JP3318686B2 - 積層型圧電アクチュエータ - Google Patents
積層型圧電アクチュエータInfo
- Publication number
- JP3318686B2 JP3318686B2 JP16267993A JP16267993A JP3318686B2 JP 3318686 B2 JP3318686 B2 JP 3318686B2 JP 16267993 A JP16267993 A JP 16267993A JP 16267993 A JP16267993 A JP 16267993A JP 3318686 B2 JP3318686 B2 JP 3318686B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- external electrode
- laminate
- band
- shaped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電気的エネルギーを変
位や力の機械的エネルギーに変換する積層型圧電アクチ
ュエータに関し、特に内部電極と外部電極との接続構造
に特徴を有する積層型圧電アクチュエータに関するもの
である。
位や力の機械的エネルギーに変換する積層型圧電アクチ
ュエータに関し、特に内部電極と外部電極との接続構造
に特徴を有する積層型圧電アクチュエータに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】積層型圧電アクチュエータは、圧電性セ
ラミックスの電界誘起歪みを利用したデバイスで、電極
とセラミックスを多層積層した積層セラミックスコンデ
ンサーと類似の構造が一般的である。積層セラミックコ
ンデンサーと類似の構造において、大きな変位量を得た
い場合には、セラミックスと内部電極の積層数を多くし
て積層方向に長い構造とすれば良いが、積層数を多くす
ると脱バインダーや焼結工程において、デラミネーショ
ンやクラック等の欠陥が発生するので、積層長さ寸法
は、２０ｍｍ程度が限界であった。
ラミックスの電界誘起歪みを利用したデバイスで、電極
とセラミックスを多層積層した積層セラミックスコンデ
ンサーと類似の構造が一般的である。積層セラミックコ
ンデンサーと類似の構造において、大きな変位量を得た
い場合には、セラミックスと内部電極の積層数を多くし
て積層方向に長い構造とすれば良いが、積層数を多くす
ると脱バインダーや焼結工程において、デラミネーショ
ンやクラック等の欠陥が発生するので、積層長さ寸法
は、２０ｍｍ程度が限界であった。
【０００３】セラミックスと内部電極の積層方向に直角
な方向を長さ方向とすれば、長い寸法の積層型圧電アク
チュエータの実現が可能で、各種の構造の提案がなされ
ている。例として、特願平３−２７１９１３号や特願平
５−７１３７５号に記載された積層型圧電アクチュエー
タがある。
な方向を長さ方向とすれば、長い寸法の積層型圧電アク
チュエータの実現が可能で、各種の構造の提案がなされ
ている。例として、特願平３−２７１９１３号や特願平
５−７１３７５号に記載された積層型圧電アクチュエー
タがある。
【０００４】この従来の積層型圧電アクチュエータを図
４に示す。図４から明らかな様に、従来の積層型圧電ア
クチュエータは、圧電セラミックシート６と電極層７と
を交互に積層して成る棒杆状の積層体２と、積層体２の
幅方向の一端面ａに設けられた第１側外部電極３と、積
層体２の幅方向の他端面ｂに設けられた第２側外部電極
４とを含み、電極層７は、第１側内部電極８と第２側内
部電極９とから成り、第１側内部電極８は、積層体２の
幅方向に延在し、間隔を開けて圧電セラミックシート６
上に複数配置された第１側横帯状電極８０と、積層体２
の長手方向に延在し、第１側横帯状電極８０に接続され
た第１側縦帯状電極８１とを有し、第２側内部電極９
は、積層体２の幅方向に延在し、間隔を開けて圧電セラ
ミックシート６上に複数配置された第２側横帯状電極９
０と、積層体２の長手方向に延在し、第２側横帯状電極
９０に接続された第２側縦帯状電極９１とを有してい
る。
４に示す。図４から明らかな様に、従来の積層型圧電ア
クチュエータは、圧電セラミックシート６と電極層７と
を交互に積層して成る棒杆状の積層体２と、積層体２の
幅方向の一端面ａに設けられた第１側外部電極３と、積
層体２の幅方向の他端面ｂに設けられた第２側外部電極
４とを含み、電極層７は、第１側内部電極８と第２側内
