JPH06293965A - スパッタリング装置 - Google Patents
スパッタリング装置Info
- Publication number
- JPH06293965A JPH06293965A JP5082135A JP8213593A JPH06293965A JP H06293965 A JPH06293965 A JP H06293965A JP 5082135 A JP5082135 A JP 5082135A JP 8213593 A JP8213593 A JP 8213593A JP H06293965 A JPH06293965 A JP H06293965A
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- Japan
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- substrate
- mask
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 情報記録媒体の基板等のスパッタリング時
に、基板の外周部で成膜の縁をはっきりと形成でき、い
わゆるマスクボケの生起を確実に防止できるスパッタリ
ング装置を提供することにある。 【構成】 スパッタリング時、その中央部でプッシャー
に支持された押圧部材が、これの外周部に形成したリン
グ状突起により被処理物の外周部を外周マスク部材に押
圧していることを特徴としている。
に、基板の外周部で成膜の縁をはっきりと形成でき、い
わゆるマスクボケの生起を確実に防止できるスパッタリ
ング装置を提供することにある。 【構成】 スパッタリング時、その中央部でプッシャー
に支持された押圧部材が、これの外周部に形成したリン
グ状突起により被処理物の外周部を外周マスク部材に押
圧していることを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、情報記録媒体の基板等
のスパッタリング時に、基板の外周部で成膜の縁をはっ
きりと形成でき、いわゆるマスクボケの生起を確実に防
止できるスパッタリング装置に関する。
のスパッタリング時に、基板の外周部で成膜の縁をはっ
きりと形成でき、いわゆるマスクボケの生起を確実に防
止できるスパッタリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、情報記録媒体、例えば、光ディス
ク、光磁気ディスクなどは、スパッタリング装置によっ
て、その反射膜等が成膜されている。このような光ディ
スク等では、その成膜時には、光ディスク等の中心部と
外周部とがマスキングされてスパッタリングされ、この
中心部と外周部とを除く部分に反射膜等が成膜されてい
る。
ク、光磁気ディスクなどは、スパッタリング装置によっ
て、その反射膜等が成膜されている。このような光ディ
スク等では、その成膜時には、光ディスク等の中心部と
外周部とがマスキングされてスパッタリングされ、この
中心部と外周部とを除く部分に反射膜等が成膜されてい
る。
【０００３】具体的には、図３に示すように、ダウンス
パッタリング装置では、金、アルミニウム等のターゲッ
ト１に対向するように、被処理物である情報記録媒体の
基板２がセットされるように構成されている。このセッ
トの際して、情報記録媒体の基板２の成膜側をマスキン
グするために、その中心部及び外周部に、中心マスク部
材３と、外周マスク部材４とが配置されている。この情
報記録媒体の基板２は、下方から延びるプッシャー５に
よって中心マスク部材３及び外周マスク部材４に押圧さ
れている。これにより、ターゲット１からスパッタされ
た粒子は、マスキングされた以外の箇所、即ち、中心部
と外周部とを除く部分に付着され、この部分に、金、ア
ルミニウム等の膜が成膜される。なお、符号６で示すホ
ルダーは、情報記録媒体の基板２のセットの際に用いら
れる。
パッタリング装置では、金、アルミニウム等のターゲッ
ト１に対向するように、被処理物である情報記録媒体の
基板２がセットされるように構成されている。このセッ
トの際して、情報記録媒体の基板２の成膜側をマスキン
グするために、その中心部及び外周部に、中心マスク部
材３と、外周マスク部材４とが配置されている。この情
報記録媒体の基板２は、下方から延びるプッシャー５に
よって中心マスク部材３及び外周マスク部材４に押圧さ
れている。これにより、ターゲット１からスパッタされ
た粒子は、マスキングされた以外の箇所、即ち、中心部
と外周部とを除く部分に付着され、この部分に、金、ア
ルミニウム等の膜が成膜される。なお、符号６で示すホ
ルダーは、情報記録媒体の基板２のセットの際に用いら
れる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図３に
示すようなダウンスパッタリング装置によって情報記録
媒体の基板２が成膜される場合、例えば、金の膜が形成
される場合には、スパッタリング時に粒子の衝突エネル
ギーを基板２が受け、これの反作用によって情報記録媒
体の基板２の外周部に反りが生起されることがある。こ
れにより、スパッタリング時に、基板２の外周部が外周
マスク部材４から離反することがあり、その結果、基板
２の外周部で、成膜の縁がはっきりと形成されない現
象、いわゆるマスクボケが生起されることがある。な
お、アルミニウムの膜が形成される場合には、スパッタ
リングによる粒子エネルギーが比較的少ないため、マス
クボケが生起されることはあまりない。
示すようなダウンスパッタリング装置によって情報記録
媒体の基板２が成膜される場合、例えば、金の膜が形成
される場合には、スパッタリング時に粒子の衝突エネル
ギーを基板２が受け、これの反作用によって情報記録媒
体の基板２の外周部に反りが生起されることがある。こ
れにより、スパッタリング時に、基板２の外周部が外周
マスク部材４から離反することがあり、その結果、基板
２の外周部で、成膜の縁がはっきりと形成されない現
象、いわゆるマスクボケが生起されることがある。な
お、アルミニウムの膜が形成される場合には、スパッタ
リングによる粒子エネルギーが比較的少ないため、マス
クボケが生起されることはあまりない。
【０００５】このようなマスクボケが生起されると、情
報記録媒体への情報の記録が正確に行えない等の種々の
問題がある。特に、光ディスクのうち、マスクが必要と
されるディスクについては成膜の縁がはっきりと形成さ
れていることが必須要件とされており、マスクボケが生
起されると、製品化できないといった事情がある。
報記録媒体への情報の記録が正確に行えない等の種々の
問題がある。特に、光ディスクのうち、マスクが必要と
されるディスクについては成膜の縁がはっきりと形成さ
れていることが必須要件とされており、マスクボケが生
起されると、製品化できないといった事情がある。
【０００６】本発明は、上述したような事情に鑑みてな
されたものであって、情報記録媒体の基板等のスパッタ
リング時に、基板の外周部で成膜の縁をはっきりと形成
でき、いわゆるマスクボケの生起を確実に防止できるス
パッタリング装置を提供することにある。
されたものであって、情報記録媒体の基板等のスパッタ
リング時に、基板の外周部で成膜の縁をはっきりと形成
でき、いわゆるマスクボケの生起を確実に防止できるス
パッタリング装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明に係るスパッタリング装置は、被処理物の中
心部及び外周部を各々中心マスク部材及び外周マスク部
材によりマスキングすると共に、被処理物の中心部をプ
ッシャーにより上記中心マスク部材に押圧して、被処理
物のマスキング箇所以外の箇所にスパッタリングにより
成膜を施すスパッタリング装置において、スパッタリン
グ時、その中央部でプッシャーに支持された押圧部材
が、これの外周部に形成したリング状突起により被処理
物の外周部を外周マスク部材に押圧していることを特徴
としている。
め、本発明に係るスパッタリング装置は、被処理物の中
心部及び外周部を各々中心マスク部材及び外周マスク部
材によりマスキングすると共に、被処理物の中心部をプ
ッシャーにより上記中心マスク部材に押圧して、被処理
物のマスキング箇所以外の箇所にスパッタリングにより
成膜を施すスパッタリング装置において、スパッタリン
グ時、その中央部でプッシャーに支持された押圧部材
が、これの外周部に形成したリング状突起により被処理
物の外周部を外周マスク部材に押圧していることを特徴
としている。
【０００８】
【作用】このように、本発明では、スパッタリング時、
押圧部材の外周部に形成したリング状突起により被処理
物の外周部が外周マスク部材に押圧されている。そのた
め、例えば、金の膜が形成される場合には、スパッタリ
ングの粒子エネルギーによる被処理物の反作用によって
被処理物の外周部に反りが生起されそうなことがあった
としても、押圧部材のリング状突起によって被処理物の
外周部が常に外周マスク部材に押圧されていることか
ら、被処理物の外周部が外周マスク部材から離反するこ
とがない。そのため、成膜の縁をはっきりと形成するこ
とができ、いわゆるマスクボケを確実に防止できる。
押圧部材の外周部に形成したリング状突起により被処理
物の外周部が外周マスク部材に押圧されている。そのた
め、例えば、金の膜が形成される場合には、スパッタリ
ングの粒子エネルギーによる被処理物の反作用によって
被処理物の外周部に反りが生起されそうなことがあった
としても、押圧部材のリング状突起によって被処理物の
外周部が常に外周マスク部材に押圧されていることか
ら、被処理物の外周部が外周マスク部材から離反するこ
とがない。そのため、成膜の縁をはっきりと形成するこ
とができ、いわゆるマスクボケを確実に防止できる。
【０００９】しかも、このように、被処理物をセットす
るためのホルダーをスパッタリング時に被処理物の押圧
に用いないタイプの装置においても、被処理物の外周部
に押圧力を加えることができる。さらに、被処理物のサ
イズが変わったとしても、押圧部材のサイズを変更する
ことにより対処できる。
るためのホルダーをスパッタリング時に被処理物の押圧
に用いないタイプの装置においても、被処理物の外周部
に押圧力を加えることができる。さらに、被処理物のサ
イズが変わったとしても、押圧部材のサイズを変更する
ことにより対処できる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例に係るスパッタリン
グ装置を図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明の
一実施例に係るスパッタリング装置の要部の断面図であ
って、情報記録媒体の基板をセットする前の状態を示す
図であり、図２は、図１に示すスパッタリング装置の要
部の断面図であって、情報記録媒体の基板にスパッタリ
ングによる成膜を施している状態の図である。
グ装置を図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明の
一実施例に係るスパッタリング装置の要部の断面図であ
って、情報記録媒体の基板をセットする前の状態を示す
図であり、図２は、図１に示すスパッタリング装置の要
部の断面図であって、情報記録媒体の基板にスパッタリ
ングによる成膜を施している状態の図である。
【００１１】図１に示すように、金、アルミニウム等の
ターゲット１が図示しないバッキングプレートに装着さ
れている。このターゲット１に対向するようにして、マ
スキング機構が配置されている。すなわち、中央部に
は、被処理物である情報記録媒体の基板２の中心部をマ
スキングし鍔部３ａを有する中心マスク部材３が配置さ
れており、外周部には、情報記録媒体の基板２の外周部
をマスキングし鍔部４ａを有する筒状の外周マスク部材
４が配置されている。
ターゲット１が図示しないバッキングプレートに装着さ
れている。このターゲット１に対向するようにして、マ
スキング機構が配置されている。すなわち、中央部に
は、被処理物である情報記録媒体の基板２の中心部をマ
スキングし鍔部３ａを有する中心マスク部材３が配置さ
れており、外周部には、情報記録媒体の基板２の外周部
をマスキングし鍔部４ａを有する筒状の外周マスク部材
４が配置されている。
【００１２】さらに、情報記録媒体の基板２を所定位置
にセットするためのホルダー１０が、これらマスキング
機構の下方に配置されている。このホルダー１０は、図
示しない搬送アームにより搬送されるように構成されて
いる。また、ホルダー１０には、その上側に凹所１１が
形成されており、この凹所１１には、後述する押圧部材
２０と情報記録記録媒体の基板２とが載置される。さら
に、ホルダー１０の中央部には、後述するプッシャー１
３を通挿するための貫通穴１２が形成されている。
にセットするためのホルダー１０が、これらマスキング
機構の下方に配置されている。このホルダー１０は、図
示しない搬送アームにより搬送されるように構成されて
いる。また、ホルダー１０には、その上側に凹所１１が
形成されており、この凹所１１には、後述する押圧部材
２０と情報記録記録媒体の基板２とが載置される。さら
に、ホルダー１０の中央部には、後述するプッシャー１
３を通挿するための貫通穴１２が形成されている。
【００１３】このホルダー１０の下方には、昇降自在に
構成されたプッシャー１３が配置されている。このプッ
シャー１３は、下方が図示しない昇降機構に支持された
軸１４と、この軸１４の上端に支持された嵌合部材１５
とからなっている。この嵌合部材１５には、情報記録媒
体の基板２の穴２ａに嵌合される小径部１６と、上面が
基板２を押圧支持すると共に押圧部材２０の穴２１に嵌
合される中径部１７と、上面が押圧部材２０を押圧支持
すると共にホルダー１０の貫通穴１２を通挿し得る大径
部１８とから形成されている。
構成されたプッシャー１３が配置されている。このプッ
シャー１３は、下方が図示しない昇降機構に支持された
軸１４と、この軸１４の上端に支持された嵌合部材１５
とからなっている。この嵌合部材１５には、情報記録媒
体の基板２の穴２ａに嵌合される小径部１６と、上面が
基板２を押圧支持すると共に押圧部材２０の穴２１に嵌
合される中径部１７と、上面が押圧部材２０を押圧支持
すると共にホルダー１０の貫通穴１２を通挿し得る大径
部１８とから形成されている。
【００１４】さて、本実施例では、ホルダー１０の凹所
１１内に、押圧部材２０が載置されている。この押圧部
材２０の中央部には、プッシャー１３の中径部１７を通
挿するための穴２１が形成されており、押圧部材の外周
部には、基板２の外周部を外周マスク部材４の鍔部４ａ
に押圧するためのリング状突起２２が形成されており、
このリング状突起２２の外径は、凹所１１に嵌合するよ
うに形成されている。
１１内に、押圧部材２０が載置されている。この押圧部
材２０の中央部には、プッシャー１３の中径部１７を通
挿するための穴２１が形成されており、押圧部材の外周
部には、基板２の外周部を外周マスク部材４の鍔部４ａ
に押圧するためのリング状突起２２が形成されており、
このリング状突起２２の外径は、凹所１１に嵌合するよ
うに形成されている。
【００１５】次に、作用を説明する。図１に示すよう
に、先ず、ホルダー１０の凹所１１内に押圧部材２０及
び情報記録媒体の基板２が載置された状態で、ホルダー
１０が図示しない搬送アームにより、マスキング機構の
下方に搬入される。
に、先ず、ホルダー１０の凹所１１内に押圧部材２０及
び情報記録媒体の基板２が載置された状態で、ホルダー
１０が図示しない搬送アームにより、マスキング機構の
下方に搬入される。
【００１６】次に、図２に示すように、プッシャー１３
が上昇されて、プッシャー１３の小径部１６が基板２の
穴２ａに嵌合され、中径部１７が押圧部材２０の穴２１
に嵌合される。このような状態で、プッシャー１３がさ
らに上昇されて、図２に示すように、情報記録媒体の基
板２の中心部がプッシャー１３の中径部１７によって中
心マスク部材３の鍔部３ａに押圧されると共に、プッシ
ャー１３の大径部１８によって押圧部材２０の中心部が
上方に押圧され、これにより、押圧部材２０の外周のリ
ング状突起２２によって基板２の外周部が外周マスク部
材４の鍔部４ａに押圧される。
が上昇されて、プッシャー１３の小径部１６が基板２の
穴２ａに嵌合され、中径部１７が押圧部材２０の穴２１
に嵌合される。このような状態で、プッシャー１３がさ
らに上昇されて、図２に示すように、情報記録媒体の基
板２の中心部がプッシャー１３の中径部１７によって中
心マスク部材３の鍔部３ａに押圧されると共に、プッシ
ャー１３の大径部１８によって押圧部材２０の中心部が
上方に押圧され、これにより、押圧部材２０の外周のリ
ング状突起２２によって基板２の外周部が外周マスク部
材４の鍔部４ａに押圧される。
【００１７】このように図２に示すようにセットされた
状態で、スパッタリングが行われ、情報記録媒体の基板
２のマスキングされている以外の箇所に成膜が施され
る。この際、本実施例では、押圧部材２０の外周部に形
成したリング状突起２２により情報記録媒体の基板２の
外周部が外周マスク部材４の鍔部４ａに押圧されてい
る。そのため、例えば、金の膜が形成される場合には、
スパッタリング時の粒子エネルギーによる被処理物の反
作用によって情報記録媒体の基板２の外周部に反りが生
起されそうなことがあったとしても、押圧部材２０のリ
ング状突起２２によって情報記録媒体の基板２の外周部
が常に外周マスク部材４の鍔部４ａに押圧されているこ
とから、情報記録媒体の基板２の外周部が外周マスク部
材４の鍔部４ａから離反することがない。そのため、成
膜の縁をはっきりと形成することができ、いわゆるマス
クボケを確実に防止できる。したがって、成膜の縁がは
っきりと形成されていることが必須要件であるディスク
では、本実施例では、特に有効である。
状態で、スパッタリングが行われ、情報記録媒体の基板
２のマスキングされている以外の箇所に成膜が施され
る。この際、本実施例では、押圧部材２０の外周部に形
成したリング状突起２２により情報記録媒体の基板２の
外周部が外周マスク部材４の鍔部４ａに押圧されてい
る。そのため、例えば、金の膜が形成される場合には、
スパッタリング時の粒子エネルギーによる被処理物の反
作用によって情報記録媒体の基板２の外周部に反りが生
起されそうなことがあったとしても、押圧部材２０のリ
ング状突起２２によって情報記録媒体の基板２の外周部
が常に外周マスク部材４の鍔部４ａに押圧されているこ
とから、情報記録媒体の基板２の外周部が外周マスク部
材４の鍔部４ａから離反することがない。そのため、成
膜の縁をはっきりと形成することができ、いわゆるマス
クボケを確実に防止できる。したがって、成膜の縁がは
っきりと形成されていることが必須要件であるディスク
では、本実施例では、特に有効である。
【００１８】しかも、このように、情報記録媒体の基板
２をセットするためのホルダーをスパッタリング時に情
報記録媒体の基板２の押圧に用いないタイプの装置にお
いても、情報記録媒体の基板２の外周部に押圧力を加え
ることができる。さらに、情報記録媒体の基板２のサイ
ズが変わったとしても、押圧部材２０のサイズを変更す
ることにより対処できる。
２をセットするためのホルダーをスパッタリング時に情
報記録媒体の基板２の押圧に用いないタイプの装置にお
いても、情報記録媒体の基板２の外周部に押圧力を加え
ることができる。さらに、情報記録媒体の基板２のサイ
ズが変わったとしても、押圧部材２０のサイズを変更す
ることにより対処できる。
【００１９】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れないのは勿論であり、種々変形可能である。特に、ス
パッタリングされる被処理物は、情報記録媒体に限定さ
れず、種々のものであってもよい。
れないのは勿論であり、種々変形可能である。特に、ス
パッタリングされる被処理物は、情報記録媒体に限定さ
れず、種々のものであってもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明では、スパッ
タリング時、押圧部材の外周部に形成したリング状突起
により被処理物の外周部が外周マスク部材に押圧されて
いる。そのため、スパッタリング時の粒子エネルギーに
よる被処理物の反作用があったとしても、押圧部材のリ
ング状突起によって被処理物の外周部が常に外周マスク
部材に押圧されていることから、被処理物の外周部が外
周マスク部材から離反することがない。そのため、成膜
の縁をはっきりと形成することができ、いわゆるマスク
ボケを確実に防止できる。しかも、被処理物をセットす
るためのホルダーをスパッタリング時に被処理物の押圧
に用いないタイプの装置においても、被処理物の外周部
に押圧力を加えることができる。さらに、被処理物のサ
イズが変わったとしても、押圧部材のサイズを変更する
ことにより対処できる。
タリング時、押圧部材の外周部に形成したリング状突起
により被処理物の外周部が外周マスク部材に押圧されて
いる。そのため、スパッタリング時の粒子エネルギーに
よる被処理物の反作用があったとしても、押圧部材のリ
ング状突起によって被処理物の外周部が常に外周マスク
部材に押圧されていることから、被処理物の外周部が外
周マスク部材から離反することがない。そのため、成膜
の縁をはっきりと形成することができ、いわゆるマスク
ボケを確実に防止できる。しかも、被処理物をセットす
るためのホルダーをスパッタリング時に被処理物の押圧
に用いないタイプの装置においても、被処理物の外周部
に押圧力を加えることができる。さらに、被処理物のサ
イズが変わったとしても、押圧部材のサイズを変更する
ことにより対処できる。
【図１】本発明の一実施例に係るスパッタリング装置の
要部の断面図であって、情報記録媒体の基板をセットす
る前の状態を示す図。
要部の断面図であって、情報記録媒体の基板をセットす
る前の状態を示す図。
【図２】図１に示すスパッタリング装置の要部の断面図
であって、情報記録媒体の基板にスパッタリングによる
成膜を施している状態の図。
であって、情報記録媒体の基板にスパッタリングによる
成膜を施している状態の図。
【図３】従来に係るスパッタリング装置の要部の断面
図。
図。
２ 被処理物（情報記録媒体の基板） ３ 中心マスク部材 ４ 外周マスク部材 １３ プッシャー ２０ 押圧部材 ２２ リング状突起
Claims (1)
- 【請求項１】被処理物の中心部及び外周部を各々中心マ
スク部材及び外周マスク部材によりマスキングすると共
に、被処理物の中心部をプッシャーにより上記中心マス
ク部材に押圧して、被処理物のマスキング箇所以外の箇
所にスパッタリングにより成膜を施すスパッタリング装
置において、 スパッタリング時、その中央部でプッシャーに支持され
た押圧部材が、これの外周部に形成したリング状突起に
より被処理物の外周部を外周マスク部材に押圧している
ことを特徴とするスパッタリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08213593A JP3411326B2 (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | スパッタリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08213593A JP3411326B2 (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | スパッタリング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06293965A true JPH06293965A (ja) | 1994-10-21 |
| JP3411326B2 JP3411326B2 (ja) | 2003-05-26 |
Family
ID=13765982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08213593A Expired - Fee Related JP3411326B2 (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | スパッタリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3411326B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999056928A1 (de) * | 1998-05-04 | 1999-11-11 | Jenoptik Aktiengesellschaft | Einrichtung und verfahren zur trennung eines geformten substrates von einem prägewerkzeug |
| JP2004022153A (ja) * | 2002-06-20 | 2004-01-22 | Tdk Corp | 円板状基板用成膜装置に対する基板の受け渡し方法、当該方法に用いられる基板受け渡し機構および基板ホルダ、および当該方法を用いたディスク状記録媒体の製造方法 |
-
1993
- 1993-04-08 JP JP08213593A patent/JP3411326B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999056928A1 (de) * | 1998-05-04 | 1999-11-11 | Jenoptik Aktiengesellschaft | Einrichtung und verfahren zur trennung eines geformten substrates von einem prägewerkzeug |
| US6416311B1 (en) | 1998-05-04 | 2002-07-09 | Jenoptik Aktiengesellschaft | Device and method for separating a shaped substrate from a stamping tool |
| CN1105003C (zh) * | 1998-05-04 | 2003-04-09 | 詹诺普蒂克股份公司 | 将已成形的基片与压印模具分开的设备与方法 |
| JP2004022153A (ja) * | 2002-06-20 | 2004-01-22 | Tdk Corp | 円板状基板用成膜装置に対する基板の受け渡し方法、当該方法に用いられる基板受け渡し機構および基板ホルダ、および当該方法を用いたディスク状記録媒体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3411326B2 (ja) | 2003-05-26 |
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