JPH06305137A - インクジェットヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPH06305137A JPH06305137A JP5096334A JP9633493A JPH06305137A JP H06305137 A JPH06305137 A JP H06305137A JP 5096334 A JP5096334 A JP 5096334A JP 9633493 A JP9633493 A JP 9633493A JP H06305137 A JPH06305137 A JP H06305137A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- ejection port
- laser
- ink jet
- flow path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 インク流路の底部にレーザを照射してインク
吐出口を形成することにより、製造が容易で信頼性の高
いインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供す
る。 【構成】 圧電材料からなる圧力隔壁により分離された
複数のインク流路２の底部にインク流路２の上面側から
レーザを照射してインク吐出口３を形成したインクジェ
ットヘッドにおいて、電極４に電圧を印加して上記圧力
隔壁を撓ませることにより、インク流路２内のインク圧
を高めてインク吐出口３からインクを吐出させる。
吐出口を形成することにより、製造が容易で信頼性の高
いインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供す
る。 【構成】 圧電材料からなる圧力隔壁により分離された
複数のインク流路２の底部にインク流路２の上面側から
レーザを照射してインク吐出口３を形成したインクジェ
ットヘッドにおいて、電極４に電圧を印加して上記圧力
隔壁を撓ませることにより、インク流路２内のインク圧
を高めてインク吐出口３からインクを吐出させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
およびその製造方法に関するものである。
およびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】特開昭６３−２４７０５１号公報に、圧
電材料からなる圧力隔壁により分離された複数のインク
流路の壁面に電極を設け、この電極に電圧を印加するこ
とにより上記壁面を変形させてインクを吐出せしめるイ
ンクジェットヘッドが開示されている。このインクジェ
ットヘッドの構成を図３に示す。ＰＺＴ等の圧電セラミ
ック基板３１に切削加工等によりインク流路３２〜３２
を形成し、基板３１上にインク流路３２に蓋をするよう
にカバープレート３３を取り付け、さらにその端面にイ
ンク吐出口３４〜３４を形成した吐出口部材３５を取り
付けてある。インク供給口３６からインク流路３２にイ
ンクが充填され、電極３７〜３７に選択的に電圧を印加
することにより、各インク流路３２を分離している圧力
隔壁が撓み、インク吐出口３４からインクが吐出する。
電材料からなる圧力隔壁により分離された複数のインク
流路の壁面に電極を設け、この電極に電圧を印加するこ
とにより上記壁面を変形させてインクを吐出せしめるイ
ンクジェットヘッドが開示されている。このインクジェ
ットヘッドの構成を図３に示す。ＰＺＴ等の圧電セラミ
ック基板３１に切削加工等によりインク流路３２〜３２
を形成し、基板３１上にインク流路３２に蓋をするよう
にカバープレート３３を取り付け、さらにその端面にイ
ンク吐出口３４〜３４を形成した吐出口部材３５を取り
付けてある。インク供給口３６からインク流路３２にイ
ンクが充填され、電極３７〜３７に選択的に電圧を印加
することにより、各インク流路３２を分離している圧力
隔壁が撓み、インク吐出口３４からインクが吐出する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のものでは、
実際には基板３１やカバープレート３３の端面に凹凸が
あるため、そこに吐出口部材３５を接着しても十分密着
せず、インクが漏れたり、インク吐出方向が変化したり
てしまう。そこで、吐出口部材３５を取り付ける前に上
記端面を研磨しておく必要があるが、研磨工程は時間が
かかるとともに、基板３１側に入り込んだ研磨剤や研磨
カスの除去が大変である。また、研磨時に基板３１に欠
けやひび等が生じ易くヘッドの歩留まりを低下させる原
因になっていた。
実際には基板３１やカバープレート３３の端面に凹凸が
あるため、そこに吐出口部材３５を接着しても十分密着
せず、インクが漏れたり、インク吐出方向が変化したり
てしまう。そこで、吐出口部材３５を取り付ける前に上
記端面を研磨しておく必要があるが、研磨工程は時間が
かかるとともに、基板３１側に入り込んだ研磨剤や研磨
カスの除去が大変である。また、研磨時に基板３１に欠
けやひび等が生じ易くヘッドの歩留まりを低下させる原
因になっていた。
【０００４】また、吐出口部材３５の接着強度の問題が
あった。吐出口３４の表面にはインクが存在するのでク
リーニングしなければならない。通常はフェルト等で機
械的に擦ってクリーニングする場合が多いが、吐出口部
材３５と基板３１との接着強度が不十分であると両者が
