JPH06275709A - 精密物品収納容器 - Google Patents
精密物品収納容器Info
- Publication number
- JPH06275709A JPH06275709A JP5820093A JP5820093A JPH06275709A JP H06275709 A JPH06275709 A JP H06275709A JP 5820093 A JP5820093 A JP 5820093A JP 5820093 A JP5820093 A JP 5820093A JP H06275709 A JPH06275709 A JP H06275709A
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- JP
- Japan
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- container
- vessel
- wafer
- storage container
- atmospheric pressure
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】精密物品収納容器の開閉に伴う収納物の異物汚
染を防止可能な精密物品収納容器を提供すること 【構成】ウエハ収納容器１の容器上部３の側部に、外部
から押圧することによりウエハ収納容器１の内側に開口
し、容器内部と容器外部との気圧差を減少させる気圧調
整弁３ｂを設けた。 【効果】精密物品収納容器の容器上部又は容器下部に、
容器内部と容器外部との気圧差を減少させる気圧調整弁
を設けることにより、容器内部と容器外部との気圧差を
なくし、容器開封時に容器上部と容器下部との接合部で
外部の空気が容器内部へ高速で流入するのを防止するの
で、容器内への異物侵入を防止でき、よって容器内部に
収納されている精密物品への異物の付着を防止できるも
のである。
染を防止可能な精密物品収納容器を提供すること 【構成】ウエハ収納容器１の容器上部３の側部に、外部
から押圧することによりウエハ収納容器１の内側に開口
し、容器内部と容器外部との気圧差を減少させる気圧調
整弁３ｂを設けた。 【効果】精密物品収納容器の容器上部又は容器下部に、
容器内部と容器外部との気圧差を減少させる気圧調整弁
を設けることにより、容器内部と容器外部との気圧差を
なくし、容器開封時に容器上部と容器下部との接合部で
外部の空気が容器内部へ高速で流入するのを防止するの
で、容器内への異物侵入を防止でき、よって容器内部に
収納されている精密物品への異物の付着を防止できるも
のである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、清浄度が要求される精
密物品を収納する容器に関するものであり、特に半導体
装置製造過程において用いられる半導体ウエハの収納容
器に利用して有効なものである。
密物品を収納する容器に関するものであり、特に半導体
装置製造過程において用いられる半導体ウエハの収納容
器に利用して有効なものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置製造過程において、半導体ウ
エハを保管及び運搬する際には、治具によって支持され
た半導体ウエハを治具ごと収容するウエハ収納容器が用
いられる。従来のウエハ収納容器を図５に示す。ウエハ
収納容器１３は、容器下部１４と、その蓋となる容器上
部１５からなる。半導体ウエハ１６は、ウエハ支持治具
１７によって支持され、治具ごと容器下部１４内部へ収
納される。ウエハ収納容器１３の開閉は、容器上部１５
の開口部周縁１５ａを容器下部１４の開口部周縁１４ａ
に接合及び離間させることによりなされる。
エハを保管及び運搬する際には、治具によって支持され
た半導体ウエハを治具ごと収容するウエハ収納容器が用
いられる。従来のウエハ収納容器を図５に示す。ウエハ
収納容器１３は、容器下部１４と、その蓋となる容器上
部１５からなる。半導体ウエハ１６は、ウエハ支持治具
１７によって支持され、治具ごと容器下部１４内部へ収
納される。ウエハ収納容器１３の開閉は、容器上部１５
の開口部周縁１５ａを容器下部１４の開口部周縁１４ａ
に接合及び離間させることによりなされる。
【０００３】尚、ウエハ収納容器に関しては、例えば実
公昭５３−４８５９８号公報、あるいは特開昭６０−１
６０６０８号公報等に開示されている。
公昭５３−４８５９８号公報、あるいは特開昭６０−１
