JPH06273386A - 超音波の検出装置 - Google Patents
超音波の検出装置Info
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- JPH06273386A JPH06273386A JP5063578A JP6357893A JPH06273386A JP H06273386 A JPH06273386 A JP H06273386A JP 5063578 A JP5063578 A JP 5063578A JP 6357893 A JP6357893 A JP 6357893A JP H06273386 A JPH06273386 A JP H06273386A
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- Japan
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- fabry
- beam splitter
- light
- polarization beam
- perot interferometer
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 反射率が小さい粗面の試料でも測定に充
分な光強度をコンパクトに実現できる超音波の検出装置
を提供する。 【構成】 直線偏光のレーザ光を発生するプローブ
レーザ装置と試料との間に、偏光ビームスプリッタ、フ
ァブリペロー干渉計、偏光ビームスプリッタ、位相変調
素子、偏光ビームスプリッタ、1/4波長板をこの順に
配置してレーザ光を照射し、試料からの反射光は位相変
調素子を迂回させ、ファブリペロー干渉計を射出した反
射光を光電素子に入力するようにした超音波の検出装置
である。
分な光強度をコンパクトに実現できる超音波の検出装置
を提供する。 【構成】 直線偏光のレーザ光を発生するプローブ
レーザ装置と試料との間に、偏光ビームスプリッタ、フ
ァブリペロー干渉計、偏光ビームスプリッタ、位相変調
素子、偏光ビームスプリッタ、1/4波長板をこの順に
配置してレーザ光を照射し、試料からの反射光は位相変
調素子を迂回させ、ファブリペロー干渉計を射出した反
射光を光電素子に入力するようにした超音波の検出装置
である。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、粗面で且つ反射率の低
い、例えばフェライト磁石のクラック欠陥を非接触で検
出するレーザ超音波探傷法に用いる、超音波の検出装置
に関するものである。
い、例えばフェライト磁石のクラック欠陥を非接触で検
出するレーザ超音波探傷法に用いる、超音波の検出装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】レーザ超音波における超音波を受信する
方法として、ホモダイン、ヘテロダイン、及びファブリ
ペロー干渉方式等がある。ファブリペロー干渉方式は、
他の干渉方式に比較して、環境振動の影響を受けにく
い、粗い面でも干渉信号が得られるなどの特徴を持つこ
とが知られている。その詳細については、例えば、J.
P.Monchalin 、”Optical det
ection of ultrasound at a
distance using a confoca
l Fabry−Perot Interferome
ter”、Appl.Phys.Lett.47
(1)、1985、及び特開平4−178538号公報
等、に記載がある。
方法として、ホモダイン、ヘテロダイン、及びファブリ
ペロー干渉方式等がある。ファブリペロー干渉方式は、
他の干渉方式に比較して、環境振動の影響を受けにく
い、粗い面でも干渉信号が得られるなどの特徴を持つこ
とが知られている。その詳細については、例えば、J.
P.Monchalin 、”Optical det
ection of ultrasound at a
distance using a confoca
l Fabry−Perot Interferome
ter”、Appl.Phys.Lett.47
(1)、1985、及び特開平4−178538号公報
等、に記載がある。
【0003】第3図は従来のレーザ超音波受信装置を示
すブロック図である。数百mWの高出力で且つスペクト
ル線幅が数MHzの高い安定性のレーザ光40を射出す
るレーザ装置41と光学系42の2つに大別できる。レ
ーザ光40は試料43の表面の超音波振動によりドップ
ラーシフト効果即ち位相変調を受け、反射光となって光
学系42に戻る。光学系42では反射光をファブリペロ
ー干渉計44を通して位相変調量を抽出し、光電素子4
5で電気信号に変換する。なお、電気信号をローパスフ
ィルターで低周波成分を抽出し、該低周波成分は試料の
振動等の環境振動量であり、ファブリペロー干渉計44
にフィードバック処理することにより試料の振動等の超
音波検出に不要な成分を除去する。そして、電気信号を
バンドパスフィルタ処理したものが超音波振動でドップ
ラーシフトした位相変調量であり、超音波振動量であ
る。
すブロック図である。数百mWの高出力で且つスペクト
ル線幅が数MHzの高い安定性のレーザ光40を射出す
るレーザ装置41と光学系42の2つに大別できる。レ
ーザ光40は試料43の表面の超音波振動によりドップ
ラーシフト効果即ち位相変調を受け、反射光となって光
学系42に戻る。光学系42では反射光をファブリペロ
ー干渉計44を通して位相変調量を抽出し、光電素子4
5で電気信号に変換する。なお、電気信号をローパスフ
ィルターで低周波成分を抽出し、該低周波成分は試料の
振動等の環境振動量であり、ファブリペロー干渉計44
にフィードバック処理することにより試料の振動等の超
音波検出に不要な成分を除去する。そして、電気信号を
バンドパスフィルタ処理したものが超音波振動でドップ
ラーシフトした位相変調量であり、超音波振動量であ
る。
【0004】しかしながら、上記の従来技術では、金属
等の反射率の良い試料であっても、レーザ装置(以下プ
ローブレーザ装置)のレーザ光(以下、プローブレーザ
光)が高出力、高安定なものに限られるため、一般に
は、水冷アルゴンレーザ等の大がかりな装置が使用され
ている場合が多い。プローブレーザ装置が数mW程度の
He−Ne装置であれば超音波を受信する光学系(以
下、検出光学系)にバランス良く組込み可能であるが、
水冷アルゴンレーザでは別設置で構成しなくてはならな
い。加えて、フェライト磁石は表面が黒色、研削傷など
がある粗面であるため、光電素子に入射する光量は極め
て少なくなるため、従来のプローブレーザ装置でも光量
不足になり、プローブレーザ装置の出力を更に大きくす
る必要がある。プローブレーザ装置のスペクトル線幅を
干渉計のスペクトル線幅に比してあまり大きくできない
制約もある。従って、装置が大がかりになる問題点があ
った。
等の反射率の良い試料であっても、レーザ装置(以下プ
ローブレーザ装置)のレーザ光(以下、プローブレーザ
光)が高出力、高安定なものに限られるため、一般に
は、水冷アルゴンレーザ等の大がかりな装置が使用され
ている場合が多い。プローブレーザ装置が数mW程度の
He−Ne装置であれば超音波を受信する光学系(以
下、検出光学系)にバランス良く組込み可能であるが、
水冷アルゴンレーザでは別設置で構成しなくてはならな
い。加えて、フェライト磁石は表面が黒色、研削傷など
がある粗面であるため、光電素子に入射する光量は極め
て少なくなるため、従来のプローブレーザ装置でも光量
不足になり、プローブレーザ装置の出力を更に大きくす
る必要がある。プローブレーザ装置のスペクトル線幅を
干渉計のスペクトル線幅に比してあまり大きくできない
制約もある。従って、装置が大がかりになる問題点があ
った。
【0005】一方、近年、半導体レーザの進歩は顕著
で、数Wクラスの極めて大容量のしかも非常にコンパク
トなレーザが入手可能になってきている。検出光学系へ
の組み込みが容易になる可能性もでてきた。しかしなが
