JPH0630191A - 密着型イメージセンサ及びイメージセンサユニット - Google Patents
密着型イメージセンサ及びイメージセンサユニットInfo
- Publication number
- JPH0630191A JPH0630191A JP4018615A JP1861592A JPH0630191A JP H0630191 A JPH0630191 A JP H0630191A JP 4018615 A JP4018615 A JP 4018615A JP 1861592 A JP1861592 A JP 1861592A JP H0630191 A JPH0630191 A JP H0630191A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- image sensor
- fiber array
- light
- sensor unit
- Prior art date
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- Pending
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- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ファイバアレイを用いた密着型イメージセ
ンサユニットにおいて、読み取りの際の不必要な光（迷
光）及び光の交錯（クロストーク）を無くし、高品質、
高分解能な読み取りを可能にする。 【構成】 外表面に吸収体を有する光ファイバを多数並
べて作った光ファイバアレイ１７を有する透光性基板１
８の表面に回路導体層１４を形成し、その上に透明光硬
化型絶縁樹脂２１を介してイメージセンサチップ１１を
フェイスダウンボンディングする。透光性基板１８の表
面及び裏面には、光が通る領域以外に不透明樹脂１５
を、光ファイバアレイの原稿密着面側には透明樹脂１６
を塗布し、上方からＬＥＤアレイにより照明をする構成
とする。
ンサユニットにおいて、読み取りの際の不必要な光（迷
光）及び光の交錯（クロストーク）を無くし、高品質、
高分解能な読み取りを可能にする。 【構成】 外表面に吸収体を有する光ファイバを多数並
べて作った光ファイバアレイ１７を有する透光性基板１
８の表面に回路導体層１４を形成し、その上に透明光硬
化型絶縁樹脂２１を介してイメージセンサチップ１１を
フェイスダウンボンディングする。透光性基板１８の表
面及び裏面には、光が通る領域以外に不透明樹脂１５
を、光ファイバアレイの原稿密着面側には透明樹脂１６
を塗布し、上方からＬＥＤアレイにより照明をする構成
とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学画像を電気信号に変
換する密着型イメージセンサ及びイメージセンサユニッ
トに関するものである。
換する密着型イメージセンサ及びイメージセンサユニッ
トに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】 従来の光ファイバアレイ
を用いた密着型イメージセンサは、第２図に示す様に、
半導体イメージセンサ素子１に形成した受光素子アレイ
２が当接するように実装され、光ファイバアレイ３の他
端側に密着して置いた原稿４の光情報を光ファイバアレ
イ３を用いて受光素子アレイ２に導き画像信号に変換し
ていた。
を用いた密着型イメージセンサは、第２図に示す様に、
半導体イメージセンサ素子１に形成した受光素子アレイ
２が当接するように実装され、光ファイバアレイ３の他
端側に密着して置いた原稿４の光情報を光ファイバアレ
イ３を用いて受光素子アレイ２に導き画像信号に変換し
ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うなイメージセンサでは、原稿４からの光情報が、光フ
ァイバアレイ３を構成する各々の光ファイバ間で交錯
（クロストーク）したり、不必要な光情報（迷光）が存
在したりする事により、画像読み取りの性能が低かっ
た。
うなイメージセンサでは、原稿４からの光情報が、光フ
ァイバアレイ３を構成する各々の光ファイバ間で交錯
（クロストーク）したり、不必要な光情報（迷光）が存
在したりする事により、画像読み取りの性能が低かっ
た。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明のイメージセンサ及びイメージセンサユニッ
トは、光ファイバアレイを構成する各々の光ファイバの
外表面に吸収体を設け、さらに光ファイバアレイの原稿
密着面側に、光ファイバのコアとほぼ同等の屈折率を有
する透明樹脂を塗布し、さらにこの端部とほぼ直角方向
の壁面を設け、黒色系不透明樹脂層を設けたものであ
る。
めに本発明のイメージセンサ及びイメージセンサユニッ
トは、光ファイバアレイを構成する各々の光ファイバの
外表面に吸収体を設け、さらに光ファイバアレイの原稿
密着面側に、光ファイバのコアとほぼ同等の屈折率を有
する透明樹脂を塗布し、さらにこの端部とほぼ直角方向
の壁面を設け、黒色系不透明樹脂層を設けたものであ
る。
【０００５】
【作用】本発明は上記した構成によって、光ファイバ間
での光情報の交錯（クロストーク）を、光ファイバ外表
面の吸収体により防止し、さらに光ファイバアレイの原
稿密着面及びこれに直角方向の壁面に、それぞれ透明樹
脂及び黒色系不透明樹脂を塗布する事により、不必要な
光情報（迷光）を無くし、高品質、高分解能の画像読み
取りを実現させる。
での光情報の交錯（クロストーク）を、光ファイバ外表
面の吸収体により防止し、さらに光ファイバアレイの原
稿密着面及びこれに直角方向の壁面に、それぞれ透明樹
脂及び黒色系不透明樹脂を塗布する事により、不必要な
光情報（迷光）を無くし、高品質、高分解能の画像読み
取りを実現させる。
【０００６】
【実施例】以下本発明の一実施例のイメージセンサにつ
いて、図面を参照しながら説明する。
いて、図面を参照しながら説明する。
【０００７】図１は本発明の実施例におけるイメージセ
ンサの正面断面図を示すものである。１１はイメージセ
ンサチップ、１２はイメージセンサチップ１１の表面上
に形成された受光素子アレイ、１３はイメージセンサチ
ップ１１の表面上に設けられた電極、１４は透光性基板
１８の表面上に形成された回路導体層、１５は透光性基
板１８の表面及び裏面に設けられた不透明樹脂、１６は
光ファイバアレイ１７の原稿密着面側に塗布した透明樹
脂、１９は原稿２０を照明するためのＬＥＤアレイ、２
１はイメージセンサチップ１１を透光性基板１８に実装
するための透明光硬化型絶縁樹脂である。
ンサの正面断面図を示すものである。１１はイメージセ
ンサチップ、１２はイメージセンサチップ１１の表面上
に形成された受光素子アレイ、１３はイメージセンサチ
ップ１１の表面上に設けられた電極、１４は透光性基板
１８の表面上に形成された回路導体層、１５は透光性基
板１８の表面及び裏面に設けられた不透明樹脂、１６は
光ファイバアレイ１７の原稿密着面側に塗布した透明樹
脂、１９は原稿２０を照明するためのＬＥＤアレイ、２
１はイメージセンサチップ１１を透光性基板１８に実装
するための透明光硬化型絶縁樹脂である。
【０００８】次に、以上のように構成されたイメージセ
ンサ及びイメージセンサユニットの詳部について詳細に
説明する。
ンサ及びイメージセンサユニットの詳部について詳細に
説明する。
【０００９】まず半導体プロセスを用いて単結晶シリコ
ン基板（ウエハ）上に、フォトトランジスタまたはフォ
トダイオード等の受光素子アレイ１２とＣＣＤやＭＯ
Ｓ、バイポーラＩＣ等のアクセス回路（図示せず）を設
けたものを作る。各電極１３については、２層Ａｌ配線
のプロセスを用い、スパッタリング方法により数μｍ程
度ウエハ表面より突出した構造になっている。その後こ
のウエハを高精度ダイシング技術により切断し、半導体
イメージセンサチップ１１を作る。
ン基板（ウエハ）上に、フォトトランジスタまたはフォ
トダイオード等の受光素子アレイ１２とＣＣＤやＭＯ
Ｓ、バイポーラＩＣ等のアクセス回路（図示せず）を設
けたものを作る。各電極１３については、２層Ａｌ配線
のプロセスを用い、スパッタリング方法により数μｍ程
度ウエハ表面より突出した構造になっている。その後こ
のウエハを高精度ダイシング技術により切断し、半導体
イメージセンサチップ１１を作る。
【００１０】次に直径がおよそ２５μｍの光ファイバの
クラッドの外表面に厚さ２〜３μｍの吸収体を形成し、
この光ファイバ多数本を２枚のガラスより成る透光性基
板１８に挟み込んで、両側から圧力を加えながらガラス
融点程度の熱を加え光ファイバアレイ１７を作製する。
次にガラス基板１８の一端表面に、ＡｕやＡｇ−Ｐｔ等
の貴金属を用いてスクリーン印刷法または薄膜形成法と
フォトリソ法により回路導体層１４を形成する。次に、
先ほど作製したイメージセンサチップ１１を、受光素子
アレイ１２が光ファイバアレイ１７に密着するように、
アクリレート系の透明光硬化型絶縁樹脂２１を介してフ
ェイスダウンボンディングで、電極１３が回路導体層１
４の所定の位置に接続する様に実装する。さらに、この
ガラス基板１８の両面にガラス基板１８と同じ屈折率
（ｎ＝１．５２）をもつ黒色系の不透明樹脂１５をスク
リーン印刷法等で、照明光が通る部分以外に厚さ約６０
μｍで形成する。最後に、光ファイバアレイの原稿密着
面側の端に屈折率が光ファイバのコアと等しい（ｎ＝
１．６）透明樹脂１６をスクリーン印刷法等で同じく厚
さ約６０μｍで塗布する。ここで用いる不透明樹脂１５
及び透明樹脂１６に関しては、エポキシ系の硬い（鉛筆
硬度〜７Ｈ）ものを採用し、直接原稿が擦れても大丈夫
な耐摩耗性のあるものとした。
クラッドの外表面に厚さ２〜３μｍの吸収体を形成し、
この光ファイバ多数本を２枚のガラスより成る透光性基
板１８に挟み込んで、両側から圧力を加えながらガラス
融点程度の熱を加え光ファイバアレイ１７を作製する。
次にガラス基板１８の一端表面に、ＡｕやＡｇ−Ｐｔ等
の貴金属を用いてスクリーン印刷法または薄膜形成法と
フォトリソ法により回路導体層１４を形成する。次に、
先ほど作製したイメージセンサチップ１１を、受光素子
アレイ１２が光ファイバアレイ１７に密着するように、
アクリレート系の透明光硬化型絶縁樹脂２１を介してフ
ェイスダウンボンディングで、電極１３が回路導体層１
４の所定の位置に接続する様に実装する。さらに、この
ガラス基板１８の両面にガラス基板１８と同じ屈折率
（ｎ＝１．５２）をもつ黒色系の不透明樹脂１５をスク
リーン印刷法等で、照明光が通る部分以外に厚さ約６０
μｍで形成する。最後に、光ファイバアレイの原稿密着
面側の端に屈折率が光ファイバのコアと等しい（ｎ＝
１．６）透明樹脂１６をスクリーン印刷法等で同じく厚
さ約６０μｍで塗布する。ここで用いる不透明樹脂１５
及び透明樹脂１６に関しては、エポキシ系の硬い（鉛筆
硬度〜７Ｈ）ものを採用し、直接原稿が擦れても大丈夫
な耐摩耗性のあるものとした。
【００１１】このイメージセンサを用いて、裏面に原稿
２０を密着させ、光源であるＬＥＤアレイ１９からの光
を、ガラス基板１８の上面側の黒色系不透明樹脂１５が
形成されていない領域から入射させ、ガラス基板１８を
通り、光ファイバの吸収体を通して、光ファイバを通じ
て原稿２０を照明させる。この際、光ファイバの吸収体
に関しては、ある程度光が通るように、光の透過率を約
２０％程度にしている。
２０を密着させ、光源であるＬＥＤアレイ１９からの光
を、ガラス基板１８の上面側の黒色系不透明樹脂１５が
形成されていない領域から入射させ、ガラス基板１８を
通り、光ファイバの吸収体を通して、光ファイバを通じ
て原稿２０を照明させる。この際、光ファイバの吸収体
に関しては、ある程度光が通るように、光の透過率を約
２０％程度にしている。
【００１２】この時不透明樹脂１５及び透明樹脂１６が
あることにより、ＬＥＤアレイ１９からの光のガラス基
板１８及び光ファイバの原稿密着面側での反射による不
必要な光（迷光）を消去することができた。
あることにより、ＬＥＤアレイ１９からの光のガラス基
板１８及び光ファイバの原稿密着面側での反射による不
必要な光（迷光）を消去することができた。
【００１３】原稿２０からの光情報は、光ファイバアレ
イにより、光の交錯（クロストーク）なしに、一対一の
対応で受光素子アレイ１２に導かれる。
イにより、光の交錯（クロストーク）なしに、一対一の
対応で受光素子アレイ１２に導かれる。
【００１４】この様にした結果、８dots/mmの受光素子
アレイを用いるとＭＴＦ値が4lp/mmで７０％と高分解能
の読み取りが可能なイメージセンサユニットが実現でき
た。
アレイを用いるとＭＴＦ値が4lp/mmで７０％と高分解能
の読み取りが可能なイメージセンサユニットが実現でき
た。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、読み取り
の際の光の交錯（クロストーク）及び不必要な光（迷
光）を無くすことが可能となり、高品質、高分解能で画
像を読み取るイメージセンサユニットを実現することが
できる。
の際の光の交錯（クロストーク）及び不必要な光（迷
光）を無くすことが可能となり、高品質、高分解能で画
像を読み取るイメージセンサユニットを実現することが
できる。
【図１】本発明の実施例におけるイメージセンサの正面
断面図である。
断面図である。
【図２】従来のイメージセンサの正面断面図及び側面断
面図である。
面図である。
１１ イメージセンサチップ １２ 受光素子アレイ １３ 電極 １４ 回路導体層 １５ 不透明樹脂 １６ 透明樹脂 １７ 光ファイバアレイ １８ 透光性基板 １９ ＬＥＤアレイ ２０ 原稿 ２１ 透明光硬化型絶縁樹脂
Claims (5)
- 【請求項１】複数の光ファイバを整列して形成した光フ
ァイバアレイと、この光ファイバアレイの一端側に設け
た複数個の受光素子アレイとを備え、前記光ファイバは
中心部のコアと、このコアの外表面に設けたクラッド
と、このクラッドの外表面に設けた吸収体により構成さ
れており、またこの光ファイバアレイの他端面には透明
樹脂を塗布し、これを原稿密着面とした密着型イメージ
センサ - 【請求項２】光ファイバアレイの他端側に塗布する透明
樹脂の屈折率が光ファイバのコアに等しいことを特徴と
した請求項１記載の密着型イメージセンサ - 【請求項３】光ファイバアレイの一端側に光源を設け、
この光源からの光をスリットを透した後、光ファイバア
レイ、及び透明樹脂を透して原稿を照明する構成にした
請求項１記載の密着型イメージセンサユニット - 【請求項４】光ファイバアレイの他端側において、この
端部とほぼ直角方向の壁面を設け、この壁面には不透明
樹脂の膜を設ける構成とした請求項３記載の密着型イメ
ージセンサユニット - 【請求項５】光ファイバアレイの他端側に設けた透明樹
脂及び不透明樹脂の硬度が鉛筆硬度で３Ｈ以上の請求項
４記載の密着型イメージセンサユニット
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4018615A JPH0630191A (ja) | 1992-02-04 | 1992-02-04 | 密着型イメージセンサ及びイメージセンサユニット |
| DE69321745T DE69321745T2 (de) | 1992-02-04 | 1993-02-02 | Direktkontakt-Bildsensor und Herstellungsverfahren dafür |
| EP93101546A EP0554825B1 (en) | 1992-02-04 | 1993-02-02 | Direct contact type image sensor and its production method |
| KR93001461A KR970011025B1 (en) | 1992-02-04 | 1993-02-04 | Direct contact type image sensor and its production method |
| US08/487,971 US5835142A (en) | 1992-02-04 | 1995-06-07 | Direct contact type image sensor and its production method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4018615A JPH0630191A (ja) | 1992-02-04 | 1992-02-04 | 密着型イメージセンサ及びイメージセンサユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0630191A true JPH0630191A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=11976534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4018615A Pending JPH0630191A (ja) | 1992-02-04 | 1992-02-04 | 密着型イメージセンサ及びイメージセンサユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0630191A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0338963A (ja) * | 1989-07-05 | 1991-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | イメージセンサ |
| JPH03238965A (ja) * | 1990-02-16 | 1991-10-24 | Asahi Glass Co Ltd | 密着型画像読取装置 |
-
1992
- 1992-02-04 JP JP4018615A patent/JPH0630191A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0338963A (ja) * | 1989-07-05 | 1991-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | イメージセンサ |
| JPH03238965A (ja) * | 1990-02-16 | 1991-10-24 | Asahi Glass Co Ltd | 密着型画像読取装置 |
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