JPH06294818A - パフォーマンスボード - Google Patents
パフォーマンスボードInfo
- Publication number
- JPH06294818A JPH06294818A JP5082191A JP8219193A JPH06294818A JP H06294818 A JPH06294818 A JP H06294818A JP 5082191 A JP5082191 A JP 5082191A JP 8219193 A JP8219193 A JP 8219193A JP H06294818 A JPH06294818 A JP H06294818A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- performance board
- probe card
- test head
- wiring cable
- board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】マニュアル測定、プローブ測定等、半導体デバ
イスの特性検査に用いるＬＳＩテスタと半導体デバイス
の間にあって信号等のやり取りを行うパフォーマンスボ
ードにおいて、信号波形に対する減衰、干渉、歪を極力
抑える。 【構成】テストヘッド１にプローブカード基板６を直接
接続が可能なワイヤリングケーブル機構を保持するパフ
ォーマンスボード３が接続し、そこにプローブカード基
板６が直接取り付くように構成する。この状態での信号
の伝達ラインは、ＬＳＩテスタからの出力は、テストヘ
ッド１からポゴピン２を経由し、パフォーマンスボード
３で受けた信号はパフォーマンスボード上配線１１を通
り、パフォーマンスボード３上のポゴピン２を経由して
プローブカード基板６へ伝わる。 【効果】ワイヤリングケーブル長の短縮と接触箇所の減
少により、ノイズや歪の少ない波形伝達が可能となる。
検査工程の信頼性向上、歩留向上につながる。
イスの特性検査に用いるＬＳＩテスタと半導体デバイス
の間にあって信号等のやり取りを行うパフォーマンスボ
ードにおいて、信号波形に対する減衰、干渉、歪を極力
抑える。 【構成】テストヘッド１にプローブカード基板６を直接
接続が可能なワイヤリングケーブル機構を保持するパフ
ォーマンスボード３が接続し、そこにプローブカード基
板６が直接取り付くように構成する。この状態での信号
の伝達ラインは、ＬＳＩテスタからの出力は、テストヘ
ッド１からポゴピン２を経由し、パフォーマンスボード
３で受けた信号はパフォーマンスボード上配線１１を通
り、パフォーマンスボード３上のポゴピン２を経由して
プローブカード基板６へ伝わる。 【効果】ワイヤリングケーブル長の短縮と接触箇所の減
少により、ノイズや歪の少ない波形伝達が可能となる。
検査工程の信頼性向上、歩留向上につながる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マニュアル測定、プロ
ーブ測定に用いられるテストヘッド上に取り付けるパフ
ォーマンスボードに関するものである。
ーブ測定に用いられるテストヘッド上に取り付けるパフ
ォーマンスボードに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】マニュアル測定、プローブ測定等、半導
体デバイスの特性検査に用いられる検査装置としてＬＳ
Ｉテスタが存在するが、このＬＳＩテスタと半導体デバ
イスの間にあって信号等のやり取りを行うための中継治
具の一つで、ＬＳＩテスタの入出力段に当たるテストヘ
ッドに直接取り付ける物として、パフォーマンスボード
が存在する。
体デバイスの特性検査に用いられる検査装置としてＬＳ
Ｉテスタが存在するが、このＬＳＩテスタと半導体デバ
イスの間にあって信号等のやり取りを行うための中継治
具の一つで、ＬＳＩテスタの入出力段に当たるテストヘ
ッドに直接取り付ける物として、パフォーマンスボード
が存在する。
【０００３】従来技術の機構の断面図が図２である。基
本構成は、テストヘッド１にパフォーマンスボード３が
接続し、これがワイヤリングケーブル１０を介して、プ
ローブカード基板６と接続するような構造をなしてい
た。
本構成は、テストヘッド１にパフォーマンスボード３が
接続し、これがワイヤリングケーブル１０を介して、プ
ローブカード基板６と接続するような構造をなしてい
た。
【０００４】この方式の特徴は、ワイヤリングケーブル
１０が、パフォーマンスボード３とプローブカード基板
６の中継機構として独立して存在し、パフォーマンスボ
ード３とプローブカード基板６の取付に関して、ある程
度のフレキシビリティーをもって存在し信号の伝達を行
う点にある。
１０が、パフォーマンスボード３とプローブカード基板
６の中継機構として独立して存在し、パフォーマンスボ
ード３とプローブカード基板６の取付に関して、ある程
度のフレキシビリティーをもって存在し信号の伝達を行
う点にある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来技
術では、図２のパフォーマンスボード上配線１１に加
え、ワイヤリングケーブル部１０の線長もある為、テス
トヘッド１から出力した信号がデバイスに到達するまで
