JPH0527753Y2

JPH0527753Y2 -

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Publication number: JPH0527753Y2
Application number: JP12069689U
Authority: JP
Priority date: 1989-10-16
Filing date: 1989-10-16
Publication date: 1993-07-15
Anticipated expiration: 2003-07-15
Also published as: JPH0359575U

Description

【考案の詳細な説明】考案の技術分野本考案は、１つの流入口と２つの吐出口を備え
たバルブハウジングを有し、このハウジング内に
収納した弁体をシリンダを介して移動させること
により、上記吐出口の吐出側を任意に切換えられ
るようにした三方バルブに関する。

考案の技術的背景上記三方バルブは、例えば塩素系ガスとフツ素
系ガス等の流体を半導体製造装置等に順次導く際
に使用されるものである。

従来、この種の三方バルブには、１つの流入口
と２つの吐出口を備えたバルブハウジングと、こ
のハウジング内に収納した弁体を移動させるため
のシリンダと、両者を連結する連結ブロツクとが
一般に備えられ、シリンダブロツク内に収納した
ピストンと上記弁体とを弁棒を介して連結し、シ
リンダブロツクのシリンダ室内にこの端部に設け
たポートの一方から油圧または空気圧を加えるこ
とによつてピストンと一方に移動させ、これによ
つて弁体を一方に移動させて一方の吐出口の起端
開口部を塞ぎ、他方の吐出口と流入口とを連通さ
せるようなされている。

ここに、バルブハウジングおよび連結ブロツク
内を流れる流体がシリンダブロツク内に流入する
のを防止するため、上記連結ブロツクの端面に一
端が連結され、弁軸に他端を夫々連結された蛇腹
状で伸縮自在なベローズを備え、このベローズで
バルブハウジングの内部とシリンダブロツクの内
部とを気密的に仕切ることが一般に行われてい
た。

しかしながら、上記ベローズは、バルブハウジ
ングの内部を気密的に仕切るためのものであるた
め、ハウジングの内部を流れる流体がこのベロー
ズ内部に流れ込んでしまう虞がある。しかも、こ
のベローズはこの屈曲に伴つて伸縮するものであ
り、この伸縮を容易となすため、一般に薄い材料
で形成され、このため腐蝕に対して弱いという不
都合を有している。

このため、ハウジング内を流れる流体として腐
蝕性を有する塩素系ガスやフツ素系ガスを使用す
ると、このベローズは容易にこれらの液体によつ
て腐蝕してしまう虞があり、ベローズの交換が頻
繁になつてしまうという不都合を有している。

また、上記バルブハウジングは、この内部に弁
体を収納するために、少なくとも２個以上の構成
部材を連結することによつて一般に構成されてお
り、このため、両構成部材にフランジを設け、両
フタンジ部を当接させてた状態でボルト締めして
連結することが通常行われている。

ところが、このようにフランジを設けてバルブ
ハウジングの構成部材を連結すると、かなりバル
ブハウジングが大型なものとなつてしまうばかり
でなく、メンテナンスも困難であるといつた問題
点があつた。

考案の目的本考案は上述した問題点に鑑みてなされたもの
であり、バルブハウジングの内部とシリンダブロ
ツクの内部とをベローズによつて確実にシールす
るとともに、腐蝕性のある流体を使用してもこの
ベローズが腐蝕されてしまうことを確実に防止す
ることができ、更には、バルブハウジングの構成
部材にフランジを設ける必要をなくして、これに
伴うバルブハウジングの大型化を防止して、メン
テナンスの便宜を図つた三方バルブを提供するこ
とを目的とする。

考案の概要本考案は、上述した目的を達成するために、１
つの流入口と２つの吐出口を備え内部に弁体を収
納したバルブハウジングと、内部にピストンを収
納したシリンダブロツクとを連結ブロツクで連結
するとともに、この連結ブロツク内を挿通させた
弁軸を軸受で支承し、更に上記連結ブロツクの内
部とシリンダブロツクのシリンダ室内とを伸縮自
在なベローズによつて気密的に仕切つた三方バル
ブであつて、上記連結ブロツク内に装着した滑り
軸受の外周部に上記バルブハウジング内を流れる
流体より高圧で、かつ腐蝕性を有さない高圧流体
を導くようにしたことを特徴としている。また、
本考案に係る三方バルブは、１つの流入口と２つ
の吐出口を備え内部に弁体を収納したバルブハウ
ジングと、内部にピストンを収納したシリンダブ
ロツクとを連結ブロツクで連結するとともに、こ
の連結ブロツク内を挿通させた弁軸を軸受で支承
し、更に上記連結ブロツクの内部とシリンダブロ
ツクのシリンダ室内とを伸縮自在なベローズによ
つて気密的に仕切つた三方バルブであつて、上記
バルブハウジングを軸ボルトと袋ナツトの組合わ
せにより連結して構成したことを特徴としてい
る。

このような構成の三方バルブにあつては、連結
ブロツクの内部とシリンダブロツクのシリンダ室
内とを伸縮自在なベローズによつて気密的に仕切
り、しかも軸受部に、高圧流体を導くようにして
いるため、軸受部およびベローズ部にゴミや腐食
性流体等が入り込んでしまうことを確実に阻止す
ることができる。したがつて、軸受部の摩耗を防
止できると共に、ベローズの腐食を防止でき、バ
ルブの耐久性が向上する。

更に、バルブハウジングを軸ボルトを袋ナツト
の組合わせにより連結して構成することにより、
フランジを設ける必要をなくして、バルブハウジ
ングが大型化してしまうことを防止するととも
に、メンテナンスの便宜を図ることができる。

考案の具体的説明以下、図面を参照して本考案の一実施例を説明
する。

第１図は本考案に係わる三方バルブを一部切断
して示す平面図で、この三方バルブには、バルブ
ハウジング１が備えられている。

このハウジング１は、第１吐出口２ａを備え、
直角に屈曲させられたＬ字管状の第１吐出口構成
部材２と、略Ｔ管状で流入口３ａを備えるととも
に内部が弁室３ｂとなつている流入口構成部材３
と、略Ｔ字管状で第２吐出口４ａを備えた第２吐
出口構成部材４とから主に構成されている。

この第１吐出口構成部材２と流入口構成部材３
の一端とは、弁座５ａを備えたリング状の連結部
材５を介して溶接によつて連結されている。第２
吐出口構成部材４と流入口構成部材３の他端と
は、弁座６ａを備え、第２吐出口構成部材４に端
部を溶着したリング状の連結部材６を介して、こ
れに回転自在に支承した袋ナツト７と流入口構成
部材３に刻設した軸ボルト３ｂとを螺合させるこ
とにより、Ｏリング８を介在させつつ連結され、
これによつてバルブハウジング１が構成されてい
る。このバルブハウジング１の内部には前後両側
面にＯリング９を装着した弁体１０が収納されて
いる。

すなわち、このバルブハウジング１の内部に弁
体１０を収納できるようにする必要性から、流入
口構成部材３と第２吐出口構成部材４とを連結自
在にする必要があるが、上記のように軸ボルト３
ｂと袋ナツト７の組合わせによつてこれを行うこ
とにより、バルブハウジング１の構成部材にフラ
ンジを設ける必要をなくして、バルブハウジング
１自体の小型化とメンテナンスの便宜を図ること
ができる。

また、このような三方バルブには、上記弁体１
０を駆動するためのエアシリンダ１１が備えら
れ、このエアシリンダ１１と上記バルブハウジン
グ１とは連結ブロツク１２によつて連結されてい
る。

このエアシリンダ１１のシリンダブロツク１３
内のシリンダ室１４の内部には、ピストン１５が
収納され、このピストン１５と上記弁体１０とは
弁軸１６によつて連結されている。エアシリンダ
１１の両端部には、シリンダ室１４の内部に、ピ
ストン１５の左右から夫々エアー等の流体圧を供
給するためのポート１７及びポート１８が夫々設
けられている。

ポート１７内からシリンダ室１４内にエアーが
供給された時には、ピストン１５が図面の左方向
（Ｘ方向）に移動し、これに伴つて弁体１０も左
方向に移動して、同図の実線で示すように、連結
部材５の弁座５ａに当接して第１吐出口２ａを塞
ぎ、流入口３ａと第２吐出口４ａとを連通させ
る。逆にポート１８内からシリンダ室１４内にエ
アーが供給された時には、ピストン１５が図面の
右方向（Ｙ方向）に移動し、これに伴つて弁体１
０も右方向に移動して、同図の仮想線で示すよう
に、連結部材６の弁座６ａに当接して第２吐出口
４ａを塞ぎ、流入口３ａと第１吐出口２ａとが連
通するようなされている。

また、上記連結ブロツク１２の内部には、弁軸
１６を摺動自在に保持するたとえば滑り軸受等の
軸受１９が装着されている。この軸受１９の側方
では、スリーブ２０を介して上記連結ブロツク１
２にリング状保持体２１が固着され、この保持体
２１と弁軸１６に固着したリング状保持体２２と
の間には、両端を両保持体２１，２２に夫々固着
した蛇腹状で伸縮自在なベローズ２３が配設され
ている。

このため、バルブハウジング１の内部とエアシ
リンダ１１の内部とが、このベローズ２３によつ
て気密的に仕切られる。

更に、上記連結ブロツク１２には、軸受２０の
外周面の外方で開口する噴出口１２ａが設けられ
ているとともに、ここにノズル２４が連結されて
いる。

そして、このノズル２４には、上記バルブハウ
ジング１内に流体が流れている時に、例えばN₂
ガス等の腐蝕性のない流体が供給され、しかもこ
の流体が上記バルブハウジング１内を流れる流体
よりやや高圧で噴出口１２ａから噴出されるよう
なされている。

これによつて、この高圧流体によつてバルブハ
ウジング１内を流れる流体がベローズ２３の内部
に流れ込んでしまうことを確実に遮断して、例え
バルブハウジング１内を流れる流体が腐蝕性のあ
る流体であつても、この流体によつてベローズ２
３が腐蝕してしまうことがないように構成されて
いる。

考案の効果以上述べたように、請求項１記載の本考案によ
れば、軸受やベローズ内にゴミ等が入り込んで、
これらの摩耗を引き起こすことを確実に防止し、
しかも、腐蝕性のある流体を使用した時にこのベ
ローズが腐蝕されてしまうことを確実に防止する
ことができる。したがつて、バルブの耐久性が向
上する。

更に、請求項２記載の本考案によれば、バルブ
ハウジングの構成部材にフランジを設ける必要を
なくして、フランジを設けることに伴う大型化を
防止し、かつメンテナンスの便宜を図ることがき
るといつた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る三方バルブを一部を切断
して示す側面図である。１……バルブハウジング、２……第１吐出口構
成部材、２ａ……第１吐出口、３……流入口構成
部材、３ａ……流入口、３ｂ……軸ボルト、４…
…第２吐出口構成部材、４ａ……第２吐出口、７
……袋ナツト、５……連結部材、６……連結部
材、８……Ｏリング、５ａ……弁座、６ａ……弁
座、１０……弁体、１１……エアシリンダ、１２
……連結ブロツク、１２ａ……噴出口、１３……
シリンダブロツク、１４……シリンダ室、１５…
…ピストン、１６……弁軸、１９……軸受、２３
……ベローズ、２４……ノズル。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】１）１つの流入口と２つの吐出口を備え内部に
弁体を収納したバルブハウジングと、内部にピ
ストンを収納したシリンダブロツクとを連結ブ
ロツクで連結するとともに、この連結ブロツク
内を挿通させた弁軸を軸受で支承し、更に上記
連結ブロツクの内部とシリンダブロツクのシリ
ンダ室内とを伸縮自在なベローズによつて気密
的に仕切つた三方バルブであつて、上記連結ブ
ロツク内に装着した軸受の外周部に上記バルブ
ハウジング内を流れる流体より高圧で、かつ腐
蝕性を有さない高圧流体を導くようにしたこと
を特徴とする三方バルブ。２）１つの流入口と２つの吐出口を備え内部に
弁体を収納したバルブハウジングと、内部にピ
ストンを収納したシリンダブロツクとを連結ブ
ロツクで連結するとともに、この連結ブロツク
内を挿通させた弁軸を軸受で支承し、更に上記
連結ブロツクの内部とシリンダブロツクのシリ
ンダ室内とを伸縮自在なベローズによつて気密
的に仕切つた三方バルブであつて、上記バルブ
ハウジングを軸ボルトと袋ナツトの組合わせに
より連結して構成したことを特徴とする三方バ
ルブ。