JPH06268475A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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- JPH06268475A JPH06268475A JP4840993A JP4840993A JPH06268475A JP H06268475 A JPH06268475 A JP H06268475A JP 4840993 A JP4840993 A JP 4840993A JP 4840993 A JP4840993 A JP 4840993A JP H06268475 A JPH06268475 A JP H06268475A
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- Japan
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- resonators
- resonator
- surface acoustic
- acoustic wave
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 弾性表面波フィルタに関し、挿入損失,帯域
幅,抑圧度などフィルタ特性の向上を目的とする。 【構成】 所定の共振周波数をもつ第1の一端子対弾性
表面波共振器を並列腕に、第1の共振器の反共振周波数
に略一致する共振周波数をもつ第2の一端子対弾性表面
波共振器を直列腕に接続してなる梯子型の弾性表面波フ
ィルタにおいて、この第1の共振器と第2の共振器との
弾性表面波の伝播方位を変えてパターン形成し、また、
並列腕を構成する3個以上の共振器のうちの少なくとも
一つが他の共振器に較べて対数と開口長の何れか或いは
何れも変えて形成してあることを特徴として弾性表面波
フィルタを構成する。
幅,抑圧度などフィルタ特性の向上を目的とする。 【構成】 所定の共振周波数をもつ第1の一端子対弾性
表面波共振器を並列腕に、第1の共振器の反共振周波数
に略一致する共振周波数をもつ第2の一端子対弾性表面
波共振器を直列腕に接続してなる梯子型の弾性表面波フ
ィルタにおいて、この第1の共振器と第2の共振器との
弾性表面波の伝播方位を変えてパターン形成し、また、
並列腕を構成する3個以上の共振器のうちの少なくとも
一つが他の共振器に較べて対数と開口長の何れか或いは
何れも変えて形成してあることを特徴として弾性表面波
フィルタを構成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は複数の弾性表面波共振器
を梯子型に接続してなる弾性表面波フィルタに関する。
を梯子型に接続してなる弾性表面波フィルタに関する。
【0002】弾性表面波フィルタは従来よりテレビやラ
ジオの中間周波フィルタ(IFフィルタ)のように映像
用フィルタとして使用されてきたが、小形で安価である
特徴を活かして自動車や携帯用電話などの移動通信用フ
ィルタとして需要が急速に増加している。
ジオの中間周波フィルタ(IFフィルタ)のように映像
用フィルタとして使用されてきたが、小形で安価である
特徴を活かして自動車や携帯用電話などの移動通信用フ
ィルタとして需要が急速に増加している。
【0003】今まで、弾性表面波フィルタとしては圧電
基板上に弾性表面波を励振する櫛形電極と受信用の櫛形
電極とが距離をおいてパターン形成してあるトランスバ
ーサル型が多く用いられていた。
基板上に弾性表面波を励振する櫛形電極と受信用の櫛形
電極とが距離をおいてパターン形成してあるトランスバ
ーサル型が多く用いられていた。
【0004】然し、最近は励振用櫛形電極の両側に反射
器を備えた弾性表面波共振器によって弾性表面波を共振
させることで挿入損失を大幅に改善すると共に、インピ
ーダンス整合回路の付加を不要にした共振器型の弾性表
面波フィルタが開発されている。