ら、そのスペクトル線幅は、干渉計のスペクトル線幅に
比して大きいため、干渉計の感度が低下する問題点があ
る。共焦点ファブリペロー干渉計を用いればスペクトル
線幅を更に小さくすることができるが、この干渉計は単
体でも50cm強の大きさを持っており、半導体レーザ
を用いたコンパクト化のメリットが無くなる問題点があ
った。更に、プローブレーザ装置のスペクトル分布とフ
ァブリペロー干渉計のスペクトル分布との間の関係を詳
細に検討することにより、両者間には密接な関係があ
り、且つ、最適な関係があることを本出願人は見いだし
た。従来の方法では、上記問題のため、プローブレーザ
装置と干渉計の各々のスペクトル線の特性(線幅並びに
分布形状)を各々別々の装置で達成している。従って、
スペクトル線の特性を最適な状態に制御することが困難
で、従って、本来有している最大の性能を引き出す事が
できない等の問題もあった。本発明は、上記した従来技
術の実状に鑑みてなされたもので、反射率が小さい粗面
の試料でも測定に充分な光強度を容易な構成でコンパク
トに実現でき、且つ、レーザ装置のスペクトル分布を干
渉系のスペクトル分布に合致して試料に照射すること
で、感度の良い超音波受信方法、及びその装置を提供す
ることにある。
で、数Wクラスの極めて大容量のしかも非常にコンパク
トなレーザが入手可能になってきている。検出光学系へ
の組み込みが容易になる可能性もでてきた。しかしなが
ら、そのスペクトル線幅は、干渉計のスペクトル線幅に
比して大きいため、干渉計の感度が低下する問題点があ
る。共焦点ファブリペロー干渉計を用いればスペクトル
線幅を更に小さくすることができるが、この干渉計は単
体でも50cm強の大きさを持っており、半導体レーザ
を用いたコンパクト化のメリットが無くなる問題点があ
った。更に、プローブレーザ装置のスペクトル分布とフ
ァブリペロー干渉計のスペクトル分布との間の関係を詳
細に検討することにより、両者間には密接な関係があ
り、且つ、最適な関係があることを本出願人は見いだし
た。従来の方法では、上記問題のため、プローブレーザ
装置と干渉計の各々のスペクトル線の特性(線幅並びに
分布形状)を各々別々の装置で達成している。従って、
スペクトル線の特性を最適な状態に制御することが困難
で、従って、本来有している最大の性能を引き出す事が
できない等の問題もあった。本発明は、上記した従来技
術の実状に鑑みてなされたもので、反射率が小さい粗面
の試料でも測定に充分な光強度を容易な構成でコンパク
トに実現でき、且つ、レーザ装置のスペクトル分布を干
渉系のスペクトル分布に合致して試料に照射すること
で、感度の良い超音波受信方法、及びその装置を提供す
ることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、直線偏光のレ
ーザ光を発生するプローブレーザ装置と資料との間に、
偏光ビームスプリッタ、ファブリペロー干渉計、偏光ビ
ームスプリッタ、位相変調素子、偏光ビームスプリッ
タ、1/4波長板をこの順に配置してレーザ光を照射
し、試料からの反射光は位相変調素子を迂回させ、ファ
ブリペロー干渉計を射出した反射光を光電素子に入力す
るようにした超音波の検出装置である。
ーザ光を発生するプローブレーザ装置と資料との間に、
偏光ビームスプリッタ、ファブリペロー干渉計、偏光ビ
ームスプリッタ、位相変調素子、偏光ビームスプリッ
タ、1/4波長板をこの順に配置してレーザ光を照射
し、試料からの反射光は位相変調素子を迂回させ、ファ
ブリペロー干渉計を射出した反射光を光電素子に入力す
るようにした超音波の検出装置である。
【0007】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。第1図は本発明による超音波受信装置
の一実施例を示すブロック図である。本発明では、超音
波を発生させる装置は図示していないが、レーザ照射に
よる超音波発生装置でもよいし、探触子による超音波発
生装置でもよい。プローブレーザ光照射用に、垂直直線
偏波のプローブレーザ装置1、偏光ビームスプリッター
A 、ファブリペロー干渉計2、偏光ビームスプリッタ
