JPH06281661A

JPH06281661A - 圧電材料の物質不安定性の補償方法及び装置

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Publication number: JPH06281661A
Application number: JP5250396A
Authority: JP
Inventors: Malcolm P Varnham; マルコルム・ピイ．ヴアーナム; Mcinnes James; ジエームス・マツキニーズ
Original assignee: British Aerospace PLC
Current assignee: BAE Systems PLC
Priority date: 1992-10-06
Filing date: 1993-10-06
Publication date: 1994-10-07
Anticipated expiration: 2016-11-26
Also published as: JP3233514B2; EP0592171B1; DE69317346T2; GB9220977D0; DE69317346D1; EP0592171A1

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】圧電素子の温度不安定性を軽減し、また老化
等に因る特性の変化を補償する方法と装置を提供する。【構成】軸Ｘを中心とする回転運動を検出する振動式
速度センサ１０を例にとると、シリンダ１２に組み込ま
れた圧電材料の温度や老化による不安定性を補償するた
めに、シリンダ１２に径方向の振動を与える一次と二次
の駆動トランスデューサ１４，１６、およびこの振動を
検出する一次と二次のピッフオフトランスデューサ１
８，２０があり、シリンダの共振周波数を検出する。ま
た温度センサ５２で動作温度を検出し、信号Ｔｏを発生
し、基準電圧Ｖｒｅｆと比較し、コントローラ４４で適
温に調節する。共振周波数とＴｏの値から圧電材料の各
種物性パラメータを計算し、基準動作状態からのずれを
求め、これらのデータに基づいて、老化を含む圧電材料
の特性の変化を補償する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電材料の物質不安定
性の補償方法及び補償装置、そしてこれに限られないが
特にジルコン酸鉛チタン酸鉛（ＰＺＴ）を使用する回転
速度センサの老化補償に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１は、R.M.Langdon の英国特許第２０
６１５０２号及びJ.S.Butdess の英国特許第２１５４７
３９号に記載されるタイプの、従来型単軸速度センサの
システム図である。シリンダは、発振信号が駆動トラン
スデューサへ与えられることによって共振を始める。上
部から見た共振モードの振動パターンを、図２に示す。
最大径方向振動の波腹と、最小径方向振動の波節の存在
が見られる。一次ループ制御は、一次駆動トランスデュ
ーサと一次ピックオフトランスデューサの間に９０度の
位相のずれを確保して共振を維持する。速度センサが回
転すると、共振モードがシリンダに連関して回転し、信
号を二次ピックオフトランスデューサで検出できる。こ
の信号は増幅され、次いで信号を無効にしてゼロにする
ため二次駆動トランスデューサへ送り戻される。無効化
信号の強さは、回転速度に比例する。この信号は、直流
速度信号として復調され、次いで出力される。

【０００３】振動パターンには、第２図に示されたもの
と異なる形状のものがあることに注意すべきである。し
かし、振動パターンには、シリンダの周囲に円筒状に生
ずる波節と波腹がある。シリンダは共振に際して必ず駆
動されねばならない訳ではないが、実際上はそうである
ことが望ましい。共振体は、円形あるいは円筒状でなけ
ればならない訳ではなく、実際には半球状及びリング状
のものが使用できる。しかし、一次及び二次電気回路
（一次及び二次共振と称する）によって見られる発振モ
ードは、同一か又はほぼ同一の共振数であることが望ま
しい。

【０００４】英国特許第２０６１５０２号には、一端が
閉じられ、柄で支持され、図３の金属シリンダ上に固着
した圧電素子を用いて共振を始める金属製の従来型シリ
ンダ１２が開示されている。圧電素子はまた、その運動
をピックオフするためにも使用される。

【０００５】英国特許第２１５４７３９号には、図４に
示すような電極域間物質へ極性を与て駆動ピックオフト
ランスデューサを形成する、圧電材料から成る単一構造
の類似の従来型装置が開示されている。この装置は、２
個の電荷増幅器Ａ１、Ａ２、発振器、活性利得制御装置
ＯＣ及びフィードバック装置ＦＢを有する。

【０００６】上記の両特許は、図１に示したものに類似
の電子回路を記載する。図１より、位相同期ループＰＬ
Ｌは、位相検出器ＰＤ、低域フィルタＦ及び電圧制御発
振器ＶＣＯから構成されることがわかる。ＶＣＯ出力
は、利得制御素子Ｈを介する一次駆動電極Ｇと、位相検
出器ＰＤの基準入力の両方へ接続される。

【０００７】位相検出器ＰＤの特徴は、入力時の信号Ａ
及びＢ間の位相差に比例する信号Ｃを出力することであ
る。ここで使用される位相検出器ＰＤは、入力が直角で
あるときはゼロ出力となる。つまり、直角位相検出器で
ある。

【０００８】一次ループが固定されている場合は、位相
検出器ＰＤ出力信号Ａ、Ｂは直角であり、従ってシリン
ダ１２は共振状態である。Ｂでの信号の位相が変化する
と、位相検出器により感知され、位相検出器はＶＣＯ信
号の位相制御のため濾波され使用される補正信号Ｃを出
力する。

【０００９】不幸にして、ＰＺＴ等の圧電材料は、温度
に対するＱ値Ｑの大きな変化を起こす。一定の一次駆動
信号のための共振モードの振幅は、Ｑ値に比例して変化
し、従って温度によって変化する。

【００１０】図１のシステムは、一定振幅に一次ピック
オフ信号を維持するため、コントローラＣＬを介して一
次ピックオフ信号（Ｂ）の振幅を外部基準電圧Ｖref と
比較する一次ループＰＬ内の利得制御回路を使用して、
上記問題点を回避する。これは、Ｑに対する依存を減ら
して、温度に伴う速度センサの換算係数の依存を固定す
るのに役立つ。

【００１１】二次駆動トランスデューサ１６、一次ピッ
クオフトランスデューサ１８、及び二次ピックオフトラ
ンスデューサ２０は、低域フィルター１９及び復調器２
１とと一緒になって、二次ループＳＬの一部を形成す
る。

【００１２】圧電セラミックスには、多数の小さな粒子
が含まれ、その各々には電気双極子の並ぶ分域がある。
この粒子はランダムに向けられているので、正味の電気
双極子はゼロである。すなわち、このバルク材料は圧電
性ではない。

【００１３】該材料は、高温で強電界を該材料へ処理し
て極性化することにより圧電性になる。このプロセスは
電界方向へ双極子を整列し、該双極子は電界除去後もそ
の方向に留まる。かかる方法は、例えば、ＡＮＳＩ／Ｉ
ＥＥＥ std 176、1987年、「圧電気に関するＩＥＥＥ基
準」、及びドーバー出版、ニューヨーク、１９６４年W.
G. Cady著「圧電気」に開示されている。

【００１４】大部分の圧電セラミック材料は、時間とと
もに、すなわち老化により、徐々に圧電性が小さくな
る。この老化現象は、時間に対して典型的に対数的であ
り、該材料は、極化性後１日間の老化がそれ以降の１０
日間の老化と同量で、さらにそれ以後の１００日間の老
化と同量であるというように老化を起こす。

【００１５】老化に加えて、圧電パラメータも同様に温
度ヒステリシスを示す。さらに悪いことに、このパラメ
ータ値は、温度サイクルを経過した後同じパラメータ値
に必ずしも戻らない。この結果は、温度サイクルに対す
る該パラメータ変化を測定・プロットし、及び時間に伴
う該パラメータ値の度々の緩慢かつ不完全な回復に注目
すれば明らかである。

【００１６】圧電パラメータ変化は、回転速度センサの
性能に重要な影響をもつ。例えば該材料の圧電性の変化
は、直接圧電効果（該材料が機械的応力を受けていると
き生じる電荷）及び逆圧電効果（印加電界下で生じる機
械的ひずみ）の両方を変化させる。そのため、圧電材料
で作られた装置の「有効入力出力利得」は変化する。さ
らに、該材料で作られた部分の振動数及び電極のキャパ
シタンスが変化し、次いでこれはまた有効入力出力利得
を変化させることができる。

【００１７】特に、これらのパラメータ変化は、回転速
度センサの換算係数（又は感度、すなわち一定回転速度
のための出力信号）の変化を起こす。

【００１８】さらに、速度センサの換算係数も、感知素
子（つまり、シリンダ）の振動数の正の関数である。シ
リンダの固有振動数は、物質パラメータ変化のため、時
間及び温度によって変化する。従って、速度センサの換
算係数は、直接の結果として変化する。

【００１９】前記のように、温度に伴って変化する一次
出力信号に基因する換算係数の変化をなくすため、速度
センサを回路（図１）と一体に設計できる。しかしこの
ループは、主に時間と温度によるＱ値Ｑの変化に逆らう
ため機能するものである。