剥離してしまい、長期信頼性を低下させる原因となって
いた。
あった。吐出口３４の表面にはインクが存在するのでク
リーニングしなければならない。通常はフェルト等で機
械的に擦ってクリーニングする場合が多いが、吐出口部
材３５と基板３１との接着強度が不十分であると両者が
剥離してしまい、長期信頼性を低下させる原因となって
いた。
【０００５】さらに、吐出口３４のテーパー加工の問題
があった。吐出口３４はインクの射出効率を考えると、
インク流路３２側の面積より出口の面積の方が小さいテ
ーパー状であることが好ましいが、インク流路３２を形
成した基板３１に吐出口部材３５を接着した後で上記テ
ーパー加工を施すことは困難である。
があった。吐出口３４はインクの射出効率を考えると、
インク流路３２側の面積より出口の面積の方が小さいテ
ーパー状であることが好ましいが、インク流路３２を形
成した基板３１に吐出口部材３５を接着した後で上記テ
ーパー加工を施すことは困難である。
【０００６】また、吐出口部材３５を上記端面に接着す
る際に、吐出口３４とインク流路３２との位置合わせが
難しかった。
る際に、吐出口３４とインク流路３２との位置合わせが
難しかった。
【０００７】本発明は、簡単な構成で容易に製造でき、
かつ信頼性の高いインクジェットヘッドおよびその製造
方法を提供することを目的としている。
かつ信頼性の高いインクジェットヘッドおよびその製造
方法を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電材料から
なる圧力隔壁により分離された複数のインク流路の底部
にインク吐出口を形成し、上記インク流路の壁面に設け
た電極に電圧を印加することにより上記壁面を変形させ
て上記吐出口からインクを吐出せしめることにより、上
記課題を解決するものである。
なる圧力隔壁により分離された複数のインク流路の底部
にインク吐出口を形成し、上記インク流路の壁面に設け
た電極に電圧を印加することにより上記壁面を変形させ
て上記吐出口からインクを吐出せしめることにより、上
記課題を解決するものである。
【０００９】また、本発明は、圧電材料からなるヘッド
基板に圧力隔壁により分離された複数のインク流路を形
成し、このインク流路底部にレーザを照射してインク吐
出口を形成するようにして、上記課題を解決するもので
ある。
基板に圧力隔壁により分離された複数のインク流路を形
成し、このインク流路底部にレーザを照射してインク吐
出口を形成するようにして、上記課題を解決するもので
ある。
【００１０】なお、上記ヘッド基板のインク流路上面側
からレーザを照射して上記吐出口を形成することが望ま
しい。
からレーザを照射して上記吐出口を形成することが望ま
しい。
【００１１】さらに、上記レーザは、ＹＡＧレーザまた
はエキシマレーザであることが望ましい。
はエキシマレーザであることが望ましい。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【００１３】図１に本発明によるインクジェットヘッド
の要部の構成を示す。同図において、１はＰＺＴ等の圧
電材料からなるヘッド基板である。ヘッド基板１には切
削加工等により複数のインク流路２〜２が形成されてい
る。すなわちインク流路２〜２は圧電材料からなる圧力
隔壁により互いに分離された状態となっている。インク
流路２の底面にはそれぞれインク吐出口３が形成されて
いる。インク吐出口３はインク流路２側の面積より出口
側の面積が小さくなるようにテーパー状に加工されてい
る。４〜４は上記圧力隔壁に電圧を印加するための電
極、５〜５は電極４から引き出した電気的配線である。
ヘッド基板１にはインク流路２に蓋をするようにカバー
部材（図示せず。）が接着されてインクジェットヘッド
が形成され、電気的配線にはヘッド駆動手段（図示せ
ず。）から印字タイミングに応じた信号が供給される。
の要部の構成を示す。同図において、１はＰＺＴ等の圧
電材料からなるヘッド基板である。ヘッド基板１には切
削加工等により複数のインク流路２〜２が形成されてい
る。すなわちインク流路２〜２は圧電材料からなる圧力
隔壁により互いに分離された状態となっている。インク
流路２の底面にはそれぞれインク吐出口３が形成されて
いる。インク吐出口３はインク流路２側の面積より出口
側の面積が小さくなるようにテーパー状に加工されてい
る。４〜４は上記圧力隔壁に電圧を印加するための電
極、５〜５は電極４から引き出した電気的配線である。
ヘッド基板１にはインク流路２に蓋をするようにカバー
部材（図示せず。）が接着されてインクジェットヘッド
が形成され、電気的配線にはヘッド駆動手段（図示せ
ず。）から印字タイミングに応じた信号が供給される。
【００１４】上記構成のインクジェットヘッドにおい
て、インク流路２にインクが充填され、上記ヘッド駆動
手段からの印字タイミングに応じた信号により電極４〜
４に選択的に電圧が印加される。電極４に電圧が印加さ
れると、その電極が配設されている圧力隔壁が撓み、イ
ンク流路２内のインク圧力が高くなりインク吐出口３か
らインクが吐出する。このようにして記録が行なわれ
る。
て、インク流路２にインクが充填され、上記ヘッド駆動
手段からの印字タイミングに応じた信号により電極４〜
４に選択的に電圧が印加される。電極４に電圧が印加さ
れると、その電極が配設されている圧力隔壁が撓み、イ
ンク流路２内のインク圧力が高くなりインク吐出口３か
らインクが吐出する。このようにして記録が行なわれ
