記第１項において定義したと
おりであり、前記有機ハライドは塩化メチレンであり、
前記触媒は銅触媒であり、そして前記活性化ケイ素の床
中に約２〜約８重量％のケイ化カルシウムが存在する、
上記第１項記載の直接合成法。

９、圧力は大気圧である、上記第１項記載の直接合成
法。

１０、圧力は大気圧より高い、上記第１項記載の直接合
成法。

１１、Ｒはメチルであり、そしてＸは塩素である、上記
第６項記載の直接合成法。

１２、選択的に製造される前記有機ハロヒドロシランは
Ｒ_２ＳｉＨＸ、ＲＳｉＨＸ_２およびＲＳｉＨ_２Ｘからな
る混合物であり、ここでＲおよびＸは上記第１項におい
て定義したとおりであり、前記有機ハライドは塩化メチ
レンであり、そして前記触媒は銅触媒である、上記第１
項記載の直接合成法。

１３、前記活性化ケイ素の床中に約２〜約８重量％のケ
イ化カルシウムが存在する、上記第１２項記載の直接合
成法。

１４、Ｒはメチルであり、そしてＸは塩素である、上記
第１２項記載の直接合成法。

１５、補助剤を前記活性化ケイ素の床中に（ｉ）一般
式： Ｈ_ｄＳｉＸ_ｅ 式中、ｄは０〜３の値を有し、ｅは１〜４の値を有し、
そしてｄ＋ｅの合計は４である、 のハロシラン、または（ii）一般式： Ｒ′_ｆＳｉＸ_４−ｆ 式中、Ｒ′は１〜約６個の炭素原子を有するアルキル基
であり、そしてｆは１〜３の値を有する、 の有機ハロシラン、または（iii）上記第１項において
定義した一般式： Ｒ_ａＨ_ｂＳｉＸ_ｃ （Ｉ） の群から導入する、上記第１項記載の直接合成法。

１６、前記補助剤はケイ素の活性化の間に導入される、
上記第１５項記載の直接合成法。

１７、前記補助剤は直接合成反応の過程の間に活性化ケ
イ素中に注入される、上記第１５項記載の直接合成法。

１８、促進剤を前記活性化ケイ素中に導入し、前記促進
剤はニッケル、クロム、ロジウムおよびパラジウムの群
から選択される、上記第１項記載の直接合成法。

１９、前記促進剤は活性化ケイ素の約０．００２〜約
０．０８重量％の濃度のニッケル原子である、上記第１
８項記載の直接合成法。

２０、前記促進剤は活性化ケイ素の約０．００５重量％
までの濃度のカドミウム原子である、上記第１８項記載
の直接合成法。

２１、前記促進剤は活性化ケイ素の約１重量％までの濃
度のロジウム原子である、上記第１８項記載の直接合成
法。

２２、前記促進剤は活性化ケイ素の約０．５重量％まで
の濃度のパラジウム原子である、上記第１８項記載の直
接合成法。

２３、前記方法は固定床の反応器において実施する、上
記第１２項記載の直接合成法。

２４、補助剤はジメチルジクロロシランである、上記第
１５項記載の直接合成法。

２５、補助剤はメチルトリクロロシランである、上記第
１５項記載の直接合成法。

２６、補助剤はトリメチルクロロシランである、上記第
１５項記載の直接合成法。

２７、活性化ケイ素を、一般式： ＲＸ の有機ハライドおよび水素の混合物と反応させることに
よる、一般式： Ｒ_ａＨ_ｂＳｉＸ_ｃ （Ｉ） の有機ハロヒドロシランの直接合成法において使用し、
そしてケイ素および （ｉ）個々にまたは合計、ケイ素の０．０５重量％より
少ないＺｎ、ＳｂおよびＣｄ、 （ii）ケイ素の０．０１重量％より少ないＳｎ、 （iii）ケイ素の約０．００１〜約０．０２重量％であ
るＮｉ、 （iv）ケイ素の約０．００１〜約０．０６重量％である
Ｃｒ、および （ｖ）ケイ素の約１０重量％までであるＣｕ、からなる
ことを特徴とする活性化ケイ素の組成物。