器を備えた弾性表面波共振器によって弾性表面波を共振
させることで挿入損失を大幅に改善すると共に、インピ
ーダンス整合回路の付加を不要にした共振器型の弾性表
面波フィルタが開発されている。
【0005】さて、現行の自動車電話や携帯電話では80
0 〜900 MHz 帯が使用されており、これに使用する弾
性表面波フィルタは弾性表面波共振器にインダクタンス
を付加すると低損失を維持し高い抑圧度を実現できるこ
とが知られている。
0 〜900 MHz 帯が使用されており、これに使用する弾
性表面波フィルタは弾性表面波共振器にインダクタンス
を付加すると低損失を維持し高い抑圧度を実現できるこ
とが知られている。
【0006】然し、次世代の自動車電話や携帯電話では
1.5 GHz や1.9 GHz の準マイクロ波帯の使用が予定
されている。そこで、かゝる準マイクロ波帯においても
低損失を維持し、且つ高い抑圧度を有する弾性表面波フ
ィルタの開発が求められている。
1.5 GHz や1.9 GHz の準マイクロ波帯の使用が予定
されている。そこで、かゝる準マイクロ波帯においても
低損失を維持し、且つ高い抑圧度を有する弾性表面波フ
ィルタの開発が求められている。
【0007】
【従来の技術】図9(A)は弾性表面波フィルタ(以下
略してフィルタ)を構成する一端子対弾性表面波共振器
(以下略して共振器)の構成図、また、同図(B)はこ
の略記号である。
略してフィルタ)を構成する一端子対弾性表面波共振器
(以下略して共振器)の構成図、また、同図(B)はこ
の略記号である。
【0008】すなわち、共振器は対をなす励振用の櫛形
電極1の両側に反射器3を設けているが、この反射器に
は開放型,短絡型,ストリップアレイ型などがあり、同
図(A)は短絡型からなる場合を示している。
電極1の両側に反射器3を設けているが、この反射器に
は開放型,短絡型,ストリップアレイ型などがあり、同
図(A)は短絡型からなる場合を示している。
【0009】次に、かゝる共振器は共振周波数frsにお
いてインピーダンスが0となり、反共振周波数fapにお
いて最大となる二重共振特性を有しているが、フィルタ
は図10に代表例を示すように直列腕と並列腕に複数の共
振器を梯子型に配設して構成しており、その際に直列腕
の共振器の共振周波数frsを並列腕の共振器の反共振周
波数fapに略一致させることにより、その周波数を中心
周波数とするバンドパスフィルタが形成されている。
いてインピーダンスが0となり、反共振周波数fapにお
いて最大となる二重共振特性を有しているが、フィルタ
は図10に代表例を示すように直列腕と並列腕に複数の共
振器を梯子型に配設して構成しており、その際に直列腕
の共振器の共振周波数frsを並列腕の共振器の反共振周
波数fapに略一致させることにより、その周波数を中心
周波数とするバンドパスフィルタが形成されている。
【0010】こゝで、共振器の共振周波数および反共振
周波数は櫛形電極のパターン周期にで略決まっている。
例えば、基板としてニオブ酸リチウム(LiNbO3)のZカッ
トY伝播の基板を用いると、1.9 GHZ 帯のフィルタを
実現するには計算によると櫛形電極のパターン周期を直
列腕では2.06μm , 並列腕では2.08μm とする必要があ
る。
周波数は櫛形電極のパターン周期にで略決まっている。
例えば、基板としてニオブ酸リチウム(LiNbO3)のZカッ
トY伝播の基板を用いると、1.9 GHZ 帯のフィルタを
実現するには計算によると櫛形電極のパターン周期を直
列腕では2.06μm , 並列腕では2.08μm とする必要があ
る。
【0011】然し、基板上に電極形成金属を膜形成した
後、写真蝕刻技術( フォトリソグラフィ) を用いて櫛形
電極をパターン形成する場合に、このパターンを精度よ
く形成することは容易ではなく、また、そのためには櫛
形電極の周期により露光条件を変える必要があることか
ら、工程が複雑となる。
後、写真蝕刻技術( フォトリソグラフィ) を用いて櫛形
電極をパターン形成する場合に、このパターンを精度よ
く形成することは容易ではなく、また、そのためには櫛
形電極の周期により露光条件を変える必要があることか
ら、工程が複雑となる。
【0012】次に、フィルタはフィルタ特性として信号
の減衰量は通過域に較べて減衰域は格段に大きく、高い
抑圧度を有していることが必要条件であり、抑圧度の改
善法として梯子型では並列腕の共振器( 以後並列共振
器) の静電容量(Cp )と直列腕の共振器( 以後直列共
振器) の静電容量(Cs )との比( 容量比) Cp /Cs
を大きくすると抑圧度を向上できることが知られてい
る。
の減衰量は通過域に較べて減衰域は格段に大きく、高い
抑圧度を有していることが必要条件であり、抑圧度の改
善法として梯子型では並列腕の共振器( 以後並列共振
器) の静電容量(Cp )と直列腕の共振器( 以後直列共
振器) の静電容量(Cs )との比( 容量比) Cp /Cs
を大きくすると抑圧度を向上できることが知られてい
る。
【0013】図8は約1.45GHZ を通過域の中心周波数
とするフィルタにおいて容量比の影響を示すもので、実
線5で示す容量比が小さな場合に較べ、破線6で示すよ
うに容量比を大きくすると抑圧度を改善することができ
る。
とするフィルタにおいて容量比の影響を示すもので、実
線5で示す容量比が小さな場合に較べ、破線6で示すよ
うに容量比を大きくすると抑圧度を改善することができ
る。
【0014】然し、Cp を大きくすると、この共振器の
アース接続線のインダクタンス(L)成分の影響が大き
く現れてフィルタ特性でフィルタの立ち上がり部分の落
ち込み位置7が低周波側に移動すると云う問題がある。
アース接続線のインダクタンス(L)成分の影響が大き
く現れてフィルタ特性でフィルタの立ち上がり部分の落
ち込み位置7が低周波側に移動すると云う問題がある。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】第1の課題として、共
振器を直列腕と並列腕に回路接続してなるバンドパスフ
ィルタにおいては、直列共振器の共振周波数を並列共振
器の反共振周波数に一致させて形成することが必要であ
り、そのためには計算により求めた繰り返し周期を実現
するように高いパターン精度で共振器を構成する櫛形電
極を形成する必要がある。
振器を直列腕と並列腕に回路接続してなるバンドパスフ
ィルタにおいては、直列共振器の共振周波数を並列共振
器の反共振周波数に一致させて形成することが必要であ
り、そのためには計算により求めた繰り返し周期を実現
するように高いパターン精度で共振器を構成する櫛形電
極を形成する必要がある。
【0016】然し、GHZ 帯のような高い周波数におい
ては写真蝕刻の精度からしてこれを実現することは容易
ではなく製造歩留りを低下させている。次に、第2の課
題として、フィルタは高い抑圧度をもっていることが必
要であるが、容量比を高めると並列共振器のインダクタ
ンス(L)成分の影響が現れて立ち上がり部分の落ち込
み位置が低周波側に移動すると云う問題がある。
ては写真蝕刻の精度からしてこれを実現することは容易
ではなく製造歩留りを低下させている。次に、第2の課
題として、フィルタは高い抑圧度をもっていることが必
要であるが、容量比を高めると並列共振器のインダクタ
ンス(L)成分の影響が現れて立ち上がり部分の落ち込
み位置が低周波側に移動すると云う問題がある。
【0017】そこで、このような問題を解決することが
課題である。
課題である。
【0018】
【課題を解決するための手段】上記の課題のうち、第1
の課題に付いては、所定の共振周波数をもつ第1の共振
器を並列腕に、また、第1の共振器の反共振周波数に略
一致する共振周波数をもつ第2の共振器を直列腕に接続
してなる梯子型のフィルタにおいて、この第1の共振器
と第2の共振器との弾性表面波の伝播方位を変えてパタ
ーン形成する。
の課題に付いては、所定の共振周波数をもつ第1の共振
器を並列腕に、また、第1の共振器の反共振周波数に略
