JPH06275215A - 二次元ｘ線管 - Google Patents
二次元ｘ線管Info
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- JPH06275215A JPH06275215A JP5060241A JP6024193A JPH06275215A JP H06275215 A JPH06275215 A JP H06275215A JP 5060241 A JP5060241 A JP 5060241A JP 6024193 A JP6024193 A JP 6024193A JP H06275215 A JPH06275215 A JP H06275215A
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- ray
- capillary plate
- photoelectrons
- rays
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、照射された光学像に対応するＸ線
像を投影する二次元Ｘ線管を提供する。 【構成】 二次元Ｘ線管は、内部を真空に保持している
真空容器１と、この真空容器１の出力窓７上に設置され
たキャピラリープレート８とから構成されている。真空
容器１の内部は、光を照射される入力窓２と、入力窓２
の内部側に形成されて光電子を放出する光電面３と、光
電面３からの光電子を集束する電極である電子レンズ
４、５と、光電子を投射されてＸ線を放出するＸ線ター
ゲット６と、Ｘ線ターゲット６からのＸ線を高効率で透
過する出力窓７とから構成されている。キャピラリープ
レート８は、高鉛ガラスからなる多数の中空細管をハニ
カム状に結束し、加熱して融着させて形成されている。
そのため、Ｘ線ターゲット６に対する所定の角度分布で
放出されたＸ線のみが、キャピラリープレート８を透過
する。
像を投影する二次元Ｘ線管を提供する。 【構成】 二次元Ｘ線管は、内部を真空に保持している
真空容器１と、この真空容器１の出力窓７上に設置され
たキャピラリープレート８とから構成されている。真空
容器１の内部は、光を照射される入力窓２と、入力窓２
の内部側に形成されて光電子を放出する光電面３と、光
電面３からの光電子を集束する電極である電子レンズ
４、５と、光電子を投射されてＸ線を放出するＸ線ター
ゲット６と、Ｘ線ターゲット６からのＸ線を高効率で透
過する出力窓７とから構成されている。キャピラリープ
レート８は、高鉛ガラスからなる多数の中空細管をハニ
カム状に結束し、加熱して融着させて形成されている。
そのため、Ｘ線ターゲット６に対する所定の角度分布で
放出されたＸ線のみが、キャピラリープレート８を透過
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学像を利用して所望
のＸ線像を作成する撮像装置に関する。
のＸ線像を作成する撮像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｘ線を利用する撮像方法として
は、適当なＸ線レンズが得られていないことから、点Ｘ
線源から発生したＸ線を投影方式で受光することにより
画像化している。
は、適当なＸ線レンズが得られていないことから、点Ｘ
線源から発生したＸ線を投影方式で受光することにより
画像化している。
【０００３】図５は、従来のＸ線撮像方法における構成
を示す説明図である。点Ｘ線源であるＸ線源２０はＸ線
を発生し、このＸ線はＡｌまたはＰｂなどから形成され
た遮光板２１に照射され、部分的に遮光されたり、ある
いは、コントラストを変化される。この遮光板２１を透
過したＸ線は、Ｘ線受光器２２の受光面で受光されて画
像化される。
を示す説明図である。点Ｘ線源であるＸ線源２０はＸ線
を発生し、このＸ線はＡｌまたはＰｂなどから形成され
た遮光板２１に照射され、部分的に遮光されたり、ある
いは、コントラストを変化される。この遮光板２１を透
過したＸ線は、Ｘ線受光器２２の受光面で受光されて画
像化される。
【０００４】また、光電子銃を用いたＸ線発生管に関す
る技術については、特開昭６０−４３５５号公報に開示
されている。
る技術については、特開昭６０−４３５５号公報に開示
されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の撮像方法によれば、Ｘ線源と受光器との間に設置さ
れる遮光板はＸ線エネルギーに対応してＸ線透過率が異
なるので、Ｘ線エネルギーに対応して層厚を変化した
