JPH06280962A - 回動−直動変換装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回動を直動に高精度に伝達する。 【構成】 ガイドレール１１ａに直動静圧気体軸受によ
り支持されたスライダ１１ｂの上面に固定した外筒１３
ａは回転静圧気体軸受によって回動アーム３の一端を支
持する。また、回転静圧気体軸受により支持されたスピ
ンドル２１ｂの上面に固定した案内部材２４が直動静圧
気体軸受によって回動アーム３の他端を支持する。スピ
ンドル２１ｂを回動させることにより回動アーム３が回
動してスライダ１１ｂが直動するが、スピンドル２１
ｂ、回動アーム３、スライダ１１ｂは、回転静圧気体軸
受又は直動静圧気体軸受により非接触に支持されている
ので、摩擦力による誤差が生じることなく、スピンドル
２１ｂの回動をスライダ１１ｂの直動に高精度に変換す
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、回転運動を直線運動に
変換する回動−直動変換装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、回転運動を直線運動に変換する回
動−直動変換装置においては、回動する回動部と、直動
する直動部とを回動アーム等によって連結し、回動部の
回動を回動アームを介して直動部に伝達し、直動させる
ようになされている。このとき、回動部は軸受を介して
固定部に支持され、直動部は直動すべり軸受を介して軌
道上を直動するようになされている。そして、直動部と
回動アームの一端とは、軸受によって回動自在に連結さ
れ、回動部と回動アームの他端とは、直動軸受を介して
連結されている。

【０００３】そして、回動部をモータ等によって回動さ
せることにより、回動アームが回動し、これにより、直
動部が軌道上を移動し、回動部の回動を直動部の直動に
変換している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の回動−直動変換装置においては、直動部に回動アー
ムを連結している軸受や、回動部を固定部で支持してい
る軸受、回動部と回動アームとを連結している直動軸受
等は、ころがり軸受やすべり軸受等の接触式の軸受によ
って支持されているため、摩擦係数が大きく、また、運
動の再現性が悪い等の点から精密な運動の伝達が困難な
ため、回動を高精度に直動に変換することができないと
いう未解決の課題がある。

【０００５】そこで、この発明は、上記従来の未解決の
課題に着目してなされたものであり、高精度に回転運動
を直線運動に変換することのできる回動−直動変換装置
を提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に関わる回動−直動変換装置においては、一
方の直動静圧気体軸受に支持される被駆動側の回転静圧
気体軸受と駆動側の回転静圧気体軸受との何れか一方に
連結部材の一端が支持され、他方に連結部材の他端を支
持する他方の直動静圧気体軸受が支持され、前記被駆動
側の回転静圧気体軸受は連結部材の回動によって直動す
ることを特徴としている。

【０００７】

【作用】本発明においては、駆動側の回転静圧気体軸受
に直接又は間接に支持される連結部材の回動によって連
結部材を直接又は間接に支持する回転静圧気体軸受が一
方の直動静圧気体軸受に支持されて直動する。

【０００８】

【実施例】以下に、本発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図１は、本発明の第１実施例を示す概略構成図
であり、図２は、図１の側面図である。回動−直動変換
装置１は、直動装置２と連結部材としての回動アーム３
と回動装置４とから構成されている。

【０００９】回動アーム３は、直方体状のアーム部３ａ
と、円盤状の円盤部３ｂとから形成され、アーム部３ａ
の一端に円盤部３ｂが一体化して形成されている。直動
装置２は、一方の直動静圧気体軸受１１と被駆動側の回
転静圧気体軸受１３とから構成されており、直動静圧気
体軸受１１は軌道としてのガイドレール１１ａと、直動
部としてのスライダ１１ｂとから構成されている。ガイ
ドレール１１ａは直方体状であり、その両端が支持部材
１２を介して基台５に固定されている。ガイドレール１
１ａには、角枠状のスライダ１１ｂが所定の軸受すきま
を保って挿通され、スライダ１１ｂには、スライダ１１
ｂの内周面及び回転静圧気体軸受１３に圧縮空気を供給
する給気用のフレキシブルホース１１ｃが取り付けられ
ている。

