JPH06293471A - 極細線の張力測定装置 - Google Patents
極細線の張力測定装置Info
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- JPH06293471A JPH06293471A JP21028691A JP21028691A JPH06293471A JP H06293471 A JPH06293471 A JP H06293471A JP 21028691 A JP21028691 A JP 21028691A JP 21028691 A JP21028691 A JP 21028691A JP H06293471 A JPH06293471 A JP H06293471A
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- tension
- measuring device
- tension measuring
- fine wire
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定誤差が生じにくい構成を持ち、また校正
を容易に行える張力測定装置を提供する。 【構成】 一端に極細線を案内するプーリを持ちかつ他
端に初期位置を保持するための緩衝ばねを持つレバーを
回転可能に支持する。緩衝ばねの他端は弾性体の一端に
取付けらており、極細線に張力がかかると、レバー及び
緩衝ばねを介して弾性体が歪み、この歪量を歪ゲージ又
は他の測定手段で測定する。また、校正位置と退避位置
との間に移動可能な校正用プーリを備え、この校正用プ
ーリと所定の重量の分銅により、張力に対応するように
測定手段の目盛を校正する。
を容易に行える張力測定装置を提供する。 【構成】 一端に極細線を案内するプーリを持ちかつ他
端に初期位置を保持するための緩衝ばねを持つレバーを
回転可能に支持する。緩衝ばねの他端は弾性体の一端に
取付けらており、極細線に張力がかかると、レバー及び
緩衝ばねを介して弾性体が歪み、この歪量を歪ゲージ又
は他の測定手段で測定する。また、校正位置と退避位置
との間に移動可能な校正用プーリを備え、この校正用プ
ーリと所定の重量の分銅により、張力に対応するように
測定手段の目盛を校正する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣやトランジスタの
ボンディングに使用される金、銅、アルミニウムなどの
極細線の製造の際に極細線にかけられる微小張力を測定
する極細線の張力測定装置に関する。
ボンディングに使用される金、銅、アルミニウムなどの
極細線の製造の際に極細線にかけられる微小張力を測定
する極細線の張力測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣやトランジスタのボンディングに使
用される極細線は、ドローイング、洗浄、アニーリン
グ、巻替え等の処理工程において、一定の微小張力をか
けながら処理することが各工程で共通の重要な要素の１
つとなっている。このため、極細線にかけられる張力を
常時測定して監視する必要がある。
用される極細線は、ドローイング、洗浄、アニーリン
グ、巻替え等の処理工程において、一定の微小張力をか
けながら処理することが各工程で共通の重要な要素の１
つとなっている。このため、極細線にかけられる張力を
常時測定して監視する必要がある。
【０００３】極細線の処理工程において極細線にかけら
れる張力を測定する張力測定装置の従来例には次のよう
なものがある。１つの従来例では、図４に示すように、
ポテンショメータ２１の軸に軸受けを取付け、この軸受
けで動作拡大レバー２５を回転可能に支持し、レバー２
５の一端には極細線を案内するプーリ２４を取付け、ま
たレバー２５の他端にはコイルばねを取付けている。そ
して巻取り時の極細線の張力とコイルばね２２をバラン
スさせたプーリ２４の位置に目盛２３を入れておき、ポ
テンショメータ２１で発生する電圧（張力に対応する）
に基づいて極細線を一定の線速度で運転する巻取りスプ
ール用モータ（図示せず）に対して繰出しスプール用モ
ータの回転を制御してプーリ２４を所定の張力に相当す
る目盛の位置に合わせるように制御している。
れる張力を測定する張力測定装置の従来例には次のよう
なものがある。１つの従来例では、図４に示すように、
ポテンショメータ２１の軸に軸受けを取付け、この軸受
けで動作拡大レバー２５を回転可能に支持し、レバー２
５の一端には極細線を案内するプーリ２４を取付け、ま
たレバー２５の他端にはコイルばねを取付けている。そ
して巻取り時の極細線の張力とコイルばね２２をバラン
スさせたプーリ２４の位置に目盛２３を入れておき、ポ
テンショメータ２１で発生する電圧（張力に対応する）
に基づいて極細線を一定の線速度で運転する巻取りスプ
ール用モータ（図示せず）に対して繰出しスプール用モ
ータの回転を制御してプーリ２４を所定の張力に相当す
る目盛の位置に合わせるように制御している。
【０００４】他の従来例では、図５に示すように、トル
クモータ３３の軸に軸受けを取付け、この軸受けで動作
拡大レバー３９を回転可能に支持し、レバー３９の一端
には極細線を案内するプーリ２８を取付け、またレバー
３９の他端にはコイルばね３７を取付けている。トルク
モータ３３は電流発生器３１で発生された電流により駆
動され、電流に比例したトルク、即ち軸受けに支持され
たレバー３９を回転させる力をを発生させる。なお、参
照番号３２は電流値を監視するための電流計を示す。ま
たトルクモータの軸にはポテンショメータ３４の軸が取
付けられている。このため、トルクモータ３３が駆動さ
れると、トルクモータ３３の回転角（即ち、極細線にか
けられる張力）がポテンショメータ３４によって検出さ
れ、この検出された張力に対応する張力信号が繰出しス
プール用モータ（図示せず）の制御器３６に供給され
て、繰出しスプール用モータを制御する。なお、参照番
号３５はポテンショメータ３４を構成する可変抵抗（図
示せず）の値を電圧に変換する抵抗電圧変換器を示す。
クモータ３３の軸に軸受けを取付け、この軸受けで動作
拡大レバー３９を回転可能に支持し、レバー３９の一端
には極細線を案内するプーリ２８を取付け、またレバー
３９の他端にはコイルばね３７を取付けている。トルク
モータ３３は電流発生器３１で発生された電流により駆
動され、電流に比例したトルク、即ち軸受けに支持され
たレバー３９を回転させる力をを発生させる。なお、参
照番号３２は電流値を監視するための電流計を示す。ま
たトルクモータの軸にはポテンショメータ３４の軸が取
付けられている。このため、トルクモータ３３が駆動さ
れると、トルクモータ３３の回転角（即ち、極細線にか
けられる張力）がポテンショメータ３４によって検出さ
れ、この検出された張力に対応する張力信号が繰出しス
プール用モータ（図示せず）の制御器３６に供給され
て、繰出しスプール用モータを制御する。なお、参照番
号３５はポテンショメータ３４を構成する可変抵抗（図
示せず）の値を電圧に変換する抵抗電圧変換器を示す。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
従来例では、ポテンショメータのブラシによる摩擦の影
響で精密な測定値を得ることが困難であり、また目盛を
作業者が読みとるので正確な読取りも困難である欠点が
あった。なお、読取りの感度を上げるためには動作拡大
レバーのてこ比を大きくしなければならず、てこ比を大
きくすると、レバーの取付けスペースが大きくなり過ぎ
て装置全体をコンパクトに構成できないという問題があ
る。
従来例では、ポテンショメータのブラシによる摩擦の影
響で精密な測定値を得ることが困難であり、また目盛を
作業者が読みとるので正確な読取りも困難である欠点が
あった。なお、読取りの感度を上げるためには動作拡大
レバーのてこ比を大きくしなければならず、てこ比を大
きくすると、レバーの取付けスペースが大きくなり過ぎ
て装置全体をコンパクトに構成できないという問題があ
る。
【０００６】また、後者の従来例では、やはりポテンシ
ョメータを使用しているので、前述の従来例と同様なポ
テンショメータに起因する欠点があり、さらに、トルク
モータに与える電流を読み取る電流計によって読み取っ
た値は、張力を直接指示するものではないので、表やグ
ラフを用いて張力に換算する厄介な換算作業が必要であ
るという欠点があった。
ョメータを使用しているので、前述の従来例と同様なポ
テンショメータに起因する欠点があり、さらに、トルク
モータに与える電流を読み取る電流計によって読み取っ
た値は、張力を直接指示するものではないので、表やグ
ラフを用いて張力に換算する厄介な換算作業が必要であ
るという欠点があった。
【０００７】さらに、前述のいずれの従来例でも、例え
ばポテンショメータに印加する電源電圧の変動、レバー
の左右の部分に生じるモーメントの違い等の種々の理由
により、ポテンショメータに基づいて検出される張力の
値と実際の張力との間にずれが生じたとき、測定系の目
盛を校正することが困難であった。
ばポテンショメータに印加する電源電圧の変動、レバー
の左右の部分に生じるモーメントの違い等の種々の理由
により、ポテンショメータに基づいて検出される張力の
値と実際の張力との間にずれが生じたとき、測定系の目
盛を校正することが困難であった。
【０００８】したがって、本発明の目的は、精密に測定
できかつ測定誤差が生じ難く構成した極細線の張力測定
装置を提供することにある。
できかつ測定誤差が生じ難く構成した極細線の張力測定
装置を提供することにある。
【０００９】また、本発明の目的は、容易に校正できる
手段を持った極細線の張力測定装置を提供することにあ
る。
手段を持った極細線の張力測定装置を提供することにあ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めに、本発明は、極細線の張力測定装置において、一端
に極細線を案内するガイド手段を持ちかつ他端に初期位
置を保持するための保持手段を持つ回転可能に支持した
レバーと、極細線にかかる張力を測定するために該保持
手段に関連して設けられた張力測定手段とを有すること
を特徴とする極細線の張力測定装置を採用するものであ
る。
めに、本発明は、極細線の張力測定装置において、一端
に極細線を案内するガイド手段を持ちかつ他端に初期位
置を保持するための保持手段を持つ回転可能に支持した
レバーと、極細線にかかる張力を測定するために該保持
手段に関連して設けられた張力測定手段とを有すること
を特徴とする極細線の張力測定装置を採用するものであ
る。
【００１１】なお、この極細線の張力測定装置は、前記
保持手段が緩衝ばねから成り、該緩衝ばねは一端が前記
レバーの一端に取付けられており、前記張力測定手段が
前記緩衝ばねの他端に一端が取付けられた弾性体と、該
弾性体の歪を検出する歪検出手段とを有することが好ま
しく、そして、前記歪検出手段が前記弾性体に貼着した
歪ゲージ又は前記弾性体が緩衝ばねに取付けらた端部の
変位を検出する変位検出手段から成ることが好ましい。
保持手段が緩衝ばねから成り、該緩衝ばねは一端が前記
レバーの一端に取付けられており、前記張力測定手段が
前記緩衝ばねの他端に一端が取付けられた弾性体と、該
弾性体の歪を検出する歪検出手段とを有することが好ま
しく、そして、前記歪検出手段が前記弾性体に貼着した
歪ゲージ又は前記弾性体が緩衝ばねに取付けらた端部の
変位を検出する変位検出手段から成ることが好ましい。
【００１２】また、この張力測定装置は、極細線の張力
に対して張力測定手段の目盛を校正するための校正手段
をさらに有することが好ましく、そして、前記校正手段
が極細線の先端を巻付けるように案内する校正位置と通
常の運転時には極細線と接触しないように退避させる退
避位置との間で移動可能な校正用プーリと、極細線に所
定の張力をかけるために極細線の先端に吊り下げられる
所定の重量の分銅とから成ることが好ましい。さらに、
この極細線の張力測定装置は、前記レバーは前記他端側
にバランスウエイトを取付けてレバーの軸受けの両側の
レバーのモーメントを平衡させることが好ましい。
に対して張力測定手段の目盛を校正するための校正手段
をさらに有することが好ましく、そして、前記校正手段
が極細線の先端を巻付けるように案内する校正位置と通
常の運転時には極細線と接触しないように退避させる退
避位置との間で移動可能な校正用プーリと、極細線に所
定の張力をかけるために極細線の先端に吊り下げられる
所定の重量の分銅とから成ることが好ましい。さらに、
この極細線の張力測定装置は、前記レバーは前記他端側
にバランスウエイトを取付けてレバーの軸受けの両側の
レバーのモーメントを平衡させることが好ましい。
【００１３】
【実施例】次に、図面を参照して、本発明の好ましい実
施例を説明する。図１は本発明の好ましい実施例の全体
を示す正面図である。図１において、レバー２が軸受け
３に回転可能に支持されており、レバー２の一端には張
力伝達用プーリ１が取付けられており、レバー２の他端
には緩衝ばね５の一端が取付けられている。また、レバ
ー２の緩衝ばね５が取付けられている側にはバランスウ
エイト４が取付けられている。
施例を説明する。図１は本発明の好ましい実施例の全体
を示す正面図である。図１において、レバー２が軸受け
３に回転可能に支持されており、レバー２の一端には張
力伝達用プーリ１が取付けられており、レバー２の他端
には緩衝ばね５の一端が取付けられている。また、レバ
ー２の緩衝ばね５が取付けられている側にはバランスウ
エイト４が取付けられている。
【００１４】バランスウエイト４のレバー２への取付け
は、プーリ１及びバランスウエイト４をレバー２に取付
けた状態での全重量の重心が軸受け３の支点と一致する
ように、バランスウエイト４をレバー２の適切な位置に
固定することによって行う。このように取付けると、緩
衝ばね５をレバー２の先端から外した状態では、レバー
２は任意の回転位置で停止するようになり、レバー２の
回転角によって軸受けの上下の不釣り合いに起因するモ
ーメントの差によっては極細線に張力がかからなくな
り、構成上から生じる誤差を防止できる。
は、プーリ１及びバランスウエイト４をレバー２に取付
けた状態での全重量の重心が軸受け３の支点と一致する
ように、バランスウエイト４をレバー２の適切な位置に
固定することによって行う。このように取付けると、緩
衝ばね５をレバー２の先端から外した状態では、レバー
２は任意の回転位置で停止するようになり、レバー２の
回転角によって軸受けの上下の不釣り合いに起因するモ
ーメントの差によっては極細線に張力がかからなくな
り、構成上から生じる誤差を防止できる。
【００１５】緩衝ばね５の他端は弾性体６の一端に固定
されており、弾性体６の他端は固定ブロック９に固定さ
れている。また、弾性体６には歪ゲージ７が貼着されて
おり、また歪ゲージ７は歪変換表示器８に接続されてお
り、歪ゲージ７で検出される歪量（極細線にかかる張力
に対応する）がこの歪変換表示器８に表示される。な
お、歪量を単に表示させるものではなく、歪量に対応す
る張力信号を発生して、例えば、繰出しスプール用モー
タ（図示せず）を使用する等の場合に、その繰出しスプ
ール用モータを制御するのに用いてもよい。
されており、弾性体６の他端は固定ブロック９に固定さ
れている。また、弾性体６には歪ゲージ７が貼着されて
おり、また歪ゲージ７は歪変換表示器８に接続されてお
り、歪ゲージ７で検出される歪量（極細線にかかる張力
に対応する）がこの歪変換表示器８に表示される。な
お、歪量を単に表示させるものではなく、歪量に対応す
る張力信号を発生して、例えば、繰出しスプール用モー
タ（図示せず）を使用する等の場合に、その繰出しスプ
ール用モータを制御するのに用いてもよい。
【００１６】なお、この緩衝ばね５の主要な機能は、レ
バーの回転を弾性体に単に伝達するためのものであり、
前述の従来例のコイルばねようにレバーを回転させよう
とする力に抗して釣り合せるものではない点に留意すべ
きである。
バーの回転を弾性体に単に伝達するためのものであり、
前述の従来例のコイルばねようにレバーを回転させよう
とする力に抗して釣り合せるものではない点に留意すべ
きである。
【００１７】本発明の実施例はさらに校正のために校正
用プーリ１１及び分銅１２を備えている。校正用プーリ
１１は、極細線の先端に所定の重量の分銅１２を吊る下
げて校正するための校正位置（点線で示す）と校正後の
通常の運転時に極細線の邪魔とならないような退避位置
（実線で示す）との間で移動できるようになっている。
校正は、校正用プーリ１１を校正位置に移動し、分銅１
２を極細線の先端に吊り下げて、この分銅１２によって
極細線にかかる張力（即ち、弾性体の歪量）に対応する
ように歪変換表示器８の目盛を合わせることによって行
う。
用プーリ１１及び分銅１２を備えている。校正用プーリ
１１は、極細線の先端に所定の重量の分銅１２を吊る下
げて校正するための校正位置（点線で示す）と校正後の
通常の運転時に極細線の邪魔とならないような退避位置
（実線で示す）との間で移動できるようになっている。
校正は、校正用プーリ１１を校正位置に移動し、分銅１
２を極細線の先端に吊り下げて、この分銅１２によって
極細線にかかる張力（即ち、弾性体の歪量）に対応する
ように歪変換表示器８の目盛を合わせることによって行
う。
【００１８】次に、図２を参照して、極細線にかかる張
力と弾性体の歪量の関係を求める式を説明する。図２に
おいて、Ｔは張力、Ｌ1 、Ｌ2 はレバーの両側の長さ、
Ｘ1、Ｘ2 は張力が零のときの緩衝ばねの伸ばされてい
ない初期の長さ及び張力がかかったときの緩衝ばねの伸
ばされた長さ、αは緩衝ばねが伸ばされないときと伸ば
されたときの緩衝ばねのなす角度、θはレバーに張力が
かけられていないときと張力がかけられたときのレバー
のなす角度をそれぞれ示す。このときの弾性体の歪量を
εとすると、以下の２つの式が成り立つ。
力と弾性体の歪量の関係を求める式を説明する。図２に
おいて、Ｔは張力、Ｌ1 、Ｌ2 はレバーの両側の長さ、
Ｘ1、Ｘ2 は張力が零のときの緩衝ばねの伸ばされてい
ない初期の長さ及び張力がかかったときの緩衝ばねの伸
ばされた長さ、αは緩衝ばねが伸ばされないときと伸ば
されたときの緩衝ばねのなす角度、θはレバーに張力が
かけられていないときと張力がかけられたときのレバー
のなす角度をそれぞれ示す。このときの弾性体の歪量を
εとすると、以下の２つの式が成り立つ。
【００１９】 ＴＬ2 ｃｏｓθ＝Ｋ1 （Ｘ2 ｃｏｓα−Ｘ1 ）×Ｌ1 ｃｏｓθ （１） ε＝Ｋ2 （Ｘ2 ｃｏｓα−Ｘ1 ） （２） ここで、ｃｏｓθ≒１、ｃｏｓα≒１となるように設定
すると、式１及び式２からε≒Ｋ3 ＴＬ2 と表される。
即ち、張力と歪量の関係はほぼ直線的な比例関係にある
とみなすことができる。なお、図２のδは弾性体の歪に
より生じる弾性体の先端の変位を示す。この変位δは、
弾性体の長さをＬ、厚みをｈ、幅をｂ、従弾性係数をＥ
とし、張力をＴとすると、次式（３）が成り立つ。
すると、式１及び式２からε≒Ｋ3 ＴＬ2 と表される。
即ち、張力と歪量の関係はほぼ直線的な比例関係にある
とみなすことができる。なお、図２のδは弾性体の歪に
より生じる弾性体の先端の変位を示す。この変位δは、
弾性体の長さをＬ、厚みをｈ、幅をｂ、従弾性係数をＥ
とし、張力をＴとすると、次式（３）が成り立つ。
【００２０】 δ＝４Ｌ3 ／ｂｈ3 Ｅ×Ｔ＝Ｋ4 Ｔ （３）
【００２１】即ち、変位δは張力に比例する。
【００２２】次に、図３を参照して、弾性体の歪量を検
出する他の実施例を説明する。なお、図３の実施例で
は、弾性体の歪量を直接求めるものではなく、歪量の代
わりに弾性体の先端の変位δを求めるものである。図３
において、参照番号１３は、静電式、電磁式、光反射式
等の任意の変位検出器を示し、１４は変位変換表示器を
示す。
出する他の実施例を説明する。なお、図３の実施例で
は、弾性体の歪量を直接求めるものではなく、歪量の代
わりに弾性体の先端の変位δを求めるものである。図３
において、参照番号１３は、静電式、電磁式、光反射式
等の任意の変位検出器を示し、１４は変位変換表示器を
示す。
【００２３】次に、本発明に従って構成した装置による
実験例を説明する。弾性体としてリン青銅板を用い、歪
ゲージとして抵抗線歪ゲージを用い、緩衝ばねとしてコ
イルばねを用いた。θ＝３０°、α≒０°とし、バラン
スウエイトによってレバーのバランスをとった後、校正
用プーリを校正位置に移動し、校正した結果、Ｔ＝０〜
４ｇの範囲内で、０．０５ｇ以下の分解能及び０．１ｇ
以下のリニアリティの精度が達成できた。
実験例を説明する。弾性体としてリン青銅板を用い、歪
ゲージとして抵抗線歪ゲージを用い、緩衝ばねとしてコ
イルばねを用いた。θ＝３０°、α≒０°とし、バラン
スウエイトによってレバーのバランスをとった後、校正
用プーリを校正位置に移動し、校正した結果、Ｔ＝０〜
４ｇの範囲内で、０．０５ｇ以下の分解能及び０．１ｇ
以下のリニアリティの精度が達成できた。
【００２４】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
ると、精密に測定できかつ測定誤差が生じ難く構成した
極細線の張力測定装置が得られ、また容易に校正できる
手段を持った極細線の張力測定装置が得られる。
ると、精密に測定できかつ測定誤差が生じ難く構成した
極細線の張力測定装置が得られ、また容易に校正できる
手段を持った極細線の張力測定装置が得られる。
【図１】図１は、本発明の好ましい実施例の全体を示す
正面図である。
正面図である。
【図２】図２は、極細線にかかる張力と弾性体の歪量の
関係を求める式を説明するための概略図である。
関係を求める式を説明するための概略図である。
【図３】図３は、弾性体の歪量を検出する他の実施例の
正面図である。
正面図である。
【図４】図４は、従来例の装置の１つを示す概略図であ
る。
る。
【図５】図５は、他の従来例の装置を示す概略図であ
る。
る。
１ プーリ ２ レバー ３ 軸受け ４ バランスウエイト ５ 緩衝ばね ６ 弾性体 ７ 歪ゲージ ８ 歪変換表示器 ９ 固定ブロック １０ 極細線 １１ 校正用プーリ １２ 分銅 １３ 変位検出器 １４ 変位変換表示器
Claims (8)
- 【請求項１】 極細線の張力測定装置において、一端に
極細線を案内するガイド手段を持ちかつ他端に初期位置
を保持するための保持手段を持つ回転可能に支持したレ
バーと、極細線にかかる張力を測定するために該保持手
段に関連して設けられた張力測定手段とを有することを
特徴とする極細線の張力測定装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の極細線の張力測定装置に
おいて、前記保持手段が緩衝ばねから成り、該緩衝ばね
は一端が前記レバーの一端に取付けられており、前記張
力測定手段が前記緩衝ばねの他端に一端が取付けられた
弾性体と、該弾性体の歪を検出する歪検出手段とを有す
ることを特徴とする極細線の張力測定装置。 - 【請求項３】 請求項２記載の極細線の張力測定装置に
おいて、前記歪検出手段が前記弾性体に貼着した歪ゲー
ジから成ることを特徴とする極細線の張力測定装置。 - 【請求項４】 請求項２記載の極細線の張力測定装置に
おいて、前記歪検出手段が前記弾性体が緩衝ばねに取付
けらた端部の変位を検出する変位検出手段から成ること
を特徴とする極細線の張力測定装置。 - 【請求項５】 請求項１記載の極細線の張力測定装置に
おいて、極細線の張力に対して張力測定手段の目盛を校
正するための校正手段をさらに有することを特徴とする
極細線の張力測定装置。 - 【請求項６】 請求項５記載の極細線の張力測定装置に
おいて、前記校正手段が極細線の先端を巻付けるように
案内する校正位置と通常の運転時には極細線と接触しな
いように退避させる退避位置との間で移動可能な校正用
プーリと、極細線に所定の張力をかけるために極細線の
先端に吊り下げられる所定の重量の分銅とから成ること
を特徴とする極細線の張力測定装置。 - 【請求項７】 請求項１記載の極細線の張力測定装置に
おいて、前記レバーは前記他端側にバランスウエイトを
取付けてレバーの軸受けの両側のレバーのモーメントを
平衡させたことを特徴とする極細線の張力測定装置。 - 【請求項８】 請求項１記載の極細線の張力測定装置に
おいて、前記張力測定手段で測定した張力に基づいた張
力信号を発生する張力信号発生手段をさらに有し、該張
力信号に関連して繰出しスプール用モータを制御するこ
とを特徴とする極細線の張力測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3210286A JP2705860B2 (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 極細線の張力測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3210286A JP2705860B2 (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 極細線の張力測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06293471A true JPH06293471A (ja) | 1994-10-21 |
| JP2705860B2 JP2705860B2 (ja) | 1998-01-28 |
Family
ID=16586887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3210286A Expired - Lifetime JP2705860B2 (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 極細線の張力測定装置 |
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| JP (1) | JP2705860B2 (ja) |
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1991
- 1991-07-26 JP JP3210286A patent/JP2705860B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP2705860B2 (ja) | 1998-01-28 |
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