り、異なる材質を用いたりする必要があるという問題が
ある。
来の撮像方法によれば、Ｘ線源と受光器との間に設置さ
れる遮光板はＸ線エネルギーに対応してＸ線透過率が異
なるので、Ｘ線エネルギーに対応して層厚を変化した
り、異なる材質を用いたりする必要があるという問題が
ある。
【０００６】また、上記従来のＸ線発生管によれば、Ｘ
線源として用いることができるが、Ｘ線から結像された
イメージとして直接に画像化することは難しいという問
題がある。
線源として用いることができるが、Ｘ線から結像された
イメージとして直接に画像化することは難しいという問
題がある。
【０００７】そこで、本発明は、以上の問題点に鑑みて
なされたものであり、従来より容易にＸ線像を投影する
ことができる二次元Ｘ線管を提供することを目的とす
る。
なされたものであり、従来より容易にＸ線像を投影する
ことができる二次元Ｘ線管を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、二次元Ｘ線管において、真空容器と、
真空容器内に配置され、照射された光の密度分布に対応
して光電子を放出する光電面と、光電子を集束して所定
方向に投射する電子レンズと、真空容器内に配置され、
結像された前記光電子の密度分布に対応してＸ線を放出
するＸ線ターゲットと、Ｘ線ターゲットの出力側に配置
され、中空細管を多数結束して形成されて該Ｘ線ターゲ
ットに対して所定角度分布で放出されたＸ線を透過する
キャピラリープレートとを備え、光電面上に結像された
光から形成されたイメージに対応し、Ｘ線から形成され
たイメージを投影することを特徴とする。
達成するために、二次元Ｘ線管において、真空容器と、
真空容器内に配置され、照射された光の密度分布に対応
して光電子を放出する光電面と、光電子を集束して所定
方向に投射する電子レンズと、真空容器内に配置され、
結像された前記光電子の密度分布に対応してＸ線を放出
するＸ線ターゲットと、Ｘ線ターゲットの出力側に配置
され、中空細管を多数結束して形成されて該Ｘ線ターゲ
ットに対して所定角度分布で放出されたＸ線を透過する
キャピラリープレートとを備え、光電面上に結像された
光から形成されたイメージに対応し、Ｘ線から形成され
たイメージを投影することを特徴とする。
【０００９】なお、上記キャピラリープレートは、中空
細管の中心軸が平行になるように中空細管を多数結束し
て形成されていることが好適である。
細管の中心軸が平行になるように中空細管を多数結束し
て形成されていることが好適である。
【００１０】また、上記キャピラリープレートは、中空
細管の中心軸に対する延長線が所定の一点で集束するよ
うに中空細管を多数結束して形成されたテーパーキャピ
ラリープレートであることが好適である。
細管の中心軸に対する延長線が所定の一点で集束するよ
うに中空細管を多数結束して形成されたテーパーキャピ
ラリープレートであることが好適である。
【００１１】
【作用】本発明の二次元Ｘ線管によれば、光電面に光が
照射されると、光の密度分布に対応して光電面から光電
子が放出され、電子レンズにより集束されてＸ線ターゲ
ットに投射される。そのため、結像された光電子の密度
分布に対応してＸ線ターゲットからＸ線が放出され、Ｘ
線ターゲットの出力側にキャピラリープレートが配置さ
れていることにより、多数結束して形成された中空細管
の内部を通過する放出角度を有するＸ線のみがキャピラ
リープレートを透過する。従って、光電面上に結像され
た光から形成されたイメージに対応し、Ｘ線から形成さ
れたイメージが投影される。
照射されると、光の密度分布に対応して光電面から光電
子が放出され、電子レンズにより集束されてＸ線ターゲ
ットに投射される。そのため、結像された光電子の密度
分布に対応してＸ線ターゲットからＸ線が放出され、Ｘ
線ターゲットの出力側にキャピラリープレートが配置さ
れていることにより、多数結束して形成された中空細管
の内部を通過する放出角度を有するＸ線のみがキャピラ
リープレートを透過する。従って、光電面上に結像され
た光から形成されたイメージに対応し、Ｘ線から形成さ
れたイメージが投影される。
【００１２】ここで、キャピラリープレート内部の各中
空細管はその中心軸が平行になるように配置されている
場合、Ｘ線ターゲットに対する一定角度を有して放出さ
れたＸ線のみがキャピラリープレート８を透過するの
で、Ｘ線ターゲット上で結像された光電子から形成され
たイメージに対し、等倍のままでＸ線から形成された平
行像が投影される。
空細管はその中心軸が平行になるように配置されている
場合、Ｘ線ターゲットに対する一定角度を有して放出さ
れたＸ線のみがキャピラリープレート８を透過するの
で、Ｘ線ターゲット上で結像された光電子から形成され
たイメージに対し、等倍のままでＸ線から形成された平
行像が投影される。
【００１３】また、キャピラリープレートとして、各中
空細管はその中心軸に対する延長線が所定の一点で集束
するように配置されているテーパーキャピラリープレー
トを用い、当該所定の一点をＸ線ターゲットの出力側に
配置している場合、当該所定の一点に集束するようにＸ
線ターゲットに対する所定角度分布で放出されたＸ線の
みが、キャピラリープレートを透過する。そのため、Ｘ
線ターゲット上に結像された光電子から形成されたイメ
ージに対し、当該所定の一点の近傍ではＸ線から形成さ
れた縮小像が投影される。
空細管はその中心軸に対する延長線が所定の一点で集束
するように配置されているテーパーキャピラリープレー
トを用い、当該所定の一点をＸ線ターゲットの出力側に
配置している場合、当該所定の一点に集束するようにＸ
線ターゲットに対する所定角度分布で放出されたＸ線の
みが、キャピラリープレートを透過する。そのため、Ｘ
線ターゲット上に結像された光電子から形成されたイメ
ージに対し、当該所定の一点の近傍ではＸ線から形成さ
れた縮小像が投影される。
【００１４】さらに、キャピラリープレートとして、各
中空細管はその中心軸に対する延長線が所定の一点で集
束するように配置されているテーパーキャピラリープレ
ートを用い、当該所定の一点をＸ線ターゲットの入力側
に配置している場合、当該所定の一点から発生したよう
にＸ線ターゲットに対する所定角度分布で放出されたＸ
線のみが、キャピラリープレートを透過する。そのた
め、Ｘ線ターゲット上に結像された光電子から形成され
たイメージに対し、Ｘ線から形成された拡大像が投影さ
れる。
中空細管はその中心軸に対する延長線が所定の一点で集
束するように配置されているテーパーキャピラリープレ
ートを用い、当該所定の一点をＸ線ターゲットの入力側
に配置している場合、当該所定の一点から発生したよう
にＸ線ターゲットに対する所定角度分布で放出されたＸ
線のみが、キャピラリープレートを透過する。そのた
め、Ｘ線ターゲット上に結像された光電子から形成され
たイメージに対し、Ｘ線から形成された拡大像が投影さ
れる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明に係る実施例の構成および作用
について、図１ないし図３を参照して説明する。なお、
図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重
複する説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明
のものと必ずしも一致していない。
について、図１ないし図３を参照して説明する。なお、
図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重
複する説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明
のものと必ずしも一致していない。
【００１６】図１は、本発明の二次元Ｘ線管に係る一実
施例の構造を示す断面図である。本実施例の二次元Ｘ線
管は、内部を真空に保持している真空容器１と、この真
空容器１の出力窓７上に設置されたキャピラリープレー
ト８とから構成されている。真空容器１の内部は、光を
照射される入力窓２と、入力窓２の内部側に形成されて
光電子を放出する光電面３と、光電面３からの光電子を
集束する電極である電子レンズ４、５と、光電子を投射
されてＸ線を放出するＸ線ターゲット６と、Ｘ線ターゲ
ット６からのＸ線を高効率で透過する出力窓７とから構
成されている。ここで、光電面３は照射される光の波長
に対応する光電面、例えば、可視光電面（Ｓ−２０）か
らなり、陰極として接地されている。また、Ｘ線ターゲ
ット６はＡｕを層厚０．３μｍ程度で出力窓７に蒸着し
て形成され、陽極として所望のＸ線エネルギーに対応す
る電圧１０ｋＶ程度を印加されている。さらに、出力窓
７は、層厚５００μｍ程度でＢｅから形成されている。
このとき、入射窓３上では入射光束１ｌｍに対して数百
μＡの管電流が得られる。
施例の構造を示す断面図である。本実施例の二次元Ｘ線
管は、内部を真空に保持している真空容器１と、この真
空容器１の出力窓７上に設置されたキャピラリープレー
ト８とから構成されている。真空容器１の内部は、光を