る。
【００１５】つぎに、上記インクジェットヘッドの製造
方法について説明する。
方法について説明する。
【００１６】まず、ヘッド基板１に切削加工等によりイ
ンク流路２を形成する。つぎに、図２に示したように、
インク流路２の上面側からレーザ発振器２１によりイン
ク流路２の底部にレーザを照射してインク吐出口３を形
成する。レーザによるインク吐出口の形成方法の一例と
して、ＨＯＹＡ製ＹＡＧレーザのウエハーマーカＬＭ−
３００を用い、発振波長１０６４ｎｍで、富士セラミッ
クス製のＰＺＴに対して、繰返し周波数１ｋＨｚで２０
回照射により、深さ250 μｍ、レーザ光入射側直径60μ
ｍのテーパー状のインク吐出口３を形成することができ
る。
ンク流路２を形成する。つぎに、図２に示したように、
インク流路２の上面側からレーザ発振器２１によりイン
ク流路２の底部にレーザを照射してインク吐出口３を形
成する。レーザによるインク吐出口の形成方法の一例と
して、ＨＯＹＡ製ＹＡＧレーザのウエハーマーカＬＭ−
３００を用い、発振波長１０６４ｎｍで、富士セラミッ
クス製のＰＺＴに対して、繰返し周波数１ｋＨｚで２０
回照射により、深さ250 μｍ、レーザ光入射側直径60μ
ｍのテーパー状のインク吐出口３を形成することができ
る。
【００１７】インク吐出口３の形成後、ヘッド基板１に
ＡｌやＮｉ等の電極材料を斜め蒸着法等で成膜し、圧力
隔壁上面の電極材料を分離して電極４を形成した後、上
記カバー部材を接着する。
ＡｌやＮｉ等の電極材料を斜め蒸着法等で成膜し、圧力
隔壁上面の電極材料を分離して電極４を形成した後、上
記カバー部材を接着する。
【００１８】以上のようにして、図１に示したヘッド基
板を製造する。
板を製造する。
【００１９】なお、上記レーザはＹＡＧレーザに限ら
ず、ＸｅＣｌ，ＫｒＦ等のエキシマレーザのアブレーシ
ョン加工でもよい。
ず、ＸｅＣｌ，ＫｒＦ等のエキシマレーザのアブレーシ
ョン加工でもよい。
【００２０】また、上記実施例ではヘッド基板全体を圧
電材料としたが、少なくとも圧力隔壁が圧電材料であれ
ばよい。
電材料としたが、少なくとも圧力隔壁が圧電材料であれ
ばよい。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、ヘッド基板に形成した
インク流路の底部にインク吐出口を形成するので、従来
の吐出口部材の接着面の研磨やインク吐出口とインク流
路の位置合せ等の工程が不要となり、インク吐出口形成
に関する製造工程が簡素化されるとともに、従来の吐出
口部材の剥離の問題が解消され長期信頼性を確保するこ
とができる。
インク流路の底部にインク吐出口を形成するので、従来
の吐出口部材の接着面の研磨やインク吐出口とインク流
路の位置合せ等の工程が不要となり、インク吐出口形成
に関する製造工程が簡素化されるとともに、従来の吐出
口部材の剥離の問題が解消され長期信頼性を確保するこ
とができる。
【図１】本発明によるインクジェットヘッドの要部の構
成を示した説明図
成を示した説明図
【図２】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法
を説明するための説明図
を説明するための説明図
【図３】従来のインクジェットヘッドの構成を示した説
明図
明図
１ ヘッド基板 ２ インク流路 ３ インク吐出口 ４ 電極
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ４１Ｊ 2/135
Claims (4)
- 【請求項１】 圧電材料からなる圧力隔壁により分離さ
れた複数のインク流路の底部にインク吐出口を形成し、
上記インク流路の壁面に設けた電極に電圧を印加するこ
とにより上記壁面を変形させて上記吐出口からインクを
吐出せしめることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項２】 圧電材料からなるヘッド基板に圧力隔壁
により分離された複数のインク流路を形成し、このイン
ク流路底部にレーザを照射してインク吐出口を形成する
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 上記ヘッド基板のインク流路上面側から
レーザを照射して上記吐出口を形成することを特徴とす
る請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項４】 上記レーザは、ＹＡＧ（Ｙ3 Ａｌ5 Ｏ1
2，イットリウムアルミニウムガーネット）レーザまた
はエキシマレーザであることを特徴とする請求項２また
は３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09633493A JP3261799B2 (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09633493A JP3261799B2 (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06305137A true JPH06305137A (ja) | 1994-11-01 |
| JP3261799B2 JP3261799B2 (ja) | 2002-03-04 |
Family
ID=14162125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09633493A Expired - Fee Related JP3261799B2 (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3261799B2 (ja) |
-
1993
- 1993-04-23 JP JP09633493A patent/JP3261799B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3261799B2 (ja) | 2002-03-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4680595A (en) | Impulse ink jet print head and method of making same | |
| JP5373712B2 (ja) | 液体噴射装置 | |
| KR100761893B1 (ko) | 미세방울 침전 장치 | |
| JPH0994952A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2004255696A (ja) | ノズルプレートの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
| JP2001334665A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH0486265A (ja) | インクジェットヘッド及びその加工法 | |
| JPH06305137A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3149663B2 (ja) | インク噴射装置 | |
| JP3697861B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JP2002192734A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| US6722035B1 (en) | Method of manufacturing an ink ejecting device wherein electrodes formed within non-ejecting channels are divided and electrodes formed within ejecting channels are continuous | |
| JP3966329B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2001162795A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JPH09300635A (ja) | インクジェット記録装置 | |
| JP2002113861A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JPH05330061A (ja) | 液滴噴射装置の製造方法 | |
| JP2005153243A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
| KR20120113193A (ko) | 액체 분사 헤드의 제조 방법 | |
| JP3129080B2 (ja) | インク噴射装置の製造方法 | |
| JPH02297445A (ja) | インクジェットプリンタのインク吐出装置 | |
| JPH07137251A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2003246064A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JP2001277504A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3099514B2 (ja) | インクジェットヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20011120 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081221 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081221 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091221 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101221 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101221 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111221 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111221 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121221 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |