JPH06273386A - 超音波の検出装置 - Google Patents
超音波の検出装置Info
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- JPH06273386A JPH06273386A JP5063578A JP6357893A JPH06273386A JP H06273386 A JPH06273386 A JP H06273386A JP 5063578 A JP5063578 A JP 5063578A JP 6357893 A JP6357893 A JP 6357893A JP H06273386 A JPH06273386 A JP H06273386A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 反射率が小さい粗面の試料でも測定に充
分な光強度をコンパクトに実現できる超音波の検出装置
を提供する。 【構成】 直線偏光のレーザ光を発生するプローブ
レーザ装置と試料との間に、偏光ビームスプリッタ、フ
ァブリペロー干渉計、偏光ビームスプリッタ、位相変調
素子、偏光ビームスプリッタ、１／４波長板をこの順に
配置してレーザ光を照射し、試料からの反射光は位相変
調素子を迂回させ、ファブリペロー干渉計を射出した反
射光を光電素子に入力するようにした超音波の検出装置
である。
分な光強度をコンパクトに実現できる超音波の検出装置
を提供する。 【構成】 直線偏光のレーザ光を発生するプローブ
レーザ装置と試料との間に、偏光ビームスプリッタ、フ
ァブリペロー干渉計、偏光ビームスプリッタ、位相変調
素子、偏光ビームスプリッタ、１／４波長板をこの順に
配置してレーザ光を照射し、試料からの反射光は位相変
調素子を迂回させ、ファブリペロー干渉計を射出した反
射光を光電素子に入力するようにした超音波の検出装置
である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、粗面で且つ反射率の低
い、例えばフェライト磁石のクラック欠陥を非接触で検
出するレーザ超音波探傷法に用いる、超音波の検出装置
に関するものである。
い、例えばフェライト磁石のクラック欠陥を非接触で検
出するレーザ超音波探傷法に用いる、超音波の検出装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ超音波における超音波を受信する
方法として、ホモダイン、ヘテロダイン、及びファブリ
ペロー干渉方式等がある。ファブリペロー干渉方式は、
他の干渉方式に比較して、環境振動の影響を受けにく
い、粗い面でも干渉信号が得られるなどの特徴を持つこ
とが知られている。その詳細については、例えば、Ｊ．
Ｐ．Ｍｏｎｃｈａｌｉｎ 、”Ｏｐｔｉｃａｌ ｄｅｔ
ｅｃｔｉｏｎ ｏｆ ｕｌｔｒａｓｏｕｎｄ ａｔ ａ
ｄｉｓｔａｎｃｅ ｕｓｉｎｇ ａ ｃｏｎｆｏｃａ
ｌ Ｆａｂｒｙ−Ｐｅｒｏｔ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅ
ｔｅｒ”、Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．４７
（１）、１９８５、及び特開平４−１７８５３８号公報
等、に記載がある。
方法として、ホモダイン、ヘテロダイン、及びファブリ
ペロー干渉方式等がある。ファブリペロー干渉方式は、
他の干渉方式に比較して、環境振動の影響を受けにく
い、粗い面でも干渉信号が得られるなどの特徴を持つこ
とが知られている。その詳細については、例えば、Ｊ．
Ｐ．Ｍｏｎｃｈａｌｉｎ 、”Ｏｐｔｉｃａｌ ｄｅｔ
ｅｃｔｉｏｎ ｏｆ ｕｌｔｒａｓｏｕｎｄ ａｔ ａ
ｄｉｓｔａｎｃｅ ｕｓｉｎｇ ａ ｃｏｎｆｏｃａ
ｌ Ｆａｂｒｙ−Ｐｅｒｏｔ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅ
ｔｅｒ”、Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．４７
（１）、１９８５、及び特開平４−１７８５３８号公報