一致する共振周波数をもつ第2の共振器を直列腕に接続
してなる梯子型のフィルタにおいて、この第1の共振器
と第2の共振器との弾性表面波の伝播方位を変えてパタ
ーン形成する。
【0019】また、第2の課題については直列共振器の
間に接続して梯子型のフィルタを構成する並列共振器が
同一の対数と開口長を有する3個以上の共振器より構成
することにより解決することができる。
間に接続して梯子型のフィルタを構成する並列共振器が
同一の対数と開口長を有する3個以上の共振器より構成
することにより解決することができる。
【0020】
【作用】従来の弾性表面波共振器は圧電結晶基板におい
て表面波の伝播速度が最も大きい方位を伝播方位として
共振器のパターン形成を行い、共振周波数と反共振周波
数は櫛形電極のパターン周期により決めていた。
て表面波の伝播速度が最も大きい方位を伝播方位として
共振器のパターン形成を行い、共振周波数と反共振周波
数は櫛形電極のパターン周期により決めていた。
【0021】これに対し、本発明は表面波の伝播速度が
結晶基板の方位に依存するのを利用し、パターン形成す
る共振器の方位を変えることによりフィルタを構成する
直列共振器と並列共振器の必要条件を満たし易くするも
のである。
結晶基板の方位に依存するのを利用し、パターン形成す
る共振器の方位を変えることによりフィルタを構成する
直列共振器と並列共振器の必要条件を満たし易くするも
のである。
【0022】図7はニオブ酸リチウム(LiNbO3) 単結晶
のZカット基板において、同図に示すように結晶のX軸
方向からの角度θを変えることにより表面波の伝播速度
が周期的に変動していることが判る。
のZカット基板において、同図に示すように結晶のX軸
方向からの角度θを変えることにより表面波の伝播速度
が周期的に変動していることが判る。
【0023】なお、実線8は基板の上にパターンが無い
場合(自由表面)であり、また、破線9はパターン形成
が行なわれている場合(短絡表面)の伝播速度である。
そのため、この伝播速度の方位依存性を利用すれば、場
合によっては直列共振器と並列共振器の櫛形電極のパタ
ーン周期を等しく形成しても直列共振器の共振周波数を
並列共振器の反共振周波数に一致させることができ、フ
ィルタを形成することが可能となる。
場合(自由表面)であり、また、破線9はパターン形成
が行なわれている場合(短絡表面)の伝播速度である。
そのため、この伝播速度の方位依存性を利用すれば、場
合によっては直列共振器と並列共振器の櫛形電極のパタ
ーン周期を等しく形成しても直列共振器の共振周波数を
並列共振器の反共振周波数に一致させることができ、フ
ィルタを形成することが可能となる。
【0024】次に図10に示すようにフィルタが複数の直
列共振器と並列共振器で形成してある場合、並列共振器
の内の一つを更に傾けて形成すると低周波側のフィルタ
特性を変えることができる。
列共振器と並列共振器で形成してある場合、並列共振器
の内の一つを更に傾けて形成すると低周波側のフィルタ
特性を変えることができる。
【0025】すなわち、二組の直列共振器と並列共振器
でフィルタが形成してある場合、フィルタ特性は一組の
直列共振器と並列共振器で形成されるフィルタのフィル
タ特性と他の一組の直列共振器と並列共振器で形成され
るフィルタ特性との合成よりなることから、一方の並列
共振器を更に傾けることにより低周波側のフィルタ特性
を変えることができ、これにより減衰極の位置を変える
ことができる。
でフィルタが形成してある場合、フィルタ特性は一組の
直列共振器と並列共振器で形成されるフィルタのフィル
タ特性と他の一組の直列共振器と並列共振器で形成され
るフィルタ特性との合成よりなることから、一方の並列
共振器を更に傾けることにより低周波側のフィルタ特性
を変えることができ、これにより減衰極の位置を変える
ことができる。
【0026】次に、フィルタの抑圧度を改善する方法と
して並列共振器と直列共振器の容量比Cp /Cs を大き
くすると並列共振器の接続線のインダクタンス(L)の
影響が現れてフィルタの立ち上がり部分の落ち込みが低
周波側に移動すると云う問題に対しては、並列共振器を
同一の対数と開口長を有するn個の共振器に分散して形
成すれば、インダクタンス(L)の大きさは1/nに減
少することから、この影響を軽減することができる。
して並列共振器と直列共振器の容量比Cp /Cs を大き
くすると並列共振器の接続線のインダクタンス(L)の
影響が現れてフィルタの立ち上がり部分の落ち込みが低
周波側に移動すると云う問題に対しては、並列共振器を
同一の対数と開口長を有するn個の共振器に分散して形
成すれば、インダクタンス(L)の大きさは1/nに減
少することから、この影響を軽減することができる。
【0027】なお、この際に並列共振器を構成する複数
個の共振器のうちの一つを他の共振器に較べて対数と開
口長の何れか又は両方を変えて形成すればフィルタ特性
を変えることができ、これを利用すれば高抑圧を得たい
周波数を調整することが可能となる。
個の共振器のうちの一つを他の共振器に較べて対数と開
口長の何れか又は両方を変えて形成すればフィルタ特性
を変えることができ、これを利用すれば高抑圧を得たい
周波数を調整することが可能となる。
【0028】
【実施例】実施例1:(請求項1対応) 図1は本発明を実施した弾性表面波フィルタを収容した
パッケージの平面図であって、LiNbO3のZカット単結晶
基板10の上に図10に回路図を示す2個づつの直列共振器
S1 ,S2 と並列共振器P1 ,P2 によりフィルタが構
成され、パッケージ11に装着した後にフィルタの端子を
パッケージの端子にワイャボンディング接続した状態を
示している。
パッケージの平面図であって、LiNbO3のZカット単結晶
基板10の上に図10に回路図を示す2個づつの直列共振器
S1 ,S2 と並列共振器P1 ,P2 によりフィルタが構
成され、パッケージ11に装着した後にフィルタの端子を
パッケージの端子にワイャボンディング接続した状態を
示している。
【0029】こゝで、共振器と導体線路は銅(Cu)添加の
アルミニウム(Al)のスパッタ膜を写真蝕刻してパターン
形成し、櫛形電極のパターン周期は2.06μm にとった。
なお、直列共振器S1 ,S2 の伝播方位はY軸方向(伝
播速度約3880m/s)にとり、また並列共振器P1 ,P2 の
伝播方位はこれより10度ずれた方向(伝播速度約3840m/
s)にとった。
アルミニウム(Al)のスパッタ膜を写真蝕刻してパターン
形成し、櫛形電極のパターン周期は2.06μm にとった。
なお、直列共振器S1 ,S2 の伝播方位はY軸方向(伝
播速度約3880m/s)にとり、また並列共振器P1 ,P2 の
伝播方位はこれより10度ずれた方向(伝播速度約3840m/
s)にとった。
【0030】図2はかゝるフィルタのフィルタ特性であ
って、並列共振器と直列共振器のパターン周期を同じく
してもバンドパスフィルタができることを示している。 実施例2:(請求項2対応) 実施例2において、二個の並列共振器P1 ,P2 のう
ち、P1 のパターンを更に10度(Y軸より20度ずれた方
向,伝播速度約3800m/s)ずらせて形成した。
って、並列共振器と直列共振器のパターン周期を同じく
してもバンドパスフィルタができることを示している。 実施例2:(請求項2対応) 実施例2において、二個の並列共振器P1 ,P2 のう
ち、P1 のパターンを更に10度(Y軸より20度ずれた方
向,伝播速度約3800m/s)ずらせて形成した。
【0031】図3はかゝるフィルタのフィルタ特性であ
って、図2に較べて低周波側の減衰域に並列共振器P1
による減衰極13が発生していることが判る。このように
共振器を傾けてパターン形成することにより減衰極の位
置を変えることができ、これにより必要とする周波数で
の抑圧度を改善することができる。 実施例3(請求項3対応) 図4は本発明を実施した弾性表面波フィルタの回路図、
また図5は従来の弾性表面波フィルタの回路図である。
って、図2に較べて低周波側の減衰域に並列共振器P1