６０６０８号公報等に開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図６に示す
ように、ウエハ収納容器１３を開封する際には、容器上
部１５を上方へ持ち上げて容器下部１４から離間させる
が、離間させる際には容器上部１５を上方へ持ち上げた
分、ウエハ収納容器１３内部の容積が増加するような状
態となる。従って、ウエハ収納容器１３内部の気圧が減
少し、外部空気１９が開口部周縁１４ａと開口部周縁１
５ａとの隙間を縫ってウエハ収納容器１３内部へ高速で
引き込まれる。開口部周縁１４ａと開口部周縁１５ａに
は、ウエハ収納容器１３の開閉の際に互いに擦れあって
発生した異物２０が存在し、この異物２０がウエハ収納
容器１３を開封する際の空気流１８に乗ってウエハ収納
容器１３内部に侵入する。侵入した異物２０はウエハ収
納容器１３内部に収納されている半導体ウエハ１６の表
面及びウエハ支持治具１７に付着するため、異物汚染を
引き起こし問題となっている。
ように、ウエハ収納容器１３を開封する際には、容器上
部１５を上方へ持ち上げて容器下部１４から離間させる
が、離間させる際には容器上部１５を上方へ持ち上げた
分、ウエハ収納容器１３内部の容積が増加するような状
態となる。従って、ウエハ収納容器１３内部の気圧が減
少し、外部空気１９が開口部周縁１４ａと開口部周縁１
５ａとの隙間を縫ってウエハ収納容器１３内部へ高速で
引き込まれる。開口部周縁１４ａと開口部周縁１５ａに
は、ウエハ収納容器１３の開閉の際に互いに擦れあって
発生した異物２０が存在し、この異物２０がウエハ収納
容器１３を開封する際の空気流１８に乗ってウエハ収納
容器１３内部に侵入する。侵入した異物２０はウエハ収
納容器１３内部に収納されている半導体ウエハ１６の表
面及びウエハ支持治具１７に付着するため、異物汚染を
引き起こし問題となっている。
【０００５】そこで本発明は、ウエハ収納容器１３のよ
うな精密物品収納容器の開閉に伴う収納物の異物汚染を
防止することが可能な精密物品収納容器を提供すること
を目的とする。
うな精密物品収納容器の開閉に伴う収納物の異物汚染を
防止することが可能な精密物品収納容器を提供すること
を目的とする。
【０００６】本発明の前記並びにその他の目的と新規な
特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになる
であろう。
特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになる
であろう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
のとおりである。すなわち、精密物品収納容器の容器上
部又は容器下部に、容器内部と容器外部との気圧差を減
少させる気圧調整弁を設けるものである。
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
のとおりである。すなわち、精密物品収納容器の容器上
部又は容器下部に、容器内部と容器外部との気圧差を減
少させる気圧調整弁を設けるものである。
【０００８】
【作用】上記手段によると、容器開封時に気圧調整弁を
開けることにより、容器内部と容器外部との気圧差がな
くなるため、容器上部と容器下部との接合部の高速の空
気流が減少する。従って、容器内へ高速の空気流に乗っ
て異物が侵入するのを防ぐことができ、容器内部に収納
されている精密物品への異物の付着を防止することがで
きる。
開けることにより、容器内部と容器外部との気圧差がな
くなるため、容器上部と容器下部との接合部の高速の空
気流が減少する。従って、容器内へ高速の空気流に乗っ
て異物が侵入するのを防ぐことができ、容器内部に収納
されている精密物品への異物の付着を防止することがで
きる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明を半導体ウエハを収納するウエ
ハ収納容器に用いた一実施例を図１及び図２を用いて説
明する。
ハ収納容器に用いた一実施例を図１及び図２を用いて説
明する。
【００１０】図１は容器上部側面に気圧調整弁を設けた
ウエハ収納容器１の断面図を示す。ウエハ収納容器１は
ウエハ保持治具５に支持された半導体ウエハ４を収容す
る容器下部２と蓋となる容器上部３からなる。容器下部
２と容器上部３は、それぞれの開口部周縁２ａ及び３ａ
が互いに接合する形でウエハ収納容器１の内部と外部と
を遮断している。容器下部２には半導体ウエハ４がウエ
ハ保持治具５ごと収容されている。容器上部３の側面に
は気圧調整弁３ｂが設けられており、開口させることに
よりウエハ収納容器１の内部気圧と外部気圧とを同等に
する。この気圧調整弁３ａは、容器上部３と一体形成さ
れており、その付け根には、気圧調整弁３ａの開閉が容
易になるようにＶノッチ３ｃが設けられている。
ウエハ収納容器１の断面図を示す。ウエハ収納容器１は
ウエハ保持治具５に支持された半導体ウエハ４を収容す
る容器下部２と蓋となる容器上部３からなる。容器下部
２と容器上部３は、それぞれの開口部周縁２ａ及び３ａ
が互いに接合する形でウエハ収納容器１の内部と外部と
を遮断している。容器下部２には半導体ウエハ４がウエ
ハ保持治具５ごと収容されている。容器上部３の側面に
は気圧調整弁３ｂが設けられており、開口させることに
よりウエハ収納容器１の内部気圧と外部気圧とを同等に
する。この気圧調整弁３ａは、容器上部３と一体形成さ
れており、その付け根には、気圧調整弁３ａの開閉が容
易になるようにＶノッチ３ｃが設けられている。
【００１１】ウエハ収納容器１を開封する際は、まず気
圧調整弁３ｂを外部から押圧することにより開口させ
る。次に図２に示すように容器上部３を上方へ持ち上
げ、容器上部３の開口部周縁３ａと容器下部２の開口部
周縁２ａとを離間させる。その際ウエハ収納容器１内は
減圧状態になろうとするが、気圧調整弁３ｂが開口して
おり、その弁開口部３ｄで空気が流入自在となっている
ので、容器上部３を上昇させると弁開口部３ｄから容器
外部の空気が容器内部へ低速で流入する。従って、ウエ
ハ収納容器１内の気圧は外部の気圧とは同等となってい
る。容器下部２と容器３との接合部１ａの開口部周縁２
ａ及び３ａが互いに離間した部分では、容器の内部と外
部の気圧が釣り合っているため、ウエハ収納容器１外部
の空気が内部へ一方的に高速流入しない。そのため開口
部周縁２ａ及び３ａに発生する異物はウエハ収納容器１
内部には侵入しないので、収納されている半導体ウエハ
４及びウエハ支持治具５に異物が付着するのを防止でき
異物汚染を防ぐことができる。
圧調整弁３ｂを外部から押圧することにより開口させ
る。次に図２に示すように容器上部３を上方へ持ち上
げ、容器上部３の開口部周縁３ａと容器下部２の開口部
周縁２ａとを離間させる。その際ウエハ収納容器１内は
減圧状態になろうとするが、気圧調整弁３ｂが開口して
おり、その弁開口部３ｄで空気が流入自在となっている
ので、容器上部３を上昇させると弁開口部３ｄから容器
外部の空気が容器内部へ低速で流入する。従って、ウエ
ハ収納容器１内の気圧は外部の気圧とは同等となってい
る。容器下部２と容器３との接合部１ａの開口部周縁２
ａ及び３ａが互いに離間した部分では、容器の内部と外
部の気圧が釣り合っているため、ウエハ収納容器１外部
の空気が内部へ一方的に高速流入しない。そのため開口
部周縁２ａ及び３ａに発生する異物はウエハ収納容器１
内部には侵入しないので、収納されている半導体ウエハ
４及びウエハ支持治具５に異物が付着するのを防止でき
異物汚染を防ぐことができる。
【００１２】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。上記実施
例では、容器上部側面に押圧することにより開口する気
圧調整弁を設けた例を説明したが、例えば、図３及び図
４に示すように、ウエハ収納容器７の内部気圧と外部気
圧との気圧差によって開閉する気圧調整弁９ｂを容器上
部９の上面に設けけたものでも、本発明の目的を充分に
達成できるものである。この場合、気圧調整弁９ｂは、
ウエハ収納容器７の内部気圧が外部気圧よりも低くなり
始めると即座に開口するように、気圧調整弁９ｂの付け
根にはＶノッチ９ｃを設け、容易な自然開閉を可能にす
る。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。上記実施
例では、容器上部側面に押圧することにより開口する気
圧調整弁を設けた例を説明したが、例えば、図３及び図
４に示すように、ウエハ収納容器７の内部気圧と外部気
圧との気圧差によって開閉する気圧調整弁９ｂを容器上
部９の上面に設けけたものでも、本発明の目的を充分に
達成できるものである。この場合、気圧調整弁９ｂは、
ウエハ収納容器７の内部気圧が外部気圧よりも低くなり
始めると即座に開口するように、気圧調整弁９ｂの付け
根にはＶノッチ９ｃを設け、容易な自然開閉を可能にす
る。
【００１３】また、気圧調整弁９ｂがウエハ収納容器７
の内側にのみ開口するように、気圧調整弁９ｂの弁周縁
部９ｅの切り口を傾斜させることにより、気圧調整弁９
ｂと容器上部９本体との擦れが生じることがなく、擦れ
による異物発生を減少させることができ、半導体ウエハ
及びウエハ支持治具の異物による汚染を防止できるもの
である。
の内側にのみ開口するように、気圧調整弁９ｂの弁周縁
部９ｅの切り口を傾斜させることにより、気圧調整弁９
ｂと容器上部９本体との擦れが生じることがなく、擦れ
による異物発生を減少させることができ、半導体ウエハ
及びウエハ支持治具の異物による汚染を防止できるもの
である。
【００１４】上述した気圧調整弁は、ウエハ収納容器の
容器上部に設けているが、容器下部の側部又は底部に設
けても上記した効果と同様の効果を奏する。また、ウエ
ハ収納容器の開閉の際に、容器の内部と外部との気圧差
を減少されるものであれば、上述した気圧調整弁に限ら
れず、例えば、容器の開封時に気圧を均等化させるため
のスライド式の開口部やフィルター付きの開口部をウエ
ハ収納容器に設ける、あるいは容器上部と容器下部とを
相対的にスライドさせて開封する方法を用いても、本発
明の目的を充分に達成できるものである。
容器上部に設けているが、容器下部の側部又は底部に設
けても上記した効果と同様の効果を奏する。また、ウエ
ハ収納容器の開閉の際に、容器の内部と外部との気圧差
を減少されるものであれば、上述した気圧調整弁に限ら
れず、例えば、容器の開封時に気圧を均等化させるため
のスライド式の開口部やフィルター付きの開口部をウエ
ハ収納容器に設ける、あるいは容器上部と容器下部とを
相対的にスライドさせて開封する方法を用いても、本発
明の目的を充分に達成できるものである。
【００１５】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
【００１６】すなわち、精密物品収納容器の容器上部又
は容器下部に、容器内部と容器外部との気圧差を減少さ
せる気圧調整弁を設けることにより、容器開封時に容器
内部と容器外部との気圧差をなくし、容器上部と容器下
部との接合部で外部の空気が容器内部へ高速で流入する
のを防止するので、容器内への異物侵入を防止できる。
よって容器内部に収納されている精密物品への異物の付
着を防止できるものである。
は容器下部に、容器内部と容器外部との気圧差を減少さ
せる気圧調整弁を設けることにより、容器開封時に容器
内部と容器外部との気圧差をなくし、容器上部と容器下
部との接合部で外部の空気が容器内部へ高速で流入する
のを防止するので、容器内への異物侵入を防止できる。
よって容器内部に収納されている精密物品への異物の付
着を防止できるものである。
【００１７】
【図１】本発明の一実施例であるウエハ収納容器の断面
を示す図である。
を示す図である。
【図２】本発明の一実施例であるウエハ収納容器の容器
上部を上昇させた際の、空気の流入状態を示す断面図で
ある。
上部を上昇させた際の、空気の流入状態を示す断面図で
ある。
【図３】本発明の他の実施例であるウエハ収納容器の断
面を示す図である。
面を示す図である。
【図４】本発明の他の実施例であるウエハ収納容器の容
器上部を上昇させた際の、空気の流入状態を示す断面図
である。
器上部を上昇させた際の、空気の流入状態を示す断面図
である。
【図５】従来のウエハ収納容器の断面を示す図である。
【図６】従来のウエハ収納容器の容器上部を上昇させた
際の、空気の流入状態及び問題点を示す断面図である。
際の、空気の流入状態及び問題点を示す断面図である。
１……ウエハ収納容器，１ａ……接合部，２……容器下
部，２ａ……開口部周縁，３……容器上部，３ａ……開
口部周縁，３ｂ……気圧調整弁，３ｃ……Ｖノッチ，３
ｄ……弁開口部，４……半導体ウエハ，５……ウエハ支
持治具，６……空気流，７……ウエハ収納容器，７ａ…
…接合部，８……容器下部，８ａ……開口部周縁，９…
…容器上部，９ａ……開口部周縁，９ｂ……気圧調整
弁，９ｃ……Ｖノッチ，９ｄ……弁開口部，９ｅ……弁
周縁部 １０……半導体ウエハ，１１……ウエハ支持治具，１２
……空気流，１３……ウエハ収納容器，１３ａ……接合
部，１４……容器下部，１４ａ……開口部周縁，１５…
…容器上部，１５ａ……開口部周縁，１６……半導体ウ
エハ，１７……ウエハ支持治具，１８……空気流，１９
……外部空気，２０……異物，
部，２ａ……開口部周縁，３……容器上部，３ａ……開
口部周縁，３ｂ……気圧調整弁，３ｃ……Ｖノッチ，３
ｄ……弁開口部，４……半導体ウエハ，５……ウエハ支
持治具，６……空気流，７……ウエハ収納容器，７ａ…
…接合部，８……容器下部，８ａ……開口部周縁，９…
…容器上部，９ａ……開口部周縁，９ｂ……気圧調整
弁，９ｃ……Ｖノッチ，９ｄ……弁開口部，９ｅ……弁
周縁部 １０……半導体ウエハ，１１……ウエハ支持治具，１２
……空気流，１３……ウエハ収納容器，１３ａ……接合
部，１４……容器下部，１４ａ……開口部周縁，１５…
…容器上部，１５ａ……開口部周縁，１６……半導体ウ
エハ，１７……ウエハ支持治具，１８……空気流，１９
……外部空気，２０……異物，
Claims (3)
- 【請求項１】清浄度が要求される精密物品を収容する容
器下部と、蓋となる容器上部とからなり、容器上部の開
口部周縁と前記容器下部の開口部周縁とを接合又は離間
させることにより容器の開閉を行う精密物品収納容器で
あって、該精密物品収納容器の内部と外部との気圧差を
減少させる気圧調整弁を、前記容器上部又は前記容器下
部に設けたことを特徴とする精密物品収納容器。 - 【請求項２】前記気圧調整弁は、外部から押圧すること
により開閉することを特徴とする請求項１記載の精密物
品収納容器。 - 【請求項３】前記気圧調整弁は、前記精密物品収納容器
の内部と外部との気圧差によって開閉することを特徴と
する請求項１記載の精密物品収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5820093A JPH06275709A (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 精密物品収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5820093A JPH06275709A (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 精密物品収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06275709A true JPH06275709A (ja) | 1994-09-30 |
Family
ID=13077395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5820093A Pending JPH06275709A (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 精密物品収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06275709A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10112496A (ja) * | 1996-10-03 | 1998-04-28 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | 半導体ウエハの保存方法および収容装置 |
| JP6067123B2 (ja) * | 2013-08-22 | 2017-01-25 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
-
1993
- 1993-03-18 JP JP5820093A patent/JPH06275709A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10112496A (ja) * | 1996-10-03 | 1998-04-28 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | 半導体ウエハの保存方法および収容装置 |
| JP6067123B2 (ja) * | 2013-08-22 | 2017-01-25 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
| US10580674B2 (en) | 2013-08-22 | 2020-03-03 | Miraial Co., Ltd. | Substrate storing container |
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