JPH06291491A - Icハンドラ - Google Patents
IcハンドラInfo
- Publication number
- JPH06291491A JPH06291491A JP8035593A JP8035593A JPH06291491A JP H06291491 A JPH06291491 A JP H06291491A JP 8035593 A JP8035593 A JP 8035593A JP 8035593 A JP8035593 A JP 8035593A JP H06291491 A JPH06291491 A JP H06291491A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- goods
- trays
- handler
- uninspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Sorting Of Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】ハンドラ本体1と、未検品トレイ収納部2と、
ローダボロット部9と、テストソケット部4と、供給シ
ャトル3と、回収シャトル5,アンローダロボット10
と、良品トレイ収納部7と、不良品トレイ収納部8と、
空トレイ部6,トレイ搬送装置を配置したICハンドラ
において、未検品,良品,不良品,空トレイ,各収納部
にトレイ引き出し機構13を装備する。 【効果】トレイ供給,回収時の作業性が向上し、段取時
間の短縮にもつながるため、経済的効果が大である。
ローダボロット部9と、テストソケット部4と、供給シ
ャトル3と、回収シャトル5,アンローダロボット10
と、良品トレイ収納部7と、不良品トレイ収納部8と、
空トレイ部6,トレイ搬送装置を配置したICハンドラ
において、未検品,良品,不良品,空トレイ,各収納部
にトレイ引き出し機構13を装備する。 【効果】トレイ供給,回収時の作業性が向上し、段取時
間の短縮にもつながるため、経済的効果が大である。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ICハンドラに係り、
特に、好適なICトレイを供給,回収するICハンドラ
に関する。
特に、好適なICトレイを供給,回収するICハンドラ
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のICハンドラにおけるICトレイ
の収納技術は、図2に示す様に、未検品トレイ部2と、
空トレイ部6と、良品トレイ部7と不良品トレイ部8の
各収納部にオペレータが、直接、ICトレイの供給また
は、回収を行っていた。そのため、オペレータの姿勢は
前かがみの作業になっていた。
の収納技術は、図2に示す様に、未検品トレイ部2と、
空トレイ部6と、良品トレイ部7と不良品トレイ部8の
各収納部にオペレータが、直接、ICトレイの供給また
は、回収を行っていた。そのため、オペレータの姿勢は
前かがみの作業になっていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】前記従来技術では、図
2の未検品トレイ部2,空トレイ部6,良品トレイ部
7,不良品トレイ部8の各トレイ収納部に、オペレータ
が、直接、ICトレイをセットしていた。また各収納部
ユニットには、トレイガイド11が有り、更に、図2の
ようにICハンドラ本体1上に各収納部が有るため、I
Cトレイの供給,回収の作業性が悪い言う問題があっ
た。
2の未検品トレイ部2,空トレイ部6,良品トレイ部
7,不良品トレイ部8の各トレイ収納部に、オペレータ
が、直接、ICトレイをセットしていた。また各収納部
ユニットには、トレイガイド11が有り、更に、図2の
ようにICハンドラ本体1上に各収納部が有るため、I
Cトレイの供給,回収の作業性が悪い言う問題があっ
た。
【0004】本発明の目的は、ICトレイの供給,回収
を更に効率よく、作業性の向上を図り得るICハンドラ
を提供することにある。
を更に効率よく、作業性の向上を図り得るICハンドラ
を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的は、ハンドラ本
体上に配置された未検品トレイ,良品トレイ,不良品ト
レイ,空トレイ,各トレイ収納部ユニットにトレイ引き
出し機構を装備する事により達成される。
体上に配置された未検品トレイ,良品トレイ,不良品ト
レイ,空トレイ,各トレイ収納部ユニットにトレイ引き
出し機構を装備する事により達成される。
【0006】
【作用】本発明では、未検品トレイ部,良品トレイ部,
不良品トレイ部,空トレイ部の各収納ユニットに引き出
し機構を装備し、この引き出し機構により、ICトレイ
の供給,回収をハンドラ本体より手前側の外に出してセ
ットする事が出来るため、ICトレイを収納する作業
を、効率よく良好に行うことができる。
不良品トレイ部,空トレイ部の各収納ユニットに引き出
し機構を装備し、この引き出し機構により、ICトレイ
の供給,回収をハンドラ本体より手前側の外に出してセ
ットする事が出来るため、ICトレイを収納する作業
を、効率よく良好に行うことができる。
【0007】
【実施例】以下、本発明の実施例を図1,図2,図3,
図4,図5により説明する。図1は、従来のハンドラ
に、本発明によるトレイ引き出し機構を装備したICハ
ンドラ全体の概要を示す平面図、図2は従来のICハン
ドラの全体の概要を示す平面図、図3ないし図5はトレ
イ引き出し機構の装置詳細を表す説明図で、図3はハン
ドラ上面から見たトレイ引き出し機構の平面図、図4は
トレイガイド側から見た引き出し機構側面の断面図、図
5は引き出し機構の取手側から見た断面図を示す。
図4,図5により説明する。図1は、従来のハンドラ
に、本発明によるトレイ引き出し機構を装備したICハ
ンドラ全体の概要を示す平面図、図2は従来のICハン
ドラの全体の概要を示す平面図、図3ないし図5はトレ
イ引き出し機構の装置詳細を表す説明図で、図3はハン
ドラ上面から見たトレイ引き出し機構の平面図、図4は
トレイガイド側から見た引き出し機構側面の断面図、図
5は引き出し機構の取手側から見た断面図を示す。
【0008】これら図に示す実施例では、図2に示すよ
うに、ハンドラ本体1上に未検品トレイ収納部2と、ロ
ータロボット9と、テストソケット部4と、テストソケ
ット部4に未検品ICを搬入する装置,供給シャットル
3と、同テストソケット部4から検査終了ICを搬出す
る装置,回収シャトル5と、アンローダロボット10と
良品トレイ収納部7と不良品トレイ収納部8と、空トレ
イ収納部6と、トレイ搬送装置12とを配置する。この
ようなハンドラで以下に示す機構が設けられる。
うに、ハンドラ本体1上に未検品トレイ収納部2と、ロ
ータロボット9と、テストソケット部4と、テストソケ
ット部4に未検品ICを搬入する装置,供給シャットル
3と、同テストソケット部4から検査終了ICを搬出す
る装置,回収シャトル5と、アンローダロボット10と
良品トレイ収納部7と不良品トレイ収納部8と、空トレ
イ収納部6と、トレイ搬送装置12とを配置する。この
ようなハンドラで以下に示す機構が設けられる。
【0009】図1は、本発明による供給,良品,不良
品,空トレイ,各収納部に引き出し機構13が装備さ
れ、未検品トレイ供給時、終了品トレイ回収時に引き出
し機構を図の矢印の方向に移動させ、ICトレイの段取
替を行う。
品,空トレイ,各収納部に引き出し機構13が装備さ
れ、未検品トレイ供給時、終了品トレイ回収時に引き出
し機構を図の矢印の方向に移動させ、ICトレイの段取
替を行う。
【0010】この動作を行う機構として図3,図4に取
り上げられているように、押し釦ラッチ15を押し、引
き出し機構がロックされている状態を解除させ取手14
により引き出しの移動を行う。引き出しを移動させる手
段は、図4の昇降板13に取り付けた図5のブロック1
8のスライドレール19(図5)を取り付けて行われ
る。
り上げられているように、押し釦ラッチ15を押し、引
き出し機構がロックされている状態を解除させ取手14
により引き出しの移動を行う。引き出しを移動させる手
段は、図4の昇降板13に取り付けた図5のブロック1
8のスライドレール19(図5)を取り付けて行われ
る。
【0011】尚、トレイ引き出し機構にトレイを多段積
された場合、図4,図5の補助キャスタ5,16によ
り、引き出し機構のスライドをスムーズにさせ、かつ、
昇降板のたわみ防止にもつながるようになっている。ま
た、センサ20を取り付けた事により、各部トレイ収納
ユニット稼動中、引き出しがはずれたとしてもインター
ロックがかかるように考慮されている。
された場合、図4,図5の補助キャスタ5,16によ
り、引き出し機構のスライドをスムーズにさせ、かつ、
昇降板のたわみ防止にもつながるようになっている。ま
た、センサ20を取り付けた事により、各部トレイ収納
ユニット稼動中、引き出しがはずれたとしてもインター
ロックがかかるように考慮されている。
【0012】
【発明の効果】本発明によれば、未検品トレイ収納部,
良品トレイ収納部,不良品トレイ収納部,空トレイ収納
部にトレイ引き出し機構が装備されているため、トレイ
をセットする際、ハンドラ本体上で作業することなく、
ハンドラ本体から取り出せるため、ICトレイを効率よ
くセット出来、作業性,安全性の向上を図り得る。
良品トレイ収納部,不良品トレイ収納部,空トレイ収納
部にトレイ引き出し機構が装備されているため、トレイ
をセットする際、ハンドラ本体上で作業することなく、
ハンドラ本体から取り出せるため、ICトレイを効率よ
くセット出来、作業性,安全性の向上を図り得る。
【図1】本発明の実施例の概要を示す平面図。
【図2】従来のハンドラの技術を示す平面図。
【図3】本発明のトレイ引き出し機構を上面から見た動
作説明図。
作説明図。
【図4】トレイ引き出し機構を側面から見た断面図。
【図5】トレイ引き出し機構を取手側から見た断面図。
1…ハンドラ本体、2…未検品トレイ収納部、3…供給
シャトル、4…テストソケット部、5…回収シャトル、
6…空トレイ収納部、7…良品トレイ収納部、8…不良
トレイ収納部、9…ローダロボット、10…アンローダ
ロボット、11…トレイガイド、13…トレイ引き出し
機構。
シャトル、4…テストソケット部、5…回収シャトル、
6…空トレイ収納部、7…良品トレイ収納部、8…不良
トレイ収納部、9…ローダロボット、10…アンローダ
ロボット、11…トレイガイド、13…トレイ引き出し
機構。
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/68 T 8418−4M (72)発明者 栗田 佳典 静岡県清水市村松390番地 日立清水エン ジニアリング株式会社内 (72)発明者 尾川 健男 静岡県清水市村松390番地 株式会社日立 製作所清水工場内
Claims (1)
- 【請求項1】ICを、トレイで供給及び回収する機構の
ICハンドラにおいて、各々の前記トレイの収納部、す
なわち、テスト前の前記ICの入った未検品トレイの収
納部と、予め空トレイをセット又は、前記未検品トレイ
が空となったトレイを一時保管する、空トイレ収納部
と、テスト終了品の入る良品トレイ収納部,不良品トレ
イ収納部に、水平方向にトレイを引き出す機構を装備し
たことを特徴とするICハンドラ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8035593A JPH06291491A (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | Icハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8035593A JPH06291491A (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | Icハンドラ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06291491A true JPH06291491A (ja) | 1994-10-18 |
Family
ID=13715949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8035593A Pending JPH06291491A (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | Icハンドラ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06291491A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108609258A (zh) * | 2018-03-12 | 2018-10-02 | 中国电力科学研究院有限公司 | 抽屉式远程通信模块检定托盘及检测柜 |
CN111659639A (zh) * | 2019-03-07 | 2020-09-15 | 苏州汉扬精密电子有限公司 | 自动分离输送装置 |
CN112758649A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-05-07 | 东莞长盈精密技术有限公司 | 上下料装置以及自动检测系统 |
-
1993
- 1993-04-07 JP JP8035593A patent/JPH06291491A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108609258A (zh) * | 2018-03-12 | 2018-10-02 | 中国电力科学研究院有限公司 | 抽屉式远程通信模块检定托盘及检测柜 |
CN108609258B (zh) * | 2018-03-12 | 2020-08-11 | 中国电力科学研究院有限公司 | 抽屉式远程通信模块检定托盘及检测柜 |
CN111659639A (zh) * | 2019-03-07 | 2020-09-15 | 苏州汉扬精密电子有限公司 | 自动分离输送装置 |
CN111659639B (zh) * | 2019-03-07 | 2022-06-21 | 苏州汉扬精密电子有限公司 | 自动分离输送装置 |
CN112758649A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-05-07 | 东莞长盈精密技术有限公司 | 上下料装置以及自动检测系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3226780B2 (ja) | 半導体装置のテストハンドラ | |
MY116236A (en) | Apparatus for removing and storing semiconductor device trays | |
CN110434584A (zh) | 电脑主机箱组装设备 | |
JP6861427B2 (ja) | ノズル洗浄装置およびノズル乾燥方法 | |
JP3182985B2 (ja) | チップ供給装置およびチップ供給装置におけるマガジンの交換方法 | |
JPH06291491A (ja) | Icハンドラ | |
CN209118260U (zh) | 一种夹爪总成 | |
CN109524053A (zh) | 一种内存条自动检测设备 | |
JPH06503883A (ja) | 電子デバイス試験の制御装置 | |
DE112005000395T5 (de) | System und Verfahren zur Übergabe von Baugruppen | |
JP4050425B2 (ja) | 電子部品の連続式テーピング装置 | |
CN209241975U (zh) | 一种料盘移栽机构 | |
CN104815799A (zh) | 测试分选机 | |
DE102021201608A1 (de) | Bearbeitungsvorrichtung | |
JPS60161831A (ja) | 部品供給装置 | |
KR102058442B1 (ko) | 핸들러용 트레이 이송기 및 핸들러 | |
JPS61168452A (ja) | 大型ワ−クの自動供給取出装置 | |
JP2644810B2 (ja) | Icハンドラ | |
JPS61121399A (ja) | 部品送り装置 | |
CN220682998U (zh) | 一种静电吸附运输整理试剂条装置 | |
KR102292093B1 (ko) | 싱글 프로버 및 이를 포함하는 웨이퍼 테스팅 팩토리 시스템 | |
CN217807357U (zh) | 多层储料小车与机器人一体式自动化上下料系统 | |
KR102714345B1 (ko) | 정위치 상태의 트레이 이송이 가능한 기판 검사 장치 | |
CN219328724U (zh) | 玻片卸载装置及样本图像扫描设备 | |
US5077890A (en) | 0.3 unimodule offline loading trolley and method of using |