２８、ケイ素および、 （ｉ）個々にまたは合計、ケイ素の０．０１重量％より
少ないＺｎ、ＳｂおよびＣｄ、 （ii）ケイ素の０．００５重量％より少ないＳｎ、 （iii）ケイ素の約０．００２〜約０．０１重量％であ
るＮｉ、 （iv）ケイ素の約０．００４より少ないＣｒ、および （ｖ）ケイ素の約０．０５〜約３重量％までであるＣ
ｕ、 からなる上記第２７項記載の活性化ケイ素の組成物。

２９、ケイ素および、 （ｉ）個々にまたは合計、ケイ素の０．００５重量％よ
り少ないＺｎ、ＳｂおよびＣｄ、 （ii）ケイ素の０．０００５重量％より少ないＳｎ、 （iii）ケイ素の約０．００４〜約０．００８重量％で
あるＮｉ、 （iv）ケイ素の約０．０００５〜約０．０１重量％であ
るＣｒ、および （ｖ）ケイ素の約０．５〜約１．５重量％までであるＣ
ｕ、 である上記第２７項記載の活性化ケイ素の組成物。

３０、Ｚｎ＋Ｓｂ＋Ｃｄの合計濃度は０．０００８重量
％より少なく、Ｓｎの濃度は約０．０００３重量％であ
り、Ｎｉの濃度は約０．００１８重量％であり、そして
Ｃｒの濃度は約０．００６重量％である、ケイ素からな
る、上記第２７項記載の活性化ケイ素の組成物。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジエフリイ・マーク・ラーナード アメリカ合衆国 ウエストバージニア州 25064 ダンバー・テンスストリート １ (72)発明者 バーナード・カナ アメリカ合衆国 ニユーヨーク州 10994 ウエストナイアツク・ロビンレイン ５

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一般式： Ｒ_ａＨ_ｂＳｉＸ_ｃ （Ｉ） の有機ハロヒドロシランを、活性化ケイ素を一般式： ＲＸ の有機ハライドおよび水素の混合物と触媒量の触媒と接
   触させて高温において反応させて、選択的に製造するこ
   とからなり、式中、 Ｒは２０個までの炭素原子を有するヒドロカルビル基で
   あり、 Ｘはハロゲン原子であり、そして ａ、ｂおよびｃは１または２の整数であり、ただしａ＋
   ｂ＋ｃの合計は４であり、ここで活性化ケイ素の床中の
   次の金属原子の濃度は、次の通りである： （ｉ）Ｚｎ、ＳｂおよびＣｄは、個々にまたは合計、ケ
   イ素の０．０５重量％より少なく、 （ii）Ｓｎはケイ素の０．０１重量％より少なく、 （iii）Ｎｉはケイ素の０．００１〜０．０２重量％で
   あり、 （iv）Ｃｒはケイ素の０．００１〜０．０６重量％であ
   り、そして （ｖ）Ｃｕはケイ素の１０重量％までである、ことを特
   徴とする有機ハロヒドロシランの直接合成法。
2. 【請求項２】活性化ケイ素を、一般式： ＲＸ の有機ハライドおよび水素の混合物と反応させることに
   よる、一般式： Ｒ_ａＨ_ｂＳｉＸ_ｃ （Ｉ） の有機ハロヒドロシランの直接合成法において使用し、
   そしてケイ素および （ｉ）個々にまたは合計、ケイ素の０．０５重量％より
   少ないＺｎ、ＳｂおよびＣｄ、 （ii）ケイ素の０．０１重量％より少ないＳｎ、 （iii）ケイ素の０．００１〜０．０２重量％であるＮ
   ｉ、 （iv）ケイ素の０．００１〜０．０６重量％であるＣ
   ｒ、および （ｖ）ケイ素の１０重量％までであるＣｕ、からなるこ
   とを特徴とする活性化ケイ素の組成物。