のワイヤリング長によって、信号波形に減衰、干渉、歪
が生じてしまう。 また、テストヘッド１とパフォーマ
ンスボード３、パフォーマンスボード３とワイヤリング
ケーブル１０、ワイヤリングケーブル１０とプローブカ
ード基板６という３箇所で接触している為、この接触部
分での抵抗、容量等によって信号波形に歪を生ずるとい
う問題点を有していた。
術では、図２のパフォーマンスボード上配線１１に加
え、ワイヤリングケーブル部１０の線長もある為、テス
トヘッド１から出力した信号がデバイスに到達するまで
のワイヤリング長によって、信号波形に減衰、干渉、歪
が生じてしまう。 また、テストヘッド１とパフォーマ
ンスボード３、パフォーマンスボード３とワイヤリング
ケーブル１０、ワイヤリングケーブル１０とプローブカ
ード基板６という３箇所で接触している為、この接触部
分での抵抗、容量等によって信号波形に歪を生ずるとい
う問題点を有していた。
【０００６】そこで本発明は、このような問題点を解決
するもので、その目的とするところは、これら信号波形
に対する減衰、干渉、歪を極力抑えることにある。
するもので、その目的とするところは、これら信号波形
に対する減衰、干渉、歪を極力抑えることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し、上記
目的を達成するために、本発明のパフォーマンスボード
は、パフォーマンスボードとプローブカード間の信号伝
達を中継するワイヤリングケーブル機構を保持すること
を特徴とする。
目的を達成するために、本発明のパフォーマンスボード
は、パフォーマンスボードとプローブカード間の信号伝
達を中継するワイヤリングケーブル機構を保持すること
を特徴とする。
【０００８】
【実施例】以下に本発明の実施例を、図面に基づいて説
明する。
明する。
【０００９】図１は、本発明の機構の断面図である。
【００１０】基本構成は、テストヘッド１にプローブカ
ード基板６を直接接続が可能なワイヤリングケーブル機
構を保持するパフォーマンスボード３が接続し、そこに
プローブカード基板６が直接取り付くように構成されて
いる。この状態での信号の伝達ラインは、ＬＳＩテスタ
からの出力を考えた場合には、テストヘッド１からポゴ
ピン２を経由し、パフォーマンスボード３で受けた信号
はパフォーマンスボード上配線１１を通り、パフォーマ
ンスボード３上のポゴピン２を経由してプローブカード
基板６へ伝わる。
ード基板６を直接接続が可能なワイヤリングケーブル機
構を保持するパフォーマンスボード３が接続し、そこに
プローブカード基板６が直接取り付くように構成されて
いる。この状態での信号の伝達ラインは、ＬＳＩテスタ
からの出力を考えた場合には、テストヘッド１からポゴ
ピン２を経由し、パフォーマンスボード３で受けた信号
はパフォーマンスボード上配線１１を通り、パフォーマ
ンスボード３上のポゴピン２を経由してプローブカード
基板６へ伝わる。
【００１１】これに対し同様の事を従来技術で検証する
と、図２に示すように、テストヘッド１からポゴピン２
を経由し、パフォーマンスボード３で受けた信号はパフ
ォーマンスボード上配線１１を通り、次にワイヤリング
ケーブル１０を介してプローブカード基板６へ伝わる為
に、本発明に比べワイヤリングケーブル１０部の配線長
分長い事と、接触箇所が多いという点から信号波形に歪
等の問題が生じてしまっている。
と、図２に示すように、テストヘッド１からポゴピン２
を経由し、パフォーマンスボード３で受けた信号はパフ
ォーマンスボード上配線１１を通り、次にワイヤリング
ケーブル１０を介してプローブカード基板６へ伝わる為
に、本発明に比べワイヤリングケーブル１０部の配線長
分長い事と、接触箇所が多いという点から信号波形に歪
等の問題が生じてしまっている。
【００１２】したがって本発明では、ワイヤリングケー
ブル１０機構を無くし、その代わりに従来から使用して
いるパフォーマンスボード３にプローブカード基板６と
の中継機構であるワイヤリングケーブル１０に代わる機
構として、プローブカード受け基板５を追加した。
ブル１０機構を無くし、その代わりに従来から使用して
いるパフォーマンスボード３にプローブカード基板６と
の中継機構であるワイヤリングケーブル１０に代わる機
構として、プローブカード受け基板５を追加した。
【００１３】パフォーマンスボード３のプローブカード
基板６との接触側であるプローブカード受け基板５は、
従来はワイヤリングケーブル１０のポゴピンを受ける為
のコンタクトパッドで構成されていたのだが、これをポ
ゴピン２による機構にする事によって、現状使用してい
るプローブカード基板６との接触を可能とする構造に変
更する。
基板６との接触側であるプローブカード受け基板５は、
従来はワイヤリングケーブル１０のポゴピンを受ける為
のコンタクトパッドで構成されていたのだが、これをポ
ゴピン２による機構にする事によって、現状使用してい
るプローブカード基板６との接触を可能とする構造に変
更する。
【００１４】本発明ではこの他に、パフォーマンスボー
ド３にワイヤリングケーブル機構を内蔵した場合にテス
トヘッド１の影響を受ける事なくプローブ針７の高さ精
度が保持され、あるいはウエーハとのコンタクトに影響
がでないようにする事が可能となるように、パフォーマ
