JPH0338482Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔技術分野〕 本考案は流体圧作動機器、特に、高いクリーン
度が要求される場合に適用して効果のある流体圧
作動機器に関する。

〔背景技術〕

近年、医療分野や半導体製造分野の如く、作業
空間に対して極めて高いクリーン度が要求される
分野が拡がつている上に、そのクリーン度への要
求がますます厳格になる傾向にある。

そこで、このような分野では極めて高いクリー
ン度を維持するためにクリーンルームを構築し、
そのクリーンルーム内で所要の作業を実行するこ
とが必要となつている。

したがつて、クリーンルーム内で使用されるエ
アシリンダ等の流体圧作動機器もクリーンルーム
内に塵芥を持ち込まないようなものであることが
要求されて来ている。特に、ロツドの摺動部から
のリークが生じ易く、リークエア中の汚染物質で
クリーンルームを汚染するため、これを防止する
ことが要求される。

ところで、塵芥をエアシリンダから排出するた
めには特別な配管ポートが必要であるが、エアシ
リンダにはピストンの両側の空気室にエアを供
給、排出するための給排ポートがシリンダの各端
部にそれぞれ１つずつ必要であるので、少なくと
も３つ以上のポートを設けることが要求される。
そして、各ポートに対して配管を別々に接続しな
ければならないので、配管が複雑なものとなる。
特に、多数本のシリンダを使用する場合には、配
管が極めて煩雑となり、しかもスペース効率が悪
く、外観も悪くなる等の問題があることを本考案
者は見い出した。

〔考案の目的〕

本考案の目的は、流体圧の給排用ならびに発塵
防止用の配管を簡単かつ容易にすることができる
流体圧作動機器を提供することにある。

本考案の他の目的は、配管スペースを小さくす
ることができる流体圧作動機器を提供することに
ある。

〔考案の概要〕

本考案は、流体圧チユーブの閉止部材に、両流
体室への流体給排ポートおよび発塵防止用ポート
を集合配設することにより、配管が一個所にまと
められるので、配管を極めて簡単かつ容易なもの
とすることができ、また配管スペースを小さくす
ることができるものである。

〔実施例 １〕 第１図は本考案による流体圧作動機器の一実施
例を示す断面図、第２図はその左側面図である。

本実施例において、流体圧作動機器の一例であ
るシリンダのシリンダチユーブ１（流体圧チユー
ブ）の内部には、ピストン２が摺動可能に設けら
れている。このピストン２の一端にはピストンロ
ツド３が軸方向に延設されている。ピストン２は
シリンダチユーブ１の両端を閉止するヘツドカバ
ー４およびロツドカバー５のそれぞれとの間に流
体室６，７を形成している。

また、ピストン２には、パツキン８、ウエアリ
ング９、両側面のバンパ１０，１１が設けられて
いる。

ヘツドカバー４はスナツプリング１２でシリン
ダチユーブ１に固定され、かつＯリング１３でシ
ールされている。

一方、ロツドカバー５はスナツプリング１４で
シリンダチユーブ１に固定され、かつＯリング１
５でシールされると共に、該ロツドカバー５を貫
通するピストンロツド３との間にはロツドブツシ
ユ１６が設けられ、かつロツドパツキン１７でシ
ールされている。

さらに、本実施例１においては、ピストンロツ
ド３の摺動により発生した塵芥がシリンダ外に漏
れ出て周囲の環境、たとえばクリーンルーム（図
示せず）の室内を汚染することを防止するため、
ロツドカバー５の外側において発塵防止アダプタ
１８が取付ねじ１９でシリンダチユーブ１に取り
付けられている。シリンダチユーブ１の端面と発
塵防止アダプタ１８との間にはＯリング２０が介
設され、取付ねじ１９の周囲にはＯリング２１が
設けられている。また、発塵防止アダプタ１８と
それを貫通するピストンロツド５との間にはロツ
ドパツキン２２が介設されている。

また、前記ヘツドカバー４の外側においては、
配管アダプタ２３が取付ねじ２４（第２図）でシ
リンダチユーブ１に取り付けられている。第２図
に示すように、この配管アダプタ２３には、シリ
ンダチユーブ１内の２つの流体室６，７への流体
給排ポート２５および２６、ならびにピストンロ
ツド３の周囲等で発生する塵芥を所定位置まで排
出するための発塵防止用ポート２７がシリンダの
軸方向に対して直角方向に並設されている。

そして、流体給排ポート２５と流体室６とを連
通させるため、ヘツドカバー４の中心には軸方向
への通路２８が形成され、またＯリング２９でシ
ールされている。

さらに、流体給排ポート２６と流体室７とは、
シリンダチユーブ１の上部位置において軸方向に
形成された通路２６ａを介して連絡されている。

また、発塵防止用ポート２７と発塵防止アダプ
タ１８の側とは、シリンダチユーブ１の下部位置
において軸方向に形成された通路３０を介して連
絡され、Ｏリング３１でシールされ、かつ鋼球３
２でシールされている。これにより、ピストンロ
ツド３とロツドカバー５との間において発生した
塵芥は、発塵防止アダプタ１８で第１図の右側方
向の外部に漏れ出ることを防止され、通路３０を
経て配管アダプタ２３の発塵防止用ポート２７に
送られ、該ポート２７に接続される配管（図示せ
ず）を介して外部の所定場所に排出除去される。

本実施例においては、流体給排ポート２５およ
び２６の両方ならびに発塵防止用ポート２７をす
べて配管アダプタ２３に集合配設したので、配管
を一個所に集中接続でき、配管構造が簡単とな
り、配管が容易となる上に、配管スペースが小さ
くて済み、またシリンダの取り付けの自由度が増
す等の利点が得られる。

〔実施例 ２〕 第３図は本考案の他の実施例を示す第４図の
−線断面図、第４図はその右側面図である。

この実施例２では、シリンダチユーブ１の一端
（第３図の左端）に取り付けられるヘツドカバー
４は取付ねじ３３でシリンダチユーブ１の端部に
取り付けられており、またロツドカバー５はその
反対端（第３図の右端）において取付ねじ３４で
シリンダチユーブ１に取り付けられている。

本実施例２においては特別な配管アダプタは設
けられておらず、ロツドカバー５が配管アダプタ
としての機能をも果たすものである。そのため、
第４図にも示すように、ロツドカバー５のシリン
ダ軸方向に対して直角方向には、シリンダチユー
ブ１内の流体室６，７に流体圧を給排するための
流体給排ポート３５，３６と、これらの流体給排
ポート間に位置する発塵防止用ポート３７（発塵
防止手段）とが並設されている。

これらの３つのポート３５，３６，３７のう
ち、流体給排ポート３５は、ロツドカバー５内か
ら取付ねじ３４に設けた通路３８および該通路３
８と連通するようシリンダチユーブ１の下部の軸
方向に設けた通路３９を経てピストン２の左側の
流体室６と連通している。

また、もう一方の流体給排ポート３６はロツド
カバー５の上部に略Ｌ形に形成した通路４０を経
てピストン２の右側の流体室７と連通している。

さらに、発塵防止用ポート３７はロツドカバー
５に設けた通路４１を経てピストンロツド３の周
囲のロツドパツキン１７と２２との間に連通し、
ピストンロツド３の摺動により発生した塵芥等の
異物を外部に排出するよう構成されている。

本実施例２においても、ポート３５，３６，３
７がロツドカバー５に集合配設されており、配管
を一個所に集中接続でき、配管構造が簡単にな
り、配管が容易となる上に、配管スペースが小さ
くて済み、シリンダの取り付けの自由度が増す等
の利点の他、特別な配管アダプタや発塵防止アダ
プタを別に設けていないので、シリンダの構造が
さらに簡単となるという利点も得られる。

なお、本考案は前記実施例に限定されるもので
はなく、他の様々な変形が可能である。

たとえば、ヘツドカバーのみにポートを集合配
設してもよく、また配管アダプタと発塵防止アダ
プタとを１つのアダプタとしてこれに全部のポー
トを集合配設してもよい。

さらに、本考案は複動シリンダの他、単動シリ
ンダにも適用でき、またシリンダ以外の流体圧作
動機器、たとえばラツク・ピニオン式のロータリ
アクチユエータ等にも広く適用できるものであ
る。

〔効果〕

(1) 流体圧チユーブと、この流体圧チユーブ内に
おいてその両側に流体室を隔成するピストン
と、前記流体圧チユーブの各端部を閉止する閉
止部材と、発塵防止手段とからなり、前記閉止
部材には、前記両流体室への流体給排ポートな
らびに発塵防止用ポートが集合配設されている
ことにより、流体給排用ならびに発塵防止用の
ポートが一個所にまとめられているので、配管
と一個所に集中接続でき、配管構造が簡単にな
り、配管が容易になる。

(2) 前記(1)により、配管スペースが小さくて済
み、スペース効率が向上する。

(3) 前記(1)により、流体圧作動機器の取り付けを
配管に邪魔されずに行うことができ、取り付け
の自由度を増すことができる。

(4) ポートをロツドカバーまたはヘツドカバーの
一方のみに集中配設することにより、特別なア
ダプタを要することがなくなるので、流体圧作
動機器の構造をさらに簡単にすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による流体圧作動機器の一実施
例を示す断面図、第２図はその左側面図、第３図
は本考案の他の実施例を示す第４図の−線断
面図、第４図はその右側面図である。 １……シリンダチユーブ（流体圧チユーブ）、
２……ピストン、３……ピストンロツド、４……
ヘツドカバー、５……ロツドカバー、６，７……
流体室、８……パツキン、９……ウエアリング、
１０，１１……バンパ、１２，１４……スナツプ
リング、１３，１５……Ｏリング、１６……ロツ
ドブツシユ、１７……ロツドパツキン、１８……
発塵防止アダプタ、１９……取付ねじ、２０，２
１……Ｏリング、２２……ロツドパツキン、２３
……配管アダプタ、２４……取付ねじ、２５，２
６……流体給排ポート、２６ａ……通路、２７…
…発塵防止用ポート、２８……通路、２９……Ｏ
リング、３０……通路、３１……Ｏリング、３２
……鋼球、３３……取付ねじ、３５，３６……流
体給排ポート、３７……発塵防止用ポート、３
８，３９……通路。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 流体圧チユーブと、この流体圧チユーブ内に
   おいてその両側に流体室を隔成するピストン
   と、前記流体圧チユーブの各端部を閉止する閉
   止部材と、発塵防止手段とからなり、前記閉止
   部材には、前記両流体室への流体給排ポートな
   らびに発塵防止用ポートが集合配設されている
   ことを特徴とする流体圧作動機器。 (2) 閉止部材が、ヘツドカバーまたはロツドカバ
   ーのいずれか一方であることを特徴とする実用
   新案登録請求の範囲第１項記載の流体圧作動機
   器。 (3) 閉止部材が、ヘツドカバーまたはロツドカバ
   ーの少なくとも一方およびその外側に取り付け
   られた配管アダプタよりなり、前記両流体室へ
   の流体給排ポートならびに発塵防止用ポートが
   前記配管アダプタに集合配設されていることを
   特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
   の流体圧作動機器。 (4) 流体給排ポートの一方が流体圧チユーブの軸
   方向に形成された通路を介して流体給排口に連
   通していることを特徴とする実用新案登録請求
   の範囲第１項記載の流体圧作動機器。 (5) 流体給排ポートの一方および発塵防止用ポー
   トが流体圧チユーブの軸方向に形成された通路
   を介して流体給排口に連通していることを特徴
   とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の流
   体圧作動機器。