【００２０】残念ながら、このループは圧電パラメータ
のあらゆる変化に対応するものではない。この結果、速
度センサの換算係数は、時間と伴に老化し、温度ヒステ
リシスを表す。これらの変化は、５％ないし１５％の範
囲で最終製品についての変化に寄与する。これらは、特
に単一の原因、すなわち材料に帰する場合は、大きな変
化である。

【００２１】要約すれば、圧電材料から成る振動式シリ
ンダを用いる速度センサは、その特性において、老化及
び温度不安定性を示す。これらは、速度センサの換算係
数の許容できないほど大きな変化を生ずる。金属製の振
動式部材（英国特許第２０６１３０２号に記載されるも
の等）上に固着された圧電トランスデューサを用いる速
度センサにおける変化が、類似の影響を受けることが予
想される。感度が材料の圧電特性に依存する他のセンサ
における変化も、類似の影響を受けることが予想され
る。

【００２２】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的の一つ
は、圧電材料から成る、あるいはそれを組み込んだ製品
の老化及び温度不安定性の問題を軽減し、またできる限
りなくすことである。

【００２３】本発明の目的及び効果を、以下に記載の好
ましい実施態様において開示された詳細により、さらに
明らかにする。

【００２４】

【課題を解決するための手段】本発明の特徴によれば、
圧電材料を組み込み、かつ軸を中心に設置したシリン
ダ、前記シリンダへ径方向振動を与える一次及び二次駆
動トランスデューサ、前記シリンダ中にひき起こされる
振動の有無を検出する一次及び１０個の二次ピックオフ
トランスデューサ、一次ピックオフトランスデューサか
ら信号を受信し、一次駆動トランスデューサと一次ピッ
クオフトランスデューサの間に９０度の位相のずれを起
こして共振を維持する一次制御ループ、及び二次ピック
オフトランスデューサからその回転を表示する信号を受
信し、前記信号を無効にしてゼロにするよう前記信号を
二次駆動トランスデューサへ向け、シリンダの作動温度
を感知しかつ作動温度信号（To）を出力する温度セン
サ、及び、作動温度信号及び一次ピックオフトランスデ
ューサからの共振数信号を受信し、それらをシリンダ圧
電材料中のパラメータ変化の補償に使用する補償部材を
有する二次制御ループ、を備える、軸Ｘを中心とした回
転運動を検知する速度センサ装置が提供される。シリン
ダ圧電材料は、ジルコン酸鉛チタン酸鉛（ＰＺＴ）であ
り、また、該材料中でのパラメータ変化は、老化を含め
て補償されることが好ましい。

【００２５】本発明装置には、前記一次制御ループ内
に、利得制御装置と一次ピックオフ信号の振幅を基準電
圧（Ｖref ）と比較し、利得制御装置へ補正信号CSを送
ることができる第１コントローラから構成される利得制
御回路があるのが便利である。補償部材には、作動温度
信号（To）を受信し、シリンダの共振数をモニターし、
それらを一次ピックオフ振幅の基準振幅のオープンルー
プ補償を行うために使用できる第２コントローラがある
のが有利である。

【００２６】第２コントローラには、シリンダ振動数と
周辺温度でのシリンダ振動数の初期設定値との差に比例
する出力電力Ｖ２を供給できる振動数差メータがあるの
が好ましい。

【００２７】本発明装置には、一次制御ループ２２内に
利得制御装置があり、及び該装置内の補償部材には、温
度センサと利得制御装置の間に接続され、シリンダの共
振数をモニターし、振動数と温度を基準として入力駆動
振幅を調整できるコントローラがあるのが便利である。

【００２８】あるいは、制御手段としては、温度セン
サ、作動温度信号（To）及び一次ピックオフ信号（Ｂ）
が出力される補償回路であってもよい。

【００２９】補償回路には、マイクロプロセッサがある
のが有利である。

【００３０】一次制御ループには、直角に作動するよう
に配置された位相検出器を持つ位相同期ループ、低域フ
ィルタ及び電圧制御発振器があるのが好ましい。

【００３１】本発明の別の特徴によれば、シリンダの作
動温度（To）を感知する工程、シリンダの共振数（Ｂ）
を感知する工程、及び感知温度（To）と感知振動数
（Ｂ）を利用して前記パラメータ変化を補償する工程、
を含む、シリンダの設置された軸（Ｘ）を中心とする回
転運動を検出する速度センサ装置のシリンダの少なくと
も一部を形成する圧電材料中のパラメータ変化の補償方
法が提供される。

【００３２】作動温度（To）及び共振数（Ｂ）が、一次
ピックオフ振幅の基準振幅のオープンループ補償を行う
コントローラへ送られることが好ましい。

【００３３】あるいは、振動数及（Ｂ）及び作動温度
（To）は、その振動数（Ｂ）及び作動温度（To）を基準
として入力駆動振幅をシリンダへ調整するコントローラ
へ送られてもよい。

【００３４】温度（To）及び共振数（Ｂ）は、補償回路
へ出力されることが便利である。

【００３５】

【実施例】以下、本発明につき、添付の図面を参照して
実施例により詳細に説明する。

【００３６】以下、図５ないし図９を全般的に参照すれ
ば、本発明の一実施例による軸を中心とする回転運動を
検出する振動式速度センサ１０は、前記軸Ｘを中心に設
置されたシリンダ１２、前記シリンダへ径方向振動を与
える一次及び二次駆動トランスデューサ１４，１６、前
記シリンダ１２内にひき起される振動の有無を検出する
一次及び二次ピックオフトランスデューサ１８，２０、
及び、一次及び二次制御ループ２２，２３を有する。一
次制御ループは、一次ピックオフ・トランスデューサ１
８から信号を受信し、かつ一次駆動トランスデューサ１
４と一次ピックオフトランスデューサ１８の間に９０度
の位相ずれを起こして構造体の共振を維持するために設
けられる。

【００３７】二次制御ループ２３は、構造体の回転を表
示する二次ピックオフトランスデューサから信号を受信
するために設けられている。この信号は、それを無効に
してゼロにするため、二次駆動トランスデューサへ向け
られる。一次制御ループ２２には、直角に作動するよう
に配置した位相検出器３０、低域フィルタ３２及び電圧
制御発振器３４を有する位相同期ループ（ＰＬＬ）があ
ってもよい。電圧制御発振器３４は、一次駆動トランス
デューサ１４を駆動する出力信号と、位相同期ループの
一部を形成するため位相検出器３０へ戻す基準信号
（Ａ）を発信する。かかる一次駆動回路の作動は、当該
技術分野では周知であり、本文ではこれ以上は説明しな
い。

【００３８】しかしながら、上記特許及び出願人同時係
属英国特許出願第９２０７８８６．４号を参照すること
ができる。この装置は、一次ループ内へ利得制御回路４
０を組み込んで圧電材料のＱ値の温度に伴う変化に関連
する問題を克服する。回路４０は、利得制御装置４２と
コントローラ４４から構成される。コントローラは、一
次ピックオフ信号Ｐ5 の振幅を基準電圧Ｖref と比較
し、一次ピックオフ信号を一定振幅に維持するため、補
正信号ＣＳを利得制御装置（４２）へ送信する。これ
は、速度センサの換算係数の温度への依存を固定するの
を助ける。

【００３９】本発明装置は、シリンダ１２の作動温度を
感知し、作動温度信号Ｔｏを発生する温度センサ（５
２）を有する。この信号Ｔｏは、シリンダの共振数及び
作動温度Ｔｏをモニターし、一次ピックオフ振幅の基準
振幅のオープループ補償を行うためにこれらを使用する
第２コントローラ（５０）により受信される。

【００４０】第２コントローラ（５０）は、シリンダか
らの所望の一次ピックオフ振幅に比例した出力信号Ｖ４
を駆動するように、温度センサ（５２）からの信号、定
電圧源Ｖref 及び振動数変化ｆｖを組み合わせる。

【００４１】温度センサ（５２）は、出力電圧Ｖ１が温
度に比例すれば、どのような市販の温度センサでもよ
い。本実施例では、Ｖ１はボルト／°Ｃの単位で表され
る。センサの精度は、一般的には２°Ｃである必要があ
る。コントローラ（４０）及び（５０）の詳細は第９図
に示されており、図中コントローラ（５０）は、シリン
ダ振動数と周辺でのシリンダ振動数の初期設定値との差
に比例する出力電圧Ｖ2を表示する回路形状の振動数差
メータ（５６）をもっている。コントローラ４４には整
形装置（５３）がある。本実施例では、Ｖ2 はボルトＨ
ｚの単位で表される。正確な基準振動数Ｆref とジャイ
ロへ供給される振動数との振動数の差の測定が実施され
る。基準振動数は、シリンダ振動数の低整数倍あるいは
高整数倍で、かつ振動数メータ（５６）に従った単位で
も供給される。振動数差メータの精度は、約０．２％で
ある必要がある。