【００１０】スライダ１１ｂの上部には外筒１３ａが固
定され、外筒１３ａは円筒状に形成され、その中空部に
は、上端がフランジ状に形成された円筒状のスピンドル
１３ｂが挿入されており、外筒１３ａとスピンドル１３
ｂとで、回転静圧気体軸受１３を形成し、外筒１３ａの
スピンドル１３ｂとの対向面にフレキシブルホース１１
ｃからスライダ１１ｂを介して圧縮空気を供給すること
により、外筒１３ａは、スピンドル１３ｂを非接触に回
動自在に支持している。

【００１１】スピンドル１３ｂの上端には、円盤部３ｂ
よりもやや大きい円形の凹部が形成され、凹部に円盤部
３ｂが固定されている。回動装置４は、駆動側の回転静
圧気体軸受２１と他方の直動静圧気体軸受２３と駆動部
２５とから構成されている。図３は、駆動側の回転静圧
気体軸受２１及び駆動部２５の詳細を示したものであ
り、回転静圧気体軸受２１は、固定部としての外筒２１
ａとスピンドル２１ｂとから構成され、外筒２１ａは、
両端が開放された円筒状に形成され、その中空部にスピ
ンドル２１ｂが挿通されて形成されている。外筒２１ａ
の内周面の上端及び下端には、多孔質グラファイト等に
より形成された円環状の多孔質部材２１ｃが埋設され、
また、外周面の高さ方向ほぼ中央部には、給気孔２１ｄ
が多孔質部材２１ｃに連通して形成され、圧縮空気供給
装置等によって給気孔２１ｄに圧縮空気を供給し、その
圧縮空気が多孔質部材２１ｃに供給されてスピンドル２
１ｂを外筒２１ａと非接触に支持している。

【００１２】スピンドル２１ｂは、中空の円筒状であ
り、スピンドル２１ｂの上端面には、円盤状の回動部と
しての回動盤２１ｅがスピンドル２１ｂの回動軸心上に
固定され、回動盤２１ｅの中央部には、スピンドル２１
ｂの中空部２１ｆに連通して給気孔２１ｇが形成されて
いる。回動盤２１ｅの上面には、案内部材２４が固定さ
れ、案内部材２４は、角枠状に形成され、その内周面と
所定の軸受すきまを保ってアーム部３ａが挿通され、ア
ーム部３ａと案内部材２４とで他方の直動静圧気体軸受
２３を形成している。

【００１３】駆動部２５は、外筒２６と、シャフト２７
と、回動機構としての回転型のボイスコイルモータ２８
とから構成されている。外筒２６には、円筒状であり、
外筒２６の軸心にはスピンドル２１ｂに固定されたシャ
フト２７が配置され、シャフト２７の上部にはボイスコ
イルモータ２８が固定されている。また、外筒２６に
は、保持力の高いフェライト磁石、或いは、高性能の希
土類磁石等の円環状のマグネット２９ａが接着剤で密着
されたマグネット固定部材３０ａがネジ止めされてい
る。

【００１４】マグネット２９ａと対向する位置には、円
環状のセンターコア３１が、図４に示すように、Ｃ字状
のカラー３１ａを介して外筒２６にねじ３１ｂ、３１
ｃ、３１ｄによって固定されている。センターコア３１
には、角枠状のコイル３２がその内周面にセンターコア
３１を所定間隔を保って、挿通した関係で装着されてい
る。

【００１５】このコイル３２には、出力取り出し板３２
ａが取り付けられ、この出力取り出し板３２ａとシャフ
ト２７がネジ止めによって固定されている。コイル３２
の両端は図示しない制御装置等に接続されている。セン
ターコア３１を介してマグネット２９ａと対向する位置
には、マグネット２９ａと同一に形成されたマグネット
２９ｂが配設され、マグネット２９ｂは、マグネット案
内部材３０ｂに固定されて、該当２６にネジ止めされて
いる。

【００１６】そして、上記構成の回動−直動変換装置１
によって、回動盤２１ｅの回動をスライダ１１ｂの直動
に変換する場合には、まず、圧縮空気供給装置等によっ
て、給気孔２１ｄ及びフレキシブルホース１１ｃに圧縮
空気を供給する。これにより、給気孔２１ｄに供給され
た圧縮空気は、多孔質部材２１ｃに供給されると共に、
中空部２１ｆ、給気孔２１ｇを通って案内部材２４に供
給され、スピンドル２１ｂは外筒２１ａに非接触に支持
され、また、アーム部３ａは、案内部材２４に非接触に
支持される。

【００１７】一方、フレキシブルホース１１ｃに供給さ
れた圧縮空気は、スライダ１１ｂ及びスライダ１１ｂを
介して外筒１３ａに供給され、スライダ１１ｂはガイド
レール１１ａに非接触に支持され、また、外筒１３ａ
は、スピンドル１３ｂを非接触に支持する。次いで、制
御装置等から駆動電流をボイスコイルモータ２８に供給
し、ボイスコイルモータ２８を起動させる。

【００１８】このとき、例えば、ガイドレール１１ａと
回動アーム３とが直交する位置を原点とし、コイル３２
を時計方向に回動させた場合には、コイル３２の回動と
同時にシャフト２７が回動し、これに伴い、スピンドル
２１ｂが回動し、回動盤２１ｅが時計方向に回動する。
同時に、回動アーム３が、案内部材２４に案内されて摺
動しながら、時計方向に回動する。これにより、スピン
ドル１３ｂが時計方向に回動しながら、スライダ１１ｂ
がガイドレール１１ａ上を前進し、回動盤２１ｅの回動
角度に応じてスライダ１１ｂが原点から任意の位置に移
動する。

【００１９】逆に、コイル３２を反時計方向に回動させ
た場合には、回動盤２１ｅはシャフト２７、スピンドル
２１ｂと共に、反時計方向に回動し、回動盤２１ｅの回
動と共に、回動アーム３が、案内部材２４に案内されて
摺動しながら反時計方向に回動する。これにより、スピ
ンドル１３ｂが反時計方向に回動しながら、スライダ１
１ｂがガイドレール１１ａ上を後退する。

【００２０】そして、制御装置によって、ボイスコイル
モータ２８の駆動制御を行うことにより、コイル３２の
回動量に応じてスライダ１１ｂがガイドレール１１ａ上
を移動し、任意の位置にスライダ１１ｂを移動させる。
したがって、上記第１実施例によれば、回動盤２１ｅの
回動が回動アーム３を介してスライダ１１ｂに伝達さ
れ、スライダ１１ｂを直動させ、このとき、回動盤２１
ｅは、回転静圧気体軸受２１によって非接触に外筒２１
ａに支持されたスピンドル２１ｂに固定され、回動盤２
１ｅに固定した案内部材２４と回動アーム３とは、直動
静圧気体軸受２３によって非接触に連結され、さらに、
回動アーム３とガイドレール１１ａとは、回転静圧気体
軸受１３及び直動静圧気体軸受１１によって非接触に連
結されているので、それぞれの連結部において生じる摩
擦力を低減することができ、運動の再現性を向上させる
ことができ、回動盤２１ｅの回動をスライダ１１ｂの直
動に高精度に変換することができる。

【００２１】また、アーム部３ａの長さを変化させるこ
とにより、スライダ１１ｂの直動の移動速度を変化させ
ることが可能であり、アーム部３ａを長くすると、スラ
イダ１１ｂの移動速度は高速になり、アーム部３ａを短
くすると、スライダ１１ｂの移動速度は低速になる。な
お、上記第１実施例においては、案内部材２４を回動盤
２１ｅの上面に固定し、案内部材２４にアーム部３ａを
挿通して直動静圧気体軸受２３を形成しているが、スラ
イダ１１ｂに支持される他方の直動静圧気体軸受が回動
盤２１ｅに固定した回動アーム３を支持することも可能
である。

【００２２】次に、本発明の第２実施例を図５及び図６
に基づいて説明する。図５は、第２実施例の概略構成
図、図６は、図５の側面図である。この第２実施例は、
第１実施例が回動機構として回転型のボイスコイルモー
タを用いたのに対し、ボールねじからなる直線運動機構
を用いたものである。第２実施例による回動−直動変換
装置１は、連結部材としての回動アーム４１と駆動機構
としての直動装置４２と、回動装置４３と、直動装置７
０とから構成され、回動アーム４１は、直方体の棒状に
形成されたアーム部４１ａと、円盤状に形成された円盤
部４１ｂと、アーム部４１ａよりもやや短く形成された
アーム部４１ｃとがこの順に一直線に一体化して形成さ
れている。

【００２３】直動装置４２は、ボールねじ５１と直動静
圧気体軸受６１と回転静圧気体軸受６５と直動静圧気体
軸受６６とから構成されている。ボールねじ５１のねじ
軸５１ａの一端には、ボールねじ駆動用のモータ５２が
取り付けられ、ボールナット５１ｂには、後述のスライ
ダ６１ｂが固定されている。ねじ軸５１ａはその両端部
が軸受５６を介して支持部材５３及び５４に支持され、
この支持部材５３及び５４は基台５５に固定されてい
る。

【００２４】なお、モータ５２は、図示しない制御装置
等からの駆動電流によって駆動制御されるものとする。
直動静圧気体軸受６１は、ガイドレール６１ａと、スラ
イダ６１ｂとから構成され、ガイドレール６１ａは、ね
じ軸５１ａよりもやや長い直方体の棒状に形成され、ね
じ軸５１ａと平行に配設されて支持部材６２ａ、６２ｂ
に支持され、この支持部材６２ａ、６２ｂは基台５５に
固定されている。

【００２５】ガイドレール６１ａには、角枠状のスライ
ダ６１ｂが所定の軸受すきまを保って挿通され、スライ
ダ６１ｂには、給気用のフレキシブルホース６１ｃが取
り付けられている。また、スライダ６１ｂは、ボールナ
ット５１ｂに固定され、ボールナット５１ｂの移動に伴
って、ガイドレール６１ａを案内として移動するように
なされている。

【００２６】スライダ６１ｂの上部には、外筒６５ａが
固定され、外筒６５ａは、円筒状に形成され、その中空
部には、上端がフランジ状に形成された円筒状のスピン
ドル６５ｂが挿入されており、外筒６５ａとスピンドル
６５ｂとで、回転静圧気体軸受６５を形成し、外筒６５
ａに圧縮空気を供給することにより、スピンドル６５ｂ
を外筒６５ａと非接触に回動自在に支持している。

【００２７】スピンドル６５ｂの上面には、案内部材６
６ａが固定され、案内部材６６ａは、角枠状に形成さ
れ、その内周面にアーム部４１ａを所定の軸受すきまを
保って挿通している。そして、アーム部４１ａと案内部
材６６ａとで、直動静圧気体軸受６６を形成し、案内部
材６６ａに圧縮空気を供給することにより、アーム部４
１ａを非接触に摺動自在に支持している。

【００２８】一方、回動装置４３は、固定部としての外
筒４４と、回動部としてのスピンドル４７とから構成さ
れ、外筒４４とスピンドル４７とで駆動側の回転静圧気
体軸受を形成している。外筒４４は、円筒状であり、下
端部には、フランジ部材４４ａが固定されている。外筒
４４の内周面の上端及び下端には、多孔質グラファイト
等により形成された円環状の多孔質部材４５ａ及び４５
ｂが埋設されている。また、外筒４４の多孔質部材４５
ａ及び４５ｂと対向する位置には、多孔質部材４５ａ及
び４５ｂに供給する圧縮空気の流通路である給気孔４６
ａ及び４６ｂが形成され、給気孔４６ａ及び４６ｂに
は、それぞれフレキシブルホース４６ｃ及び４６ｄが取
り付けられている。

【００２９】スピンドル４７は円柱状であり、その上端
には、フランジ状のフランジ部４７ａが形成され、下端
部には、円盤状の底板４７ｂがねじ止めされている。ス
ピンドル４７の上端面には、円盤部４１ｂがスピンドル
４７の回転軸心上に固定され、スピンドル４７と同期し
て回動するようになされている。そして、回動装置４３
は、ガイドレール６１ａの垂直二等分線上にスピンドル
４７の回転軸心が位置するように配設されている。

【００３０】直動装置７０は、直動装置４２からボール
ねじ５１を取り除いた構成であり、直動静圧気体軸受６
１に対応する一方の直動静圧気体軸受７１と、回転静圧
気体軸受６５に対応する被駆動側の回転静圧気体軸受７
５と、直動静圧気体軸受６６に対応する他方の直動静圧
気体軸受７６とから構成されている。直動静圧気体軸受
７１は、ガイドレール６１ａよりも短く形成された軌道
としてのガイドレール７１ａと直動部としてのスライダ
７１ｂとから構成され、ガイドレール７１ａは、その中
点が、ガイドレール６１ａの中点とスピンドル４７の回
転軸心を結ぶ延長線上に位置し、且つ、ガイドレール６
１ａと平行に配設されて支持部材７２ａ、７２ｂに固定
され、この支持部材７２ａ、７２ｂは、基台５５に固定
されている。