照射される入力窓２と、入力窓２の内部側に形成されて
光電子を放出する光電面３と、光電面３からの光電子を
集束する電極である電子レンズ４、５と、光電子を投射
されてＸ線を放出するＸ線ターゲット６と、Ｘ線ターゲ
ット６からのＸ線を高効率で透過する出力窓７とから構
成されている。ここで、光電面３は照射される光の波長
に対応する光電面、例えば、可視光電面（Ｓ−２０）か
らなり、陰極として接地されている。また、Ｘ線ターゲ
ット６はＡｕを層厚０．３μｍ程度で出力窓７に蒸着し
て形成され、陽極として所望のＸ線エネルギーに対応す
る電圧１０ｋＶ程度を印加されている。さらに、出力窓
７は、層厚５００μｍ程度でＢｅから形成されている。
このとき、入射窓３上では入射光束１ｌｍに対して数百
μＡの管電流が得られる。
【００１７】図２は、図１に示す実施例に用いられるキ
ャピラリープレートを示し、（ａ）は第１実施例、
（ｂ）は第２実施例の斜視図である。キャピラリープレ
ート８の第１実施例は、高鉛ガラスからなる直径１００
μｍ程度の中空細管を多数個、平行かつハニカム状に結
束し、加熱して融着させて形成されている。このキャピ
ラリープレート８では、各中空細管はその中心軸が平行
であるように配置されている。
ャピラリープレートを示し、（ａ）は第１実施例、
（ｂ）は第２実施例の斜視図である。キャピラリープレ
ート８の第１実施例は、高鉛ガラスからなる直径１００
μｍ程度の中空細管を多数個、平行かつハニカム状に結
束し、加熱して融着させて形成されている。このキャピ
ラリープレート８では、各中空細管はその中心軸が平行
であるように配置されている。
【００１８】また、キャピラリープレート８の第２実施
例は、キャピラリープレート８の第１実施例を部分的に
溶融しつつ引き伸ばし、中途部分を切断して形成された
テーパーキャピラリープレートである。このキャピラリ
ープレート８では、各中空細管はその中心軸に対する延
長線が所定の一点で集束するように配置されている。
例は、キャピラリープレート８の第１実施例を部分的に
溶融しつつ引き伸ばし、中途部分を切断して形成された
テーパーキャピラリープレートである。このキャピラリ
ープレート８では、各中空細管はその中心軸に対する延
長線が所定の一点で集束するように配置されている。
【００１９】図３は、図１に示す実施例における動作原
理を示し、（ａ）はフラット像、（ｂ）は平行像を投影
する説明図である。上記実施例の構成によれば、図示さ
れていない光源から可視光９が真空容器１の入力窓２に
照射され、可視光９の密度分布に対応して光電面３から
光電子１０が放出される。この光電子１０は電子レンズ
４、５により集束され、Ｘ線ターゲット６に投射され
る。そのため、Ｘ線ターゲット６からＸ線１１が光電子
１０の密度分布に対応して放出され、出力窓７を透過し
て真空管１の外部に放出される。このＸ線１１は、Ｘ線
ターゲット６に対して様々な放出角度を有して放出され
る。この結果、出力窓７上にキャピラリープレート８が
設置されていない場合、図示しない受光器に結像される
Ｘ線１１から形成されるイメージはフラット像、すなわ
ち、コントラストのほとんど無い単調なイメージとして
得られる。
理を示し、（ａ）はフラット像、（ｂ）は平行像を投影
する説明図である。上記実施例の構成によれば、図示さ
れていない光源から可視光９が真空容器１の入力窓２に
照射され、可視光９の密度分布に対応して光電面３から
光電子１０が放出される。この光電子１０は電子レンズ
４、５により集束され、Ｘ線ターゲット６に投射され
る。そのため、Ｘ線ターゲット６からＸ線１１が光電子
１０の密度分布に対応して放出され、出力窓７を透過し
て真空管１の外部に放出される。このＸ線１１は、Ｘ線
ターゲット６に対して様々な放出角度を有して放出され
る。この結果、出力窓７上にキャピラリープレート８が
設置されていない場合、図示しない受光器に結像される
Ｘ線１１から形成されるイメージはフラット像、すなわ
ち、コントラストのほとんど無い単調なイメージとして
得られる。
【００２０】一方、出力窓７上にキャピラリープレート
８の上記第１実施例が設置されている場合、Ｘ線ターゲ
ット６に対する一定角度を有して放出されたＸ線１１の
みが、キャピラリープレート８を透過して投影される。
そのため、対物レンズ１２を通過して光電面３上に結像
された可視光９から形成されたイメージは、Ｘ線ターゲ
ット６上に結像された光電子１０から形成されたイメー
ジに対し、等倍のままでＸ線１１から形成された平行像
として図示しない受光器に結像される。