【００４２】Ｖref は基準電圧であり、おそらく専有の
バンドギャップ半導体基準から得られる。本実施例で
は、Ｖref は１ボルトであり、Ｖ3 ＝Ｖref である。

【００４３】これらの信号は組み合わされ、電圧Ｖ4 を
生ずる。ここで、Ｖ4 は、以下の式で与えられる。

【００４４】Ｖ4 ＝Ｋ１．Ｖ１＋Ｋ２・Ｖ２＋Ｋ３・Ｖ３… （１）係数の典型値は次のとうりである。

【００４５】Ｋ１＝−２×１０-5 Ｋ２＝５．５×１０-4 Ｋ３＝１上記の実施は、１例のみにすぎないことを強調してお
く。実用上は、Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３のより便宜な尺度構成
を、Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３の対応値とともに選択することが
できる。

【００４６】さらに、コントローラの実用的実施には、
多数の方法がある。しかしこれらの方法のいずれも、結
果的に得られる式は上記と類似するという一般的特徴を
持っている。

【００４７】第１コントローラの目的は、第１ピックオ
フ振幅をＶ４にするため、制御信号を利得制御エレメン
トへ発信することである。

【００４８】一次ピックオフ信号の振幅を測定するた
め、ＶＣＯ信号に関して一次ピックオフ信号を復調する
ことが実施可能である。復調された信号は次いでＶ４と
比較され、整形回路へ送られたエラー信号は、必要な制
御信号を利得制御エレメントへ送る。

【００４９】ループ安定性と適正精度が得られることを
確保するため、この実施には制御理論の知識が要求され
る。しかし、可能な実施は、この振幅制御ループと他の
制御ループとの相互作用を回避するため、整形回路中に
極めて緩慢な積分器を用いることである。

【００５０】利得制御エレメントの目的は、第１コント
ローラからの制御入力との関連でＶＣＯの振幅を調整す
ることである。種々の実施が可能であるが、その一つと
して、市販の自動利得制御積分回路を使用することがあ
る。

【００５１】閉鎖ループ系の概略図を図５に示す。

【００５２】開放ループ系の一般的モデルは図６に示さ
れており、図中、感知エレメントが外部駆動回路によっ
て発振を始める。励振振幅は振動数及び温度を基準とし
て調整される。本系は、一次ピックオフ振幅が固定され
ていないので、開放ループである。かかるセンサには、
Ｑの変化から生じる温度に伴う予想可能な変化が起こ
る。これらの変化は、一次ピックオフ信号の振幅の測定
によって、外部的に補償することができる。

【００５３】図７及び図８は、上記に類似の開放及び閉
鎖ループ系を示しているが、圧電パラメータの変化補償
は、マイクロプロセッサ（図示省略）等により、外部か
ら行われる。必要なアルゴリズムは当該技術分野ではよ
く理解されているので、本文中での記載を省略する。

【００５４】この基本系は、出願人同時係属出願第９２
０７８８６．４号に記載のいずれの組合せ装置にも加え
ることができる。

【００５５】以下の請求の範囲に限定される本発明の範
囲内で、本発明の実施態様へ種々の改良及び変形を行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】単軸速度センサの一般的模式図である。

【図２】第１図の従来型速度センサの振動部位の共振モ
ードの上部から見た振動パターンの図示である。

【図３】先行技術装置に組み込まれたタイプの従来型振
動式シリンダ、及びシリンダ上に配置した電極を示す。

【図４】圧電材料から成り、電極域間の該材料を極性化
して駆動ピックオフトランスデューサを形成した、単一
構造の類似の従来型装置を示す。

【図５】本発明の一実施例による速度センサを模式的に
表したものである。

【図６】本発明の別の実施例による速度センサを模式的
に表したものである。

【図７】本発明のさらに別の実施例による速度センサを
模式的に表したものである。

【図８】本発明のさらに別の実施例による速度センサを
模式的に表したものである。

【図９】本発明へのコントローラ及び利得制御ブロック
の実施の１例を示すブロック図である。

【符号の説明】

12：シリンダ、 14：一次駆動トランスデューサ、 16：二次駆動トランスデューサ、 18：一次ピックオフトランスデューサ、 20：二次ピックオフトランスデューサ、 22：一次制御ループ、 23：二次制御ループ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者マルコルム・ピイ．ヴアーナムイギリス国．ピイエル６・６デイイー．デボンシヤー．ピリマウス．クルタフオード・ロード．（番地なし）ブリテツシユ・エアロスペース・システムズ・アンド・エクイプメント内 (72)発明者ジエームス・マツキニーズイギリス国．エスジイ１・２エヌジエイ. ハートフオードシヤー．ステイブンエイヂ．アンゴツツ・ミード．10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電材料を組み込みかつ軸を中心に設置
したシリンダ（12）、前記シリンダへ径方向振動を与え
る一次及び二次駆動トランスデューサ、前記シリンダ中
にひき起こされる振動の有無を検出する一次及び二次ピ
ックオフトランスデューサ、一次ピックオフトランスデ
ューサから信号を受信し、一次駆動トランスデューサと
一次ピックオフトランスデューサの間に90度の位相のず
れを起こして共振を維持する一次制御ループ、及び二次
ピックオフトランスデューサからその回転を表示する信
号を受信し、前記信号を無効にしてゼロになるように信
号を二次駆動トランスデューサへ向け、シリンダの作動
温度を感知し、かつ作動温度信号（Ｔｏ）を出力する温
度センサ、及び、作動温度信号及び一次ピックオフトラ
ンスデューサからの共振数信号を受信し、それらをシリ
ンダ圧電材料中のパラメータ変化の補償に使用する補償
部材を有する二次制御ループ、を備える、軸（Ｘ）を中
心とした回転運動を検出する速度センサ装置。
【請求項２】シリンダ圧電材料がジルコン酸鉛チタン
酸鉛であり、補償されるパラメータ変化に老化も含まれ
る、請求項１に記載の速度センサ装置。
【請求項３】一次制御ループ内に、利得制御装置及
び、一次ピックオフ信号の振幅を基準電圧（Vref）と比
較し、利得制御装置へ補正信号（CS）を与えることがで
きる第１コントローラから構成される利得制御回路を有
する、請求項２に記載の速度センサ装置。
【請求項４】補償部材が、作動温度信号（To）を受信
し、かつシリンダの共振数をモニターし、それらを一次
ピックオフ振幅の基準振幅の開放ループ補償を与えるた
めに使用できる第２コントローラを有する、請求項３に
記載の速度センサ装置。
【請求項５】第２コントローラが、シリンダ振動数と
周辺温度でのシリンダ振動数の初期設定値との差に比例
する出力電圧Ｖ２を与えることができる振動数差メータ
を有する、請求項４に記載の速度センサ装置。
【請求項６】一次制御ループ内に利得制御装置を有
し、補償部材が温度センサと利得制御装置の間に接続さ
れ、シリンダの共振数をモニターし、振動数及び温度を
基準として入力駆動振幅を調整できるコントローラを有
する、請求項１に記載の速度センサ装置。
【請求項７】制御手段が、温度センサ、作動温度信号
（To）及び一次ピックオフ信号（Ｂ）が出力される補償
回路である、請求項１のいずれかに記載の速度センサ装
置。
【請求項８】補償回路がマイクロプロセッサを有す
る、請求項７に記載の速度センサ装置。
【請求項９】一次制御ループが、直角に作動するよう
に配置された位相検出器をもつ位相同期ループ（PLL
）、低域フィルタ及び電圧制御発振器を有する請求項
８に記載の速度センサ装置。
【請求項１０】シリンダの作動温度（To）を感知する
工程、シリンダの共振数（Ｂ）を感知する工程、及び前
記パラメータ変化の補償のため感知温度（To）と感知振
動数（Ｂ）を利用する工程、を含む、シリンダの設置さ
れた軸（Ｘ）を中心とした回転運動を検出する速度セン
サ装置のシリンダの少なくとも一部を形成する圧電材料
のパラメータ変化の補償方法。
【請求項１１】作動温度（To）及び共振数（Ｂ）が、
一次ピックオフ振幅の基準振幅の開放ループ補償を行う
コントローラへ送られる、請求項10に記載の方法。
【請求項１２】作動温度（To）及び共振数（Ｂ）が、
その共振数（Ｂ）及び前記温度（To）を基準として、入
力駆動振幅をシリンダへ調整するコントローラへ送られ
る、請求項10に記載の方法。
【請求項１３】前記温度（To）及び共振数（Ｂ）が補
償回路へ出力される、請求項10に記載の方法。