JPH0629592A - 放電励起レ−ザ装置 - Google Patents
放電励起レ−ザ装置Info
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- JPH0629592A JPH0629592A JP16497291A JP16497291A JPH0629592A JP H0629592 A JPH0629592 A JP H0629592A JP 16497291 A JP16497291 A JP 16497291A JP 16497291 A JP16497291 A JP 16497291A JP H0629592 A JPH0629592 A JP H0629592A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 材料加工や光リソグラフィ用光源等として実
用上好適に使用できる放電励起レーザ装置であって、殊
にレーザの横モードを一定に維持できる放電励起レーザ
装置を提供する。 【構成】 放電電極対の少なくとも一方の電極に、他方
の電極方向への移動手段を備える放電励起レーザ装置と
した。
用上好適に使用できる放電励起レーザ装置であって、殊
にレーザの横モードを一定に維持できる放電励起レーザ
装置を提供する。 【構成】 放電電極対の少なくとも一方の電極に、他方
の電極方向への移動手段を備える放電励起レーザ装置と
した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、材料加工や光リソグラ
フィ用光源等として好適に使用できる放電励起レーザ装
置に係わり、殊に放電幅を一定に維持できる放電励起レ
ーザ装置に関する。
フィ用光源等として好適に使用できる放電励起レーザ装
置に係わり、殊に放電幅を一定に維持できる放電励起レ
ーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】放電励起レーザ装置は、放電電極の放電
部が消耗すると、放電幅が変化し、実用上問題となる。
部が消耗すると、放電幅が変化し、実用上問題となる。
【０００３】例えば材料加工の場合、この変化は、横モ
ードを劣化させ、ビームの集光性を変化させ、レーザ出
力を低下させる。また光リソグラフィ用光源の場合（例
えば狭帯域エキシマレーザである場合）、この変化は、
スペクトル幅の安定化を阻害する。
ードを劣化させ、ビームの集光性を変化させ、レーザ出
力を低下させる。また光リソグラフィ用光源の場合（例
えば狭帯域エキシマレーザである場合）、この変化は、
スペクトル幅の安定化を阻害する。
【０００４】かかる問題に鑑み、本発明者等は、先に、
電極の放電部が消耗しにくく、かつ、消耗しても放電幅
の変化が少ない放電励起レーザ装置を開示している（特
願平２年第２１９６０３号及び特願平２年第２１９６０
４号参照）。
電極の放電部が消耗しにくく、かつ、消耗しても放電幅
の変化が少ない放電励起レーザ装置を開示している（特
願平２年第２１９６０３号及び特願平２年第２１９６０
４号参照）。
【０００５】概略説明すれば、「放電電極が一定領域に
わたり電極の消耗状態に依らず常に均一電界強度となる
放電部を備えれば、放電幅の変化の発生を抑制できる」
との見地から、前者特願平２年第２１９６０３号は、少
なくとも一方の電極の放電部を、断面長短径比が所定比
率の範囲である楕円形状とし、かつ、該電極幅を前記均
一電界強度幅と略同一とする構成とした。
わたり電極の消耗状態に依らず常に均一電界強度となる
放電部を備えれば、放電幅の変化の発生を抑制できる」
との見地から、前者特願平２年第２１９６０３号は、少
なくとも一方の電極の放電部を、断面長短径比が所定比
率の範囲である楕円形状とし、かつ、該電極幅を前記均
一電界強度幅と略同一とする構成とした。
【０００６】後者特願平２年第２１９６０４号は、少な
くとも一方の電極の左右に電界緩和用導体を追設する構
成とした。
くとも一方の電極の左右に電界緩和用導体を追設する構
成とした。
【０００７】以上の構成によれば、放電部は消耗しにく
く、かつ、消耗しても、均一な消耗でかつ電界は均一と
なるので放電幅の変化の発生を抑制することができる。
この結果、上記実用上の問題を解決できるようになる。
く、かつ、消耗しても、均一な消耗でかつ電界は均一と
なるので放電幅の変化の発生を抑制することができる。
この結果、上記実用上の問題を解決できるようになる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかるに上記構成の放
電部は、確かに消耗しにくく、しかも、消耗しても均一
ではあるが、この消耗に伴って電極間隔が変化すること
に変わりはない。そしてこの電極間隔の変化もまた、放
電幅を変化させる一因となっている。
電部は、確かに消耗しにくく、しかも、消耗しても均一
ではあるが、この消耗に伴って電極間隔が変化すること
に変わりはない。そしてこの電極間隔の変化もまた、放
電幅を変化させる一因となっている。
【０００９】
【課題を解決するための手段及び作用】上記課題を解決
するため、本発明に係わる放電励起レーザ装置は、放電
電極対の少なくとも一方の電極に、他方の電極方向への
移動手段を備える構成とした。かかる構成によれば、放
電部消耗時、該電極移動手段により、該電極を移動させ
て電極間隔を調整できるようになる。
するため、本発明に係わる放電励起レーザ装置は、放電
電極対の少なくとも一方の電極に、他方の電極方向への
移動手段を備える構成とした。かかる構成によれば、放
電部消耗時、該電極移動手段により、該電極を移動させ
て電極間隔を調整できるようになる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の最適なる実施例を図面を参照
して説明する。図１は第１実施例なる放電励起レーザ装
置の模式側面断面図である。レーザチャンバ１内には媒
質ガス２が密閉封入されている。カソード電極４ｃは絶
縁部材３に固設され、アノード電極４ａは支持台６に固
設されている。符号５は放電領域、符号ｄは電極間隔、
符号５ｃはカソード電極４ｃの放電部、他方符号５ａは
アソード電極４ａの放電部である。かかる構成の放電励
起レーザ装置において、電極移動手段はアノード電極４
ａの支持台６を上下させるマイクロメータ７で大略構成
される。該マイクロメータ７はレーザチャンバ壁の貫通
孔に嵌装され、該マイクロメータ７を回すことにより、
支持台６を上下させることにより、該支持台上のアノー
ド電極４ａを上下させ、電極間隔ｄを調整可能としてい
る。
して説明する。図１は第１実施例なる放電励起レーザ装
置の模式側面断面図である。レーザチャンバ１内には媒
質ガス２が密閉封入されている。カソード電極４ｃは絶
縁部材３に固設され、アノード電極４ａは支持台６に固
設されている。符号５は放電領域、符号ｄは電極間隔、
符号５ｃはカソード電極４ｃの放電部、他方符号５ａは
アソード電極４ａの放電部である。かかる構成の放電励
起レーザ装置において、電極移動手段はアノード電極４
ａの支持台６を上下させるマイクロメータ７で大略構成
される。該マイクロメータ７はレーザチャンバ壁の貫通
孔に嵌装され、該マイクロメータ７を回すことにより、
支持台６を上下させることにより、該支持台上のアノー
ド電極４ａを上下させ、電極間隔ｄを調整可能としてい
る。
【００１１】図２は第２実施例の模式側面断面図であ
る。電極移動手段はカム８で大略構成される。カム８
は、ｃ−ｃ断面図に示すように、回転軸９の外周に設け
られ、該カム８の外周はアノード電極４ａの下面に摺接
するようになっている。回転軸９はレーザチャンバ壁の
貫通孔に嵌装され、該レーザチャンバ９の外側に螺子部
１０を備えている。この螺子部１０を回すことにより、
該アノード電極４ａを上下させ、電極間隔ｄを調整可能
としている。
る。電極移動手段はカム８で大略構成される。カム８
は、ｃ−ｃ断面図に示すように、回転軸９の外周に設け
られ、該カム８の外周はアノード電極４ａの下面に摺接
するようになっている。回転軸９はレーザチャンバ壁の
貫通孔に嵌装され、該レーザチャンバ９の外側に螺子部
１０を備えている。この螺子部１０を回すことにより、
該アノード電極４ａを上下させ、電極間隔ｄを調整可能
としている。
【００１２】上記構成において、図示しないが、レーザ
チャンバ壁におけるマイクロメータ７や回転軸９の貫通
孔はその内周にはシール部材を内嵌しており、レーザチ
ャンバからの圧力洩れを防止している。
チャンバ壁におけるマイクロメータ７や回転軸９の貫通
孔はその内周にはシール部材を内嵌しており、レーザチ
ャンバからの圧力洩れを防止している。
【００１３】尚、アノード電極４ａからコンデンサ１１
への戻り配線１２は、例えば、図３に示すようなフレキ
シブル形としたり、図４に示すようなアノード電極４ａ
への摺接形としたり、その他適宜なる構成とするのが望
ましい（尚、図３及び図４は実施例をレーザ出力方向か
ら見た模式正面断面図である）。
への戻り配線１２は、例えば、図３に示すようなフレキ
シブル形としたり、図４に示すようなアノード電極４ａ
への摺接形としたり、その他適宜なる構成とするのが望
ましい（尚、図３及び図４は実施例をレーザ出力方向か
ら見た模式正面断面図である）。
【００１４】さらに、アノード４ａの原位置復帰が円滑
でない場合や回転駆動系のバックラッシュやリンク系の
ガタツキなどによって該アノード４ａの移動量がばらつ
く場合は、バネなどの弾性部材、その他適宜なる部材を
添えて、該アノード４ａを復帰方向へ常時付勢しておく
のが望ましい。
でない場合や回転駆動系のバックラッシュやリンク系の
ガタツキなどによって該アノード４ａの移動量がばらつ
く場合は、バネなどの弾性部材、その他適宜なる部材を
添えて、該アノード４ａを復帰方向へ常時付勢しておく
のが望ましい。
【００１５】さらにまた、移動手段の駆動方式は、手動
制御又は自動制御でもよく、後者自動制御の場合は、例
えばパルスモータ、磁歪素子若しくは電歪素子などのア
クチュエータを用いてのフィードバック制御が望まし
い。
制御又は自動制御でもよく、後者自動制御の場合は、例
えばパルスモータ、磁歪素子若しくは電歪素子などのア
クチュエータを用いてのフィードバック制御が望まし
い。
【００１６】他の実施例としては、移動手段は、上記の
如くアノード電極４ａだけに具備させるのではなく、カ
ソード電極４ｃ又は両電極４ａ、４ｃに具備させてもよ
い。
如くアノード電極４ａだけに具備させるのではなく、カ
ソード電極４ｃ又は両電極４ａ、４ｃに具備させてもよ
い。
【００１７】さらに、図示しないが、アノード電極４ａ
又はその支持台６に斜面を設け、この斜面に、例えば楔
など、斜面を備えた部材の該斜面を当接させると共に、
該部材をレーザチャンバ外部から別途備えたバーやリン
クなどによって移動させて該アノード電極４ａを上下さ
せる構成、又は、アノード電極４ａにリンク機構を直結
させて該アノード電極４ａを上下させる構成などを掲げ
ることができる。
又はその支持台６に斜面を設け、この斜面に、例えば楔
など、斜面を備えた部材の該斜面を当接させると共に、
該部材をレーザチャンバ外部から別途備えたバーやリン
クなどによって移動させて該アノード電極４ａを上下さ
せる構成、又は、アノード電極４ａにリンク機構を直結
させて該アノード電極４ａを上下させる構成などを掲げ
ることができる。
【００１８】以下実施例の効果を述べる。上記実施例に
よれば、放電部５ｃ、５ａが消耗しても、電極移動手段
により、電極４ｃ、４ａ又は４ｃ及び４ａを移動させ、
該電極間隔ｄを自在に調整できる。即ち、電極間隔ｄを
所望量に調整することができる。別言すれば、電極間隔
ｄを一定に維持することができるため、電極間隔ｄの変
化に起因した放電幅の変化の発生を防止することがで
き、レーザ出力、ビームの横モード及びレーザ効率特性
を安定化させることができる。
よれば、放電部５ｃ、５ａが消耗しても、電極移動手段
により、電極４ｃ、４ａ又は４ｃ及び４ａを移動させ、
該電極間隔ｄを自在に調整できる。即ち、電極間隔ｄを
所望量に調整することができる。別言すれば、電極間隔
ｄを一定に維持することができるため、電極間隔ｄの変
化に起因した放電幅の変化の発生を防止することがで
き、レーザ出力、ビームの横モード及びレーザ効率特性
を安定化させることができる。
【００１９】本実施例は単独で使用しても当然に上記効
果を奏するが、例えば特願平２年第２１９６０３号や特
願平２年第２１９６０４号の放電励起レーザ装置へ利用
すれば、放電幅の変化の発生をより少なく制御できる。
例えば図３は特願平２年第２１９６０４号の放電励起レ
ーザ装置に上記実施例を利用して構成されており、符号
１３が該特願平２年第２１９６０４号における電界緩和
用導体である。また図４を参照して補足説明すれば、実
験によれば、電極間隔ｄを電極幅ｗ1 の２倍以上にする
と、電極幅ｗ1 と放電幅ｗ2 とは常時略同一となり、か
つ、放電幅の変化の発生を抑制できる。従って、かかる
配置比率の放電励起レーザ装置に対して上記実施例を利
用しても、上記同様の効果を得ることができる。
果を奏するが、例えば特願平２年第２１９６０３号や特
願平２年第２１９６０４号の放電励起レーザ装置へ利用
すれば、放電幅の変化の発生をより少なく制御できる。
例えば図３は特願平２年第２１９６０４号の放電励起レ
ーザ装置に上記実施例を利用して構成されており、符号
１３が該特願平２年第２１９６０４号における電界緩和
用導体である。また図４を参照して補足説明すれば、実
験によれば、電極間隔ｄを電極幅ｗ1 の２倍以上にする
と、電極幅ｗ1 と放電幅ｗ2 とは常時略同一となり、か
つ、放電幅の変化の発生を抑制できる。従って、かかる
配置比率の放電励起レーザ装置に対して上記実施例を利
用しても、上記同様の効果を得ることができる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わる放
電励起レーザ装置は、放電電極対の少なくとも一方の電
極に、他方の電極方向への移動手段を備えた構成である
ため、電極の放電部が消耗しても、該移動手段により、
電極を移動させて電極間隔を自在に調整することができ
る。即ち、電極間隔を一定量に維持することができるの
で、電極間隔の変化による放電幅の変化の発生を防止す
ることができる。実用上は、レーザ出力やレーザ効率特
性の安定化を図ることができ、例えば、良好なる横モー
ド、安定した集光性のビーム、かつ、安定したレーザ出
力による材料加工を実施でき、また、安定したスペクト
ル幅による光リソグラフィを実施できる。
電励起レーザ装置は、放電電極対の少なくとも一方の電
極に、他方の電極方向への移動手段を備えた構成である
ため、電極の放電部が消耗しても、該移動手段により、
電極を移動させて電極間隔を自在に調整することができ
る。即ち、電極間隔を一定量に維持することができるの
で、電極間隔の変化による放電幅の変化の発生を防止す
ることができる。実用上は、レーザ出力やレーザ効率特
性の安定化を図ることができ、例えば、良好なる横モー
ド、安定した集光性のビーム、かつ、安定したレーザ出
力による材料加工を実施でき、また、安定したスペクト
ル幅による光リソグラフィを実施できる。
【図１】第１実施例なる放電励起レーザ装置の模式側面
断面図である。
断面図である。
【図２】第２実施例なる放電励起レーザ装置の模式側面
断面図である。
断面図である。
【図３】実施例なる模式放電励起レーザ装置の模式正面
断面図である。
断面図である。
【図４】他の実施例なる模式放電励起レーザ装置の模式
正面断面図である。
正面断面図である。
１ レーザチャンバ ２ 媒質ガス ３ 絶縁部材 ４ａ アノード電極 ４ｃ カソード電極 ５ 放電領域 ５ａ アノード電極放電部 ５ｃ カソード電極の放電部 ６ 支持台 ７ マイコロメータ ８ カム ９ 回転軸 １０ 螺子部 １１ コンデンサ １２ 戻り電流用配線 １３ 電界緩和用導体 １４ シール用Ｏーリング １５ レーザ光取り出し用窓材 ｄ 電極間隔 Ｗ１、Ｗ２ 放電幅
Claims (1)
- 【請求項１】 放電励起レーザ装置において、放電電極
対の少なくとも一方の電極に、他方の電極方向への移動
手段を備えた構成を特徴とする放電励起レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16497291A JPH0629592A (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 放電励起レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16497291A JPH0629592A (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 放電励起レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0629592A true JPH0629592A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=15803385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16497291A Pending JPH0629592A (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 放電励起レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0629592A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1287592A1 (en) * | 2000-06-09 | 2003-03-05 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser with blade-dielectric electrode |
| JP2010525571A (ja) * | 2007-04-16 | 2010-07-22 | サイマー インコーポレイテッド | ガス放電レーザ用伸張可能電極 |
| JP2012094750A (ja) * | 2010-10-28 | 2012-05-17 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器およびガスレーザ発振器の放電電極位置調整方法 |
| WO2014046186A1 (ja) * | 2012-09-21 | 2014-03-27 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置 |
| WO2015140930A1 (ja) * | 2014-03-18 | 2015-09-24 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置及びその制御方法 |
| WO2016143500A1 (ja) * | 2015-03-11 | 2016-09-15 | ギガフォトン株式会社 | エキシマレーザチャンバ装置 |
| US9601893B2 (en) | 2013-10-02 | 2017-03-21 | Gigaphoton Inc. | Laser apparatus |
-
1991
- 1991-06-10 JP JP16497291A patent/JPH0629592A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1287592A1 (en) * | 2000-06-09 | 2003-03-05 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser with blade-dielectric electrode |
| EP1287592A4 (en) * | 2000-06-09 | 2005-11-09 | Cymer Inc | GAS LASER WITH DI-ELECTRIC ELECTRODE WITH BLADE |
| JP2010525571A (ja) * | 2007-04-16 | 2010-07-22 | サイマー インコーポレイテッド | ガス放電レーザ用伸張可能電極 |
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| WO2014046186A1 (ja) * | 2012-09-21 | 2014-03-27 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置 |
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| WO2015140930A1 (ja) * | 2014-03-18 | 2015-09-24 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置及びその制御方法 |
| JPWO2015140930A1 (ja) * | 2014-03-18 | 2017-04-06 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置及びその制御方法 |
| US9853410B2 (en) | 2014-03-18 | 2017-12-26 | Gigaphoton Inc. | Gas laser device and control method therefor |
| WO2016143500A1 (ja) * | 2015-03-11 | 2016-09-15 | ギガフォトン株式会社 | エキシマレーザチャンバ装置 |
| CN107210574A (zh) * | 2015-03-11 | 2017-09-26 | 极光先进雷射株式会社 | 准分子激光腔室装置 |
| US10050403B2 (en) | 2015-03-11 | 2018-08-14 | Gigaphoton Inc. | Excimer laser chamber device |
| CN107210574B (zh) * | 2015-03-11 | 2019-12-20 | 极光先进雷射株式会社 | 准分子激光腔室装置 |
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