JPH06289043A - 角速度センサおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧電素子を含む振動子による音叉構造の高性
能な角速度センサおよびその製造方法に関するものであ
る。 【構成】 第１の振動ユニット４と、第２の振動ユニッ
ト８の２つの振動ユニットとを、検知軸に沿って互いに
平行になるように電極ブロックにより連結して音叉構造
にすると共に、この第１，第２の検知用素子４，８が圧
電素子３を含む矩形平板形状で構成され、少なくともい
ずれか一方の平板形状の端面を削られて直角形状でない
部分を有する。これにより、温度特性に優れ、外乱振動
によるノイズが発生しない高性能の角速度センサを得る
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はジャイロスコープとして
用いられる角速度センサ、特に圧電素子を含む振動子に
よる音叉構造の角速度センサおよびその製造方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のジャイロスコープを用いた慣性航
法装置には、飛行機、船舶のような移動する物体の方位
を知る方法として機械式の回転ジャイロが主に使われて
いる。

【０００３】しかし、これは安定した方位が得られる機
械式であることから装置が大がかりであり、コストも高
く、小型化が望まれる機器への応は困難である。

【０００４】一方、回転力を使わずに物体を振動させ
て、振動した検知素子から『コリオリの力』を検出する
方式の振動型角速度センサがある。多くは圧電方式や、
電磁方式による振動駆動メカニズムを採用している構造
のものである。

【０００５】これらセンサの角速度検出原理は、ジャイ
ロを構成する質量の運動が一定速度の運動ではなく振動
になっているので、角速度が加わった場合、『コリオリ
の力』は、質量の振動数と等しい振動数の振動トルクと
して生じるものである。

【０００６】このトルクによる振動を検出することによ
って角速度を測定するのが振動型角速度センサの原理で
ある。近年、特に圧電体を用いたこの原理によるセンサ
が多く考案されている（日本航空宇宙学会誌第２３巻第
２５７号３３９〜３５０ページ参照）。

【０００７】従来の音叉構造振動型角速度センサについ
て、図１２〜図１４を用いて説明する。角速度センサは
図１２に示すような構造であり、主に４つの圧電バイモ
ルフからなる駆動素子、モニター素子、第１および第２
の検知素子で構成されている。駆動素子１０１と第１の
検知素子１０３を接合部１０５で直交接合した第１の振
動ユニット１０９と、モニター素子１０２と第２の検知
素子１０４を接合部１０６で直交接合した第２の振動ユ
ニット１１０とを連結板１０７で連結し、この連結板１
０７を支持棒１０８で一点支持した音叉構造となってい
る。

【０００８】圧電バイモルフからなる駆動素子１０１に
正弦波電圧信号を与えると、逆圧電効果により第１の振
動ユニット１０９が振動を始める。すると音叉構造を構
成しているので音叉振動により第２の振動ユニット１１
０も振動をはじめる。

【０００９】したがって圧電バイモルフ構成のモニター
素子１０２の圧電効果によって素子表面に電荷を発生す
る。この電荷は駆動素子１０１へ印加している正弦波電
圧信号に比例する。このモニター素子１０２に発生する
電荷を検出し、これが一定振幅になるように駆動素子１
０１へ印加する正弦波電圧信号をコントロールすること
により安定した音叉振動を得ることができる。

【００１０】この構成の角速度センサが、加わった角速
度に比例した出力を発生させる仕組みを図１３及び図１
４を用いて説明する。図１３は図１２に示した角速度セ
ンサを上からみたものである。図１３に示すように、速
度ｖで振動している検知素子１０３に角速度ωの回転が
加わると、検知素子１０３には『コリオリの力』が生じ
る。この『コリオリの力』は速度ｖに垂直で大きさは２
ｍｖω（ｍは検知素子１０３の先端の等価質量）であ
る。

【００１１】検知素子１０３は音叉振動をしているの
で、ある時点で検知素子１０３が速度ｖで振動している
とすれば、検知素子１０４は速度−ｖで振動しており
『コリオリの力』は−２ｍｖωである。よって検知素子
１０３，１０４には、図１３のように互いに逆向きの
『コリオリの力』が働く方向に変形し、素子表面には圧
電効果によって電荷が生じる。

【００１２】ここでｖは音叉振動によって生じる速度で
あり、音叉振動速度が

【００１３】

【数１】

【００１４】であるとすれば、『コリオリの力』は、

【００１５】

【数２】

【００１６】となり、角速度ω及び音叉振幅ａに比例し
ており、検知素子１０３，１０４を面方向に変形させる
力となる。従って検知素子１０３，１０４の表面電荷量
Ｑは、

【００１７】

【数３】

【００１８】となり、音叉振幅ａが一定にコントロール
されているとすれば、

【００１９】

【数４】

【００２０】となり、検知素子１０３，１０４に発生す
る表面電荷量Ｑは角速度ωに比例した出力として得ら
れ、この信号を

【００２１】

【数５】

【００２２】で同期検波すれば、角速度ωに比例した直
流信号が得られる。なお、このセンサに角速度以外の並
進運動を与えても検知素子１０３と検知素子１０４の２
つの素子表面には同極性の電荷が生ずるため、直流信号
に変換時、互いに打ち消しあって出力はでないようにな
っている。

【００２３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
圧電バイモルフ素子を組み合わせて音叉構造とした角速
度センサでは、製造上非常に複雑であるだけでなく、高
精度に組み立てられたとしても圧電体のバラツキも含め
て、音叉構造の左右の重量バランスや微妙な形状非対称
などにより、不要信号としての発生電荷は必ずしもキャ
ンセルされてゼロになるとは限らない。

【００２４】これを解決するために製造をしやすくする
ことにより、組立精度を向上させ、非対称成分を削減す
る工夫は行われているが、確実に左右の不要信号成分が
キャンセルされたことにはならず、課題を残している。
この残留不要信号成分が温度特性を悪化させ、外乱振動
に弱いという問題点が生じていた。

【００２５】また、圧電体は両面に電極を構成する必要
があり、圧電バイモルフタイプにしろ圧電ユニモルフタ
イプにしろ、加工の際に両表面に印刷配置されてなる銀
電極からバリなどが発生し、それを原因として更に非対
称成分が発生し易い問題がある。

【００２６】本発明は上記従来の課題を解決し、音叉構
造の左右のアンバランスによる不要信号成分を確実にキ
ャンセルさせることで、温度特性に優れ、外乱振動によ
るノイズが発生しない高性能の角速度センサを得ること
を目的とする。

【００２７】また、製造上の非対称性の発生要因を削減
し、経時変化のない、安定した温度特性と外乱振動に強
い高性能な角速度センサを得ることを目的とする。

【００２８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、第１の駆動用素子と第１の検知用素子とを
互いに直交配置してなる第１の振動ユニットと、第２の
駆動用素子と第２の検知用素子とを互いに直交配置して
なる第２の振動ユニットの２つの振動ユニットとを、検
知軸に沿って互いに平行になるように電極ブロックによ
り連結して音叉構造にすると共に、この第１，第２の検
知用素子が圧電素子を含む矩形平板形状で構成され、少
なくともいずれか一方の平板形状の端面が削られて直角
形状でない部分を有する角速度センサおよびその製造方
法を提供するものである。

【００２９】また、圧電素子の相対する面のそれぞれに
電極を設け、この両電極の内少なくとも一方の電極を圧
電素子の面の外周端に達しないように形成する角速度セ
ンサおよびその製造方法を提供するものである。

【００３０】さらに、第１の振動ユニットは第１の駆動
用素子と第１の検知用素子を同一金属板に駆動用、検知
用の圧電素子をそれぞれ接着配置して構成し、第２の振
動ユニットは第２の駆動用素子と第２の検知用素子を同
一金属板に駆動用、検知用の圧電素子をそれぞれ接着配
置し、検知用素子を削ることによる特性調整をする角速
度センサおよびその製造方法である。