【００３１】ガイドレール７１ａには、角枠状のスライ
ダ７１ｂが所定の軸受すきまを保って挿通され、スライ
ダ７１ｂには、給気用のフレキシブルホース７１ｃが取
り付けられている。スライダ７１ｂの上部には、外筒６
５ａに対応する外筒７５ａが固定され、その中空部に
は、スピンドル６５ｂに対応するスピンドル７５ｂが挿
入されており、外筒７５ａとスピンドル７５ｂとで、回
転静圧気体軸受７５を形成している。

【００３２】スピンドル７５ｂの上面には、案内部材６
６ａに対応する案内部材７６ａが固定され、その内周面
にアーム部４１ｃを所定の軸受すきまを保って挿通して
いる。そして、アーム部４１ｃと案内部材７６ａとで、
他方の直動静圧気体軸受７６を形成している。そして、
上記構成の回動−直動変換装置１によって、回動装置４
３での回動運動を直動装置７０の直動運動に変換する場
合には、まず、圧縮空気供給装置等によって、フレキシ
ブルホース４６ｃ、４６ｄ、６１ｃ及び７１ｃに圧縮空
気を供給する。これにより、フレキシブルホース４６ｃ
及び４６ｄに供給された圧縮空気は、給気孔４６ａ及び
４６ｂを通って、多孔質部材４５ａ及び４５ｂにそれぞ
れ供給され、スピンドル４７を外筒４４と非接触に支持
する。フレキシブルホース６１ｃに供給された圧縮空気
はスライダ６１ｂ、外筒６５ａ、案内部材６６ａに供給
され、スライダ６１ｂはガイドレール６１ａに非接触に
支持され、外筒６５ａはスピンドル６５ｂを非接触に支
持し、さらに、案内部材６６ａは、アーム部４１ａを非
接触に支持する。また、フレキシブルホース７１ｃに供
給された圧縮空気はスライダ７１ｂ、外筒７５ａ、案内
部材７６ａに供給され、スライダ７１ｂはガイドレール
７１ａに非接触に支持され、外筒７５ａはスピンドル７
５ｂを非接触に支持し、さらに、案内部材７６ａは、ア
ーム部４１ｃを非接触に支持する。

【００３３】次いで、図示しない制御装置から駆動電流
を供給してモータ５２を起動する。このとき、ガイドレ
ール６１ａと回動アーム４１とが直行する位置を原点と
すると、モータ５２を正転させた場合には、例えば、ね
じ軸５１ａが回転してボールナット５１ｂが前進し、ス
ライダ６１ｂがガイドレール６１ａを案内にして前進
し、スライダ６１ｂが前進するに伴い、スピンドル６５
ｂが時計方向に回動すると共に、案内部材６６ａを案内
としてアーム部４１ａが摺動し、回動アーム４１がスピ
ンドル４７の回転軸心を中心として時計方向に回動す
る。そして、回動アーム４１及びスピンドル４７が回動
するに伴って、直動装置７０では、回動アーム４１の回
動によってスピンドル７５ｂが時計方向に回動し、同時
に、案内部材７６ａに案内されてアーム部４１ｃが摺動
しながら、スライダ７１ｂがガイドレール７１ａを案内
として後退する。

【００３４】制御装置では、ねじ軸５１ａの回転数、リ
ード等からボールナット５１ｂの移動量を求め、任意の
位置にボールナット５１ｂが移動した時点でモータ５２
の駆動を停止する。スライダ６１ｂを駆動することによ
り、スピンドル４７が回動し、スライダ６１ｂの駆動方
向と逆方向にスライダ７１ｂを移動させる。逆に、モー
タ５２を逆転させた場合には、ねじ軸５１ａが回転する
ことによりボールナット５１ｂが後退し、スライダ６１
ｂが後退するのに伴って回動アーム４１が反時計方向に
回動し、スピンドル４７が反時計方向に回動する。そし
て、直動装置７０では、回動アーム４１の回動によって
スピンドル７５ｂが反時計方向に回動し、同時に、案内
部材７６ａに案内されてアーム部４１ｃが摺動しなが
ら、スライダ７１ｂがガイドレール７１ａを案内として
前進する。

【００３５】そして、制御装置では、ねじ軸５１ａの回
転数、リード等からボールナット５１ｂの移動量を求
め、任意の位置にボールナット５１ｂが移動した時点で
モータ５２の駆動を停止する。したがって、スライダ６
１ｂの直動をスピンドル４７の回動に変換させ、さら
に、スピンドル４７の回動をスライダ７１ｂの直動に変
換させている。それぞれの連結部は、回転静圧気体軸
受、又は、直動静圧気体軸受によって非接触に支持され
ているので、連結部での摩擦等による変換誤差が生じる
ことなく、直動装置４２の直動を回動装置４３の回動に
変換し、さらに、直動装置７０の直動に変換している。

【００３６】なお、上記実施例においては、円盤部４１
ｂをスピンドル４７に固定し、アーム部４１ａを案内部
材６６ａに、また、アーム部４１ｃを案内部材７６ａに
直動静圧気体軸受によって摺動自在に非接触に支持して
いるが、本発明はこれにかぎらず、回動アーム４１の一
端をスピンドル７５ｂの上面に固定し、スピンドル４７
及びスピンドル６５ｂの上面に直動静圧気体軸受を固定
し、これにより、回動アーム４１の他端及び中間付近を
直動自在に支持することも可能である。

【００３７】逆に、スピンドル６５ｂの上面に回動アー
ム４１の一端を固定し、スピンドル４７及びスピンドル
７５ｂの上面に直動静圧気体軸受を配設し、回動アーム
４１を直動自在に支持することも可能である。また、上
記実施例においては、スライダ６１ｂは、ボールナット
５１ｂに固定され、ガイドレール６１ａ上を移動するよ
うになされているが、ガイドレール６１ａを設けないで
ボールナット５１ｂとスライダ６１ｂとを一体化してね
じ軸５１ａ上を移動させることも可能である。

【００３８】さらに、上記実施例においては、ボールね
じ５１によってスライダ６１ｂの駆動制御を行うように
なされているが、直動型のボイスコイルモータ等の直線
駆動機構によってスライダ６１ｂの駆動制御を行うこと
も可能である。また、アーム部４１ａとアーム部４１ｃ
との長さの比率によって任意の変速比でスライダ７１ｂ
を移動させることができ、振動、速度変動、位置決め精
度などの特性が大幅に向上し、任意の位置に精密に移動
させることができる。

【００３９】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明に関わる
回動−直動変換装置によれば、回転運動から直線運動へ
の変換に際して相対運動部分は直動静圧気体軸受及び回
転静圧気体軸受によって支持されるので非接触であり、
摩擦力等によって伝達誤差が生じることなく、回動を高
精度に直動に変換することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による回動−直動変換装置の第１の実施
例の概略構成図である。

【図２】図１の側面図である。

【図３】回動装置４の詳細図である。

【図４】センターコアの固定方法の説明に供する説明図
である。

【図５】本発明による回動−直動変換装置の第２の実施
例の概略構成図である。

【図６】図５の側面図である。

【符号の説明】

１ 回動−直動変換装置 ２ 直動装置 ３ 回動アーム ４ 回動装置 １１ 直動静圧気体軸受 １１ａ ガイドレール １１ｂ スライダ １３ 回転静圧気体軸受 １３ａ 外筒 １３ｂ スピンドル ２１ 回転静圧気体軸受 ２１ａ 外筒 ２１ｂ スピンドル ２３ 直動静圧気体軸受 ２４ 案内部材 ２５ 駆動部 ４１ 回動アーム ４２ 直動装置 ４３ 回動装置 ４４ 外筒 ４７ スピンドル ５１ ボールねじ ５２ モータ ６１ 直動静圧気体軸受 ６１ａ ガイドレール ６１ｂ スライダ ６５ 回転静圧気体軸受 ６５ａ 外筒 ６５ｂ スピンドル ６６ 直動静圧気体軸受 ６６ａ 案内部材 ７０ 直動装置 ７１ 直動静圧気体軸受 ７１ａ ガイドレール ７１ｂ スライダ ７５ 回転静圧気体軸受 ７５ａ 外筒 ７５ｂ スピンドル ７６ 直動静圧気体軸受 ７６ａ 案内部材

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一方の直動静圧気体軸受に支持される被
   駆動側の回転静圧気体軸受と駆動側の回転静圧気体軸受
   との何れか一方に連結部材の一端が支持され、他方に連
   結部材の他端を支持する他方の直動静圧気体軸受が支持
   され、前記被駆動側の回転静圧気体軸受は連結部材の回
   動によって直動することを特徴とする回動−直動変換装
   置。