JPH06281473A - 積層型圧電セラミックアクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧電的に不活性な部分が無く、しかも分極時
や駆動時に破壊され難い積層型圧電セラミックアクチュ
エータを提供するものである。 【構成】 このアクチュエータは、それぞれ外部電極用
の接続部となる屈曲部１２ｃの端部を別向きに有するよ
うに位置された放射型内部電極１２を含む第１の種の電
極層，第２の種の電極層を圧電セラミックシート１１と
の間で交互に積層した長角柱として構成される。第１の
種の電極層の接続部と第２の種の電極層の接続部とは、
それぞれ長角柱の長手方向に平行する一方の側面と他方
の側面とに設けられた外部電極１４ａ，１４ｂにそれぞ
れ接続されている。放射型内部電極１２は、各側面にそ
れぞれ露出する複数の伸展部１２ａと、これらに交わる
ように長手方向に延在した直行部１２ｂと、直行部１２
ｂから長手方向に対して直交する方向に屈曲して延在し
た屈曲部１２ｃとから一体的に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電気的エネルギーを機
械的エネルギー（駆動力を生じて微小に変位する）に変
換する積層型圧電セラミックアクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の積層型圧電セラミックア
クチュエータは、圧電セラミックの電界誘起歪みを利用
したデバイスであり、圧電セラミックシートと電極を含
む電極層とが多層積層されることによって構成されてい
る。このような構造は一般に積層型セラミックコンデン
サと類似している。

【０００３】図４は、従来の積層型圧電セラミックアク
チュエータの基本構成を示したものである。この積層型
圧電セラミックアクチュエータの場合、内部電極４２と
外部電極４４との接続に際して内部電極４２の引き出し
部が圧電的に不活性とならないように、積層過程で各側
面に露出する内部電極４２上に一層おきにガラス絶縁部
４３を設け、そのガラス絶縁部４３上に外部電極４４を
配置させている。

【０００４】この積層型圧電セラミックアクチュエータ
は、駆動回路より電気的エネルギーを供給すると、圧電
縦効果により圧電セラミックシート４１と内部電極４２
との積層方向に生じる変位や駆動力を利用できる。

【０００５】このタイプの積層型圧電セラミックアクチ
ュエータにおいて、大きな変位量を得ようとすれば、理
論的には圧電セラミックシート４１と内部電極４２との
積層数を多くし、その積層方向を長くする構成とすれば
良い。

【０００６】しかしながら、積層数を増加させると脱バ
インダーや焼結工程においてデラミネーションやクラッ
ク等のトラブルが発生して欠陥を生じる危険があるの
で、積層方向の長手寸法には実質的に限界がある。通常
このタイプの積層型圧電セラミックアクチュエータの長
手は２０ｍｍ程度が限界になっている。

【０００７】そこで、圧電セラミックシートと内部電極
とを積層した方向に対して直交する方向を長手方向とす
れば、寸法の長い積層型圧電セラミックアクチュエータ
を構成することができる。このようなタイプの積層型圧
電セラミックアクチュエータは既に幾つかのものが提案
されている。

【０００８】例えば、特願平３−２７１９１３号記載の
積層型圧電セラミックアクチュエータの場合は、図５に
示すように、圧電セラミックシート５１と電極層とを交
互に積層した長角柱として構成される。ここでの電極層
は、長角柱の長手方向と直交する方向に延在し、且つそ
の長手方向に沿って繰り返し位置された複数の帯状内部
電極５２を含んでいる。又、この電極層は、各帯状内部
電極５２の直交方向における一方向に延在した外部電極
用の接続部を含む第１の種の電極層と、各帯状内部電極
５２の直交方向における他方向に延在した外部電極用の
接続部を含む第２の種の電極層とに区別される。

【０００９】ここで、第１の種の電極層が含む複数の帯
状内部電極５２は、それぞれが第２の種の電極層が含む
各帯状内部電極５２の相互間隔の間に置かれると共に、
第２の種の電極層が含む各帯状内部電極５２と平行する
ように配されている。又、第１の種の電極層の各帯状内
部電極５２は、長角柱の長手方向に平行する一方の側面
に設けられた外部電極５４ａと接続され、第２の種の電
極層の各帯状内部電極５２は、長角柱の長手方向に平行
する他方の側面に設けられた外部電極５４ｂと接続され
ている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上述した図５に示す積
層型圧電セラミックアクチュエータの場合、各帯状内部
電極５２と外部電極５４ａ，５４ｂとにおける接続箇所
が各帯状内部電極５２の一方側に存在し、各帯状内部電
極５２の他方側が空所となっているため、この空所部分
が圧電的に不活性となってしまう。

【００１１】このように圧電的な不活性部分があると、
分極工程や駆動時等にて高電圧を印加した場合にその部
分に応力が集中してクラック等のトラブルを発生し、場
合によっては積層型圧電セラミックアクチュエータが破
壊されこともある。

【００１２】本発明は、かかる問題点を解決すべくなさ
れたもので、その技術的課題は、圧電的に不活性な部分
が無く、しかも分極時や駆動時に破壊され難い積層型圧
電セラミックアクチュエータを提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、圧電セ
ラミックシートと電極層とを所定方向に交互に積層した
積層型圧電セラミックアクチュエータにおいて、電極層
は、所定方向と直交する平面内に延在した電極部と該電
極部から該平面内でセラミックシートの一端部まで延在
した接続部とを含む第１の種の電極層と、所定方向と直
交する平面内に延在した電極部と該電極部から該平面内
でセラミックシートの他端部まで延在した接続部とを含
む第２の種の電極層とに区別され、電極部の各々は複数
の内部電極と該内部電極間を結合した結合部とを有し、
第１の種の電極層の各々の接続部を第１の外部電極に接
続し、第２の種の電極層の各々の接続部を第２の外部電
極に接続した積層型圧電セラミックアクチュエータが得
られる。

【００１４】又、本発明によれば、上記積層型圧電セラ
ミックアクチュエータにおいて、所定方向と平行に延び
た互いに対向する側面を有し、第１の外部電極は互いに
対向する側面のうちの一方の側面に沿って延び、第２の
外部電極は互いに対向する側面のうちの他方の側面に沿
って延びた積層型圧電セラミックアクチュエータが得ら
れる。

【００１５】更に、本発明によれば、上記積層型圧電セ
ラミックアクチュエータにおいて、複数の内部電極にお
ける一方の側面と他方の側面とに向かう部分は、それぞ
れ平面の中心側に向かって延在する部分よりも細く形成
された積層型圧電セラミックアクチュエータが得られ
る。

【００１６】加えて、本発明によれば、上記何れかの積
層型圧電セラミックアクチュエータにおいて、第１の種
の電極層と第２の種の電極層とにおける各々の複数の内
部電極は、互いに間隔をもって平行に配された積層型圧
電セラミックアクチュエータが得られる。

【００１７】

【作用】不活性部分の無い長角柱として構成される本発
明の積層型圧電セラミックアクチュエータにおいては、
放射型内部電極における外部電極との接続部を積層型圧
電セラミックアクチュエータの機械的変位量や応力の出
力面を避けて長角柱の長手方向と平行な側面に存在する
圧電的に不活性な部分に設けている。放射型内部電極は
長角柱の長手方向の端部付近か、又は中央付近で長角柱
の長手方向と平行する側面に向かって屈曲された屈曲部
を有し、この屈曲部の端部の外部電極用接続部が外部電
極との間で接続される。このような放射型内部電極に
は、長手方向と平行する直行部と屈曲部とを合わせた局
部的な形状において、Ｌ字型やＴ字型の部分が存在す
る。

【００１８】

【実施例】以下に実施例を挙げ、本発明の積層型圧電セ
ラミックアクチュエータについて、図面を参照して詳細
に説明する。

【００１９】図１は、本発明の第１の実施例に係る積層
型圧電セラミックアクチュエータの基本構成を斜視図に
より示したものである。

【００２０】この積層型圧電セラミックアクチュエータ
も、圧電セラミックシート１１と電極層とを交互に積層
した長角柱として構成される。ここで、電極層は長角柱
の長手方向と直交する方向に延在し、且つその長手方向
に沿って繰り返し位置された放射型内部電極１２を含ん
でいる。更に、この電極層は放射型内部電極１２の直交
方向における一方向に延在した外部電極用の接続部を含
む第１の種の電極層と、放射型内部電極１２の直交方向
における他方向に延在した外部電極用の接続部を含む第
２の種の電極層とに区別される。

【００２１】即ち、この積層型圧電セラミックアクチュ
エータにおいては、第１の種の電極層，第２の種の電極
層が圧電セラミックシート１１との間で交互に積層さ
れ、第１の種の電極層における接続部は長角柱の長手方
向に平行する一方の側面に露出し、且つこの一方の側面
に設けられた外部電極１４ａとの間で接続され、第２の
種の電極層における接続部は長角柱の長手方向に平行す
る他方の側面に露出し、且つこの他方の側面に設けられ
た外部電極１４ｂとの間で接続された構成になってい
る。

【００２２】具体的に云えば、第１及び第２の種の電極
層における各放射型内部電極１２は、一方の側面と他方
の側面とにそれぞれ露出する複数の伸展部１２ａと、こ
れら各伸展部１２ａのほぼ中央にて交わり、且つ長手方
向に延在した直行部１２ｂと、この直行部１２ｂから直
交方向に屈曲して延在する屈曲部１２ｃとから一体的に
形成されている。ここで屈曲部１２ｃの端部は、上述し
た如く各側面に露出し、外部電極１４ａ，１４ｂに対す
る接続部となる。

【００２３】このような構成の積層型圧電セラミックア
クチュエータは、放射型内部電極１２と外部電極１４
ａ，１４ｂとの接続箇所が第１及び第２の種の電極層の
それぞれにおいて一箇所となっているので、圧電的な不
活性部分が最小限に抑制されたものとなる。

【００２４】因みに、図１に示す積層型圧電セラミック
アクチュエータにおいては、屈曲部１２ｃの端部と外部
電極１４ａ，１４ｂとの接続箇所を長角柱の長手方向の
一端側となるようにしているが、この接続箇所を図２に
示す本発明の第２の実施例に係る積層型圧電セラミック
アクチュエータにおける屈曲部２２ｃと外部電極２４
ａ，２４ｂとの場合のように、長角柱のほぼ中央となる
ようにしても良い。又、放射型内部電極１２，２２にお
ける伸展部１２ａ，２２ａを帯状内部電極とみなした場
合、直行部１２ｂ及び屈曲部１２ｃと直行部２２ｂ及び
屈曲部２２ｃとは、それぞれ帯状内部電極間を結合した
結合部とみなすことができる。

【００２５】次に、このような各積層型圧電セラミック
アクチュエータの製造方法について具体的に説明する。

【００２６】第１の実施例に係る積層型圧電セラミック
アクチュエータの場合、圧電性セラミックシート１１の
原材料は、化学組成式がＰｂ（Ｎｉ・Ｎｂ）_0.5 Ｔｉ
_0.35Ｚｒ_0.15Ｏ₃ で表わされるチタン酸ジルコン酸鉛系
磁器である。

【００２７】積層型圧電セラミックアクチュエータとな
る長角柱は、断面寸法が５ｍｍ×５ｍｍ，長さが７０ｍ
ｍである。又、圧電セラミックシート１１の一層の厚さ
は５０ミクロンであり、アクチュエータを構成するため
の積層数は１００層である。放射型内部電極１２におい
て、各伸展部１２ａは圧電セラミックシート１１の一層
毎に１／２ピッチずらして形成されている。各伸展部１
２ａの寸法は幅が２００ミクロン，長さが５．０ミリメ
ートルであり、各伸展部１２ａの相互の間隔は６００ミ
クロンである。又、各伸展部１２ａの長手方向の繰り返
し数は８０本となっている。

【００２８】直行部１２ｂは、各伸展部１２ａの中央を
結んで長手方向と平行に、幅が３００ミクロン，長さが
６６ミリメートルで形成されている。この直行部１２ｂ
より長角柱の側面側へと屈曲して延在する位置には、屈
曲部１２ｃが形成されている。ここで直行部１２ｂ及び
屈曲部１２ｃは合わせて伸展部１２ａに対してＬ字状に
形成される。但し、放射型内部電極１２はスクリーン印
刷により一意的（同時）に形成されるものである。

【００２９】引き続き、長角柱の側面より露出した屈曲
部１２ｃの端部（接続部）上に銀の外部電極１４ａ，１
４ｂを焼き付け、屈曲部１２ｃの接続部と外部電極１４
ａ，１４ｂとを接続する。尚、この積層型圧電セラミッ
クアクチュエータは、放射型内部電極１２にＬ字状部を
含むので、Ｌ字型積層型圧電セラミックアクチュエータ
と呼ばれても良い。

【００３０】一方、第２の実施例に係る積層型圧電セラ
ミックアクチュエータの場合は、同様な手順で放射型内
部電極２２の伸展部２２ａを圧電セラミックシート２１
の一層毎に１／２ピッチずらして形成するときに、繰り
返し方向のほぼ中央部に２ｍｍの寸法で伸展部２２ａの
無い間隔を設ける。

【００３１】次に、各伸展部２２ａの中央を結んで長手
方向と平行に、幅が３００ミクロン，長さが６８ミリメ
ートルの直行部２２ｂを形成するときに、伸展部２２ａ
の無い２ｍｍの間隔にて直行部２２ｂより長角柱の側面
側へと屈曲して延在するように屈曲部２２ｃを形成す
る。ここで、直行部２２ｂ及び屈曲部２２ｃは伸展部２
２ａに対してＴ字状に形成される。

【００３２】引き続き、長角柱の側面より露出した屈曲
部２２ｃの端部（接続部）上に銀の外部電極２４ａ，２
４ｂを焼き付け、屈曲部２２ｃの接続部と外部電極２４
ａ，２４ｂとを接続する。尚、この積層型圧電セラミッ
クアクチュエータは、放射型内部電極２２にＴ字状部を
含むため、Ｔ字型積層型圧電セラミックアクチュエータ
と呼ばれても良い。

【００３３】そこで、このようにして得られる各積層型
圧電セラミックアクチュエータを対象に、ＤＣ３５０ボ
ルトの高電圧を印加して分極処理を施し、更に４０℃−
９０％ＲＨ環境下で３００ボルトの一定電圧を印加して
エージングを施した。表１は、このときの各処理に際し
ての不良発生率に関する測定結果を、図５に示した従来
の積層型圧電セラミックアクチュエータのものと比較し
て示したものである。

【００３４】

【表１】

【００３５】表１から明らかなように、本発明のＬ字型
やＴ字型の積層型圧電セラミックアクチュエータは、放
射型内部電極１２，２２の屈曲形状に係わり無く、従来
のものに較べて分極工程におけるクラックの発生が少な
く、又エージング百時間後，及びエージング千時間後の
不良率も低くなり、耐湿負荷特性が向上していることが
判る。即ち、第１及び第２の実施例に係る積層型圧電セ
ラミックアクチュエータは、圧電的に不活性な部分が少
なく、結果として分極時や駆動時に破壊され難いものと
なる。

【００３６】ところで、このように圧電的な不活性部分
を有しない長角柱の積層型圧電セラミックアクチュエー
タであっても、長角柱の側面に沿って放射型内部電極１
２，２２の各伸展部１２ａ，２２ａ及び屈曲部１２ｃ，
２２ｃの端部が露出して設けられるため、駆動時に表面
漏れによる電気的短絡が生じることがある。

【００３７】そこで、このような表面漏れを対策し、図
３に示す如く本発明の第３の実施例に係る電気的に安定
した積層型圧電セラミックアクチュエータを構成するこ
ともできる。

【００３８】この積層型圧電セラミックアクチュエータ
は、図１に示した第１の実施例に係る積層型圧電セラミ
ックアクチュエータと構成面で比較した場合、放射型内
部電極３２において、複数の伸展部３２ａの長角柱にて
一方の側面と他方の側面とに向かう部分がそれぞれ直行
部３２ｂに向かって延在する部分よりも細く形成された
点のみが相違している。この積層型圧電セラミックアク
チュエータの場合、放射型内部電極３２の各伸展部３２
ａの端部の露出面積が小さくなるので、駆動時に表面漏
れによる電気的短絡が生じ難くなる。

【００３９】この積層型圧電セラミックアクチュエータ
の製造も、上述した第１の実施例の場合と同様な手順で
行う。

【００４０】即ち、この放射型内部電極３２において、
各伸展部３２ａは圧電セラミックシート３１の一層毎に
１／２ピッチずらして形成されている。各伸展部３２ａ
の寸法は幅が１００ミクロン，長さが０．７５ミリメー
トルで、各伸展部３２ａの相互の間隔は６００ミクロン
である。又、各伸展部３２ａの長手方向の繰り返し数は
８０本となっている。

【００４１】直行部３２ｂは各伸展部３２ａの中央を結
んで長手方向と平行に、幅が２００ミクロン，長さが６
６ミリメートルで形成されている。この直行部３２ｂよ
り長角柱の側面側へと屈曲して延在する位置には、屈曲
部３２ｃが形成されている。但し、この放射型内部電極
３２もスクリーン印刷により一意的に形成されるもので
ある。

【００４２】引き続き、長角柱の側面より露出した屈曲
部３２ｃの端部（接続部）上に銀の外部電極３４ａ，３
４ｂを焼き付け、屈曲部３２ｃの接続部と外部電極３４
ａ，３４ｂとを接続する。尚、この積層型圧電セラミッ
クアクチュエータもＬ字型のものとなる。

【００４３】そこで、このようにして得られた積層型圧
電セラミックアクチュエータを対象に、ＤＣ３５０ボル
トの高電圧を印加して分極処理を施し、更に４０℃−９
０％ＲＨ環境下で３００ボルトの一定電圧を印加してエ
ージングを施した。表２は、このときの各処理に際して
の不良発生率に関する測定結果を、図５に示した従来の
積層型圧電セラミックアクチュエータのものと比較して
示したものである。

【００４４】

【表２】

【００４５】表２から明らかなように、この積層型圧電
セラミックアクチュエータは、従来のものに較べて分極
工程における不良の発生が約１／３程度にまで減少さ
れ、又エージング百時間後，及びエージング千時間後の
不良率も低くなり、耐湿負荷特性が向上していることが
判る。即ち、第３の実施例に係る積層型圧電セラミック
アクチュエータは、結果として駆動時の表面漏れが少な
く、電気的に安定なものとなる。

【００４６】尚、上述した第１及び第２の実施例に係る
積層型圧電セラミックアクチュエータに第３の実施例に
係る構成，即ち、各伸展部１２ａ，２２ａの長角柱にて
一方の側面と他方の側面とに向かう部分をそれぞれ直行
部１２ｂ，２２ｂに向かって延在する部分よりも細く形
成する構成を導入することもできる。従って、本発明は
各実施例に限定されない。

【００４７】

【発明の効果】以上に説明した通り、本発明によれば、
内部電極と外部電極との接続に際して圧電的に不活性な
部分が無く、しかも分極時や駆動時に破壊され難いと共
に、駆動時に表面漏れが少ない電気的に安定な積層型圧
電セラミックアクチュエータが得られるようになる。こ
れにより、積層型圧電セラミックアクチュエータの製造
工程においては、不良率が顕著に改善されるようにな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る積層型圧電セラミ
ックアクチュエータの基本構成を示した斜視図である。

【図２】本発明の第２の実施例に係る積層型圧電セラミ
ックアクチュエータの基本構成を示した斜視図である。

【図３】本発明の第３の実施例に係る積層型圧電セラミ
ックアクチュエータの基本構成を示した斜視図である。

【図４】従来の積層型圧電セラミックアクチュエータの
一例を示した斜視図である。

【図５】従来の積層型圧電セラミックアクチュエータの
他例を示した斜視図である。

【符号の説明】

１１，２１，３１，４１，５１ 圧電セラミックシート １２，２２，３２ 放射型内部電極 １２ａ，２２ａ，３２ａ 伸展部 １２ｂ，２２ｂ，３２ｂ 直行部 １２ｃ，２２ｃ，３２ｃ 屈曲部 １４ａ，１４ｂ，２４ａ，２４ｂ，３４ａ，３４ｂ 外
部電極 ４３ ガラス絶縁部 ４２ 板状内部電極 ５２ 帯状内部電極

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電セラミックシートと電極層とを所定
   方向に交互に積層した積層型圧電セラミックアクチュエ
   ータにおいて、前記電極層は、前記所定方向と直交する
   平面内に延在した電極部と該電極部から該平面内で前記
   セラミックシートの一端部まで延在した接続部とを含む
   第１の種の電極層と、前記所定方向と直交する平面内に
   延在した電極部と該電極部から該平面内で前記セラミッ
   クシートの他端部まで延在した接続部とを含む第２の種
   の電極層とに区別され、前記電極部の各々は複数の内部
   電極と該内部電極間を結合した結合部とを有し、前記第
   １の種の電極層の各々の接続部を第１の外部電極に接続
   し、前記第２の種の電極層の各々の接続部を第２の外部
   電極に接続したことを特徴する積層型圧電セラミックア
   クチュエータ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の積層型圧電セラミックア
   クチュエータにおいて、前記所定方向と平行に延びた互
   いに対向する側面を有し、前記第１の外部電極は前記互
   いに対向する側面のうちの一方の側面に沿って延び、前
   記第２の外部電極は前記互いに対向する側面のうちの他
   方の側面に沿って延びていることを特徴とする積層型圧
   電セラミックアクチュエータ。
3. 【請求項３】 請求項２記載の積層型圧電セラミックア
   クチュエータにおいて、前記複数の内部電極における前
   記一方の側面と前記他方の側面とに向かう部分は、それ
   ぞれ前記平面の中心側に向かって延在する部分よりも細
   く形成されたことを特徴とする積層型圧電セラミックア
   クチュエータ。
4. 【請求項４】 請求項１，２，３の何れか一つに記載の
   積層型圧電セラミックアクチュエータにおいて、前記第
   １の種の電極層と前記第２の種の電極層とにおける各々
   の複数の内部電極は、互いに間隔をもって平行に配され
   ていることを特徴とする積層型圧電セラミックアクチュ
   エータ。
5. 【請求項５】 圧電セラミックシートと電極層とを交互
   に積層した長角柱状の積層型圧電セラミックアクチュエ
   ータにおいて、前記電極層は、前記長角柱の長手方向と
   直交する方向に延在し、且つ該長手方向に沿って繰り返
   し位置された放射型内部電極を含むと共に、該放射型内
   部電極が有する該直交方向における一方向に延在した外
   部電極用の接続部を含む第１の種の電極層と、該放射型
   内部電極が有する該直交方向における他方向に延在した
   外部電極用の接続部を含む第２の種の電極層とに区別さ
   れ、前記第１の種の電極層と前記第２の種の電極層と
   は、前記圧電セラミックシートに対して交互に積層さ
   れ、前記第１の種の電極層におけるそれぞれの接続部
   は、前記長角柱の長手方向に平行する一方の側面に露出
   し、且つ該一方の側面に設けられた外部電極との間で接
   続され、前記第２の種の電極層におけるそれぞれの接続
   部は、前記長角柱の長手方向に平行する他方の側面に露
   出し、且つ該他方の側面に設けられた外部電極との間で
   接続されて成ることを特徴とする積層型圧電セラミック
   アクチュエータ。
6. 【請求項６】 請求項５記載の積層型圧電セラミックア
   クチュエータにおいて、前記放射型内部電極は、前記一
   方の側面と前記他方の側面とにそれぞれ露出する複数の
   伸展部と、前記複数の伸展部のほぼ中央にて交わり、且
   つ前記長手方向に延在した直行部と、前記直行部から前
   記直交方向に屈曲して延在する屈曲部とから一体的に形
   成され、前記屈曲部の端部は前記外部電極用の接続部で
   あることを特徴とする積層型圧電セラミックアクチュエ
   ータ。
7. 【請求項７】 請求項６記載の積層型圧電セラミックア
   クチュエータにおいて、前記複数の伸展部の前記一方の
   側面と前記他方の側面とに向かう部分は、それぞれ前記
   直行部に向かって延在する部分よりも細く形成されたこ
   とを特徴とする積層型圧電セラミックアクチュエータ。
8. 【請求項８】 請求項５，６，７の何れか一つに記載の
   積層型圧電セラミックアクチュエータにおいて、前記第
   １の種の電極層と前記第２の種の電極層とにおける各々
   の複数の内部電極は、互いに間隔をもって平行に配され
   ていることを特徴とする積層型圧電セラミックアクチュ
   エータ。