部電極９とから成り、第１側内部電極８は、積層体２の
幅方向に延在し、間隔を開けて圧電セラミックシート６
上に複数配置された第１側横帯状電極８０と、積層体２
の長手方向に延在し、第１側横帯状電極８０に接続され
た第１側縦帯状電極８１とを有し、第２側内部電極９
は、積層体２の幅方向に延在し、間隔を開けて圧電セラ
ミックシート６上に複数配置された第２側横帯状電極９
０と、積層体２の長手方向に延在し、第２側横帯状電極
９０に接続された第２側縦帯状電極９１とを有してい
る。
【０００５】そして、従来の場合、第１側内部電極８
は、第１側縦帯状電極８１と第１側外部電極３とを接続
する略Ｌ字状の第１側引出導体をも有しており、同様
に、第２側内部電極９も、第２側縦帯状電極９１と第２
側外部電極４とを接続する略Ｌ字状の第２側引出導体９
２を有している。
は、第１側縦帯状電極８１と第１側外部電極３とを接続
する略Ｌ字状の第１側引出導体をも有しており、同様
に、第２側内部電極９も、第２側縦帯状電極９１と第２
側外部電極４とを接続する略Ｌ字状の第２側引出導体９
２を有している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この様に、従来の積層
型圧電アクチュエータは、内部電極と外部電極との接続
の為に、第１側引出導体及び第２側引出導体が必要であ
り、これらは互いに反対方向に延びているので、圧電セ
ラミックシートの引出導体周辺部分は、分極されない。
この為、引出導体周辺部分は、圧電的に不活性であり、
この部分によって単位長さ当りのアクチュエータの変位
量が低下すると言う問題がある。更に、従来の積層型圧
電アクチュエータの場合、第１側及び第２側外部電極
は、単に、積層体の幅方向端面に互いに対向する様に設
けられているだけなので、リード線を外部電極に接続す
る際の自由度が小さく、リード線の取り扱いが煩雑にな
る場合がある。
型圧電アクチュエータは、内部電極と外部電極との接続
の為に、第１側引出導体及び第２側引出導体が必要であ
り、これらは互いに反対方向に延びているので、圧電セ
ラミックシートの引出導体周辺部分は、分極されない。
この為、引出導体周辺部分は、圧電的に不活性であり、
この部分によって単位長さ当りのアクチュエータの変位
量が低下すると言う問題がある。更に、従来の積層型圧
電アクチュエータの場合、第１側及び第２側外部電極
は、単に、積層体の幅方向端面に互いに対向する様に設
けられているだけなので、リード線を外部電極に接続す
る際の自由度が小さく、リード線の取り扱いが煩雑にな
る場合がある。
【０００７】それ故に、本発明の課題は、圧電不活性部
分が無く、単位長さ当りのアクチュエータの変位量の大
きな積層型圧電アクチュエータを提供することにある。
分が無く、単位長さ当りのアクチュエータの変位量の大
きな積層型圧電アクチュエータを提供することにある。
【０００８】また、本発明のもう一つの課題は、リード
線の取り扱いの容易な積層型圧電アクチュエータを提供
することにある。
線の取り扱いの容易な積層型圧電アクチュエータを提供
することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、圧電セ
ラミックシートと電極層とを交互に積層して成る棒杆状
の積層体と、該積層体の幅方向の一端面に設けられた第
１側外部電極と、上記積層体の幅方向の他端面に設けら
れた第２側外部電極とを含み、上記電極層は、第１側内
部電極と第２側内部電極とから成り、上記第１側内部電
極は、上記積層体の幅方向に延在し、間隔を開けて上記
圧電セラミックシート上に複数配置された第１側横帯状
電極と、上記積層体の長手方向に延在し、上記第１側横
帯状電極に接続された第１側縦帯状電極とを有し、上記
第２側内部電極は、上記積層体の幅方向に延在し、間隔
を開けて上記圧電セラミックシート上に複数配置された
第２側横帯状電極と、上記積層体の長手方向に延在し、
上記第２側横帯状電極に接続された第２側縦帯状電極と
を有している積層型圧電アクチュエータにおいて、上記
第１側横帯状電極の少なくとも一部が、上記積層体の幅
方向の一端面で上記第１側外部電極に接続され、上記第
２側外部電極の近傍に位置する上記第１側横帯状電極の
端部と上記第２側外部電極との間に絶縁の為の空隙が設
けられており、上記第２側横帯状電極の少なくとも一部
が、上記積層体の幅方向の他端面で上記第２側外部電極
に接続され、上記第１側外部電極の近傍に位置する上記