等、に記載がある。
【０００３】第３図は従来のレーザ超音波受信装置を示
すブロック図である。数百ｍＷの高出力で且つスペクト
ル線幅が数ＭＨｚの高い安定性のレーザ光４０を射出す
るレーザ装置４１と光学系４２の２つに大別できる。レ
ーザ光４０は試料４３の表面の超音波振動によりドップ
ラーシフト効果即ち位相変調を受け、反射光となって光
学系４２に戻る。光学系４２では反射光をファブリペロ
ー干渉計４４を通して位相変調量を抽出し、光電素子４
５で電気信号に変換する。なお、電気信号をローパスフ
ィルターで低周波成分を抽出し、該低周波成分は試料の
振動等の環境振動量であり、ファブリペロー干渉計４４
にフィードバック処理することにより試料の振動等の超
音波検出に不要な成分を除去する。そして、電気信号を
バンドパスフィルタ処理したものが超音波振動でドップ
ラーシフトした位相変調量であり、超音波振動量であ
る。
すブロック図である。数百ｍＷの高出力で且つスペクト
ル線幅が数ＭＨｚの高い安定性のレーザ光４０を射出す
るレーザ装置４１と光学系４２の２つに大別できる。レ
ーザ光４０は試料４３の表面の超音波振動によりドップ
ラーシフト効果即ち位相変調を受け、反射光となって光
学系４２に戻る。光学系４２では反射光をファブリペロ
ー干渉計４４を通して位相変調量を抽出し、光電素子４
５で電気信号に変換する。なお、電気信号をローパスフ
ィルターで低周波成分を抽出し、該低周波成分は試料の
振動等の環境振動量であり、ファブリペロー干渉計４４
にフィードバック処理することにより試料の振動等の超
音波検出に不要な成分を除去する。そして、電気信号を
バンドパスフィルタ処理したものが超音波振動でドップ
ラーシフトした位相変調量であり、超音波振動量であ
る。
【０００４】しかしながら、上記の従来技術では、金属
等の反射率の良い試料であっても、レーザ装置（以下プ
ローブレーザ装置）のレーザ光（以下、プローブレーザ
光）が高出力、高安定なものに限られるため、一般に
は、水冷アルゴンレーザ等の大がかりな装置が使用され
ている場合が多い。プローブレーザ装置が数ｍＷ程度の
Ｈｅ−Ｎｅ装置であれば超音波を受信する光学系（以
下、検出光学系）にバランス良く組込み可能であるが、
水冷アルゴンレーザでは別設置で構成しなくてはならな
い。加えて、フェライト磁石は表面が黒色、研削傷など
がある粗面であるため、光電素子に入射する光量は極め
て少なくなるため、従来のプローブレーザ装置でも光量
不足になり、プローブレーザ装置の出力を更に大きくす
る必要がある。プローブレーザ装置のスペクトル線幅を
干渉計のスペクトル線幅に比してあまり大きくできない
制約もある。従って、装置が大がかりになる問題点があ
った。
等の反射率の良い試料であっても、レーザ装置（以下プ
ローブレーザ装置）のレーザ光（以下、プローブレーザ
光）が高出力、高安定なものに限られるため、一般に
は、水冷アルゴンレーザ等の大がかりな装置が使用され
ている場合が多い。プローブレーザ装置が数ｍＷ程度の
Ｈｅ−Ｎｅ装置であれば超音波を受信する光学系（以
下、検出光学系）にバランス良く組込み可能であるが、
水冷アルゴンレーザでは別設置で構成しなくてはならな
い。加えて、フェライト磁石は表面が黒色、研削傷など
がある粗面であるため、光電素子に入射する光量は極め
て少なくなるため、従来のプローブレーザ装置でも光量
不足になり、プローブレーザ装置の出力を更に大きくす
る必要がある。プローブレーザ装置のスペクトル線幅を
干渉計のスペクトル線幅に比してあまり大きくできない
制約もある。従って、装置が大がかりになる問題点があ
った。
【０００５】一方、近年、半導体レーザの進歩は顕著
で、数Ｗクラスの極めて大容量のしかも非常にコンパク
トなレーザが入手可能になってきている。検出光学系へ
の組み込みが容易になる可能性もでてきた。しかしなが
ら、そのスペクトル線幅は、干渉計のスペクトル線幅に
比して大きいため、干渉計の感度が低下する問題点があ
る。共焦点ファブリペロー干渉計を用いればスペクトル
線幅を更に小さくすることができるが、この干渉計は単
体でも５０ｃｍ強の大きさを持っており、半導体レーザ
を用いたコンパクト化のメリットが無くなる問題点があ
った。更に、プローブレーザ装置のスペクトル分布とフ
ァブリペロー干渉計のスペクトル分布との間の関係を詳
細に検討することにより、両者間には密接な関係があ
り、且つ、最適な関係があることを本出願人は見いだし
た。従来の方法では、上記問題のため、プローブレーザ
装置と干渉計の各々のスペクトル線の特性（線幅並びに
分布形状）を各々別々の装置で達成している。従って、
スペクトル線の特性を最適な状態に制御することが困難
で、従って、本来有している最大の性能を引き出す事が
できない等の問題もあった。本発明は、上記した従来技
術の実状に鑑みてなされたもので、反射率が小さい粗面
の試料でも測定に充分な光強度を容易な構成でコンパク
トに実現でき、且つ、レーザ装置のスペクトル分布を干
渉系のスペクトル分布に合致して試料に照射すること
で、感度の良い超音波受信方法、及びその装置を提供す
ることにある。
で、数Ｗクラスの極めて大容量のしかも非常にコンパク
トなレーザが入手可能になってきている。検出光学系へ
の組み込みが容易になる可能性もでてきた。しかしなが
ら、そのスペクトル線幅は、干渉計のスペクトル線幅に
比して大きいため、干渉計の感度が低下する問題点があ
る。共焦点ファブリペロー干渉計を用いればスペクトル
線幅を更に小さくすることができるが、この干渉計は単
体でも５０ｃｍ強の大きさを持っており、半導体レーザ
を用いたコンパクト化のメリットが無くなる問題点があ
った。更に、プローブレーザ装置のスペクトル分布とフ
ァブリペロー干渉計のスペクトル分布との間の関係を詳
細に検討することにより、両者間には密接な関係があ
り、且つ、最適な関係があることを本出願人は見いだし
た。従来の方法では、上記問題のため、プローブレーザ
装置と干渉計の各々のスペクトル線の特性（線幅並びに
分布形状）を各々別々の装置で達成している。従って、
スペクトル線の特性を最適な状態に制御することが困難
で、従って、本来有している最大の性能を引き出す事が
できない等の問題もあった。本発明は、上記した従来技
術の実状に鑑みてなされたもので、反射率が小さい粗面
の試料でも測定に充分な光強度を容易な構成でコンパク
トに実現でき、且つ、レーザ装置のスペクトル分布を干
渉系のスペクトル分布に合致して試料に照射すること
で、感度の良い超音波受信方法、及びその装置を提供す
ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、直線偏光のレ
ーザ光を発生するプローブレーザ装置と資料との間に、
偏光ビームスプリッタ、ファブリペロー干渉計、偏光ビ
ームスプリッタ、位相変調素子、偏光ビームスプリッ
タ、１／４波長板をこの順に配置してレーザ光を照射
し、試料からの反射光は位相変調素子を迂回させ、ファ
ブリペロー干渉計を射出した反射光を光電素子に入力す
るようにした超音波の検出装置である。
ーザ光を発生するプローブレーザ装置と資料との間に、
偏光ビームスプリッタ、ファブリペロー干渉計、偏光ビ
ームスプリッタ、位相変調素子、偏光ビームスプリッ
タ、１／４波長板をこの順に配置してレーザ光を照射
し、試料からの反射光は位相変調素子を迂回させ、ファ
ブリペロー干渉計を射出した反射光を光電素子に入力す
るようにした超音波の検出装置である。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。第１図は本発明による超音波受信装置
の一実施例を示すブロック図である。本発明では、超音
波を発生させる装置は図示していないが、レーザ照射に
よる超音波発生装置でもよいし、探触子による超音波発
生装置でもよい。プローブレーザ光照射用に、垂直直線
偏波のプローブレーザ装置１、偏光ビームスプリッター
Ａ 、ファブリペロー干渉計２、偏光ビームスプリッタ
Ｄ，位相変調素子３、偏光ビームスプリッタＥ、１／４
波長板４を順次配置する。試料表面の反射光は、結像レ
ンズを通り、１／４波長板４、偏光ビームスプリッタ
Ｅ，ミラー１６、偏光ビームスプリッタＤ、ファブリペ
ロー干渉計２、偏光ビームスプリッターＡの順となるよ
う配置し、偏光ビームスプリッターＡに直行する位置に
光電素子５を配置する。光電素子５は、ローパスフィル
ター６を介して、干渉計制御回路７に接続しているとと
もに、バンドパスフィルター８を介して、例えばオシロ
スコープ９等に接続している。
ながら説明する。第１図は本発明による超音波受信装置
の一実施例を示すブロック図である。本発明では、超音
波を発生させる装置は図示していないが、レーザ照射に
よる超音波発生装置でもよいし、探触子による超音波発
生装置でもよい。プローブレーザ光照射用に、垂直直線
偏波のプローブレーザ装置１、偏光ビームスプリッター
Ａ 、ファブリペロー干渉計２、偏光ビームスプリッタ
Ｄ，位相変調素子３、偏光ビームスプリッタＥ、１／４
波長板４を順次配置する。試料表面の反射光は、結像レ
ンズを通り、１／４波長板４、偏光ビームスプリッタ
Ｅ，ミラー１６、偏光ビームスプリッタＤ、ファブリペ
ロー干渉計２、偏光ビームスプリッターＡの順となるよ
う配置し、偏光ビームスプリッターＡに直行する位置に
光電素子５を配置する。光電素子５は、ローパスフィル
ター６を介して、干渉計制御回路７に接続しているとと
もに、バンドパスフィルター８を介して、例えばオシロ
スコープ９等に接続している。
【０００８】次に、本発明の作用について説明する。ま
ず、レーザ光の照射は次ぎのようにして行う。プローブ
レーザ装置１から射出した垂直直線偏波１０は、偏光ビ
ームスプリッターＡの偏波面と合致しているので反射現
象は発生しないでそのまま透過し、ファブリペロー干渉
計２の一方の側Ｂに入射する。ファブリペロー干渉計２
は繰り返し反射干渉により光のバンドパスフィルターの
働きを行い、垂直直線偏波１０をファブリペロー干渉計
２のスペクトル線幅と等しいスペクトル線幅の垂直直線
偏波１１に変換する。垂直直線偏波１１は偏光ビームス
プリッタＤを透過し、位相変調素子３に入射される。位
相変調素子３は垂直直線偏波１１をファブリペロー干渉
計２の半値幅のおよそ半分強（以下、検出幅ΔＦ）ほど
光周波数を位相変調した垂直直線偏波変調光１２にす
る。次に、１／４波長板４により垂直直線偏波変調光１
２は円偏波変調光に変換され、試料表面に照射される。
試料表面に超音波振動１３があれば、プローブレーザ光
はドップラーシフト効果により、さらに周波数ｄｆほど
変調をうける。結果としてΔＦ＋ｄｆほど光周波数が変
化した円偏波変調反射光１４となる。超音波振動１３が
無い場合にはドップラーシフト効果は発生しないで、Δ
Ｆだけ変調を受けた光が円偏波変調反射光１４となる。
ず、レーザ光の照射は次ぎのようにして行う。プローブ
レーザ装置１から射出した垂直直線偏波１０は、偏光ビ
ームスプリッターＡの偏波面と合致しているので反射現
象は発生しないでそのまま透過し、ファブリペロー干渉
計２の一方の側Ｂに入射する。ファブリペロー干渉計２
は繰り返し反射干渉により光のバンドパスフィルターの
働きを行い、垂直直線偏波１０をファブリペロー干渉計
２のスペクトル線幅と等しいスペクトル線幅の垂直直線
偏波１１に変換する。垂直直線偏波１１は偏光ビームス
プリッタＤを透過し、位相変調素子３に入射される。位
相変調素子３は垂直直線偏波１１をファブリペロー干渉
計２の半値幅のおよそ半分強（以下、検出幅ΔＦ）ほど
光周波数を位相変調した垂直直線偏波変調光１２にす
る。次に、１／４波長板４により垂直直線偏波変調光１
２は円偏波変調光に変換され、試料表面に照射される。
試料表面に超音波振動１３があれば、プローブレーザ光
はドップラーシフト効果により、さらに周波数ｄｆほど
変調をうける。結果としてΔＦ＋ｄｆほど光周波数が変
化した円偏波変調反射光１４となる。超音波振動１３が
無い場合にはドップラーシフト効果は発生しないで、Δ
Ｆだけ変調を受けた光が円偏波変調反射光１４となる。
【０００９】次に、円偏波変調反射光１４の戻り方を説
明する。円偏波変調反射光１４は、今来た逆の光路をた
どる。まず、レンズで集光されて１／４波長板４に到達
し、円偏波変調反射光１４は平行直線偏波変調反射光１
５に変換される。平行直線偏波変調反射光１５は偏光ビ
ームスプリッタＥで反射され、ミラー１６を通り、偏光
ビームスプリッタＤに再びもどる。そして、ファブリペ
ロ干渉計２に今度は側Ｃから入射する。ファブリペロー
干渉計２は光のバンドパスフィルターの働きを行うが、
平行直線偏波変調反射光１４は垂直直線偏波１０の比
べ、超音波振動１３による変調を受けた場合はΔＦ＋ｄ
ｆに相当する量だけ位相変調しており、また、超音波振
動がなかった場合はΔＦに相当する量だけ位相変調され
ている。従って、ファブリペロー干渉計２の出力特性の
リニアな部分で平行直線偏波検出光１７を得ることがで
きる。この時に、平行直線偏波変調反射波１４のスペク
トル特性とファブリペロー干渉計２のスペクトル特性が
一致していれば、ｄｆによるわずかな差を最大の感度で
検出できるのである。
明する。円偏波変調反射光１４は、今来た逆の光路をた
どる。まず、レンズで集光されて１／４波長板４に到達
し、円偏波変調反射光１４は平行直線偏波変調反射光１
５に変換される。平行直線偏波変調反射光１５は偏光ビ
ームスプリッタＥで反射され、ミラー１６を通り、偏光
ビームスプリッタＤに再びもどる。そして、ファブリペ
ロ干渉計２に今度は側Ｃから入射する。ファブリペロー
干渉計２は光のバンドパスフィルターの働きを行うが、
平行直線偏波変調反射光１４は垂直直線偏波１０の比
べ、超音波振動１３による変調を受けた場合はΔＦ＋ｄ
ｆに相当する量だけ位相変調しており、また、超音波振
動がなかった場合はΔＦに相当する量だけ位相変調され
ている。従って、ファブリペロー干渉計２の出力特性の
リニアな部分で平行直線偏波検出光１７を得ることがで
きる。この時に、平行直線偏波変調反射波１４のスペク
トル特性とファブリペロー干渉計２のスペクトル特性が
一致していれば、ｄｆによるわずかな差を最大の感度で
検出できるのである。
【００１０】平行直線偏波検出光１７は偏光ビームスプ
リッタＡで、今度は反射され、光電素子５に導かれる。
光電素子５の出力信号を用いて、ひとつはローパスフィ
ルター６を経由して低周波信号１８を抽出し、ファブリ
ペロー干渉計２のスペクトル分布中心周波数が常に垂直
直線偏波１０のスペクトル分布中心周波数と一致するよ
う、即ち垂直直線偏波１０の透過が最大になるようフィ
ードバック制御する。なお、光電素子５に入射する平行
直線偏波検出光１７はΔＦほど変調をうけているので、
その分を補正して制御する。ふたつ目は、光電素子５の
出力信号をバンドパスフィルタ８を通しｄｆによる透過
光強度の差を超音波信号１９としてオシロスコープ９等
で観察する。
リッタＡで、今度は反射され、光電素子５に導かれる。
光電素子５の出力信号を用いて、ひとつはローパスフィ
ルター６を経由して低周波信号１８を抽出し、ファブリ
ペロー干渉計２のスペクトル分布中心周波数が常に垂直
直線偏波１０のスペクトル分布中心周波数と一致するよ
う、即ち垂直直線偏波１０の透過が最大になるようフィ
ードバック制御する。なお、光電素子５に入射する平行
直線偏波検出光１７はΔＦほど変調をうけているので、
その分を補正して制御する。ふたつ目は、光電素子５の
出力信号をバンドパスフィルタ８を通しｄｆによる透過
光強度の差を超音波信号１９としてオシロスコープ９等
で観察する。
【００１１】次に、プローブレーザ装置１のスペクトル
線幅とファブリペロー干渉計２のスペクトル線幅の関係
を図２を用いて説明する。図２（ａ）は、ファブリペロ
ー干渉計２の光バンドパスフィルターとしての効果を表
している。一例として、プローブレーザ装置１は４ＭＨ
ｚのスペクトル線幅で、ファブリペロー干渉計２のスペ
クトル線幅は１．２ＭＨｚである。各々のスペクトル分
布中心周波数にずれがあった時にファブリペロー干渉計
２を通過した光のスペクトル分布がどう変化するかを計
算した結果である。なお、計算は簡単化のため、スペク
トル分布の形状を中心周波数で強度がピークの三角形の
形状であるとして行った。３０がプローブレーザ装置１
のスペクトル分布であり、３１がファブリペロー干渉計
２のスペクトル分布である。３２は光周波数０．５ＭＨ
ｚほど中心周波数がずれた場合を、３３は光周波数１Ｍ
Ｈｚほど中心周波数がずれた場合を示す。３２、３３の
面積がファブリペロー干渉計を通過する光量となる。
線幅とファブリペロー干渉計２のスペクトル線幅の関係
を図２を用いて説明する。図２（ａ）は、ファブリペロ
ー干渉計２の光バンドパスフィルターとしての効果を表
している。一例として、プローブレーザ装置１は４ＭＨ
ｚのスペクトル線幅で、ファブリペロー干渉計２のスペ
クトル線幅は１．２ＭＨｚである。各々のスペクトル分
布中心周波数にずれがあった時にファブリペロー干渉計
２を通過した光のスペクトル分布がどう変化するかを計
算した結果である。なお、計算は簡単化のため、スペク
トル分布の形状を中心周波数で強度がピークの三角形の
形状であるとして行った。３０がプローブレーザ装置１
のスペクトル分布であり、３１がファブリペロー干渉計
２のスペクトル分布である。３２は光周波数０．５ＭＨ
ｚほど中心周波数がずれた場合を、３３は光周波数１Ｍ
Ｈｚほど中心周波数がずれた場合を示す。３２、３３の
面積がファブリペロー干渉計を通過する光量となる。
【００１２】図２（ｂ）は中心周波数のずれ量を横軸
に、縦軸は干渉計２を通過する光の強度とした関係を示
したものである。なお、プローブレーザ装置１のスペク
トル線幅が４ＭＨｚ（曲線３４）の時で、且つ、中心周
波数が一致した時の干渉形透過光強度を基準に表してい
る。さらに、一例としてレーザ装置１のスペクトル線幅
が１．２ＭＨｚ（曲線３５）の場合のΔＦの量を同図に
示す。点ｄが超音波振動を検出するときの作動点とな
る。従って、作動点での傾きが大きいほど感度は高くな
る。同図より、レーザ装置１のスペクトル線幅が４ＭＨ
ｚの場合の傾きは１．２ＭＨｚの場合よりも小さくな
り、また、レーザ装置１のスペクトル線幅が０．５ＭＨ
ｚ（曲線３６）の場合でも傾きは１．２ＭＨｚの場合よ
りも小さくなることがわかる。なお、曲線３７はスペク
トル線幅が２Ｍｚの場合を示す。
に、縦軸は干渉計２を通過する光の強度とした関係を示
したものである。なお、プローブレーザ装置１のスペク
トル線幅が４ＭＨｚ（曲線３４）の時で、且つ、中心周
波数が一致した時の干渉形透過光強度を基準に表してい
る。さらに、一例としてレーザ装置１のスペクトル線幅
が１．２ＭＨｚ（曲線３５）の場合のΔＦの量を同図に
示す。点ｄが超音波振動を検出するときの作動点とな
る。従って、作動点での傾きが大きいほど感度は高くな
る。同図より、レーザ装置１のスペクトル線幅が４ＭＨ
ｚの場合の傾きは１．２ＭＨｚの場合よりも小さくな
り、また、レーザ装置１のスペクトル線幅が０．５ＭＨ
ｚ（曲線３６）の場合でも傾きは１．２ＭＨｚの場合よ
りも小さくなることがわかる。なお、曲線３７はスペク
トル線幅が２Ｍｚの場合を示す。
【００１３】図２（ｃ）は横軸にレーザ装置のスペクト
ル線幅を、縦軸は（ｂ）で求めた作動点ｄでの傾きを表
したものである。これより、傾きはレーザ装置１のスペ
クトル線幅と干渉計２のスペクトル線幅とが一致した場
合が最大で、従って、感度も最大となることがわかる。
ル線幅を、縦軸は（ｂ）で求めた作動点ｄでの傾きを表
したものである。これより、傾きはレーザ装置１のスペ
クトル線幅と干渉計２のスペクトル線幅とが一致した場
合が最大で、従って、感度も最大となることがわかる。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、次の効果がある。 １）ファブリペロー干渉計は５０ｃｍ相当で大きい。本
発明では、ファブリペロー干渉計を共用しているので、
装置がコンパクトにでき、且つ、装置の信頼性が向上す
る。 ２）レーザ装置のスペクトル線幅と干渉計のスペクトル
線幅が一致しやすいので、高感度の装置が得られる。
発明では、ファブリペロー干渉計を共用しているので、
装置がコンパクトにでき、且つ、装置の信頼性が向上す
る。 ２）レーザ装置のスペクトル線幅と干渉計のスペクトル
線幅が一致しやすいので、高感度の装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施するための機器構成を示す図
【図２】本発明の効果を説明するための計算結果
【図３】従来の超音波検出装置の機器構成を示す図
１ プローブレーザ装置 ２ ファブリペロー干渉計 ３ 位相変調素子 ４ １／４偏光板 ５ 光電素子 ６ ローパスフィルタ ７ 干渉計制御回路 ８ バンドパスフィルタ Ａ 偏光ビームスプリッタ Ｂ ファブリペロー干渉計入射・射出側 Ｃ ファブリペロー干渉計入射・射出側 Ｄ 偏光ビームスプリッタ Ｅ 偏光ビームスプリッタ
Claims (1)
- 【請求項１】 直線偏光のレーザ光を発生するプロー
ブレーザ装置と資料との間に、偏光ビームスプリッタ、
ファブリペロー干渉計、偏光ビームスプリッタ、位相変
調素子、偏光ビームスプリッタ、１／４波長板をこの順
に配置して前記レーザ光を資料に照射し、前記資料から
の反射光は前記位相変調素子を迂回させ、前記ファブリ
ペロー干渉計を射出した前記反射光を光電素子に入力す
るようにしたことを特徴とする超音波の検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5063578A JPH06273386A (ja) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | 超音波の検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5063578A JPH06273386A (ja) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | 超音波の検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06273386A true JPH06273386A (ja) | 1994-09-30 |
Family
ID=13233288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5063578A Pending JPH06273386A (ja) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | 超音波の検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06273386A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101220602B1 (ko) * | 2010-12-28 | 2013-01-10 | 니뽄스틸코포레이션 | 초음파 측정 장치 및 초음파 측정 방법 |
| CN111289085A (zh) * | 2020-02-11 | 2020-06-16 | 中国科学院电子学研究所 | 麦克风振膜振幅测量方法及其装置 |
| JP2020148587A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 沖電気工業株式会社 | 光コヒーレントセンサ |
-
1993
- 1993-03-23 JP JP5063578A patent/JPH06273386A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101220602B1 (ko) * | 2010-12-28 | 2013-01-10 | 니뽄스틸코포레이션 | 초음파 측정 장치 및 초음파 측정 방법 |
| JP2020148587A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 沖電気工業株式会社 | 光コヒーレントセンサ |
| CN111289085A (zh) * | 2020-02-11 | 2020-06-16 | 中国科学院电子学研究所 | 麦克风振膜振幅测量方法及其装置 |
| CN111289085B (zh) * | 2020-02-11 | 2021-06-08 | 中国科学院电子学研究所 | 麦克风振膜振幅测量方法及其装置 |
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