ンスボード３で使用している、テストヘッドとコンタク
トする側とプローブカードとコンタクトする側の２つの
基板を、フレキシブルな特性を持ったスプリング式軸４
を使用して接続し、傾きを吸収できるような機構を装備
する事も特徴とする。ただし、本軸はフレキシブルに対
応出来、傾きを吸収出来れば良く、スプリング以外の方
法であっても、この条件を満足していれば本発明に適応
できる。
ド３にワイヤリングケーブル機構を内蔵した場合にテス
トヘッド１の影響を受ける事なくプローブ針７の高さ精
度が保持され、あるいはウエーハとのコンタクトに影響
がでないようにする事が可能となるように、パフォーマ
ンスボード３で使用している、テストヘッドとコンタク
トする側とプローブカードとコンタクトする側の２つの
基板を、フレキシブルな特性を持ったスプリング式軸４
を使用して接続し、傾きを吸収できるような機構を装備
する事も特徴とする。ただし、本軸はフレキシブルに対
応出来、傾きを吸収出来れば良く、スプリング以外の方
法であっても、この条件を満足していれば本発明に適応
できる。
【００１５】もう一つ、プローバ側に於けるプローブカ
ード基板６の固定方法であるが、プローバ側受け台９に
プローブカード基板６のガイドピン８を設ける事で位置
の精度は保証され、直接プローブカード基板６をプロー
バ側に固定する必要はなく、固定はテストヘッド１の自
重とテストヘッドのクランプ機構によって行える、非常
に簡単な構造から成り立つ。
ード基板６の固定方法であるが、プローバ側受け台９に
プローブカード基板６のガイドピン８を設ける事で位置
の精度は保証され、直接プローブカード基板６をプロー
バ側に固定する必要はなく、固定はテストヘッド１の自
重とテストヘッドのクランプ機構によって行える、非常
に簡単な構造から成り立つ。
【００１６】
【発明の効果】本発明の実施により、従来使用していた
ワイヤリングケーブル１０の配線長平均２０cmをポゴピ
ン２の長さ１cm以下に短縮でき、また接触箇所が大きく
３箇所あったものを２箇所に減らすことが可能である。
このことにより基本的に従来構成と等しい状態での使用
が可能なまま、波形の減衰、干渉、歪の問題を大幅に改
善することができる。
ワイヤリングケーブル１０の配線長平均２０cmをポゴピ
ン２の長さ１cm以下に短縮でき、また接触箇所が大きく
３箇所あったものを２箇所に減らすことが可能である。
このことにより基本的に従来構成と等しい状態での使用
が可能なまま、波形の減衰、干渉、歪の問題を大幅に改
善することができる。
【００１７】したがって、今日のように高速化、高精度
化していくデバイスに対し、テストヘッドからの出力波
形をよりそのままの状態で伝達する事が可能となり、検
査工程の信頼性向上、歩留向上につながる。
化していくデバイスに対し、テストヘッドからの出力波
形をよりそのままの状態で伝達する事が可能となり、検
査工程の信頼性向上、歩留向上につながる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明のテストヘッドからプローブカードま
での接続関係断面図。
での接続関係断面図。
【図２】 従来のテストヘッドからプローブカードまで
の接続関係断面図。
の接続関係断面図。
１ テストヘッド ２ ポゴピン ３ パフォーマンスンボード ４ スプリング式軸 ５ プローブカード受け基板 ６ プローブカード基板 ７ プローブ針 ８ プローブカード受け用ガイドピン ９ プローバ側受け台 １０ ワイヤリングケーブル １１ パフォーマンスボード上配線
Claims (1)
- 【請求項１】パフォーマンスボードとプローブカード間
の信号伝達を中継するワイヤリングケーブル機構を保持
することを特徴とするパフォーマンスボード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5082191A JPH06294818A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | パフォーマンスボード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5082191A JPH06294818A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | パフォーマンスボード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06294818A true JPH06294818A (ja) | 1994-10-21 |
Family
ID=13767547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5082191A Pending JPH06294818A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | パフォーマンスボード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06294818A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100791000B1 (ko) * | 2006-10-31 | 2008-01-03 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼의 고속 병렬검사를 위한 전기적 검사장치 및 검사방법 |
| JP2011069829A (ja) * | 1994-11-15 | 2011-04-07 | Formfactor Inc | プローブカード・アセンブリ及びキット、及びそれらを用いる方法 |
-
1993
- 1993-04-08 JP JP5082191A patent/JPH06294818A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011069829A (ja) * | 1994-11-15 | 2011-04-07 | Formfactor Inc | プローブカード・アセンブリ及びキット、及びそれらを用いる方法 |
| KR100791000B1 (ko) * | 2006-10-31 | 2008-01-03 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼의 고속 병렬검사를 위한 전기적 검사장치 및 검사방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6377062B1 (en) | Floating interface for integrated circuit test head | |
| EP1283423A1 (en) | Timing calibration and timing calibration verification of electronic circuit testers | |
| US6856154B2 (en) | Test board for testing IC package and tester calibration method using the same | |
| US7538566B2 (en) | Electrical test system including coaxial cables | |
| US6653855B2 (en) | External test auxiliary device to be used for testing semiconductor device | |
| EP0802418A3 (en) | Method for high-speed testing a semiconductor device | |
| JPH06294818A (ja) | パフォーマンスボード | |
| JPH1183934A (ja) | 半導体試験装置 | |
| US4975639A (en) | Test head with improved shielding | |
| TWI325500B (en) | Integrated circuit testing apparatus | |
| JP3487914B2 (ja) | 試験装置用テストヘッド | |
| KR101171959B1 (ko) | 온-웨이퍼 측정 장치 | |
| KR101050111B1 (ko) | 자동 테스트 시스템의 차등 신호 발생 장치 및 그 방법 | |
| JPS6159849A (ja) | 半導体試験装置 | |
| KR20000006175U (ko) | 반도체 집적회로의 테스트용 탐침 프로브 | |
| CN106053992A (zh) | 一种自动测试设备 | |
| JP2586335Y2 (ja) | マニュアル測定およびウエハ測定両用ｉｃ試験装置 | |
| JPH0718914B2 (ja) | Ｌｓｉテスタ | |
| JPS63211642A (ja) | 半導体試験装置 | |
| JPH0266476A (ja) | 半導体回路試験装置 | |
| JPH11330183A (ja) | ドライバ特性向上ｌｓｉテストシステム | |
| JPH0644586B2 (ja) | プローブ装置 | |
| KR20000008808U (ko) | 반도체 패키지용 프로브 장치 | |
| JPS631250Y2 (ja) | ||
| JPS63151040A (ja) | 半導体試験装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071009 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081009 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091009 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101009 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111009 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111009 Year of fee payment: 13 |