【００３１】

【作用】以上の構成によれば、第１の検知素子と第２の
検知素子とから出力される不要信号成分を容易に、そし
て正確にキャンセルさせることができるので、温度特性
に優れ、外乱振動によるノイズが発生しない高性能の角
速度センサを得ることができる。さらに振動ユニットを
特殊形状の金属板上に圧電素子を接着する構成にし、圧
電素子の電極を特殊形状とすることにより、製造し易く
精度の高い加工が可能となると共に、その電極の切り屑
やバリが発生することのない信頼性の高い角速度センサ
を得ることができる。

【００３２】

【実施例】以下、本発明による製造方法を用いて得られ
る角速度センサの一実施例を図面に基づいて説明する。

【００３３】（実施例１）図１において、この角速度セ
ンサは、中央部で直交するように成形された第１の恒弾
性金属板１に駆動用圧電体２と第１の検知用圧電体３を
接着配置して構成される第１の振動ユニット４と、同じ
く中央部で直交するように成形された第２の恒弾性金属
板５にモニター用圧電体６と第２の検知用圧電体７を接
着配置して構成される第２の振動ユニット８と、これら
を音叉型に接合する電極ブロック９とからなり、支持ピ
ン１０で一点支持した音叉構造になっている。この実施
例では恒弾性金属にエリンバを用いている。

【００３４】この角速度センサの駆動原理や角速度の検
出原理は従来例と同じなので省略するが、従来と異なる
構造は第２の振動ユニット８の第２の検知用圧電体７が
接着されている恒弾性金属板５の端面の一部の直角エッ
ジが削られて、１１ａ，１１ｂの間の部分に直角エッジ
でない部分があることである。

【００３５】次に、この角速度センサの製造方法につい
て図２のフローチャートを示す図を参照しながら説明す
る。従来例の課題に述べたように、第１の振動ユニット
４、第２の振動ユニット８は音叉構造に組み立てられる
と、高精度に組み立てられたとしても、圧電体のバラツ
キも含めて、左右の重量バランスや微妙な形状非対称な
どにより、不要信号としての発生電荷は必ずしもキャン
セルされてゼロになるとは限らない。そこで、検知用圧
電体が接着されている検知用素子部分の端面の一部を削
り取る、いわゆるトリミングを行う。

【００３６】まず図１のように組み立てられたものの非
対称性に基づくアンバランス成分である不要信号成分を
検出する検査工程（１）を通す（ステップａ）。次にそ
の検査工程で検出された不要信号成分の値が規定値Ｌと
比較され、それに満たない場合は次の検査工程（２）に
送られ、それ以上の場合は検知用素子の粗調整のための
トリミング工程に送られる（ステップｂ）。そのトリミ
ング工程で検知素子を粗調整切削（ステップｃ）された
ものは検査工程（２）で再び不要信号成分が検出され、
今度は規定値Ｍと比較され（Ｍ＞Ｌとする）、それに満
たない場合は次の完成工程に送られ、それ以上の場合は
検知用素子の微調整のためのトリミング工程に送られる
（ステップｅ）。そのトリミング工程で検知素子が微調
整切削（ステップｆ）されたものは再びステップａの検
査工程（１）に戻され、検査工程（１）（２）を通過す
れば完成工程に送られる。

【００３７】このトリミング工程で切削される検知素子
は本実施例では検知用圧電素子が恒弾性金属板に接着さ
れている構造としているので、恒弾性金属板部分を削る
ことが最も効率的である。本実施例では具体的には恒弾
性金属板５の端面のエッジ部を削り取っている。すなわ
ちトリミング工法を用いて左右の重量バランスや振動バ
ランスを調整し不要信号成分をキャンセルさせている。