８の上記第１実施例が設置されている場合、Ｘ線ターゲ
ット６に対する一定角度を有して放出されたＸ線１１の
みが、キャピラリープレート８を透過して投影される。
そのため、対物レンズ１２を通過して光電面３上に結像
された可視光９から形成されたイメージは、Ｘ線ターゲ
ット６上に結像された光電子１０から形成されたイメー
ジに対し、等倍のままでＸ線１１から形成された平行像
として図示しない受光器に結像される。
【００２１】図４は、図１に示す実施例における動作原
理を示し、（ａ）は縮小像、（ｂ）は拡大像を投影する
説明図である。出力窓７上にキャピラリープレート８の
上記第２実施例が、各中空細管の中心軸に対する延長線
が集束する所定の一点を出力窓７の出力側に配置して設
定されている場合、所定の一点に集束するようにＸ線タ
ーゲット６に対する所定角度分布で放出されたＸ線１１
のみが、キャピラリープレート８を透過して投影され
る。そのため、対物レンズ１２を通過して光電面３上に
結像された可視光９から形成されたイメージは、Ｘ線タ
ーゲット６上に結像された光電子１０から形成されたイ
メージに対し、当該所定の一点の近傍ではＸ線１１から
形成された縮小像として図示しない受光器に結像され
る。
理を示し、（ａ）は縮小像、（ｂ）は拡大像を投影する
説明図である。出力窓７上にキャピラリープレート８の
上記第２実施例が、各中空細管の中心軸に対する延長線
が集束する所定の一点を出力窓７の出力側に配置して設
定されている場合、所定の一点に集束するようにＸ線タ
ーゲット６に対する所定角度分布で放出されたＸ線１１
のみが、キャピラリープレート８を透過して投影され
る。そのため、対物レンズ１２を通過して光電面３上に
結像された可視光９から形成されたイメージは、Ｘ線タ
ーゲット６上に結像された光電子１０から形成されたイ
メージに対し、当該所定の一点の近傍ではＸ線１１から
形成された縮小像として図示しない受光器に結像され
る。
【００２２】また、出力窓７上にキャピラリープレート
８の上記第２実施例が、各中空細管の中心軸に対する延
長線が集束する所定の一点を出力窓７の入力側に配置し
て設定されている場合、所定の一点から発生したように
Ｘ線ターゲット６に対する所定角度分布で放出されたＸ
線１１のみが、キャピラリープレート８を透過して投影
される。そのため、対物レンズ１２を通過して光電面３
上に結像された可視光９から形成されたイメージは、Ｘ
線ターゲット６上に結像された光電子１０から形成され
たイメージに対し、Ｘ線１１から形成された拡大像とし
て図示しない受光器に結像される。
８の上記第２実施例が、各中空細管の中心軸に対する延
長線が集束する所定の一点を出力窓７の入力側に配置し
て設定されている場合、所定の一点から発生したように
Ｘ線ターゲット６に対する所定角度分布で放出されたＸ
線１１のみが、キャピラリープレート８を透過して投影
される。そのため、対物レンズ１２を通過して光電面３
上に結像された可視光９から形成されたイメージは、Ｘ
線ターゲット６上に結像された光電子１０から形成され
たイメージに対し、Ｘ線１１から形成された拡大像とし
て図示しない受光器に結像される。
【００２３】従って、上記実施例では、Ｘ線ターゲット
６の出力側である出力窓７上にキャピラリープレート８
を設置することにより、入力窓２を通過して光電面３上
に結像された光学像に対応するＸ線像をキャピラリープ
レート８から投影することができる。また、上記実施例
では、Ｘ線ターゲット６に印加する電圧を変化すること
により、真空管１内の光電面３とＸ線ターゲット６間に
発生する電界が変化する。そのため、Ｘ線ターゲット６
に衝突する光電子１０のエネルギーが対応して変化する
ので、所望のエネルギーを有するＸ線１１をＸ線ターゲ
ット６から放出することができる。
６の出力側である出力窓７上にキャピラリープレート８
を設置することにより、入力窓２を通過して光電面３上
に結像された光学像に対応するＸ線像をキャピラリープ
レート８から投影することができる。また、上記実施例
では、Ｘ線ターゲット６に印加する電圧を変化すること
により、真空管１内の光電面３とＸ線ターゲット６間に
発生する電界が変化する。そのため、Ｘ線ターゲット６
に衝突する光電子１０のエネルギーが対応して変化する
ので、所望のエネルギーを有するＸ線１１をＸ線ターゲ
ット６から放出することができる。
【００２４】本発明は上記実施例に限られるものではな
く、種々の変形が可能である。
く、種々の変形が可能である。
【００２５】例えば、上記実施例では、光電面として可
視光電面（Ｓ−２０）を用いているが、赤外光電面（Ｓ
−１）や紫外光電面（Ｒｂ、Ｔｅ）などを用いることに
より、赤外像や紫外像に対応するＸ線像が得られる。
視光電面（Ｓ−２０）を用いているが、赤外光電面（Ｓ
−１）や紫外光電面（Ｒｂ、Ｔｅ）などを用いることに
より、赤外像や紫外像に対応するＸ線像が得られる。
【００２６】また、上記実施例では、Ｘ線ターゲットの
材質としてＡｕを用いているが、通常のＸ線管に使用さ
れているＸ線ターゲットの材質を用いることができ、例
えば、Ｗ、Ｃｕ等の金属を用いても同様な作用効果が得
られる。
材質としてＡｕを用いているが、通常のＸ線管に使用さ
れているＸ線ターゲットの材質を用いることができ、例
えば、Ｗ、Ｃｕ等の金属を用いても同様な作用効果が得
られる。
【００２７】また、上記実施例では、Ｘ線ターゲットの
層厚を０．３μｍ程度としているが、０．１〜数μｍの
範囲であればよい。
層厚を０．３μｍ程度としているが、０．１〜数μｍの
範囲であればよい。
【００２８】また、上記実施例では、Ｘ線ターゲットに
印加する電圧を１０ｋＶ程度としているが、１０〜数十
ｋＶの範囲であればよい。
印加する電圧を１０ｋＶ程度としているが、１０〜数十
ｋＶの範囲であればよい。
【００２９】また、上記実施例では、出力窓の層厚を５
００μｍ程度としているが、数十〜数百μｍの範囲であ
ればよい。
００μｍ程度としているが、数十〜数百μｍの範囲であ
ればよい。
【００３０】さらに、上記実施例では、キャピラリープ
レート内部の中空細管の直径を１００μｍ程度としてい
るが、１〜数百μｍの範囲であればよい。
レート内部の中空細管の直径を１００μｍ程度としてい
るが、１〜数百μｍの範囲であればよい。
【００３１】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、Ｘ線ターゲットの出力側にキャピラリープレート
が配置されていることにより、結束された中空細管の内
部を通過する放出角度を有するＸ線のみがキャピラリー
プレートを透過する。そのため、光電面に結像された光
学像に対応するＸ線像を容易に撮像することができる。
また、Ｘ線ターゲットに印加する電圧を変化することに
より、光電面とＸ線ターゲット間に発生する電界が変化
する。そのため、Ｘ線ターゲットに衝突する光電子のエ
ネルギーが対応して変化するので、所望のエネルギーを
有するＸ線をＸ線ターゲットから放出することができ
る。
れば、Ｘ線ターゲットの出力側にキャピラリープレート
が配置されていることにより、結束された中空細管の内
部を通過する放出角度を有するＸ線のみがキャピラリー
プレートを透過する。そのため、光電面に結像された光
学像に対応するＸ線像を容易に撮像することができる。
また、Ｘ線ターゲットに印加する電圧を変化することに
より、光電面とＸ線ターゲット間に発生する電界が変化
する。そのため、Ｘ線ターゲットに衝突する光電子のエ
ネルギーが対応して変化するので、所望のエネルギーを
有するＸ線をＸ線ターゲットから放出することができ
る。
【図１】本発明の二次元Ｘ線管に係る一実施例の構造を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】図１に示す実施例に用いられるキャピラリープ
レートを示し、（ａ）は第１実施例、（ｂ）は第２実施
例の斜視図である。
レートを示し、（ａ）は第１実施例、（ｂ）は第２実施
例の斜視図である。
【図３】図１に示す実施例における動作原理を示し、
（ａ）はフラット像、（ｂ）は平行像を投影する説明図
である。
（ａ）はフラット像、（ｂ）は平行像を投影する説明図
である。
【図４】図１に示す実施例における動作原理を示し、
（ａ）は縮小像、（ｂ）は拡大像を投影する説明図であ
る。
（ａ）は縮小像、（ｂ）は拡大像を投影する説明図であ
る。
【図５】従来のＸ線撮像方法における構成を示す説明図
である。
である。
１…真空容器、２…入射窓、３…光電面、４，５…電子
レンズ、６…Ｘ線ターゲット、７…出射窓、８…キャピ
ラリプレート、９…可視光、１０…光電子、１１…Ｘ
線、１２…対物レンズ、２０…Ｘ線源、２１…遮光板、
２２…Ｘ線受光器。
レンズ、６…Ｘ線ターゲット、７…出射窓、８…キャピ
ラリプレート、９…可視光、１０…光電子、１１…Ｘ
線、１２…対物レンズ、２０…Ｘ線源、２１…遮光板、
２２…Ｘ線受光器。
Claims (3)
- 【請求項１】 真空容器と、前記真空容器内に配置さ
れ、照射された光の密度分布に対応して光電子を放出す
る光電面と、前記光電子を集束して所定方向に投射する
電子レンズと、前記真空容器内に配置され、結像された
前記光電子の密度分布に対応してＸ線を放出するＸ線タ
ーゲットと、前記Ｘ線ターゲットの出力側に配置され、
中空細管を多数結束して形成されて該Ｘ線ターゲットに
対して所定角度分布で放出された前記Ｘ線を透過するキ
ャピラリープレートとを備え、前記光電面上に結像され
た前記光から形成されたイメージに対応し、前記Ｘ線か
ら形成されたイメージを投影することを特徴とする二次
元Ｘ線管。 - 【請求項２】 前記キャピラリープレートは、前記中空
細管の中心軸が平行になるように該中空細管を多数結束
して形成されていることを特徴とする請求項１記載の二
次元Ｘ線管。 - 【請求項３】 前記キャピラリープレートは、前記中空
細管の中心軸に対する延長線が所定の一点で集束するよ
うに該中空細管を多数結束して形成されたテーパーキャ
ピラリープレートであることを特徴とする請求項１記載
の二次元Ｘ線管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5060241A JPH06275215A (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 二次元ｘ線管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5060241A JPH06275215A (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 二次元ｘ線管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06275215A true JPH06275215A (ja) | 1994-09-30 |
Family
ID=13136490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5060241A Pending JPH06275215A (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 二次元ｘ線管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06275215A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007080697A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Japan Synchrotron Radiation Research Inst | 光電変換素子及びそれを用いた電子線発生装置 |
| JP2012234842A (ja) * | 2012-09-05 | 2012-11-29 | Yokogawa Electric Corp | Ｘ線管 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5970024U (ja) * | 1982-10-30 | 1984-05-12 | いすゞ自動車株式会社 | リヤエンジンバスのエンジンまわりとエンジン補機部品の冷却装置 |
| JPS61120032U (ja) * | 1985-01-14 | 1986-07-29 |
-
1993
- 1993-03-19 JP JP5060241A patent/JPH06275215A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5970024U (ja) * | 1982-10-30 | 1984-05-12 | いすゞ自動車株式会社 | リヤエンジンバスのエンジンまわりとエンジン補機部品の冷却装置 |
| JPS61120032U (ja) * | 1985-01-14 | 1986-07-29 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007080697A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Japan Synchrotron Radiation Research Inst | 光電変換素子及びそれを用いた電子線発生装置 |
| JP2012234842A (ja) * | 2012-09-05 | 2012-11-29 | Yokogawa Electric Corp | Ｘ線管 |
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