第２側横帯状電極の端部と上記第１側外部電極との間に
絶縁の為の空隙が設けられていることを特徴とする積層
型圧電アクチュエータが得られる。
ラミックシートと電極層とを交互に積層して成る棒杆状
の積層体と、該積層体の幅方向の一端面に設けられた第
１側外部電極と、上記積層体の幅方向の他端面に設けら
れた第２側外部電極とを含み、上記電極層は、第１側内
部電極と第２側内部電極とから成り、上記第１側内部電
極は、上記積層体の幅方向に延在し、間隔を開けて上記
圧電セラミックシート上に複数配置された第１側横帯状
電極と、上記積層体の長手方向に延在し、上記第１側横
帯状電極に接続された第１側縦帯状電極とを有し、上記
第２側内部電極は、上記積層体の幅方向に延在し、間隔
を開けて上記圧電セラミックシート上に複数配置された
第２側横帯状電極と、上記積層体の長手方向に延在し、
上記第２側横帯状電極に接続された第２側縦帯状電極と
を有している積層型圧電アクチュエータにおいて、上記
第１側横帯状電極の少なくとも一部が、上記積層体の幅
方向の一端面で上記第１側外部電極に接続され、上記第
２側外部電極の近傍に位置する上記第１側横帯状電極の
端部と上記第２側外部電極との間に絶縁の為の空隙が設
けられており、上記第２側横帯状電極の少なくとも一部
が、上記積層体の幅方向の他端面で上記第２側外部電極
に接続され、上記第１側外部電極の近傍に位置する上記
第２側横帯状電極の端部と上記第１側外部電極との間に
絶縁の為の空隙が設けられていることを特徴とする積層
型圧電アクチュエータが得られる。
【００１０】また、本発明によれば、上記積層型圧電ア
クチュエータにおいて、上記積層体の積層方向両端面に
それぞれセラミック層が形成され、上記第１側外部電極
及び上記第２側外部電極が上記セラミック層表面にまで
延在していることを特徴とする積層型圧電アクチュエー
タが得られ、更に、上記積層型圧電アクチュエータにお
いて、上記積層体の積層方向両端面にそれぞれ柔軟性を
有する絶縁層が形成され、上記第１側外部電極及び上記
第２側外部電極が上記絶縁層表面にまで延在しているこ
とを特徴とする積層型圧電アクチュエータが得られる。
クチュエータにおいて、上記積層体の積層方向両端面に
それぞれセラミック層が形成され、上記第１側外部電極
及び上記第２側外部電極が上記セラミック層表面にまで
延在していることを特徴とする積層型圧電アクチュエー
タが得られ、更に、上記積層型圧電アクチュエータにお
いて、上記積層体の積層方向両端面にそれぞれ柔軟性を
有する絶縁層が形成され、上記第１側外部電極及び上記
第２側外部電極が上記絶縁層表面にまで延在しているこ
とを特徴とする積層型圧電アクチュエータが得られる。
【００１１】
【作用】本発明の積層型圧電アクチュエータの場合、複
数の第１側横帯状電極の少なくとも一部は、第１側外部
電極に接続されているので、第１側縦帯状電極を通じて
全ての第１側横帯状電極は、第１側外部電極に導通する
ことになる。一方、複数の第１側横帯状電極の内、第２
側外部電極の近傍に位置するものは、その端部と第２側
外部電極との間に空隙が設けられているので、第２側外
部電極に接続されることは無く、第１側外部電極と第２
側外部電極とが短絡することが無い。同様に、複数の第
２側横帯状電極の少なくとも一部は、第２側外部電極に
接続されているので、第２側縦帯状電極を通じて全ての
第２側横帯状電極は、第２側外部電極に導通することに
なり、また、複数の第２側横帯状電極の内、第１側外部
電極の近傍に位置するものは、その端部と第１側外部電
極との間に空隙が設けられているので、第１側外部電極
に接続されることは無い。上述の空隙部分は、極小さな
ものであるので、たとえ、この空隙部分が分極されなく
とも問題と成らない。
数の第１側横帯状電極の少なくとも一部は、第１側外部
電極に接続されているので、第１側縦帯状電極を通じて
全ての第１側横帯状電極は、第１側外部電極に導通する
ことになる。一方、複数の第１側横帯状電極の内、第２
側外部電極の近傍に位置するものは、その端部と第２側
外部電極との間に空隙が設けられているので、第２側外
部電極に接続されることは無く、第１側外部電極と第２
側外部電極とが短絡することが無い。同様に、複数の第
２側横帯状電極の少なくとも一部は、第２側外部電極に
接続されているので、第２側縦帯状電極を通じて全ての
第２側横帯状電極は、第２側外部電極に導通することに
なり、また、複数の第２側横帯状電極の内、第１側外部
電極の近傍に位置するものは、その端部と第１側外部電
極との間に空隙が設けられているので、第１側外部電極
に接続されることは無い。上述の空隙部分は、極小さな
ものであるので、たとえ、この空隙部分が分極されなく
とも問題と成らない。
【００１２】
【実施例】図１は本発明の第１の実施例に係る積層型圧
電アクチュエータの要部の分解斜視図、図２は図１に示
す積層型圧電アクチュエータの全体の斜視図である。
電アクチュエータの要部の分解斜視図、図２は図１に示
す積層型圧電アクチュエータの全体の斜視図である。
【００１３】図１及び図２を参照して、この積層型圧電
アクチュエータ１は、積層体２と、第１側外部電極３
と、第２側外部電極４と、セラミック層５とから成る。
アクチュエータ１は、積層体２と、第１側外部電極３
と、第２側外部電極４と、セラミック層５とから成る。
【００１４】積層体２は、略帯状の圧電セラミックシー
ト６と長尺な電極層７とを交互に積層して成り、棒杆状
を呈する。
ト６と長尺な電極層７とを交互に積層して成り、棒杆状
を呈する。
【００１５】電極層７には、第１側内部電極８と第２側
内部電極９とがあり、これらは、交互に積層されてい
る。第１側内部電極８は、積層体２の幅方向に延在し、
一定間隔に圧電セラミックシート６上に複数配置された
第１側横帯状電極８０と、積層体２の長手方向に延在
し、第１側横帯状電極８０に接続された第１側縦帯状電
極８１とから成る。第２側内部電極９は、積層体２の幅
方向に延在し、一定間隔に圧電セラミックシート６に複
数配置された第２側横帯状電極９０と、積層体２の長手
方向に延在し、第２側横帯状電極９０に接続された第２
側縦帯状電極９１とから成る。第２側横帯状電極９０
は、隣り合う第１側横帯状電極８０の間に位置してい
る。
内部電極９とがあり、これらは、交互に積層されてい
る。第１側内部電極８は、積層体２の幅方向に延在し、
一定間隔に圧電セラミックシート６上に複数配置された
第１側横帯状電極８０と、積層体２の長手方向に延在
し、第１側横帯状電極８０に接続された第１側縦帯状電
極８１とから成る。第２側内部電極９は、積層体２の幅
方向に延在し、一定間隔に圧電セラミックシート６に複
数配置された第２側横帯状電極９０と、積層体２の長手
方向に延在し、第２側横帯状電極９０に接続された第２
側縦帯状電極９１とから成る。第２側横帯状電極９０
は、隣り合う第１側横帯状電極８０の間に位置してい
る。
【００１６】図１において、積層体２の右端近傍にある
第１側横帯状電極８０′は、他の第１側横帯状電極８０
よりも若干短く成っており、これらの第１側横帯状電極
８０′の一端は、積層体２の幅方向の一端面（以下、第
１側の側面と言う）ａにおいて露出し、他端は、積層体
２の幅方向の他端面（以下、第２側の側面と言う）ｂに
おいて露出しないように成っている。また、これらの第
１側横帯状電極８０′の一端は、第１側の側面ａで第１
側外部電極３に接続され、他端は、第２側の側面ｂに露
出しないように成っているので、この他端と第２側外部
電極４との間には空隙ｃが生じている。この空隙ｃによ
って、右端近傍の第１側横帯状電極８０′と第２側外部
電極４との間が絶縁され、これらの第１側横帯状電極８
０′が第２側外部電極４に接続されない様に成ってい
る。これらの第１側横帯状電極８０′以外の第１側横帯
状電極８０は、その両端がそれぞれ第１側の側面ａ、及
び第２側の側面ｂで露出する様に成っている。
第１側横帯状電極８０′は、他の第１側横帯状電極８０
よりも若干短く成っており、これらの第１側横帯状電極
８０′の一端は、積層体２の幅方向の一端面（以下、第
１側の側面と言う）ａにおいて露出し、他端は、積層体
２の幅方向の他端面（以下、第２側の側面と言う）ｂに
おいて露出しないように成っている。また、これらの第
１側横帯状電極８０′の一端は、第１側の側面ａで第１
側外部電極３に接続され、他端は、第２側の側面ｂに露
出しないように成っているので、この他端と第２側外部
電極４との間には空隙ｃが生じている。この空隙ｃによ
って、右端近傍の第１側横帯状電極８０′と第２側外部
電極４との間が絶縁され、これらの第１側横帯状電極８
０′が第２側外部電極４に接続されない様に成ってい
る。これらの第１側横帯状電極８０′以外の第１側横帯
状電極８０は、その両端がそれぞれ第１側の側面ａ、及
び第２側の側面ｂで露出する様に成っている。
【００１７】第２側横帯状電極９０も第１側横帯状電極
８０と同様である。即ち、図１において、積層体２の右
端近傍にある第２側横帯状電極９０′は、他の第２側横
帯状電極９０よりも若干短く成っており、これらの第２
側横帯状電極９０′の一端は、積層体２の第１側の側面
ａにおいて露出しないように成っており、他端は、積層
体２の第２側の側面ｂにおいて露出するように成ってい
る。また、これらの第２側横帯状電極９０′の一端は、
第２側の側面ｂに露出しないように成っているので、こ
の一端と第１の外部電極３との間には空隙ｄが生じてお
り、この空隙ｄによって、右端近傍の第２側横帯状電極
９０′と第１側外部電極３との間が絶縁され、これらの
第２側横帯状電極９０′が第１側外部電極３に接続され
ない様に成っており、また、他端は、第２側の側面ｂで
第２側外部電極４に接続されている。これらの第２側横
帯状電極９０′以外の第２側横帯状電極９０は、その両
端がそれぞれ第１側の側面ａ、及び第２側の側面ｂで露
出する様に成っている。
８０と同様である。即ち、図１において、積層体２の右
端近傍にある第２側横帯状電極９０′は、他の第２側横
帯状電極９０よりも若干短く成っており、これらの第２
側横帯状電極９０′の一端は、積層体２の第１側の側面
ａにおいて露出しないように成っており、他端は、積層
体２の第２側の側面ｂにおいて露出するように成ってい
る。また、これらの第２側横帯状電極９０′の一端は、
第２側の側面ｂに露出しないように成っているので、こ
の一端と第１の外部電極３との間には空隙ｄが生じてお
り、この空隙ｄによって、右端近傍の第２側横帯状電極
９０′と第１側外部電極３との間が絶縁され、これらの
第２側横帯状電極９０′が第１側外部電極３に接続され
ない様に成っており、また、他端は、第２側の側面ｂで
第２側外部電極４に接続されている。これらの第２側横
帯状電極９０′以外の第２側横帯状電極９０は、その両
端がそれぞれ第１側の側面ａ、及び第２側の側面ｂで露
出する様に成っている。
【００１８】第１側外部電極３は、短冊状を呈し、第１
側の側面ａに設けられている。第２側外部電極４は、第
２側の側面ｂに設けられている。
側の側面ａに設けられている。第２側外部電極４は、第
２側の側面ｂに設けられている。
【００１９】セラミック層５は、積層体２の積層方向両
端面、即ち積層体２の上下面にそれぞれ設けられてお
り、積層体２の上下面を絶縁している。
端面、即ち積層体２の上下面にそれぞれ設けられてお
り、積層体２の上下面を絶縁している。
【００２０】第１側外部電極３は、略帯状で、積層体２
の第１側の側面ａに設けられ、その一端部３０は、積層
体２の上面に設けられたセラミック層５まで延びてい
る。同様に、第２側外部電極４は、略帯状で、積層体２
の第２側の側面ｂに設けられ、その一端部４０は、積層
体２の上面に設けられたセラミック層５まで延びてい
る。これら第１側外部電極３及び第２側外部電極４にそ
れぞれリード線が半田付けされる。
の第１側の側面ａに設けられ、その一端部３０は、積層
体２の上面に設けられたセラミック層５まで延びてい
る。同様に、第２側外部電極４は、略帯状で、積層体２
の第２側の側面ｂに設けられ、その一端部４０は、積層
体２の上面に設けられたセラミック層５まで延びてい
る。これら第１側外部電極３及び第２側外部電極４にそ
れぞれリード線が半田付けされる。
【００２１】次に、本実施例の材質、寸法等について説
明する。
明する。
【００２２】圧電セラミックシート６は、化学組成式が
Ｐｂ（Ｎｉ・Ｎｂ）0.5 Ｔｉ0.35Ｚｒ0.15Ｏ3 で表され
るチタン酸ジルコン酸鉛系磁器であり、これを出発原料
として、断面寸法５mm×５mm、長さ７０mmの積層型圧電
アクチュエータ１を試作した。圧電セラミックシート６
一層の厚さは、５０ミクロン、積層数は１００層であ
る。一層毎に１／２ピッチずれた第１側横帯状電極８０
と第２側横帯状電極９０の一層当りの数は８５本で、こ
れらは、積層体２の長手方向で等間隔に配置されてい
る。横帯状電極８０，９０の寸法は、幅１００ミクロ
ン、長さは、８０本が５mm、積層体２の長さ方向の右端
近傍の５本の長さが４．５mmで、横帯状電極間隔は、７
００ミクロンである。第１側及び第２側縦帯状電極８
１，９１は、幅２００ミクロン、長さ６８mmである。セ
ラミック層５の厚さは、２５０ミクロンである。
Ｐｂ（Ｎｉ・Ｎｂ）0.5 Ｔｉ0.35Ｚｒ0.15Ｏ3 で表され
るチタン酸ジルコン酸鉛系磁器であり、これを出発原料
として、断面寸法５mm×５mm、長さ７０mmの積層型圧電
アクチュエータ１を試作した。圧電セラミックシート６
一層の厚さは、５０ミクロン、積層数は１００層であ
る。一層毎に１／２ピッチずれた第１側横帯状電極８０
と第２側横帯状電極９０の一層当りの数は８５本で、こ
れらは、積層体２の長手方向で等間隔に配置されてい
る。横帯状電極８０，９０の寸法は、幅１００ミクロ
ン、長さは、８０本が５mm、積層体２の長さ方向の右端
近傍の５本の長さが４．５mmで、横帯状電極間隔は、７
００ミクロンである。第１側及び第２側縦帯状電極８
１，９１は、幅２００ミクロン、長さ６８mmである。セ
ラミック層５の厚さは、２５０ミクロンである。
【００２３】本実施例の積層型圧電アクチュエータの外
径寸法とＤＣ３００ボルトの電圧印加時変位量を表１に
示した。比較のため、特願平５−７１３７５号の構造の
積層型圧電アクチュエータの外径寸法、ＤＣ３００ボル
トの電圧印加時変位量を表１に示す。
径寸法とＤＣ３００ボルトの電圧印加時変位量を表１に
示した。比較のため、特願平５−７１３７５号の構造の
積層型圧電アクチュエータの外径寸法、ＤＣ３００ボル
トの電圧印加時変位量を表１に示す。
【００２４】
【表１】
【００２５】表１より明らかなように、本実施例の積層
型圧電アクチュエータ１は、従来の積層型圧電アクチュ
エータに比較し長さが短く、単位長さ当りの変位量が大
きいことが分かる。また、リード線の取り出し方向に選
択性があるので、リード線の取り扱いが容易である。
型圧電アクチュエータ１は、従来の積層型圧電アクチュ
エータに比較し長さが短く、単位長さ当りの変位量が大
きいことが分かる。また、リード線の取り出し方向に選
択性があるので、リード線の取り扱いが容易である。
【００２６】図３は本発明の第２の実施例に係る積層型
圧電アクチュエータの斜視図である。
圧電アクチュエータの斜視図である。
【００２７】図３を参照して、この積層型圧電アクチュ
エータ１は、図１及び図２の示す積層型圧電アクチュエ
ータと略同構成であるので、同じ構成部分については同
じ参照番号を付してその説明を省略し、構成の異なる部
分についてのみ説明する。
エータ１は、図１及び図２の示す積層型圧電アクチュエ
ータと略同構成であるので、同じ構成部分については同
じ参照番号を付してその説明を省略し、構成の異なる部
分についてのみ説明する。
【００２８】積層体２の上下面に設けられている絶縁層
１０，１０は、柔軟性を有するものであり、これら絶縁
層１０，１０の材質として、プラスチックが用いられて
いる。
１０，１０は、柔軟性を有するものであり、これら絶縁
層１０，１０の材質として、プラスチックが用いられて
いる。
【００２９】第１側外部電極３は、積層体２の第１側の
側面ａに設けられ、その一端部３０は、積層体２の下面
に設けられた絶縁層に１０まで延びている。第２の外部
電極４は、積層体２の第２側の側面ｂに設けられ、その
一端部は、積層体２の上面に設けられた絶縁層１０にま
で延びている。
側面ａに設けられ、その一端部３０は、積層体２の下面
に設けられた絶縁層に１０まで延びている。第２の外部
電極４は、積層体２の第２側の側面ｂに設けられ、その
一端部は、積層体２の上面に設けられた絶縁層１０にま
で延びている。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の積層型圧
電アクチュエータによれば、内部電極と外部電極の接続
のために圧電的に不活性な部分が生じることが無く、単
位長さ当りの変位量を大きくすることができる。
電アクチュエータによれば、内部電極と外部電極の接続
のために圧電的に不活性な部分が生じることが無く、単
位長さ当りの変位量を大きくすることができる。
【００３１】また、本発明の積層型圧電アクチュエータ
は、リード線の取り扱いを容易に行うことができる。
は、リード線の取り扱いを容易に行うことができる。
【図１】図１は本発明の第１の実施例に係る積層型圧電
アクチュエータの要部の分解斜視図である。
アクチュエータの要部の分解斜視図である。
【図２】図２は図１に示す積層型圧電アクチュエータの
全体の斜視図である。
全体の斜視図である。
【図３】図３は本発明の第２の実施例に係る積層型圧電
アクチュエータの斜視図である。
アクチュエータの斜視図である。
【図４】図４は従来の積層型圧電アクチュエータの斜視
図である。
図である。
１ 積層型圧電アクチュエータ ２ 積層体 ３ 第１側外部電極 ４ 第２側外部電極 ５ セラミック層 ６ 圧電セラミックシート ７ 電極層 ８ 第１側内部電極 ９ 第２側内部電極 ８０ 第１側横帯状電極 ９０ 第２側横帯状電極 ａ 積層体２の幅方向の一端面 ｂ 積層体２の幅方向の他端面 ｃ 空隙 ｄ 空隙
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電セラミックシートと電極層とを交互
に積層して成る棒杆状の積層体と、該積層体の幅方向の
一端面に設けられた第１側外部電極と、上記積層体の幅
方向の他端面に設けられた第２側外部電極とを含み、上
記電極層は、第１側内部電極と第２側内部電極とから成
り、上記第１側内部電極は、上記積層体の幅方向に延在
し、間隔を開けて上記圧電セラミックシート上に複数配
置された第１側横帯状電極と、上記積層体の長手方向に
延在し、上記第１側横帯状電極に接続された第１側縦帯
状電極とを有し、上記第２側内部電極は、上記積層体の
幅方向に延在し、間隔を開けて上記圧電セラミックシー
ト上に複数配置された第２側横帯状電極と、上記積層体
の長手方向に延在し、上記第２側横帯状電極に接続され
た第２側縦帯状電極とを有している積層型圧電アクチュ
エータにおいて、上記第１側横帯状電極の少なくとも一
部が、上記積層体の幅方向の一端面で上記第１側外部電
極に接続され、上記第２側外部電極の近傍に位置する上
記第１側横帯状電極の端部と上記第２側外部電極との間
に絶縁の為の空隙が設けられており、上記第２側横帯状
電極の少なくとも一部が、上記積層体の幅方向の他端面
で上記第２側外部電極に接続され、上記第１側外部電極
の近傍に位置する上記第２側横帯状電極の端部と上記第
１側外部電極との間に絶縁の為の空隙が設けられている
ことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。 - 【請求項２】 上記積層体の積層方向両端面にそれぞれ
セラミック層が形成され、上記第１側外部電極及び上記
第２側外部電極が上記セラミック層表面にまで延在して
いることを特徴とする請求項１記載の積層型圧電アクチ
ュエータ。 - 【請求項３】 上記積層体の積層方向両端面にそれぞれ
柔軟性を有する絶縁層が形成され、上記第１側外部電極
及び上記第２側外部電極が上記絶縁層表面にまで延在し
ていることを特徴とする請求項１記載の積層型圧電アク
チュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16267993A JP3318686B2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 積層型圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16267993A JP3318686B2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 積層型圧電アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07135346A JPH07135346A (ja) | 1995-05-23 |
| JP3318686B2 true JP3318686B2 (ja) | 2002-08-26 |
Family
ID=15759240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16267993A Expired - Lifetime JP3318686B2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 積層型圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3318686B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4720068B2 (ja) * | 2003-03-03 | 2011-07-13 | Ｔｄｋ株式会社 | 積層型圧電素子 |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP16267993A patent/JP3318686B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07135346A (ja) | 1995-05-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2508575B2 (ja) | 圧電磁器トランスとその駆動方法 | |
| KR20000052836A (ko) | 안정적인 접촉 수단을 구비한 압전 액츄에이터 및 그의 제조 방법 | |
| KR100695374B1 (ko) | 접어서 제조된 다층 구조를 갖는 압전 소자 | |
| JPH11341838A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP3318686B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP4185486B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JPH08138968A (ja) | 積層型コンデンサ | |
| JPH10241993A (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
| JP5153093B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JP2000340849A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPS63288075A (ja) | 電歪効果素子 | |
| KR101454059B1 (ko) | 전기적 다층 소자 | |
| JP2884378B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
| JP4359873B2 (ja) | セラミック積層型電気機械変換素子とその製造方法 | |
| JPH08273977A (ja) | 積層コンデンサ | |
| US20240074320A1 (en) | Piezoelectric element | |
| JP3567330B2 (ja) | 積層型圧電セラミックアクチュエータ | |
| JP3358669B2 (ja) | 積層型圧電セラミックアクチュエータ | |
| JP2004063886A (ja) | 積層型圧電セラミック素子 | |
| JP3587334B2 (ja) | 積層型圧電トランス | |
| JP2002009356A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ素子 | |
| JPH0442947Y2 (ja) | ||
| JPH09270539A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP3184991B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH0699140A (ja) | 積層型圧電セラミックアクチュエータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020522 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080621 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090621 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100621 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100621 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110621 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110621 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120621 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120621 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130621 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140621 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |