JPH06306570A - 管状基板に対して溶射を行う際の冷却方法およびそのための固定具 - Google Patents

管状基板に対して溶射を行う際の冷却方法およびそのための固定具

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JPH06306570A
JPH06306570A JP6080261A JP8026194A JPH06306570A JP H06306570 A JPH06306570 A JP H06306570A JP 6080261 A JP6080261 A JP 6080261A JP 8026194 A JP8026194 A JP 8026194A JP H06306570 A JPH06306570 A JP H06306570A
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cooling
fixture
annular
coolant
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JP6080261A
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John E Nerz
イー ナーズ ジョン
David J Urevich
ジェー ユーレヴィッチ デヴィット
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Perkin Elmer Corp
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/12Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 管状基板、特に管状セラミック基板、酸素セ
ンサーに対する、溶射コーティングを行う際の冷却のた
めの新たな固定具と、改良された冷却方法、および、改
良された基板支持方法を提供すること。 【構成】 溶射のための冷却固定具であり、酸素センサ
ーのような管状基板を支持するための回転可能な管部材
を含む。冷却管が管部材から基板の開口端部へ延び、環
状チャネルを形成する。基板の別の端部は閉じられてい
る。冷却材として例えば空気が冷却管を通って強制的に
基板内に送風され、環状チャネルを介して基板から排出
され、外側表面を溶射コーティングする際に基板を冷却
できるようになっている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は溶射、溶射を行う際の基
板冷却、特に管状セラミック基板の冷却に関し、なかで
も特に酸素センサーの製造に関する。
【0002】
【従来の技術】溶射、これは火炎溶射ともいい、金属や
セラミックなどの加熱可融材質を溶解すること、あるい
は少なくとも加熱軟化すること、およびコーティングさ
れる表面に対して粒子としての軟化物質を推進させるこ
とを含む。加熱粒子が急冷され、付着した表面にさらに
加熱粒子が衝突していく。プラズマタイプの溶射ガンに
おいては、プラズマ流を使用し粉末粒体を溶解し推進さ
せる。ガン内部の強度の大きいアークがアルゴンや窒素
のような不活性ガスを加熱し加速させて、プラズマ流を
出す。このようなガンの例が、米国特許4、445、0
21号に開示されている。この特許に示されているよう
に、プラズマガンは、電極表面を越えて流れるウオータ
ーチャネリングによって冷却されるのが普通である。溶
射ガンの他のタイプとしては燃焼溶射ガンがあり、これ
は燃焼火炎のなかに粉末を取り入れ加熱させるもので、
普通の速度のものと高速(超音速)のものとがある。ま
たワイヤータイプのガンでは、ワイヤーが燃焼火炎のな
かを通され、溶解したワイヤーチップが圧縮空気によっ
て微粒化され微細溶射となって付着する。ワイヤーが2
本あるアークガンでは、電気アークと接触するワイヤー
チップを溶解し圧縮空気による微粒化を行っている。
【0003】溶射を一面的にとらえると、ガンから発す
る火炎やプラズマによって加工部材の加熱を行い、さら
にその加工部材上に付着する材質が加熱されそれによっ
て加工部材も加熱されるが、実はこの加工部材は一般的
には比較的低温に維持されていなければならない。高温
部分が偏らないようにするために、ガンはコーティング
される基板を何度も往復してコーティング粒子を分配す
る。さらに、冷却剤ジェットや冷却剤流れを溶射点から
離れて加工部材に衝突させ、温度が常温から数百度に維
持されるようになっている。平面的な加工部材の裏面に
対して空気を用いて冷却するものと水を用いて冷却する
ものについてそれぞれ米国特許3、631、835およ
び4、297、388号に示されている。加熱が過剰で
あったり不均一であったりすると金属基板が酸化したり
セラミック基板に亀裂がおきたりする。
【0004】さらに小さな加工部材に対して冷却剤を衝
突させようとすると、溶射流や付着の妨害となる。また
冷却空気はコーティングを汚染しないように非常に清浄
でなければならない。さらに、円筒基板のスポット冷却
は均一性に欠けていて、ひずみを起こす。コーティング
される円筒状の小さな部品の一例としては、自動車エン
ジンにおける公害防止用の酸素センサーがあり、これは
米国特許4、265、930号に開示されている。この
場合、基板は酸化ジルコニウムのようなセラミックの管
部材でできている。自動車エンジンの部品の典型的特徴
として、製造コストが低いことがひとつの目標となる。
溶射速度をあげればあげるほどコストは低下するもの
の、基板の受ける加熱の度合いは高まる。従来の冷却方
法を適用しても、この加熱でセラミック基板の亀裂が起
きてしまう。
【0005】
【発明が解決しようとする課題および解決手段】したが
って本発明の目的は、管状基板、特に管状セラミック基
板に対する、溶射コーティングを行う際の冷却のための
新たな固定具と、改良された冷却方法を提供することで
ある。別の目的は、酸素センサーに対して、溶射コーテ
ィングを行う際の冷却のための新たな固定具と、基板を
冷却し支持するための改良された方法を提供することで
ある。また別の目的は、管状基板に対するより均一な冷
却を提供することである。さらに別の目的は、小さな管
状基板の溶射を溶射速度を高くして行わせることであ
る。
【0006】以上および他の目的は、内側表面と外側表
面を有し一方の端部が開口しており他方の端部が閉じて
いる管状基板に対して溶射コーティングを行う際に管状
基板を冷却するための固定具によって達成される。この
固定具は、基板をその端部で支持するための支持手段、
および冷却管を備えているが、この冷却管は開口した基
板端部を通って同軸的に基板内に延長し管状基板の内側
表面と冷却管の間に環状チャネルを形成している。冷却
管は圧縮された流体状の冷却剤を受け入れる外側端部を
有し、冷却剤が冷却管を通り基板内に入り環状チャネル
を介して基板から排されるようになっており、それによ
って外側表面を溶射コーティングする際に冷却剤は基板
を冷却する。支持手段が回転可能で、基板が支持手段と
同軸的に配されて溶射コーティングする際に長手方向の
軸に関して回転可能になっていると好ましい。外側表面
が、前記閉端部と閉端部から所定距離だけ離れて位置す
るコーティング突端部の間でコーティングを受け入れ、
冷却管が突端部から所定距離のおよそ4分の1から2分
の1のところに位置する内側端部を有しているのが好ま
しい。この固定具は特に管状基板がセラミックの基体部
材から成っているもの、特に酸素センサーに用いるのに
適している。
【0007】本発明の目的はまた、一方の端部が開口し
ており他方の端部が閉じている管状基板に対する溶射コ
ーティングを行う際の冷却方法によって達成される。こ
の方法は、基板をその端部で支持し、開口した基板端部
を通って同軸的に基板内に冷却管を延長させ、管状基板
の内側表面と冷却管の間の環状チャネルを形成するよう
になっている。この方法はさらに、圧縮された流体から
成る冷却剤を外側端部から冷却管を通し基板内に導き、
環状チャネルを介して基板から排し、基板の外側表面を
溶射コーティングすることも含む。このようにして、冷
却剤は溶射コーティングプロセス中に基板を冷却する。
【0008】
【実施例】コーティングされる管状基板10(図1)は
金属やセラミックでできており、好ましい一例として酸
化ジルコニウム基体部材12から成る酸素センサーとな
っている。管状基板は開口端部11と閉端部13を有す
る。前述の米国特許4、265、930号に示した方法
でメッキをするなどして、管状基板の内側にも外側にも
薄い(1から5microns)プラチナ層14、15を付着
させる。これらの層は酸素センサー用のもので、そうで
ない場合この発明に関して必要なものではない。ジルコ
ニア管の肉厚はおよそ0.5mmから1.5mmの範囲であ
る。目的は、外側のプラチナ表面18におよそ500mi
cronsに至るまで、スピネル(26から30wt%のマグ
ネシアを含有するアルミナ)コーティング16を溶射
し、酸素センサーを形成することである。
【0009】基板10はその開口端部において、回転可
能な固定具20上に取付けられており(図2)、この固
定具は旋盤のような基体支持部24からの主軸台22
(図3)などの上に取付けられている。
【0010】この固定具は、都合のよい方法であるいは
本発明によくかなう方法で、基板10を支えている。こ
の場合(図2)では、基板10はフランジ26を有し、
このフランジが通例の使用における酸素センサーの支持
部分を形成する。このフランジは、固定具20の管部材
30の端部における座ぐり孔28にはまっている。内向
きフランジ34を有する取り外し可能なスリーブ32が
この管部材にかぶさり、基板フランジ26を座ぐり孔か
ら外れないようにしている。ばねクリップ36がスリー
ブ32をずれないように支えている。このようにして、
基板類は固定具内にうまく収まりコーティング作業を行
えるようになる。他の支持部材を選択して、酸素センサ
ーあるいは同様の構造物に対する、コーティングの仕組
みを製造工程中で迅速に変更できるようにしてもよい。
【0011】管状支持部材30は内部を貫通する穴38
を有している。穴38内の途中まで戻った部分でプラグ
40が止めねじ41で支えられ、中央孔42を内部に有
し、軸管44がこの中央孔内にシールされている。この
軸管は管状基板10の中空部46まで前方に延びてい
る。この軸管はまた基板の内径より小さいので、基板の
内側表面50との間に環状チャネル48を形成できる。
この環状チャネルは、プラグと基板の間および軸管44
と部材30の壁面53の間の穴38の環状域52まで戻
る。
【0012】支持部材30の基体54(図3)は主軸台
22によって支えられている。この主軸台22は、旋盤
(支持部)24内の軸受け58によって従来通りに支持
されモーター(図示せず)で駆動されるアクスル56に
取付けられている。このアクスルにはパイプ62に接続
する軸管60が備えられている。このパイプの主軸台と
反対側の端部には、従来の回転シール64が取付けられ
ている。ホース取付け具66はシール上に(回転しない
ように)固定され、流体冷却剤の源70までつながるホ
ース68に取付けられている。流体冷却剤は、液体でも
よいが圧縮空気のような圧縮気体から成っているのが好
ましい。空気は、パイプ71を介して冷媒によって、あ
るいはユーティリティウオーター中、アイスウオーター
中、液体窒素中などに配された熱交換コイルを用いた冷
却システム72によって冷却されてもよい。このように
して、冷却した冷却剤は、ホース68、回転シール6
4、アクスル56、管部材30および冷却管(軸管)4
4(図2)から成る流路を通って、管状基板10に向か
う。
【0013】管壁53(図2)は斜め方向の通路78を
少なくとも一つ有しており、これは環状域52から半径
方向の外側に管壁内を通っている。取り外し可能なスリ
ーブ32がこのように設けられている場合、スリーブに
は管部材との間に外側スペース80が設けられる。外側
の閉端部13と、基板内の環状チャネル48、環状域5
2、斜め方向の通路78および外側スペース80から成
る通路によって、空気の冷却剤が基板10内部から常温
環境に流れだすことができる。
【0014】溶射ガン82(図3)は、基板10に対す
るコーティング材の高温溶射流84を出す。基板を回転
させた状態で、ガンが基板に対して長手方向の振動性の
動き86をとって、基板上にコーティング16が施せる
ようにするのもよい。このようにして、冷却剤を流通さ
せて、基板に過熱することなくコーティングを施し、特
にセラミックの場合には亀裂が生じないようになってい
る。
【0015】溶射流と溶射熱から固定具類を保護するた
めに、固定具20(図2)には、外側スリーブ88がリ
ング90を介して内側スリーブ32に取付けられ、もう
一つ別の環状スペース92が形成されるようになってお
り、これが断熱材として機能する。外側スリーブ上から
外側に延長するフランジ94は、長手方向で基板10に
近接した周端部96から延長し、固定具類を溶射流から
一層保護している。固定具に冷却がさらに必要となる場
合には、リングが複数個の穴98(一例を示すと8個)
を備えていてもよい。圧縮空気源100が、穴を有する
リングに向けられ、同時に固定具が回転していると、空
気は一連の穴を通って、両スリーブ間のスペースに連続
的に流れるようになる。あるいは、穴を有するリングが
翼を構成し、回転中にそのスペースに空気を強制送風し
てもよい。リング90のスロット101はばね36を通
すところである。
【0016】冷却管の内側端部と基板の閉端部の間のス
ペーシングは、基板のセラミックに亀裂が生じる傾向が
たとえ低くても、冷却効果を高める意味で重要なもので
あることが見いだされた。特にコーティング突端部10
2は、閉端部13から所定の距離Sだけ離れている。こ
の突端部は、コーティングを施される管状基板の外側表
面のなかで閉端部から最も離れた部分である。本件の場
合、この突端部は固定具20に対する基板の導入部と一
致する。冷却管は、基板中空部46内の、距離Sに対し
ておよそ20から80%にあたる距離Dだけ離れた位置
に、内側端部104を有していると好ましい。このよう
にして、冷却効果を高めるために起こす乱流に対して重
要性を有する部分が基板孔内で明確に定まる。この冷却
システムはとくに、一般的にはおよそ2cmから10cmの
長さで、内径がおよそ5mmから5cmの小さな管に適して
いる。さらにまた、流れ効率を極力高めるためには、冷
却管内部の軸通路106の断面積は環状チャネル48の
断面積とほぼ同一であるのが望ましい。例えば0.30
cm2である。
【0017】本発明はまたとくに、管状セラミック基板
に対して、溶射速度の高いプラズマ溶射コーティングプ
ロセスによって、コーティングを行うのに適している。
高速の溶射により、各部分のコーティング時間が少なく
てすみ、重要なコスト削減につながる。この方法は基板
に熱応力をかなりかけるが、本発明で提供される冷却シ
ステムによれば、このプロセスは十分それに耐えうるも
のとなる。
【0018】ジルコニア製のセラミック管でできた酸素
センサーを一態様として説明する。これは、上述したよ
うな方法でプラチナ層を有し、長さが約90mmで内径が
約7mmであった。直径3mmの冷却管を、セラミック管の
長さに対して約35%分の長さだけ挿入した。前記米国
特許4、445、021号に開示され、パーキンエルマ
ー(Perkin-Elmer)社製の10MB型プラズマガンとして
市販されているタイプの頑丈なプラズマガンをセンサー
のコーティングに用いた。パラメーターは次のとおりで
ある:10から75micronsの径のスピネルパウダーを
820番の筒口のガンで溶射させたが、窒素プラズマは
5.3kg/cm2(75psi)で21l/min(45scfh)の流
速、水素2次ガスは3.5kg/cm2(50psi)で13l/m
in(28scfh)の流速、キャリアーガスが28l/min
(60scfh)の窒素のときの溶射速度は60g/min(8p
ounds/hour)、溶射距離10cm、移動速度60cm/sec、
および基板の回転速度500rpmであった。基板内への
冷却空気流速は250l/min(500scfh)であった。
コーティング厚さは500micronsとなった。
【0019】特定の態様を参照しながら本発明を詳しく
述べてきたが、当業者が、本発明の精神の範囲内および
添付した請求項の範囲内に収まる種々の変更修正を行え
ることは明らかであろう。つまり、本発明は添付された
請求項およびそれらと内容的に同一のものによって限定
されるだけであって、特定の態様に限定されるものでは
ない。
【0020】
【発明の効果】管状基板に対する溶射コーティングを行
う際の、特に基板のコーティングと冷却管の構造から生
じた、十分な冷却効果により、過剰な加熱や不均一な加
熱を効果的に抑制し、基板の酸化や亀裂を防止できた。
【0021】特に酸素センサーの溶射コーティングに際
して、溶射速度を高めても、基板に亀裂が生じずコスト
の低下をはかることができた。
【0022】支持装置の構造により固定具は溶射熱から
確実に保護された。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によってコーティングされた酸素センサ
ーの縦断面図。
【図2】酸素センサーを支持する本発明の固定具を含む
装置の縦断面図。
【図3】溶射コーティングを行う本発明の固定具を含む
装置全体の縦断面図。
【符号の説明】
10 管状基板、 11 開口端部、 12 基体部
材、 13 閉端部、14,15 プラチナ層、 16
コーティング、 18 外側のプラチナ表面、 20
固定具、 22 主軸台、 24 旋盤(支持台)、
26 フランジ、 28 座ぐり孔、 30 管部
材、 32 スリーブ、 34 内向きフランジ、 3
6 ばねクリップ、 38 穴、 40 プラグ、 4
1 止めねじ、 42 中央孔、 44 冷却管(軸
管)、 46 管状基板中空部、 48 環状チャネ
ル、 50 基板の内側表面、 52 環状域、 53
壁面、54 支持部材の基体、 56 アクスル、
58 軸受け、 60 軸管、62 パイプ、 64
回転シール、 66 ホース取付け具、 68 ホー
ス、 70 流体冷却剤の源、 71 パイプ、 72
冷却システム、 78斜め方向の通路、 80 外側
スペース、 82 溶射ガン、 84 高温溶射流、
86 溶射ガンの振動性の動き、 88 外側スリー
ブ、 90 リング、 92 環状スペース、 94
フランジ、 96 周端部、 98 リングの穴、 1
00 圧縮空気源、 101 スロット、 102 コ
ーティング突端部、 104 内側端部、 106 冷
却管内部の軸通路、 S 閉端部からコーティング突端
部までの所定の距離、 D 基板中空部内の冷却管内側
端部からコーティング突端部までの距離(距離Sに対し
ておよそ20から80%)

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内側表面と外側表面を有し一方の端部が
    開口し他方の端部が閉じた管状基板に対して溶射コーテ
    ィングを行う際に管状基板を冷却するための固定具にお
    いて、基板をその一端で支持するための支持手段および
    冷却管を備え、前記冷却管が基板の開口端部を通って同
    軸的に基板内に延長し管状基板の内側表面と冷却管の間
    の環状チャネルを形成し、圧縮された流体状の冷却剤を
    受け入れる外側端部を有し、冷却剤が冷却管を通り基板
    内に入り環状チャネルを介して基板から排され、これに
    よって外側表面を溶射コーティングする際に冷却剤が基
    板を冷却するようになっていることを特徴とする固定
    具。
  2. 【請求項2】 前記一端が開口端部である請求項1記載
    の固定具。
  3. 【請求項3】 前記冷却剤がガスである請求項1記載の
    固定具。
  4. 【請求項4】 前記外側表面が、前記閉端部と閉端部か
    ら所定距離だけ離れて位置するコーティング突端部の間
    でコーティングを受け入れ、前記冷却管が所定の距離の
    およそ4分の1から2分の1のところに位置する内側端
    部を有する請求項1記載の固定具。
  5. 【請求項5】 前記冷却管が前記環状チャネルの断面積
    とほぼ同一の断面積を有する通路を内部に有する請求項
    1記載の固定具。
  6. 【請求項6】 前記支持手段が回転可能で、前記基板が
    支持手段と同軸的に配されて溶射コーティングする際に
    長手方向の軸に関して回転可能になっている請求項1記
    載の固定具。
  7. 【請求項7】 前記冷却管が前記支持手段に支持手段と
    共に回転可能となるように取付けられ、前記固定具が、
    冷却管の前記外側端部と接続された回転可能なシールを
    さらに含み、シールが冷却剤を受け入れる固定された受
    け入れ部を有した請求項6記載の固定具。
  8. 【請求項8】 前記支持手段が、前記基板を前記開口端
    部で支持するために用いる管部材と、開口端部からスペ
    ーシングをおいて管部材内にシールされたプラグを備
    え、前記冷却管がプラグの軸孔中に固定されて開口端部
    を通って前記基板に延長し、前記管部材が冷却管との間
    に環状域を形成する管壁を有し、環状域が基板内の環状
    通路と連通し、そして管壁が斜め方向の通路を内部に通
    し環状域から外向きに導き、これによって冷却剤が環状
    域と斜め方向の通路を通って環状チャネルから流出する
    ようになっている請求項6記載の固定具。
  9. 【請求項9】 外側スリーブをさらに備え、外側スリー
    ブが前記支持手段に取付けられ、環状スペースを外側ス
    リーブと支持手段の間に形成するようになっており、こ
    れによって外側スリーブと環状スペースが支持手段を溶
    射から保護するようになっている請求項6記載の固定
    具。
  10. 【請求項10】 前記外側スリーブの基板近接の周端部
    から延長するフランジをさらに含み、前記支持手段を溶
    射から一層保護するようになっている請求項9記載の固
    定具。
  11. 【請求項11】 空気を前記環状スペースに強制的に送
    風する手段をさらに含んだ請求項9記載の固定具。
  12. 【請求項12】 前記環状基板がセラミックの基体部材
    から成る請求項1記載の固定具。
  13. 【請求項13】 コーティングされた前記環状基板が酸
    素センサーを構成する請求項12記載の固定具。
  14. 【請求項14】 内側表面と外側表面を有し一方の端部
    が開口し他方の端部が閉じた管状基板に対して溶射コー
    ティングを行う際に管状基板を冷却するための固定具に
    おいて、基板をその開口端部で同軸的に支持するために
    用いる管部材、開口端部からスペーシングをおいて管部
    材内にシールされたプラグ、および冷却管を備え、冷却
    管がプラグの軸孔中に取付けられて開口端部を通って同
    軸的に基板内に延長し内側表面と冷却管の間に環状チャ
    ネルを形成し、管部材が冷却管との間に環状域を形成す
    る管壁を有し、環状域が基板内の環状通路と連通し、管
    壁が斜め方向の通路を内部に通し環状域から外向きに導
    き、そして冷却管は圧縮されたガス冷却剤を受け入れる
    外側端部を有し、冷却剤が冷却管を通り基板内に入り、
    環状チャネル、環状域、および斜め方向の通路を介して
    基板から排されるようになっており、これによって外側
    表面を溶射コーティングする際に冷却剤が基板を冷却す
    るようになっていることを特徴とする固定具。
  15. 【請求項15】 内側表面と外側表面を有し一方の端部
    が開口し他方の端部が閉じた管状基板に対して溶射コー
    ティングを行う際に管状基板を冷却するための方法にお
    いて、基板をその一端で支持し、冷却管を開口端部を通
    って同軸的に基板内に延長させ内側表面と冷却管の間に
    環状チャネルを形成するようにし、圧縮された流体状の
    冷却剤を冷却管を通し外側端部から基板内に流し、環状
    チャネルを介して基板から排されるようになっており、
    基板の外側表面を溶射コーティングし、これによって溶
    射コーティングする際に冷却剤が基板を冷却するように
    なっていることを特徴とする方法。
  16. 【請求項16】 前記一端が前記開口端部である請求項
    15記載の方法。
  17. 【請求項17】 前記冷却剤がガスである請求項15記
    載の方法。
  18. 【請求項18】 前記外側表面が、前記閉端部と閉端部
    から所定距離だけ離れて位置するコーティング突端部の
    間でコーティングを受け入れ、前記冷却管が所定距離の
    およそ4分の1から2分の1のところに位置する内側端
    部を有する請求項15記載の方法。
  19. 【請求項19】 前記冷却管が前記環状チャネルの断面
    積とほぼ同一の断面積を有する通路を内部に有する請求
    項15記載の方法。
  20. 【請求項20】 前記基板を長手方向の軸上で、冷却管
    と同軸的に回転させることをさらに含む請求項15記載
    の方法。
  21. 【請求項21】 前記環状基板がセラミックの基体部材
    から構成される請求項15記載の方法。
  22. 【請求項22】 溶射工程が溶射セラミックコーティン
    グから構成される請求項21記載の方法。
  23. 【請求項23】 セラミックコーティングを施した管状
    基板が酸素センサーを構成する請求項22記載の方法。
JP6080261A 1993-04-19 1994-04-19 管状基板に対して溶射を行う際の冷却方法およびそのための固定具 Pending JPH06306570A (ja)

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