JPH06281037A - クリーンルーム用マニホールドバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クリーンルーム内において使用されるマニホ
ールドバルブ内から漏出する空気がクリーンルーム内に
漏出しないようにすることである。 【構成】 複数の電磁弁３とこれが組付けられたマニホ
ールド２とによりバルブユニット４が形成され、バルブ
ユニット４は、カバー部材２３により形成された閉塞収
容空間２５内に収容されている。この閉塞収容空間２５
と連通する集塵ポート２６を有し、この集塵ポート２６
はホース２７によりクリーンルームの外部に開口されて
いる。したがって、バルブユニット４から漏出した空気
やゴミ等は、排出路２７によりクリーンルームの外部に
排出されることになる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はそれぞれ空圧流路を切換
える複数の電磁弁がマニホールドに取り付けられ、クリ
ーンルーム内に配置されるクリーンルーム用マニホール
ドバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】多数の空圧シリンダの作動をそれぞれ制
御するために、空圧シリンダに対応させて多数の電磁弁
をマニホールドに配置するようにしたタイプのマニホー
ルドバルブが使用されている。

【０００３】特に半導体の製造装置として使用されるマ
ニホールドバルブにあっては、使用される場所がクリー
ンルームとなっているので、空圧シリンダに供給される
作動空気の清浄度も比較的高いものを使用するようにし
ている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、たとえ
クリーンルーム内の清浄空間と同程度の清浄度となった
圧縮空気を作動流体として使用しても、シリンダの作動
を制御する電磁弁から空気の一部が漏れると、電磁弁内
に塗布されているグリース等がクリーンルーム内に漏出
したり、電磁弁の機械加工時や電磁弁の組立て時に内部
に入り込んだゴミが漏出することがある。このため、グ
リースやゴミ等がクリーンルーム内に漏出しないよう
に、シール材を多用する必要があり、コストの上昇を招
来させることになった。

【０００５】また、ゴミ等がクリーンルーム内に漏出し
て発塵することを防止するために、クリーンルームの空
気排出口の付近にマニホールドバルブを設置することも
考慮されているが、このような方式では、設置場所が限
定され空圧配管を長くしなければならないという問題点
がある。

【０００６】本発明の目的は、クリーンルーム内で使用
されるマニホールドバルブからの作動空気の漏出を確実
に防止するようにして、信頼性の高いマニホールドバル
ブを提供することを目的とする。

【０００７】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【０００９】すなわち、複数の電磁弁とこれらが組み付
けられたマニホールドとによりバルブユニットが形成さ
れており、このバルブユニットはクリーンルーム内に配
置された空圧シリンダ等に供給される圧縮空気を制御す
るために、クリーンルーム内に設けられている。このバ
ルブユニットは、カバー部材により形成された閉塞収容
空間内に設けられており、この空間は集塵ポートから排
出路を経てクリーンルームの外部に連通されている。

【００１０】

【作用】このような構成を有することから、バルブユニ
ットからゴミとともに空気が漏出しても、そのゴミは排
出路を通ってクリームルームの外部に案内され、クリー
ンルーム内が汚染させることが防止される。したがっ
て、バルブユニット自体の構成としては、シール材を多
用することなく、低コストでマニホールドバルブを形成
することが可能となる。また、クリーンルーム内におけ
る設置場所を考慮することなく、任意の場所に設置する
ことができる。

【００１１】

【実施例１】以下、図示する実施例に基づいて本発明を
詳細に説明する。図１に示すように、本発明のマニホー
ルドバルブは、高い清浄度に保持されたクリーンルーム
１内において使用される。このマニホールドバルブの一
実施例を示すと図２および図３のとおりである。

【００１２】図示するマニホールドバルブは、マニホー
ルド２とこれに取り付けられた複数の電磁弁３とからな
るバルブユニット４を有している。このバルブユニット
４は、台座部としての支持プレート５に固定されてお
り、図示する場合には、マニホールド２には、図３に示
されるように６つの電磁弁３が一体的に取り付けられて
いる。

【００１３】それぞれの電磁弁３は、図２に示されるよ
うに、弁本体部６とこれの両端に設けられたパイロット
部７、８と一方のパイロット部８に取り付けられたソレ
ノイド部９とを有している。各々の電磁弁３の基本構造
は、たとえば実開平4-80980号公報に記載されている切
換弁と同様となっている。

【００１４】マニホールド２内には、それぞれ給排流路
をなす給気流路１１と排気流路１２，１３とが形成され
ており、給気流路１１は支持プレート５の背面側に設け
られた給気ポート１４に連通され、排気流路１２，１３
は同様に支持プレート５の背面側に突出して設けられた
排気ポート１５に連通されている。

【００１５】各々の電磁弁３に対応して支持プレート５
には、２つずつ給排ポート１６，１７が設けられてお
り、それぞれの給排ポート１６，１７は、たとえば複動
型シリンダ内のピストンの両側に形成された図示しない
シリンダ室に、ホース１８，１９を介して連通されてい
る。なお、図示する場合には、１つのマニホールド２に
６つの電磁弁３が一体に取り付けられてバルブユニット
４が形成されているが、電磁弁３の数はこれに限定され
ることなく、任意の数に設定することができるものであ
る。

【００１６】マニホールド２内に形成された給気流路１
１は、マニホールド２内にそれぞれの電磁弁３に対応し
て形成された分岐流路により、弁本体部６の流入ポート
に連通されており、流入ポートに流入した流体は一方の
給排ポート１６または１７を通ってシリンダ内の一方の
シリンダ室に供給される。このとき、他方の給排ポート
１７または１６を通ってシリンダ内の他方のシリンダ室
内の空気が弁本体部６内に流入し、一方の排気流路１
２，１３に案内される。

【００１７】いずれの給排ポート１６，１７に流体を供
給するか否かの選択は、ソレノイド部９に対して通電す
るか否かにより設定される。ソレノイド部９に対して給
電するためのケーブル２１は、支持プレート５に取り付
けられた配線ブッシュ２２を通って電源に接続されてい
る。

【００１８】支持プレート５の表面は、透明部材からな
るカバー部材２３により覆われており、このカバー部材
２３は支持プレート５に対してねじ部材２４により着脱
自在に締結され、さらにシール材２０によりシールされ
ている。これにより、カバー部材２３と支持プレート５
とにより区画形成される閉塞収容空間２５内にバルブユ
ニット４が収容されるようになっている。そして、カバ
ー部材２３が透明となっていることから、カバー部材２
３を通して前記本体４が外部から目視されるようになっ
ている。

【００１９】支持プレート５には、閉塞収容空間２５内
に連通させて集塵ポート２６が取り付けられており、こ
の集塵ポート２６は排出路としてのホース２７によりク
リーンルーム１の外部に開口されている。

【００２０】図１に示すように、クリーンルーム１の外
部に設置された流体源２８は、ホース２９により給気ポ
ート１４に接続されており、排気ポート１５はホース３
０によりクリーンルーム１の外部に開口されている。

【００２１】このような構造のマニホールドバルブにあ
っては、流体源２８からの加圧空気はホース２９により
給気流路１１に送り込まれる。６つの電磁弁３の各々
は、ソレノイド部９の作動により一方の給排ポート１６
または１７と給気流路１１とが連通状態となり、シリン
ダに対して加圧空気が供給されることになる。

【００２２】それぞれの電磁弁３が作動している過程に
おいて、電磁弁３の隙間等から圧縮空気とともに、ゴミ
等が漏出してもそのゴミ等は閉塞収容空間２５内に捕捉
された状態となり、ホース２７を通ってクリーンルーム
１の外部に案内される。したがって、電磁弁３から空気
が漏出してもその空気はクリーンルーム１内に流入する
ことがなく、クリーンルーム１内の洗浄度を所望の状態
に保持することができる。そして、電磁弁３からの漏出
空気がクリーンルーム１内に漏出するおそれがなくなる
ことから、流体源２８から供給する空気の洗浄度を高め
る必要がなくなる。

【００２３】なお、図示する場合には、カバー部材２３
が透明部材により形成されている場合を示すが、一部に
のみ透明部材を用いるようにしても良い。また、集塵ポ
ート２６をカバー部材２３に取り付けるようにしても良
い。さらに、図１に示すように、集塵ポート２６に接続
されたホース２７に、真空ポンプ等の吸引手段３１を接
続するようにして、閉塞収容空間２５内に漏出した空気
を積極的に外部に排出するようにしても良い。

【００２４】

【実施例２】図４は本考案の他の実施例を示す図であ
り、前記実施例を示す図２と共通する部分が図４に示さ
れている。この実施例では、前記実施例がマニホールド
２を支持プレート５に取り付けるようにしているのに対
して、マニホールド２を大型として支持プレートをマニ
ホールド２が兼ねるようにしている。したがって、マニ
ホールド２が台座部となっている。他の構造は前記実施
例と同様であり、前記実施例と共通する部材には同一の
符号が付されている。

【００２５】

【実施例３】図５〜図７は本考案のさらに他の実施例を
示すであり、この実施例におけるバルブユニット４はケ
ース内に弁本体部、パイロット部、およびソレノイド部
が収容されて形成されており、基本的構造は特願平３−
１２１００１号に記載されたものと同様である。このバ
ルブユニット４はベース３３の部分で支持プレート５に
一体的に取り付けられており、バルブユニット４の構造
が相違することを除けば、第１実施例と同様な構造とな
っている。ただし、この場合には、配線コネクタ３２に
全てのソレノイド部に対して通電するためのケーブルが
集中的に接続されるようになっている。このようなタイ
プのバルブユニット４に対しても本発明を適用すること
ができる。

【００２６】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。たとえ
ば、カバー部材の一部を透明部材により開閉自在のドア
とすることも可能である。

【００２７】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００２８】(1).複数の電磁弁とマニホールドにより形
成されたバルブユニットは、クリーンルーム内に配置さ
れるとともに、カバー部材により形成された閉塞空間内
に設けられて、この閉塞空間は排出路によりクリーンル
ームの外部に開口されているので、電磁弁により流れが
制御される圧縮空気がゴミ等とともに電磁弁から漏れた
としても、この漏出空気はクリーンルーム内に漏出する
ことがなくなり、クリーンルームを清浄に保持する事が
出来る。

【００２９】(2).また、バルブユニットから空気が漏れ
たとしても、その空気は閉塞空間内に捕捉されて排出路
を通ってクリーンルーム外に排出されることになるの
で、バルブユニットからの空気の漏れをなくす必要がな
くなり、バルブユニット内にシール材を組み込む必要が
なく、バルブユニット自体の製造コストを低減すること
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】クリーンルーム内に設置されたバルブユニット
を示す概略図である。

【図２】本発明の一実施例に係るクリーンルーム用マニ
ホールドバルブを示し、図３におけII-II に沿う断面図
である。

【図３】図２の右側面図である。

【図４】本発明の他の実施例に係るクリーンルーム用マ
ニホールドを示し、図２に対応する部分を示す断面図で
ある。

【図５】本発明のさらに他の実施例に係るクリーンルー
ム用マニホールドを示す斜視図である。

【図６】図５の断面図である。

【図７】図６の右側面図である。

【符号の説明】

１ クリーンルーム ２ マニホールド ３ 電磁弁 ４ バルブユニット ５ 支持プレート ６ 弁本体部 ７ パイロット部 ８ パイロット部 ９ ソレノイド部 １１ 給気流路 １２ 排気流路 １３ 排気流路 １４ 給気ポート １５ 排気ポート １６ 給排ポート １７ 給排ポート １８ ホース １９ ホース ２０ シール材 ２１ ケーブル ２２ 配線ブッシュ ２３ カバー部材 ２４ ねじ部材 ２５ 閉塞収容空間 ２６ 集塵ポート ２７ ホース（排出路） ２８ 流体源 ２９ ホース ３０ ホース ３１ 吸引手段 ３２ 配線コネクタ ３３ ベース

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の電磁弁とそれぞれの電磁弁が取り
   付けられ内部に前記それぞれの電磁弁の給排ポートに連
   通する給排流路が形成されたマニホールドとによりバル
   ブユニットが形成され、清浄空気が保持されたクリーン
   ルーム内に配置されるクリーンルーム用マニホールドバ
   ルブであって、前記バルブユニットに一体に取り付けら
   れた台座部にカバー部材を締結して当該カバー部材と前
   記台座部とにより閉塞された閉塞収容空間を形成し、当
   該収容空間内と連通する集塵ポートを有し、当該集塵ポ
   ートを前記クリーンルームの外部に開口させる排出路を
   前記集塵ポートに接続したことを特徴とするクリーンル
   ーム用マニホールドバルブ。
2. 【請求項２】 前記排出路に負圧手段を接続したことを
   特徴とするクリーンルーム用マニホールドバルブ。