JPH06306585A - 熱分解窒化硼素被覆ボートを使用する金属の抵抗加熱方法 - Google Patents

熱分解窒化硼素被覆ボートを使用する金属の抵抗加熱方法

Info

Publication number
JPH06306585A
JPH06306585A JP5119228A JP11922893A JPH06306585A JP H06306585 A JPH06306585 A JP H06306585A JP 5119228 A JP5119228 A JP 5119228A JP 11922893 A JP11922893 A JP 11922893A JP H06306585 A JPH06306585 A JP H06306585A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
graphite
boron nitride
nitride coating
metal
range
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5119228A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2665873B2 (ja
Inventor
Michael Morris Joseph
ジョゼフ・マイケル・モリス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advanced Ceramics Corp
Original Assignee
Advanced Ceramics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to US07/810,910 priority Critical patent/US5239612A/en
Application filed by Advanced Ceramics Corp filed Critical Advanced Ceramics Corp
Priority to DE69325571T priority patent/DE69325571T2/de
Priority to EP93303212A priority patent/EP0621351B1/en
Priority to JP5119228A priority patent/JP2665873B2/ja
Priority to CN93107926A priority patent/CN1044010C/zh
Publication of JPH06306585A publication Critical patent/JPH06306585A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2665873B2 publication Critical patent/JP2665873B2/ja
Priority to HK98115251A priority patent/HK1014036A1/xx
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D1/00—Evaporating
    • B01D1/0011—Heating features
    • B01D1/0017—Use of electrical or wave energy
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
    • C04B41/5062—Borides, Nitrides or Silicides
    • C04B41/5064—Boron nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87—Ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/246—Replenishment of source material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source

Abstract

(57)【要約】 【目的】 グラファイト容器の使用寿命を延長すること
のできる抵抗加熱方法の確立。 【構成】 グラファイト本体１２と熱分解窒化硼素コー
ティング１４を有するグラファイト容器１０を使用して
のアルミニウム、銅、亜鉛及び錫蒸着のための金属抵抗
加熱方法。装入物をグラファイト容器内に堆積し、装入
物を完全に蒸発せしめるに十分の制御された短時間（好
ましくは２分未満）グラファイト本体に一定の電流及び
可変電圧の電力を印加し、熱分解窒化硼素コーティング
を横切っての熱サイクルを制御するようグラファイト容
器に印加される電力を変更し、その場合電力を反復的に
中断して各電圧の印加の間に冷却期間を提供し、冷却期
間中にグラファイト容器に新たな金属装入物を導入す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属の蒸着技術に関す
るものであり、特には蒸着のために熱分解窒化硼素コー
ティングを有するグラファイト容器を使用しての金属の
抵抗加熱方法の改善である。
【０００２】
【従来の技術】アルミニウム、銅、クロム、亜鉛及び錫
のような多くの金属が真空蒸着プロセスにより金属、ガ
ラス及びプラスチックのような様々の基材上に被覆され
る。この場合、容器は、容器と接触状態に供給された金
属を蒸発せしめるために電気抵抗加熱により加熱され
る。こうした容器は一般に「ボート」と呼ばれている。
ボートは、電流がボートを通して直接的に流れるよう
に、そして最終的にはボートと接触状態にある金属を加
熱してそれを蒸発せしめるように電気回路において直列
回路関係で接続されている。金属は製品をコーティング
するために真空雰囲気中で蒸発せしめられる。製品は、
真空室内に個々に導入されるか或いは真空室を通して連
続的に送給される。製品としては、テレビジョン画像
管、自動車ヘッドライト、玩具等を挙げることができ
る。
【０００３】現在、大半の抵抗加熱容器は二硼化チタン
及び窒化硼素のみ或いは窒化アルミニウムとの組合せか
ら構成される金属間セラミック複合体から構成されてい
る。この複合体は非常に寿命が短くそして電源の連続的
な調整を必要とする。更に、セラミック複合体の金属成
分が電気回路の一部を形成する導体であるため、こうし
た加熱容器の抵抗特性は操作中安定ではない。その結果
金属の蒸発は一様ではなくなり、その結果不均一な金属
付着物を生ぜしめる。
【０００４】熱分解窒化硼素（pyrolytic boron nitrid
e ）で被覆したグラファイト容器がセラミック複合体か
ら構成される抵抗加熱容器に替わるものとして使用する
ことが提唱された。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】熱分解窒化硼素のコー
ティングは、容器内の溶融金属をグラファイト本体を通
しての電流路から電気的に隔離しそして金属に一層一様
な熱を供給することを意図している。にもかかわらず、
ごく短時間後溶融金属が熱分解窒化硼素の層面を通過し
そして多孔質グラファイト本体に直接浸透することが見
出された。熱サイクルの変化が窒化硼素コーティングに
短い操作時間のうちにクラックを生ぜしめる。これは金
属蒸発装置としての使用のためのグラファイトの有用性
を台なしとする。熱分解窒化硼素の厚さを増大すること
は、破損までの時間を遅らせはするが、窒化硼素コーテ
ィングを通しての漏洩を顕著には防止しない。
【０００６】本発明の課題は、窒化硼素コーティングを
通しての溶融金属の漏洩を防止することによりグラファ
イト容器の使用寿命を延長することのできる抵抗加熱方
法を確立することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に従えば、窒化硼
素で被覆されたグラファイト容器が熱伝導を通して容器
と接触状態にある金属を蒸発せしめるのに使用できそし
て蒸発されるべき金属装入物を完全に蒸発せしめるに十
分の一定期間にわたって、好ましくは２分未満において
電力を印加する制御された熱サイクルを提供するように
そして新たな金属充填物を再導入する前に冷却時間を提
供するように容器への印加電力を変更しつつ金属装入物
を半連続方式で容器内に装入堆積するなら延長された使
用寿命を提供することが見出された。
【０００８】本発明は、１５〜７５ｍｍ2 の範囲の最大
断面積と２０３ｍｍ（８インチ）の最大長さを有するグ
ラファイト本体と０．２５〜０．５１ｍｍ（０．０１０
〜０．０２０インチ）の範囲の厚さの熱分解窒化硼素コ
ーティングを有するグラファイト容器を使用する抵抗加
熱方法であって、６〜２００ｍｇの範囲の所定の重量を
有する、アルミニウム、銅、亜鉛及び錫から成る群から
選択された金属装入物を窒化硼素コーティングにより金
属装入物とグラファイト本体とを分離する状態で前記グ
ラファイト容器内に堆積する段階と、金属装入物を完全
に蒸発せしめるに十分の制御された短時間にわたり電流
を前記グラファイト本体を通して直接流すようにして該
グラファイト本体に一定の電流及び４〜２５Ｖの範囲の
可変電圧の電力を印加する段階と、前記熱分解窒化硼素
コーティングを横切っての熱サイクルを制御するよう前
記グラファイト容器に印加される電力を変更し、その場
合電力を反復的に中断して各電圧の印加の間に電流が実
質流れない最小冷却期間を提供する段階と、該冷却期間
中に前記グラファイト容器に新たな金属装入物を導入す
る段階とを包含する熱分解窒化硼素コーティングを有す
るグラファイト容器を使用する抵抗加熱方法を提供す
る。
【０００９】
【作用】グラファイト本体と熱分解窒化硼素コーティン
グを有するグラファイト容器を使用しての抵抗加熱方法
が本発明に従って実施されるとき、熱分解窒化硼素コー
ティングはそこを通してグラファイト本体への金属漏れ
のない状態で絶縁障壁として従来より長時間機能する。
この方法は、所定重量の金属装入物をグラファイト容器
内に窒化硼素コーティング上に堆積する段階と、金属装
入物を好ましくは２分以内の限定された時間以内に完全
に蒸発せしめるため、電流がグラファイト本体を通して
直接流れるようにグラファイト容器に電力を印加する段
階と、電力印加の各サイクルにおいて窒化硼素コーティ
ングを横切っての熱サイクルを制御しそして冷却期間を
与えるように容器に印加される電力を変更する段階と、
各熱サイクルの完了に際して半連続方式で容器内に金属
の新たな装入物を導入する段階とを包含する。グラファ
イト容器は、各熱サイクル中金属装入物が好ましくは２
分以内に完全に蒸発せしめられるようにして半連続方式
で操作される。各操作サイクルにおいて、電力が金属装
入物を完全に蒸発せしめるに必要とされる時間と一致す
る短時間適用されそして電力の再適用前に冷却する、ク
ールダウン期間を含んでいる。金属装入物の完全蒸発を
もたらすに必要とされる時間にわたって電流はほとんど
一定であり、続いて冷却期間が続きここで電源が再適用
される前に新たな金属装入物が容器に堆積される。グラ
ファイト容器をこの半連続方式で操作することにより、
熱分解窒化硼素コーティングはそこを通してグラファイ
ト本体への金属漏れのない状態で絶縁障壁として従来よ
り長時間機能する。
【００１０】
【実施例】図１に示されるような抵抗加熱器即ちグラフ
ァイト容器１０はグラファイト本体１２とグラファイト
本体の凹所１５が形成された特定の領域を覆う熱分解窒
化硼素コーティング１４から構成される。グラファイト
本体１２は高強度グラファイトの機械的ブロックであ
る。凹所１５は、グラファイト容器１０により蒸発せし
められるべき金属装入物（図示なし）を受取りそして保
持するために任意の所望の形状或いは寸法形態をとりう
るが、好ましくは図２に示されるように丸み付けられそ
して図１に示すように半球状両端部を備える。金属装入
物はアルミニウム、銅、亜鉛、及び錫から成る群から選
択される任意の金属となしえそして好ましくは６〜２０
０ｍｇの範囲内の総重量を有する一つ以上の部片の形態
でありうる。
【００１１】グラファイト本体１２は好ましくは、後述
するように制御された熱サイクル条件の下で金属装入物
の完全な蒸発を保証するよう所定の印加電圧に対して発
生熱を最適にする設定された抵抗路を提供するため所定
の断面積を有する直方体形態を有する。グラファイト本
体１２は所望の時間内に金属装入物の蒸発を生ぜしめる
ように適正に寸法付けられねばならない。印加電圧、グ
ラファイト本体の断面積及び長さが熱サイクル時間を決
定する。４〜２５Ｖの範囲の印加電圧でもって２分以内
に金属装入物の完全蒸発を達成するためには、グラファ
イト本体が、約１５ｍｍ2 （０．０２インチ2 ）〜７２
ｍｍ2 （０．１１インチ2 ）の範囲の最大断面積と２０
３ｍｍ（８インチ）、但し好ましくは１２７ｍｍ（５イ
ンチ）未満の最大長さを有することが必要である。１５
ｍｍ2 断面積と２００ｍｍ長さを有する蒸発容器は２５
Ｖの印加電圧を必要とし、他方７２ｍｍ2 断面積と７５
ｍｍ長さを有するものは僅か４Ｖの印加電圧を必要とす
るだけである。
【００１２】熱分解窒化硼素コーティング１４はグラフ
ァイト本体１２上に加熱された反応器（図示なし）内に
試薬としてアンモニア及び三塩化硼素のような硼素のハ
ロゲン化物の気体蒸気を通入することにより形成されう
る。反応器の温度は、米国特許第３，１５２，２２６号
に教示されるように、化学的な蒸着により窒化硼素のコ
ーティングを形成するように５０ｍｍ（水銀柱）未満の
圧力において２３００℃までの温度に昇温される。熱分
解窒化硼素コーティング１４は２分未満の所望の一定時
間内での蒸発を許容するように金属装入物への熱伝達を
最大限とするに充分薄くなければならず、しかも一定の
熱サイクル変化での延長された使用寿命にわたってその
構造上の完全さを維持するのに充分厚くなければならな
い。熱分解窒化硼素コーティングに対する好ましい厚さ
範囲は、０．２５〜０．５１ｍｍ（０．０１０〜０．０
２０インチ）の範囲とすべきである。
【００１３】本発明の実施下では、グラファイト容器１
０の使用寿命は、従来からの加熱容器よりはるかに大き
なオーダーのものであることがわかった。グラファイト
容器１０は、各熱サイクル中金属装入物が２分以内に完
全に蒸発せしめられるようにして半連続方式で操作され
る。各操作サイクルにおいて、電力が金属装入物を完全
に蒸発せしめるに必要とされる時間と一致する短時間印
加されそして電力の再印加前に冷却（クールダウン）す
る期間を含んでいる。これは図３に示すような電流流れ
パターンをもたらす。図３では、金属装入物の完全蒸発
をもたらすに必要とされる時間にわたって電流はほとん
ど一定であり、続いて冷却期間が続きここで電源が再印
加される前に新たな金属装入物が容器内に堆積される。
グラファイト容器１０をこの半連続方式で操作すること
により、熱分解窒化硼素コーティングはそこを通してグ
ラファイト本体１２への金属漏れのない状態で絶縁障壁
として然るべく機能する。
【００１４】
【発明の効果】窒化硼素コーティングを通しての溶融金
属の漏洩を防止することによりグラファイト容器の使用
寿命を延長することのできる抵抗加熱方法を確立するこ
とに成功した。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従って使用される熱分解窒化硼素コー
ティングを備える金属蒸発用グラファイト容器の斜視図
である。
【図２】図１の２−２線に沿う断面図である。
【図３】本発明の実施中図１のグラファイト容器を通し
ての電流流れパターンを表す。
【符号の説明】
１０ グラファイト容器 １２ グラファイト本体 １４ 熱分解窒化硼素コーティング １５ 凹所

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 １５〜７５ｍｍ2 の範囲の最大断面積と
    ２０３ｍｍ（８インチ）の最大長さを有するグラファイ
    ト本体と０．２５〜０．５１ｍｍ（０．０１０〜０．０
    ２０インチ）の範囲の厚さの熱分解窒化硼素コーティン
    グを有するグラファイト容器を使用する抵抗加熱方法で
    あって、６〜２００ｍｇの範囲の所定の重量を有する、
    アルミニウム、銅、亜鉛及び錫から成る群から選択され
    た金属装入物を窒化硼素コーティングにより金属装入物
    とグラファイト本体とを分離する状態で前記グラファイ
    ト容器内に堆積する段階と、金属装入物を完全に蒸発せ
    しめるに十分の制御された短時間にわたり電流を前記グ
    ラファイト本体を通して直接流すようにして該グラファ
    イト本体に一定の電流及び４〜２５Ｖの範囲の可変電圧
    の電力を印加する段階と、前記熱分解窒化硼素コーティ
    ングを横切っての熱サイクルを制御するよう前記グラフ
    ァイト容器に印加される電力を変更し、その場合電力を
    反復的に中断して各電圧の印加の間に電流が実質流れな
    い最小冷却期間を提供する段階と、該冷却期間中に前記
    グラファイト容器に新たな金属装入物を導入する段階と
    を包含する熱分解窒化硼素コーティングを有するグラフ
    ァイト容器を使用する抵抗加熱方法。
  2. 【請求項２】 前記制御された短時間が２分未満である
    請求項１の方法。
JP5119228A 1991-12-20 1993-04-23 熱分解窒化硼素被覆ボートを使用する金属の抵抗加熱方法 Expired - Fee Related JP2665873B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/810,910 US5239612A (en) 1991-12-20 1991-12-20 Method for resistance heating of metal using a pyrolytic boron nitride coated graphite boat
DE69325571T DE69325571T2 (de) 1991-12-20 1993-04-23 Verfahren zur Verdampfung von Metall mittels eines mit pytolytischem Bornitrid überzogenen Graphit-Schiffchens mit Widerstandsheizung
EP93303212A EP0621351B1 (en) 1991-12-20 1993-04-23 Method for evaporating metal using a resistance heated, pyrolytic boron nitrided coated graphite boat
JP5119228A JP2665873B2 (ja) 1991-12-20 1993-04-23 熱分解窒化硼素被覆ボートを使用する金属の抵抗加熱方法
CN93107926A CN1044010C (zh) 1991-12-20 1993-07-03 使用涂敷热解氮化硼的石墨舟的金属电阻加热法
HK98115251A HK1014036A1 (en) 1991-12-20 1998-12-23 Method for evaporating metal using a resistance heated pyrolytic boron nitrided coated graphite boat

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/810,910 US5239612A (en) 1991-12-20 1991-12-20 Method for resistance heating of metal using a pyrolytic boron nitride coated graphite boat
EP93303212A EP0621351B1 (en) 1991-12-20 1993-04-23 Method for evaporating metal using a resistance heated, pyrolytic boron nitrided coated graphite boat
JP5119228A JP2665873B2 (ja) 1991-12-20 1993-04-23 熱分解窒化硼素被覆ボートを使用する金属の抵抗加熱方法
CN93107926A CN1044010C (zh) 1991-12-20 1993-07-03 使用涂敷热解氮化硼的石墨舟的金属电阻加热法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06306585A true JPH06306585A (ja) 1994-11-01
JP2665873B2 JP2665873B2 (ja) 1997-10-22

Family

ID=36829843

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5119228A Expired - Fee Related JP2665873B2 (ja) 1991-12-20 1993-04-23 熱分解窒化硼素被覆ボートを使用する金属の抵抗加熱方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5239612A (ja)
EP (1) EP0621351B1 (ja)
JP (1) JP2665873B2 (ja)
CN (1) CN1044010C (ja)
DE (1) DE69325571T2 (ja)
HK (1) HK1014036A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013108159A (ja) * 2011-11-24 2013-06-06 Showa Shinku:Kk 蒸着装置

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5350720A (en) * 1991-03-18 1994-09-27 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Triple-layered ceramic heater
US5493630A (en) * 1994-09-28 1996-02-20 Advanced Ceramics Corporation Pyrolytic boron nitride coated flash evaporator
JP3415626B2 (ja) 1994-09-28 2003-06-09 アドヴァンスト・セラミックス・コーポレイション 高密度フラッシュエバポレーター
US5537507A (en) * 1994-09-28 1996-07-16 Advanced Ceramics Corporation Coated flash evaporator heater
US5495550A (en) * 1994-09-28 1996-02-27 Advanced Ceramics Corporation Graphite flash evaporator having at least one intermediate layer and a pyrolytic boron nitride coating
US5671322A (en) * 1996-01-17 1997-09-23 Advanced Ceramics Corporation Lateral flash evaporator
JP3758755B2 (ja) * 1996-08-13 2006-03-22 信越化学工業株式会社 熱分解窒化ホウ素容器およびその製造方法
US5850073A (en) * 1997-02-18 1998-12-15 Eckert; C. Edward Electric heating element and heater assembly
DE19735814A1 (de) * 1997-08-18 1999-02-25 Kempten Elektroschmelz Gmbh Keramische Flash-TV-Verdampfer
DE19956811A1 (de) * 1999-11-25 2001-06-13 Kempten Elektroschmelz Gmbh Keramischer Flash-TV-Verdampfer
US6229956B1 (en) * 2000-03-22 2001-05-08 Advanced Ceramics Corporation Flash evaporator vessel
CN1332061C (zh) * 2000-12-14 2007-08-15 通用电气公司 闪蒸器皿
KR100489304B1 (ko) * 2002-12-23 2005-05-17 재단법인 포항산업과학연구원 저항가열 보트 및 그 제조방법
US20050000447A1 (en) * 2003-07-04 2005-01-06 Jan Koninckx Crucible for evaporation of raw materials
US20060013966A1 (en) * 2003-09-08 2006-01-19 Jan Koninckx Crucible for evaporation of raw materials
EP2566998A4 (en) * 2010-05-03 2016-01-13 Univ Delaware HEAT EVAPORATION SOURCES WITH SEPARATE LUBRICANTS FOR HOLDING THE EVAPORATIVE MATERIAL
JP2014002931A (ja) * 2012-06-19 2014-01-09 Shin Etsu Chem Co Ltd グラファイトヒーター
CN103088302B (zh) * 2013-02-04 2015-05-13 福州赛瑞特新材料技术开发有限公司 一种氮化硼-石墨组合蒸发舟
US10184168B2 (en) 2015-01-20 2019-01-22 Kennametal Inc. IMC evaporator boat-thermal insulation cartridge assembly
US20160208373A1 (en) 2015-01-20 2016-07-21 Kennametal Inc. Imc evaporator boat assembly
DE102019110950A1 (de) 2019-04-29 2020-10-29 Kennametal Inc. Hartmetallzusammensetzungen und deren Anwendungen