D,位相変調素子3、偏光ビームスプリッタE、1/4
波長板4を順次配置する。試料表面の反射光は、結像レ
ンズを通り、1/4波長板4、偏光ビームスプリッタ
E,ミラー16、偏光ビームスプリッタD、ファブリペ
ロー干渉計2、偏光ビームスプリッターAの順となるよ
う配置し、偏光ビームスプリッターAに直行する位置に
光電素子5を配置する。光電素子5は、ローパスフィル
ター6を介して、干渉計制御回路7に接続しているとと
もに、バンドパスフィルター8を介して、例えばオシロ
スコープ9等に接続している。
ながら説明する。第1図は本発明による超音波受信装置
の一実施例を示すブロック図である。本発明では、超音
波を発生させる装置は図示していないが、レーザ照射に
よる超音波発生装置でもよいし、探触子による超音波発
生装置でもよい。プローブレーザ光照射用に、垂直直線
偏波のプローブレーザ装置1、偏光ビームスプリッター
A 、ファブリペロー干渉計2、偏光ビームスプリッタ
D,位相変調素子3、偏光ビームスプリッタE、1/4
波長板4を順次配置する。試料表面の反射光は、結像レ
ンズを通り、1/4波長板4、偏光ビームスプリッタ
E,ミラー16、偏光ビームスプリッタD、ファブリペ
ロー干渉計2、偏光ビームスプリッターAの順となるよ
う配置し、偏光ビームスプリッターAに直行する位置に
光電素子5を配置する。光電素子5は、ローパスフィル
ター6を介して、干渉計制御回路7に接続しているとと
もに、バンドパスフィルター8を介して、例えばオシロ
スコープ9等に接続している。
【0008】次に、本発明の作用について説明する。ま
ず、レーザ光の照射は次ぎのようにして行う。プローブ
レーザ装置1から射出した垂直直線偏波10は、偏光ビ
ームスプリッターAの偏波面と合致しているので反射現
象は発生しないでそのまま透過し、ファブリペロー干渉
計2の一方の側Bに入射する。ファブリペロー干渉計2
は繰り返し反射干渉により光のバンドパスフィルターの
働きを行い、垂直直線偏波10をファブリペロー干渉計
2のスペクトル線幅と等しいスペクトル線幅の垂直直線
偏波11に変換する。垂直直線偏波11は偏光ビームス
プリッタDを透過し、位相変調素子3に入射される。位
相変調素子3は垂直直線偏波11をファブリペロー干渉
計2の半値幅のおよそ半分強(以下、検出幅ΔF)ほど
光周波数を位相変調した垂直直線偏波変調光12にす
る。次に、1/4波長板4により垂直直線偏波変調光1
2は円偏波変調光に変換され、試料表面に照射される。
試料表面に超音波振動13があれば、プローブレーザ光
はドップラーシフト効果により、さらに周波数dfほど
変調をうける。結果としてΔF+dfほど光周波数が変
化した円偏波変調反射光14となる。超音波振動13が
無い場合にはドップラーシフト効果は発生しないで、Δ
Fだけ変調を受けた光が円偏波変調反射光14となる。
ず、レーザ光の照射は次ぎのようにして行う。プローブ
レーザ装置1から射出した垂直直線偏波10は、偏光ビ
ームスプリッターAの偏波面と合致しているので反射現
象は発生しないでそのまま透過し、ファブリペロー干渉
計2の一方の側Bに入射する。ファブリペロー干渉計2
は繰り返し反射干渉により光のバンドパスフィルターの
働きを行い、垂直直線偏波10をファブリペロー干渉計
2のスペクトル線幅と等しいスペクトル線幅の垂直直線
偏波11に変換する。垂直直線偏波11は偏光ビームス
プリッタDを透過し、位相変調素子3に入射される。位
相変調素子3は垂直直線偏波11をファブリペロー干渉
計2の半値幅のおよそ半分強(以下、検出幅ΔF)ほど
光周波数を位相変調した垂直直線偏波変調光12にす
る。次に、1/4波長板4により垂直直線偏波変調光1
2は円偏波変調光に変換され、試料表面に照射される。
試料表面に超音波振動13があれば、プローブレーザ光
はドップラーシフト効果により、さらに周波数dfほど
変調をうける。結果としてΔF+dfほど光周波数が変
化した円偏波変調反射光14となる。超音波振動13が
無い場合にはドップラーシフト効果は発生しないで、Δ
Fだけ変調を受けた光が円偏波変調反射光14となる。
【0009】次に、円偏波変調反射光14の戻り方を説
明する。円偏波変調反射光14は、今来た逆の光路をた
どる。まず、レンズで集光されて1/4波長板4に到達
し、円偏波変調反射光14は平行直線偏波変調反射光1
5に変換される。平行直線偏波変調反射光15は偏光ビ
ームスプリッタEで反射され、ミラー16を通り、偏光
ビームスプリッタDに再びもどる。そして、ファブリペ
ロ干渉計2に今度は側Cから入射する。ファブリペロー
干渉計2は光のバンドパスフィルターの働きを行うが、
平行直線偏波変調反射光14は垂直直線偏波10の比
べ、超音波振動13による変調を受けた場合はΔF+d
fに相当する量だけ位相変調しており、また、超音波振
動がなかった場合はΔFに相当する量だけ位相変調され
ている。従って、ファブリペロー干渉計2の出力特性の
リニアな部分で平行直線偏波検出光17を得ることがで
きる。この時に、平行直線偏波変調反射波14のスペク
トル特性とファブリペロー干渉計2のスペクトル特性が
一致していれば、dfによるわずかな差を最大の感度で
検出できるのである。
明する。円偏波変調反射光14は、今来た逆の光路をた
どる。まず、レンズで集光されて1/4波長板4に到達
し、円偏波変調反射光14は平行直線偏波変調反射光1
5に変換される。平行直線偏波変調反射光15は偏光ビ
ームスプリッタEで反射され、ミラー16を通り、偏光
ビームスプリッタDに再びもどる。そして、ファブリペ
ロ干渉計2に今度は側Cから入射する。ファブリペロー
干渉計2は光のバンドパスフィルターの働きを行うが、
平行直線偏波変調反射光14は垂直直線偏波10の比
べ、超音波振動13による変調を受けた場合はΔF+d
fに相当する量だけ位相変調しており、また、超音波振
動がなかった場合はΔFに相当する量だけ位相変調され
ている。従って、ファブリペロー干渉計2の出力特性の
リニアな部分で平行直線偏波検出光17を得ることがで
きる。この時に、平行直線偏波変調反射波14のスペク
トル特性とファブリペロー干渉計2のスペクトル特性が
一致していれば、dfによるわずかな差を最大の感度で
検出できるのである。
【0010】平行直線偏波検出光17は偏光ビームスプ
リッタAで、今度は反射され、光電素子5に導かれる。
光電素子5の出力信号を用いて、ひとつはローパスフィ
ルター6を経由して低周波信号18を抽出し、ファブリ
ペロー干渉計2のスペクトル分布中心周波数が常に垂直
直線偏波10のスペクトル分布中心周波数と一致するよ
う、即ち垂直直線偏波10の透過が最大になるようフィ
ードバック制御する。なお、光電素子5に入射する平行
直線偏波検出光17はΔFほど変調をうけているので、
その分を補正して制御する。ふたつ目は、光電素子5の
出力信号をバンドパスフィルタ8を通しdfによる透過
光強度の差を超音波信号19としてオシロスコープ9等
で観察する。
リッタAで、今度は反射され、光電素子5に導かれる。
光電素子5の出力信号を用いて、ひとつはローパスフィ
ルター6を経由して低周波信号18を抽出し、ファブリ
ペロー干渉計2のスペクトル分布中心周波数が常に垂直
直線偏波10のスペクトル分布中心周波数と一致するよ
う、即ち垂直直線偏波10の透過が最大になるようフィ
ードバック制御する。なお、光電素子5に入射する平行
直線偏波検出光17はΔFほど変調をうけているので、
その分を補正して制御する。ふたつ目は、光電素子5の
出力信号をバンドパスフィルタ8を通しdfによる透過
光強度の差を超音波信号19としてオシロスコープ9等
で観察する。
【0011】次に、プローブレーザ装置1のスペクトル
線幅とファブリペロー干渉計2のスペクトル線幅の関係
を図2を用いて説明する。図2(a)は、ファブリペロ
ー干渉計2の光バンドパスフィルターとしての効果を表
している。一例として、プローブレーザ装置1は4MH
zのスペクトル線幅で、ファブリペロー干渉計2のスペ
クトル線幅は1.2MHzである。各々のスペクトル分
布中心周波数にずれがあった時にファブリペロー干渉計
2を通過した光のスペクトル分布がどう変化するかを計
算した結果である。なお、計算は簡単化のため、スペク
トル分布の形状を中心周波数で強度がピークの三角形の
形状であるとして行った。30がプローブレーザ装置1