【００３８】図３は本実施例のトリミング工程における
角速度センサの上方向からトリミング箇所を示した図
で、検知用圧電素子と恒弾性金属板からなる矩形状平板
の検知素子の直角エッジ部のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの４箇所を
それぞれ削る場合を示している。削る位置と量によって
粗調整、微調整が可能となり、適量のトリミングを施せ
ば左右の不要信号成分がキャンセルされゼロにすること
ができる。また、図４（ａ）はそのトリミング方法を示
した図で、ここではリューターと称する回転円盤式の砥
石１２を検知用圧電体７の貼り合わせられた恒弾性金属
板５の端面のエッジの直角部分が削られ、切削部１１が
現れてきている。図４（ｂ）はそのトリミングを施した
角速度センサの部分斜視図を示している。

【００３９】図７（ａ）は、トリミング位置とトリミン
グ量を変えた場合の不要信号成分との相関を示した実験
データである。図３で示したＡ部、Ｄ部、Ｂ部、Ｃ部
を、順に図７（ｂ）に示すように各３段階（Ａ−１，Ａ
−２，Ａ−３……Ｃ−１，Ｃ−２，Ｃ−３）削った場合
の不要信号成分量の変化を示している。Ａ部、Ｃ部をト
リミングすることで＋方向に、Ｂ部、Ｄ部をトリミング
することで−方向に調整できることがわかる。また、同
じ量のトリミングでも二つの検知素子の外側の方が不要
信号成分の変化値は顕著であることから前述の粗調整切
削工程での切削に用い、内側の方が不要信号成分の変化
値は少ないことから前述の微調整切削工程での切削に用
いる。例えば＋方向にトリミングする場合ならまずＡ部
を粗調整し、Ｃ部で微調整することも有意である。ま
た、トリミングし過ぎた場合は、Ｂ部、あるいはＤ部を
再調整トリミングすることもできる。

【００４０】（実施例２）図５に本実施例に基づく角速
度センサの振動ユニットを示している。第１の実施例と
異なるところは検知用素子に相当する恒弾性金属板５の
端面部分に穴部１１ｃを有することである。この穴部１
１ｃは、レーザ光で開けられたもので、大きさの異なる
複数の穴から構成されている。第１の実施例における切
削によるトリミング工程に代わり、検知用素子の端面付
近にレーザ光により穴を開け、振動ユニットの非対称に
基づく不要信号成分の削減を行っている。この方法によ
るとレーザ光の強さ、太さを調節することにより穴の深
さ、大きさが変化し、効率的にトリミング特性調整が可
能となる。

【００４１】なお、本実施例及び第１の実施例とも図６
に示すように、振動ユニットを構成するときに、恒弾性
金属板１，５をそれぞれ金属平板状のほぼ中央部におい
て長手方向に互い違いになるように幅方向の端部から中
間部に向かって設けたスリットによりほぼ直角に折り曲
げられた構成としている。その折り曲げ部１ａ，５ａが
上下、左右の中心の位置に設定できる構成であるので、
より対称性のよい振動ユニットを実現している。

【００４２】（実施例３）以下、図８〜図１１の図面を
用いて説明する。

【００４３】図８において、この角速度センサは、中央
部を境に上下が直交するように成形した第１の恒弾性金
属板１に駆動用圧電体２と第１の検知用圧電体３を接着
配置して構成される第１の振動ユニット４と、同じく中
央部を境に上下が直交するように成形した第２の恒弾性
金属板５にモニター用圧電体６と第２の検知用圧電体７
を接着配置して構成される第２の振動ユニット８と、こ
れらを音叉型に接合する電極ブロック９とからなり、支
持ピン１０で一点支持した音叉構造になっている。

【００４４】ここで、駆動用圧電体２、モニター用圧電
体６及び第１，第２の検知用圧電体３，７は、矩形状の
圧電素子１３ａの両面にこの外周端に達しないように中
央部に、印刷電極１４を形成した構成である。そして、
第２の検知用圧電体７が接着されている恒弾性金属板５
は第１の実施例同様に切削部１１を有し１１ａから１１
ｂの直角エッジが削られた状態である。

【００４５】また、この角速度センサの駆動原理や角速
度の検出原理は従来のものと同じであり、省略する。

【００４６】次に、本実施例の角速度センサの製造方法
について、図９〜図１１を用いて説明する。

【００４７】すなわち、図９（ａ），（ｂ）に示すよう
に、複数個の圧電体が得られるような大判の圧電素子板
１３を準備し、その圧電素子板１３の両面に図１０
（ａ），（ｂ）に示すように、銀電極材料を印刷焼成し
て印刷電極１４を設ける。このとき、印刷電極１４は島
状に個別に分離し、かつ両面の印刷電極１４が圧電素子
板１３を介して互いに対向するように形成する。

【００４８】次に図１１（ａ），（ｂ）に示すように、
島状に分離して設けられた印刷電極１４の間を切断し、
個片に分離することにより、圧電素子１３ａが得られ
る。この圧電素子１３ａを図８に示すように恒弾性金属
板１，５に接着することにより本実施例の角速度センサ
が得られる。このように島状に電極が分離して形成され
ているので、圧電素子に分離する際電極部分を切断する
ことがないため金属粉や、バリの発生がなくなり、生産
し易く電気的なショートによる不良が起き難くなる。ま
た、振動ユニットの非対称性の調整のためのトリミング
工程の切削が恒弾性金属板でなく、圧電体素子部分であ
る場合にも電極がない端面部分を切削に用いることがで
きるので金属粉による同様の問題がなくなる。

【００４９】ここで、上記実施例においては、圧電素子
１３ａの両面の電極全てを島状に分離して形成したが、
少なくとも一方の電極を島状に分離しておいても、同様
な効果が得られる。

【００５０】

【発明の効果】以上のように本発明は、検知用素子の端
面を削るか穴部を設けることにより特性調整するもので
あり、左右の不要信号成分をキャンセルさせることがで
きるため、温度特性に優れ、外乱振動によるノイズが発
生しない高性能の角速度センサを得ることができる。

【００５１】さらに、両面の電極のうち少なくとも一方
の電極を圧電素子の外周端に達しないように形成した検
知用素子の端面を削ることにより特性調整するものであ
り、左右の不要信号成分をキャンセルさせることができ
るため、温度特性に優れ、外乱振動によるノイズが発生
しない高性能の角速度センサを得ることができると共
に、印刷により形成された電極の切り屑やバリが発生す
ることがなく、すなわち圧電体裏表間の電極ショートの
ない信頼性の高い角速度センサを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例による製造方法で作成し
た角速度センサを示す斜視図

【図２】同実施例による製造方法を説明するためのフロ
ーチャートを示す図

【図３】同実施例の角速度センサの上方向からトリミン
グ箇所を示した概略図

【図４】（ａ）は同実施例による角速度センサの検知用
素子をトリミングする方法の一例を示した要部の斜視図
（ｂ）はそのトリミングが終了した状態の角速度センサ
の要部を示した斜視図

【図５】本発明の第２の実施例による製造方法で作成し
た角速度センサの要部を示す斜視図

【図６】本発明の第１，第２の実施例に用いる振動ユニ
ットの構成を説明するための角速度センサの要部を示す
斜視図

【図７】（ａ），（ｂ）本発明の第１の実施例によるト
リミング位置とトリミング量を変えた場合の不要信号成
分との相関を示した特性図

【図８】本発明の第３の実施例による製造方法で作成し
た角速度センサを示す斜視図

【図９】（ａ），（ｂ）同実施例による角速度センサの
製造方法における要部工程を示す斜視図及び断面図

【図１０】（ａ），（ｂ）同実施例による角速度センサ
の製造方法におけるさらに続く要部工程を示す斜視図及
び断面図

【図１１】（ａ），（ｂ）同実施例による角速度センサ
の製造方法におけるさらに続く要部工程を示す斜視図及
び断面図

【図１２】従来の角速度センサの斜視図

【図１３】従来の角速度センサの角速度検出の原理を示
す説明図

【図１４】従来の角速度センサの角速度検出原理を説明
した模式斜視図

【符号の説明】

２ 駆動用圧電体 ３ 検知用圧電体 ４ 第１の振動ユニット ６ モニター用圧電体 ７ 第２の検知用圧電体 ８ 第２の振動ユニット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西村 仁司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 戒能 喜久雄 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 田村 雅己 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (19)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の駆動用素子と第１の検知用素子と
   を互いに直交配置してなる第１の振動ユニットと、第２
   の駆動用素子と第２の検知用素子とを互いに直交配置し
   てなる第２の振動ユニットと、前記第１，第２の振動ユ
   ニットを結合する電極ブロックとを有し、前記第１，第
   ２の振動ユニットを検知軸に沿って互いに平行になるよ
   うに前記第１，第２の振動用素子を前記第１，第２の駆
   動用素子において前記電極ブロックにより連結してなる
   音叉構造であると共に、前記第１，第２の検知用素子が
   圧電素子を含む矩形平板形状で構成され、少なくとも前
   記第１，第２の検知用素子のいずれか一方の平板形状の
   端面が削られて直角形状でない部分を有する角速度セン
   サ。
2. 【請求項２】 第１の駆動用素子と第１の検知用素子と
   を互いに直交配置してなる第１の振動ユニットと、第２
   の駆動用素子と第２の検知用素子とを互いに直交配置し
   てなる第２の振動ユニットと、前記第１，第２の振動ユ
   ニットを結合する電極ブロックとを有し、前記第１，第
   ２の振動ユニットを検知軸に沿って互いに平行になるよ
   うに前記第１，第２の振動用素子を前記第１，第２の駆
   動用素子において前記電極ブロックにより連結してなる
   音叉構造であると共に、前記第１，第２の検知用素子が
   圧電素子を含む矩形平板形状で構成され、少なくとも前
   記第１，第２の検知用素子のいずれか一方の平板形状の
   面上の一部に穴部を有する角速度センサ。
3. 【請求項３】 平板状のほぼ中央部において長手方向に
   互い違いになるように幅方向の端部から中間部に向かっ
   て設けたスリットによりほぼ直角に折り曲げられた金属
   板上に、駆動用圧電素子と検知用圧電素子を互いに直交
   配置されるように接着した構成である第１，第２の振動
   ユニットと、前記第１，第２の振動ユニットを結合する
   電極ブロックとを有し、前記第１，第２の振動ユニット
   を検知軸に沿って互いに平行になるように前記第１，第
   ２の振動用素子を前記第１，第２の駆動用素子の部分で
   前記電極ブロックにより連結してなる音叉構造であると
   共に、前記第１，第２の振動ユニットの少なくとも一方
   の検知用圧電素子が接着された前記平板状金属板の端面
   が削られて直角形状でない部分を有する角速度センサ。
4. 【請求項４】 圧電素子の相対する面それぞれに電極を
   設け、前記電極の内少なくとも一方の電極を前記圧電素
   子の面の外周端に達しないように形成した請求項１、請
   求項２または請求項３記載の角速度センサ。
5. 【請求項５】 第１の振動ユニットは第１の駆動用素子
   と第１の検知用素子を同一金属板に駆動用、検知用の圧
   電素子とをそれぞれ接着し、第２の振動ユニットは第２
   の駆動用素子と第２の検知用素子を同一金属板に駆動
   用、検知用の圧電素子をそれぞれ接着してなる請求項１
   または請求項２記載の角速度センサ。
6. 【請求項６】 同一金属板が、平板状のほぼ中央部にお
   いて長手方向が互い違いになるように幅方向の端部から
   中間部に向かって設けたスリットによりほぼ直角に折り
   曲げられた金属板であり、前記金属板上に駆動用圧電素
   子と検知用圧電素子を互いに直交配置されるように接着
   してなる請求項５記載の角速度センサ。
7. 【請求項７】 穴部が平板形状の端面付近に形成された
   請求項２記載の角速度センサ。
8. 【請求項８】 第１の駆動用素子と第１の検知用素子と
   を互いに直交してなる第１の振動ユニット、及び第２の
   駆動用素子と第２の検知用素子とを互いに直交してなる
   第２の振動ユニットからなり、かつ前記第１，第２の振
   動ユニットを検知軸に沿って互いに平行になるように前
   記第１，第２の振動用素子を連結してなる音叉構造の角
   速度センサにおいて、前記第１，第２の検知用素子の少
   なくとも一方の検知用素子の端面を削ることによって特
   性調整をする角速度センサの製造方法。
9. 【請求項９】 第１，第２の振動ユニットのアンバラン
   ス成分を検出する工程を有し、前記検出結果に基づき検
   知用素子の端面を削ることによる特性調整をする請求項
   ８記載の角速度センサの製造方法。
10. 【請求項１０】 第１の駆動用素子と第１の検知用素子
    とを互いに直交してなる第１の振動ユニット、及び第２
    の駆動用素子と第２の検知用素子とを互いに直交してな
    る第２の振動ユニットからなり、かつ前記第１，第２の
    振動ユニットを検知軸に沿って互いに平行になるように
    前記第１，第２の振動用素子を連結してなる音叉構造の
    角速度センサにおいて、前記第１，第２の検知用素子の
    少なくとも一方の検知用素子の面上に穴部を形成するよ
    うに削ることによって特性調整をする角速度センサの製
    造方法。
11. 【請求項１１】 第１の駆動用素子と第１の検知用素子
    とを互いに直交してなる第１の振動用ユニット、及び第
    ２の駆動用素子と第２の検知用素子とを互いに直交して
    なる第２の振動ユニットからなり、かつ前記第１，第２
    の振動ユニットを検知軸に沿って互いに平行になるよう
    に前記第１，第２の振動用素子を連結してなる音叉構造
    の角速度センサにおいて、前記第１，第２の振動ユニッ
    トの駆動用素子と検知用素子は、同一金属板に駆動用と
    検知用の圧電素子を接着して構成し、かつ前記第１，第
    ２の検知用素子の少なくとも一方の検知用素子の端面を
    削ることによって特性調整する角速度センサの製造方
    法。
12. 【請求項１２】 金属板の端面を長手方向に削ることで
    特性調整する請求項１１記載の角速度センサの製造方
    法。
13. 【請求項１３】 金属板の４つの長手方向端面の外側を
    削ることで特性の粗調整を行い、内側を削ることで微調
    整する請求項１１記載の角速度センサの製造方法。
14. 【請求項１４】 長手方向に削る長さを変えることで特
    性調整する請求項１１記載の角速度センサの製造方法。
15. 【請求項１５】 金属板が、平板状のほぼ中央部におい
    て長手方向に互い違いになるように幅方向の端部から中
    間部に向かって設けたスリットによりほぼ直角に折り曲
    げることにより構成される請求項１１記載の角速度セン
    サの製造方法。
16. 【請求項１６】 矩形状の圧電素子の両面に電極を設け
    た圧電体を金属板に接着した振動体から構成され、かつ
    両面の電極の内少なくとも一方の電極を前記矩形状の圧
    電素子の外周端に達しないように形成した角速度セン
    サ。
17. 【請求項１７】 中央部を境に上下が直交するように形
    成した金属板の前記上下の片面に駆動用圧電体と検知用
    圧電体を各々接着して振動ユニットを構成し、この振動
    ユニットを音叉状に結合して構成した請求項１６記載の
    角速度センサ。
18. 【請求項１８】 金属板が、平板状のほぼ中央部におい
    て長手方向に互い違いになるように幅方向の端部から中
    間部に向かって設けたスリットによりほぼ直角に折り曲
    げることにより構成される請求項１７記載の角速度セン
    サ。
19. 【請求項１９】 複数個の圧電体が形成されるように大
    判の圧電素子の両面に電極を形成した後、個々の圧電体
    に切断する際に、大判の圧電素子の少なくとも一方の面
    には個々の圧電体の電極を島状に分離して形成し、その
    後島状の電極間で矩形状に圧電素子を切断することによ
    り圧電体を得ることを特徴とする角速度センサの製造方
    法。