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3177844A (en) * 1961-06-30 1965-04-13 Sperry Rand Corp Interlocked automatic sequential firing unit
US3537886A (en) * 1964-09-22 1970-11-03 Westinghouse Electric Corp Flash evaporation of corrosive media
GB1246594A (en) * 1970-04-28 1971-09-15 Standard Telephones Cables Ltd Evaporation control
DE2216959A1 (de) * 1972-04-08 1973-10-11 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Verfahren zum betrieb eines verdampfers in aufdampfanlagen
US4264803A (en) * 1978-01-10 1981-04-28 Union Carbide Corporation Resistance-heated pyrolytic boron nitride coated graphite boat for metal vaporization
US4183975A (en) * 1978-03-16 1980-01-15 Dare Pafco, Inc. Vacuum metallizing process
US4327122A (en) * 1980-08-13 1982-04-27 General Motors Corporation Evaporated electrodes for zirconia exhaust gas oxygen sensors
JPS5842054A (ja) * 1981-09-08 1983-03-11 Ricoh Co Ltd 電子写真感光体の蒸着方法
JPS59104472A (ja) * 1982-12-03 1984-06-16 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> フラツシユ蒸着方法
US4846834A (en) * 1986-05-27 1989-07-11 Clemson University Method for promoting tissue adhesion to soft tissue implants

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013108159A (ja) * 2011-11-24 2013-06-06 Showa Shinku:Kk 蒸着装置

Also Published As

Publication number Publication date
HK1014036A1 (en) 1999-09-17
CN1044010C (zh) 1999-07-07
DE69325571T2 (de) 1999-11-18
JP2665873B2 (ja) 1997-10-22
US5239612A (en) 1993-08-24
EP0621351A1 (en) 1994-10-26
EP0621351B1 (en) 1999-07-07
DE69325571D1 (de) 1999-08-12
CN1097222A (zh) 1995-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2665873B2 (ja) 熱分解窒化硼素被覆ボートを使用する金属の抵抗加熱方法
US4264803A (en) Resistance-heated pyrolytic boron nitride coated graphite boat for metal vaporization
CA1213852A (en) Method of and apparatus for the coating of a substrate with material electrically transformed into a vapor phase
CA1203373A (en) Resistance-heated boat for metal vaporization
US2772318A (en) Apparatus for vaporization of metals and metalloids
US4351855A (en) Noncrucible method of and apparatus for the vapor deposition of material upon a substrate using voltaic arc in vacuum
WO2003083166A1 (en) Methods and apparatus for deposition of thin films
US6404982B1 (en) High density flash evaporator
US5495550A (en) Graphite flash evaporator having at least one intermediate layer and a pyrolytic boron nitride coating
US4443361A (en) Silicon carbide resistance element
US20020054963A1 (en) Process for producing a ceramic evaporation boat having an improved initial wetting performance
US4438153A (en) Method of and apparatus for the vapor deposition of material upon a substrate
EP0785290B1 (en) Lateral flash evaporator
JPH01225769A (ja) 有機化合物蒸着薄膜の蒸着源
CA2271933C (en) Ceramic evaporation boats having improved initial wetting performance and properties
US4426405A (en) Method for producing improved silicon carbide resistance elements
KR0177836B1 (ko) 열분해성 질화붕소 피복제로 피복처리된 흑연도가니로를 사용해서 금속을 저항가열하는 방법
US5493630A (en) Pyrolytic boron nitride coated flash evaporator
GB1574677A (en) Method of coating electrically conductive components
KR950004780B1 (ko) 알루미늄 증발용 보우트의 제조방법
JPH01165763A (ja) 電子ビーム蒸発源用ルツボ
CN112981327A (zh) 一种真空热蒸镀用一体化蒸发源
Baxter ab, traot No. III V acuum P rocessing T echniques~ III and References
JPS6362871A (ja) 金属クロム薄膜の生成方法
JPH0757906B2 (ja) 昇華性物質の蒸発方法とるつぼ

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19970513

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees