JPH06295413A - 磁気ヘッド - Google Patents

磁気ヘッド

Info

Publication number
JPH06295413A
JPH06295413A JP7949893A JP7949893A JPH06295413A JP H06295413 A JPH06295413 A JP H06295413A JP 7949893 A JP7949893 A JP 7949893A JP 7949893 A JP7949893 A JP 7949893A JP H06295413 A JPH06295413 A JP H06295413A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
magnetic head
magnetic
metal thin
gap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7949893A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Ogura
隆 小倉
Takao Yamano
孝雄 山野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
Priority to JP7949893A priority Critical patent/JPH06295413A/ja
Publication of JPH06295413A publication Critical patent/JPH06295413A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 トラック幅方向側部に切欠を有する磁気コア
半体部材のギャップ対向面にFe−N系合金等からなる
強磁性金属薄膜が被着形成され、該強磁性金属薄膜が非
磁性のギャップスペーサを介して他方の磁気コア半体に
突き合わせ接合され、前記切欠部に充填されたガラスに
よって前記ギャップ突き合わせ接合が補強されてなる磁
気ヘッドにおいて、ガラスの強磁性金属薄膜に近い部分
に小さい泡が多数発生するという問題を解決する。 【構成】 前記ギャップスペーサを、SiO2等からな
る非磁性酸化物薄膜とCr等からなる非磁性金属薄膜と
の積層体で構成し、該積層体は前記ギャップ対向部上及
び切欠部上の強磁性金属薄膜を連続的に覆うように被着
形成され、前記非磁性金属薄膜は前記切欠部上において
2nm以上の厚さを有するような構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はVTR、HDD等の高密
度磁気記録再生装置に用いられる磁気ヘッドに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】VTR、HDD等の磁気記録再生装置に
用いられる磁気ヘッドとしては、高密度磁気記録を実現
するための高抗磁力媒体に対応して、強磁性酸化物から
なる磁気コア半体部材のギャップ突き合わせ部に強磁性
金属薄膜を配した、MIG(メタル・イン・ギャップ)
型と称されるものが提案されている。
【0003】このようなMIG型磁気ヘッドの構成の一
例を図10に示す。図10において1、1’はMn−Z
nフェライト等の強磁性酸化物からなる磁気コア半体部
材、2、2’はFe−Al−Si系合金、Fe−N系合
金等からなる強磁性金属薄膜、3、3’はSiO2等の
非磁性酸化物からなるギャップスペーサ薄膜、4はトラ
ック幅方向側部の切欠に充填されてギャップ突き合わせ
接合を補強するためのガラスである。
【0004】図10のような磁気ヘッドは、以下のよう
な工程を経て製造される。
【0005】すなわち、まず図11に示すような2枚の
強磁性酸化物基板10、10’を準備し、その上面に切
欠溝加工、巻線溝加工、ガラス棒挿入溝加工を施す。図
12は前記切欠溝加工14、14’が施された図11の
基板10、10’のP、P’側面を示すものであり、前
記巻線溝及びガラス棒挿入溝のの断面はQ、Q’側面に
現れるが、図示省略する。
【0006】次に、図13に示すように前記溝加工の施
された強磁性酸化物基板の上面全体に強磁性金属薄膜
2、2’、ギャップスペーサ薄膜3、3’をスパッタリ
ング法等によって被着形成する。
【0007】次に、図14に示すように両基板を突き合
わせた状態で昇温し、前記ガラス棒挿入溝に配置された
ガラス棒を溶融流動させてトラック幅規制溝部に充填
し、磁気コアブロックを得る。以下、この工程を溶着工
程と略称する。
【0008】最後に、該磁気コアブロックを前記切欠溝
の中央部に沿って切断すれば、図10のような磁気ヘッ
ドチップが得られる。
【0009】ところが、上記従来のMIG型磁気ヘッド
及びその製造方法によれば、前記切欠部に充填されたガ
ラス内に泡が発生することがあり、特に強磁性金属薄膜
としてFe−N系合金薄膜を採用した場合には、図15
に示すようにガラス4の強磁性金属薄膜2、2’に近い
部分に小さな泡49が多数発生する。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記図10
のようなMIG型磁気ヘッドにおいて、切欠部に充填さ
れるガラスの強磁性金属薄膜に近い部分に、図15のよ
うな小さい泡が多数発生するのを抑制しようとするもの
である。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明による磁気ヘッド
は、トラック幅方向側部に切欠を有する磁気コア半体部
材のギャップ対向面にFe−N系合金等からなる強磁性
金属薄膜が被着形成され、該強磁性金属薄膜が非磁性の
ギャップスペーサを介して他方の磁気コア半体に突き合
わせ接合され、前記切欠部に充填されたガラスによって
前記ギャップ突き合わせ接合が補強されてなる磁気ヘッ
ドにおいて、前記ギャップスペーサはSiO2等からな
る非磁性酸化物薄膜とCr等からなる非磁性金属薄膜と
の積層体で構成され、該積層体は前記ギャップ対向部上
及び切欠部上の強磁性金属薄膜を連続的に覆うように被
着形成されており、前記非磁性金属薄膜は前記切欠部上
において2nm以上の厚さを有することを特徴とする。
【0012】
【作用】前記図15に示したような泡は、強磁性金属薄
膜中のN原子が溶着工程における昇温によって抜け出
し、非磁性酸化物薄膜を越えてガラス中に拡散、凝集し
たものであると考えられる。
【0013】本発明によれば、強磁性金属薄膜上に非磁
性金属薄膜を非磁性酸化物薄膜と積層して形成すること
により、前述のようなNの拡散、泡の発生が抑制され
る。
【0014】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【0015】本発明によるMIG型磁気ヘッドの構成の
一例を図1に示す。図1において1、1’はMn−Zn
フェライト等の強磁性酸化物からなる磁気コア半体部
材、2、2’はFe−N系合金等の強磁性金属薄膜、3
3、33’はSiO2等の非磁性酸化物薄膜、32、3
2’はCr、Ti、Mo等の非磁性金属薄膜、4はトラ
ック幅方向側部に形成された切欠部に充填されてギャッ
プ突き合わせ接合を補強するためのガラスである。
【0016】図1のような磁気ヘッドは、以下のような
工程を経て製造される。
【0017】すなわち、まず図2に示すような2枚の強
磁性酸化物基板10、10’を準備し、その上面に切欠
溝加工、巻線溝加工、ガラス棒挿入溝加工を施す。図3
は前記切欠溝加工14、14’が施された図2の基板1
0、10’のP、P’側面を示すものであり、前記巻線
溝及びガラス棒挿入溝のの断面はQ、Q’側面に現れる
が、図示省略する。
【0018】次に、図4に示すように前記溝加工の施さ
れた強磁性酸化物基板の上面全体に厚さ約4μmの強磁
性金属薄膜2、2’、厚さ約100nmの非磁性酸化物
薄膜33、33’、厚さ約20nmの非磁性金属薄膜3
2、32’をスパッタリング法等によって被着形成す
る。
【0019】次に、図5に示すように両基板を突き合わ
せた状態で昇温し、前記ガラス棒挿入溝に配置されたガ
ラス棒を溶融流動させて前記切欠溝部に充填し、磁気コ
アブロックを得る。以下、この工程を溶着工程と略称す
る。
【0020】最後に、該磁気コアブロックを前記切欠溝
の中央部に沿って切断すれば、図1のような磁気ヘッド
チップが得られる。
【0021】ここで、前記非磁性金属薄膜によるガラス
内発泡抑制効果に関する実験について説明する。
【0022】実験は、Mn−Znフェライト基板上に、
Nを約15at%含有するFe−Zr−Ti−N系合金
薄膜を約4μm、SiO2 薄膜を約100nm被着形成
し、その上に種々の厚さのCr薄膜を形成した試料を準
備し、該Cr膜上に軟化点が約450℃のPbO−Si
2−B23−Na2O−Fe23系ガラス板を載せ、前
記溶着工程の履歴温度に相当する約550℃に昇温して
ガラスを溶融させ、降温後試料を切断して、ガラス内の
強磁性金属薄膜に近い部分に発生する泡の個数を勘定し
た。
【0023】その結果を図6に示す。図6において、横
軸はCr薄膜の厚さ、縦軸は泡の個数(Cr薄膜を形成
しなかった場合を基準にした相対値)を示している。図
6によれば、実験に供した最小Cr膜厚の2nmの場合
においてすでに発泡抑制効果が認められ、膜厚15nm
以上では泡がほとんど発生していない。
【0024】このようにして、前記図1のような磁気ヘ
ッドの強磁性金属薄膜とガラスとの間に非磁性酸化物薄
膜と積層されて介在する非磁性金属薄膜の膜厚が、2n
m以上であれば前記ガラス中の発泡を抑制することがで
きるという、本発明の主題が導き出された。
【0025】なお、該磁気ヘッドにおいて、非磁性酸化
物薄膜を形成せずに非磁性金属薄膜のみによってギャッ
プスペーサを構成すると、強磁性金属薄膜と非磁性金属
薄膜は外観上の区別がつきにくいため、顕微鏡等の光学
的手段ではギャップ部を識別することが困難となり、後
工程で磁気ヘッドチップを支持基板等に貼り着けたりシ
リンダ等に組み込んだりする際に、正確な位置決めがで
きなくなるという問題が生じる。
【0026】このことを考慮すれば、本発明の構成要件
としての非磁性酸化物薄膜と非磁性金属薄膜との積層体
においても、非磁性金属薄膜の膜厚はなるべく薄く、具
体的には非磁性酸化物薄膜の膜厚を越えないようにして
おくことが望ましい。
【0027】一方、ここまでの説明では強磁性金属薄膜
上に非磁性酸化物薄膜を形成した後に非磁性金属薄膜を
形成するという工程順に従って説明してきたたため、該
磁気ヘッドの記録媒体対向面は図7に示すような構成と
なるが、強磁性金属薄膜上に非磁性金属薄膜を形成した
後に非磁性酸化物薄膜を形成するという工程順を採用す
ると、図8に示すような記録媒体対向面構成を有する磁
気ヘッドが得られ、この場合も本発明の効果が期待でき
る。
【0028】また、図9に示すように磁気コア半体の切
欠部上の強磁性金属薄膜が除去された構成の磁気ヘッド
においても、強磁性金属薄膜のトラック幅方向側部にお
いては本発明の解決しようとする課題が提起され、本発
明の効果が期待できる。
【0029】なお、本発明と同様な課題を解決するため
には、図16に示すように強磁性金属膜2の上に比較的
厚い非磁性金属薄膜39を形成した後、図17に示すよ
うにギャップ突き合わせ面を研磨して強磁性金属膜2を
露出させ、その上にギャップスペーサとなる非磁性酸化
物薄膜(図示せず)を形成するという製造方法も考えら
れるが、この方法では工程数が増加すること、研磨によ
り強磁性金属膜の膜厚がばらつくこと等の問題が生じ
る。
【0030】
【発明の効果】以上の説明からわかるように、本発明に
よれば、強磁性金属薄膜からガラス中へのN原子の拡散
に起因すると思われる発泡の問題が解決されて、Fe−
N系合金薄膜等の優れた磁気特性を十分に生かしたMI
G型磁気ヘッドが得られる。
【0031】また、前記発泡を抑制するために形成され
る非磁性金属薄膜の厚さはごく薄いものでよいので、元
々ギャップスペーサ膜として採用していた非磁性酸化物
薄膜と積層して形成してもギャップ長が大きくなり過ぎ
るようなことがなく、製造工程上、他の工程に工数増大
等の問題を起こすこともない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明第1実施例磁気ヘッドの斜視図である。
【図2】本発明第1実施例磁気ヘッドの製造方法を説明
するための、基板の斜視図である。
【図3】本発明第1実施例磁気ヘッドの製造方法(溝加
工工程)を説明するための、基板の側面図である。
【図4】本発明第1実施例磁気ヘッドの製造方法(成膜
工程)を説明するための、基板の側面図である。
【図5】本発明第1実施例磁気ヘッドの製造方法(溶着
工程)を説明するための、基板の側面図である。
【図6】本発明を導き出すに至った実験結果図である。
【図7】本発明第1実施例磁気ヘッドの記録媒体対向面
平面図である。
【図8】本発明第2実施例磁気ヘッドの記録媒体対向面
平面図である。
【図9】本発明第3実施例磁気ヘッドの斜視図である。
【図10】従来例磁気ヘッドの斜視図である。
【図11】従来例磁気ヘッドの製造方法を説明するため
の、基板の斜視図である。
【図12】従来例磁気ヘッドの製造方法(溝加工工程)
を説明するための、基板の側面図である。
【図13】従来例磁気ヘッドの製造方法(成膜工程)を
説明するための、基板の側面図である。
【図14】従来例磁気ヘッドの製造方法(溶着工程)を
説明するための、基板の側面図である。
【図15】従来例磁気ヘッドの問題点を説明するため
の、記録媒体対向面平面図である。
【図16】比較例磁気ヘッドの製造方法(成膜工程)を
説明するための、基板の側面図である。
【図17】比較例磁気ヘッドの製造方法(研摩工程)を
説明するための、基板の側面図である。
【符号の説明】
1 磁気コア半体部材 2 強磁性金属薄膜 32 非磁性金属薄膜 33 非磁性酸化物薄膜 4 ガラス

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 トラック幅方向側部に切欠を有する磁気
    コア半体部材のギャップ対向面に強磁性金属薄膜が被着
    形成され、該強磁性金属薄膜が非磁性のギャップスペー
    サを介して他方の磁気コア半体に突き合わせ接合され、
    前記切欠部に充填されたガラスによって前記ギャップ突
    き合わせ接合が補強されてなる磁気ヘッドにおいて、前
    記ギャップスペーサは非磁性酸化物薄膜と非磁性金属薄
    膜との積層体で構成され、該積層体は前記ギャップ対向
    部上及び切欠部上の強磁性金属薄膜を連続的に覆うよう
    に被着形成されていることを特徴とする磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記非磁性金属薄膜の膜厚が、前記切欠
    部において2nm以上、前記ギャップ突き合わせ部にお
    いて前記非磁性金属薄膜の膜厚以下であることを特徴と
    する請求項1の磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記磁気コア半体部材が強磁性酸化物か
    らなり、前記強磁性金属薄膜がFeを主成分として少な
    くともNを含有する合金からなることを特徴とする請求
    項1または2記載の磁気ヘッド。
  4. 【請求項4】 前記非磁性酸化物薄膜がSiO2からな
    り、前記非磁性金属薄膜がCrからなることを特徴とす
    る請求項1、2または3記載の磁気ヘッド。
JP7949893A 1993-04-06 1993-04-06 磁気ヘッド Pending JPH06295413A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7949893A JPH06295413A (ja) 1993-04-06 1993-04-06 磁気ヘッド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7949893A JPH06295413A (ja) 1993-04-06 1993-04-06 磁気ヘッド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06295413A true JPH06295413A (ja) 1994-10-21

Family

ID=13691595

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7949893A Pending JPH06295413A (ja) 1993-04-06 1993-04-06 磁気ヘッド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06295413A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS61126614A (ja) 磁気ヘツド及びその製造方法
JPH06295413A (ja) 磁気ヘッド
JPH03120604A (ja) 複合型磁気ヘッド用コアの製造方法
JP2665354B2 (ja) 磁気ヘッド
JPS63298806A (ja) 複合磁気ヘッド
JPH0548244Y2 (ja)
KR100200809B1 (ko) 자기헤드 및 그 제조방법
JPH08255310A (ja) 磁気ヘッド及びその製造方法
KR100245035B1 (ko) 미그형 자기 유도 헤드 제조방법
JP3147434B2 (ja) 磁気ヘッド
JP3125483B2 (ja) コアブロック溶着装置
JPH01122005A (ja) 磁気ヘツド
JPS59203210A (ja) 磁気コアおよびその製造方法
JPS63104208A (ja) 複合型磁気ヘッドとその製造方法
JPS61217913A (ja) 磁気ヘツド
JPH0729117A (ja) 磁気ヘッド
JPH0253216A (ja) 磁気ヘッドの磁路形成方法
JPH0561681B2 (ja)
JPH0673165B2 (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPH0676226A (ja) 磁気ヘッドおよびその製造方法
JPH03224111A (ja) 浮動型磁気ヘッド
JPH01185811A (ja) 磁気ヘッド
JPS62277607A (ja) 磁気ヘツド
JPS61182616A (ja) 磁気ヘツド
JPH01319107A (ja) 磁気ヘッド