のスペクトル分布であり、31がファブリペロー干渉計
2のスペクトル分布である。32は光周波数0.5MH
zほど中心周波数がずれた場合を、33は光周波数1M
Hzほど中心周波数がずれた場合を示す。32、33の
面積がファブリペロー干渉計を通過する光量となる。
線幅とファブリペロー干渉計2のスペクトル線幅の関係
を図2を用いて説明する。図2(a)は、ファブリペロ
ー干渉計2の光バンドパスフィルターとしての効果を表
している。一例として、プローブレーザ装置1は4MH
zのスペクトル線幅で、ファブリペロー干渉計2のスペ
クトル線幅は1.2MHzである。各々のスペクトル分
布中心周波数にずれがあった時にファブリペロー干渉計
2を通過した光のスペクトル分布がどう変化するかを計
算した結果である。なお、計算は簡単化のため、スペク
トル分布の形状を中心周波数で強度がピークの三角形の
形状であるとして行った。30がプローブレーザ装置1
のスペクトル分布であり、31がファブリペロー干渉計
2のスペクトル分布である。32は光周波数0.5MH
zほど中心周波数がずれた場合を、33は光周波数1M
Hzほど中心周波数がずれた場合を示す。32、33の
面積がファブリペロー干渉計を通過する光量となる。
【0012】図2(b)は中心周波数のずれ量を横軸
に、縦軸は干渉計2を通過する光の強度とした関係を示
したものである。なお、プローブレーザ装置1のスペク
トル線幅が4MHz(曲線34)の時で、且つ、中心周
波数が一致した時の干渉形透過光強度を基準に表してい
る。さらに、一例としてレーザ装置1のスペクトル線幅
が1.2MHz(曲線35)の場合のΔFの量を同図に
示す。点dが超音波振動を検出するときの作動点とな
る。従って、作動点での傾きが大きいほど感度は高くな
る。同図より、レーザ装置1のスペクトル線幅が4MH
zの場合の傾きは1.2MHzの場合よりも小さくな
り、また、レーザ装置1のスペクトル線幅が0.5MH
z(曲線36)の場合でも傾きは1.2MHzの場合よ
りも小さくなることがわかる。なお、曲線37はスペク
トル線幅が2Mzの場合を示す。
に、縦軸は干渉計2を通過する光の強度とした関係を示
したものである。なお、プローブレーザ装置1のスペク
トル線幅が4MHz(曲線34)の時で、且つ、中心周
波数が一致した時の干渉形透過光強度を基準に表してい
る。さらに、一例としてレーザ装置1のスペクトル線幅
が1.2MHz(曲線35)の場合のΔFの量を同図に
示す。点dが超音波振動を検出するときの作動点とな
る。従って、作動点での傾きが大きいほど感度は高くな
る。同図より、レーザ装置1のスペクトル線幅が4MH
zの場合の傾きは1.2MHzの場合よりも小さくな
り、また、レーザ装置1のスペクトル線幅が0.5MH
z(曲線36)の場合でも傾きは1.2MHzの場合よ
りも小さくなることがわかる。なお、曲線37はスペク
トル線幅が2Mzの場合を示す。
【0013】図2(c)は横軸にレーザ装置のスペクト
ル線幅を、縦軸は(b)で求めた作動点dでの傾きを表
したものである。これより、傾きはレーザ装置1のスペ
クトル線幅と干渉計2のスペクトル線幅とが一致した場
合が最大で、従って、感度も最大となることがわかる。
ル線幅を、縦軸は(b)で求めた作動点dでの傾きを表
したものである。これより、傾きはレーザ装置1のスペ
クトル線幅と干渉計2のスペクトル線幅とが一致した場
合が最大で、従って、感度も最大となることがわかる。
【0014】
【発明の効果】本発明によれば、次の効果がある。 1)ファブリペロー干渉計は50cm相当で大きい。本
発明では、ファブリペロー干渉計を共用しているので、
装置がコンパクトにでき、且つ、装置の信頼性が向上す
る。 2)レーザ装置のスペクトル線幅と干渉計のスペクトル
線幅が一致しやすいので、高感度の装置が得られる。
発明では、ファブリペロー干渉計を共用しているので、
装置がコンパクトにでき、且つ、装置の信頼性が向上す
る。 2)レーザ装置のスペクトル線幅と干渉計のスペクトル
線幅が一致しやすいので、高感度の装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を実施するための機器構成を示す図
【図2】本発明の効果を説明するための計算結果
【図3】従来の超音波検出装置の機器構成を示す図
1 プローブレーザ装置 2 ファブリペロー干渉計 3 位相変調素子 4 1/4偏光板 5 光電素子 6 ローパスフィルタ 7 干渉計制御回路 8 バンドパスフィルタ A 偏光ビームスプリッタ B ファブリペロー干渉計入射・射出側 C ファブリペロー干渉計入射・射出側 D 偏光ビームスプリッタ E 偏光ビームスプリッタ
Claims (1)
- 【請求項1】 直線偏光のレーザ光を発生するプロー
ブレーザ装置と資料との間に、偏光ビームスプリッタ、
ファブリペロー干渉計、偏光ビームスプリッタ、位相変
調素子、偏光ビームスプリッタ、1/4波長板をこの順
に配置して前記レーザ光を資料に照射し、前記資料から
の反射光は前記位相変調素子を迂回させ、前記ファブリ
ペロー干渉計を射出した前記反射光を光電素子に入力す
るようにしたことを特徴とする超音波の検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5063578A JPH06273386A (ja) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | 超音波の検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5063578A JPH06273386A (ja) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | 超音波の検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06273386A true JPH06273386A (ja) | 1994-09-30 |
Family
ID=13233288
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5063578A Pending JPH06273386A (ja) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | 超音波の検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06273386A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101220602B1 (ko) * | 2010-12-28 | 2013-01-10 | 니뽄스틸코포레이션 | 초음파 측정 장치 및 초음파 측정 방법 |
CN111289085A (zh) * | 2020-02-11 | 2020-06-16 | 中国科学院电子学研究所 | 麦克风振膜振幅测量方法及其装置 |
JP2020148587A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 沖電気工業株式会社 | 光コヒーレントセンサ |
-
1993
- 1993-03-23 JP JP5063578A patent/JPH06273386A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101220602B1 (ko) * | 2010-12-28 | 2013-01-10 | 니뽄스틸코포레이션 | 초음파 측정 장치 및 초음파 측정 방법 |
JP2020148587A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 沖電気工業株式会社 | 光コヒーレントセンサ |
CN111289085A (zh) * | 2020-02-11 | 2020-06-16 | 中国科学院电子学研究所 | 麦克风振膜振幅测量方法及其装置 |
CN111289085B (zh) * | 2020-02-11 | 2021-06-08 | 中国科学院电子学研究所 | 麦克风振膜振幅测量方法及其装置 |
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