による減衰極13が発生していることが判る。このように
共振器を傾けてパターン形成することにより減衰極の位
置を変えることができ、これにより必要とする周波数で
の抑圧度を改善することができる。 実施例3(請求項3対応) 図4は本発明を実施した弾性表面波フィルタの回路図、
また図5は従来の弾性表面波フィルタの回路図である。
【0032】すなわち、従来は図5に示すように、直列
共振器S1 ,S2 と並列共振器P1,P2 とが鏡面対称
をしてフィルタを構成してあり、直列共振器S1 とS2
の間に二個の並列共振器P1 とP2 が回路接続してあ
る。
共振器S1 ,S2 と並列共振器P1,P2 とが鏡面対称
をしてフィルタを構成してあり、直列共振器S1 とS2
の間に二個の並列共振器P1 とP2 が回路接続してあ
る。
【0033】こゝで、従来の共振器は開口長が100 μm
で対数が60でパターン形成する場合は例えば図6の実線
13に示すようなフィルタ特性を示していた。これに対
し、開口長が100 μm で対数が40の共振器を図4に示す
ように三個並列に接続すると、図6の破線14で示すよう
にパスバンド近傍の抑圧度を改善することができた。 実施例4(請求項4対応) 実施例3のフィルタにおいて、三個並列に接続した共振
器の内の一個の開口長を他の二個の共振器に較べて僅か
に大きく形成した。
で対数が60でパターン形成する場合は例えば図6の実線
13に示すようなフィルタ特性を示していた。これに対
し、開口長が100 μm で対数が40の共振器を図4に示す
ように三個並列に接続すると、図6の破線14で示すよう
にパスバンド近傍の抑圧度を改善することができた。 実施例4(請求項4対応) 実施例3のフィルタにおいて、三個並列に接続した共振
器の内の一個の開口長を他の二個の共振器に較べて僅か
に大きく形成した。
【0034】その結果、立ち上がりの落ち込みを僅かに
低周波側に移すことができ、その結果、1.31〜1.37MH
z の帯域において、ー35 dBの抑圧度を確保することが
できた。
低周波側に移すことができ、その結果、1.31〜1.37MH
z の帯域において、ー35 dBの抑圧度を確保することが
できた。
【0035】
【発明の効果】本発明の実施により準マイクロ波帯に使
用するフィルタにおいて、櫛形電極のパターン周期を小
さくすることにより生ずる製造上の困難さを緩和するこ
とができ、また、抑圧度を向上する場合に現れる並列共
振器のインダクタンスの影響を緩和することができ、ま
た、高抑圧を得たい周波数におけるフィルタ特性を調整
することが可能となる。
用するフィルタにおいて、櫛形電極のパターン周期を小
さくすることにより生ずる製造上の困難さを緩和するこ
とができ、また、抑圧度を向上する場合に現れる並列共
振器のインダクタンスの影響を緩和することができ、ま
た、高抑圧を得たい周波数におけるフィルタ特性を調整
することが可能となる。
【図1】 本発明を実施した弾性表面波フィルタの平面
図である。
図である。
【図2】 本発明を実施したバンドパスフィルタの特性
図である。
図である。
【図3】 本発明を実施した別のバンドパスフィルタの
特性図である。
特性図である。
【図4】 本発明を実施した弾性表面波フィルタの回路
図である。
図である。
【図5】 従来の弾性表面波フィルタの回路図である。
【図6】 本発明を実施したバンドパスフィルタのフィ
ルタ特性図である。
ルタ特性図である。
【図7】 LiNbO3結晶のZカット基板において表面波の
伝播速度と方位との関係図である。
伝播速度と方位との関係図である。
【図8】 容量比(Cp /Cs )の影響を示すフィルタ
特性図である。
特性図である。
【図9】 一端子対弾性表面波共振の構成図(A)と略
記号(B)である。
記号(B)である。
【図10】 弾性表面波フィルタの構成を示す一例の回路
図である。
図である。
1 櫛形電極 3 反射器 10 LiNbO3基板
Claims (4)
- 【請求項1】 所定の共振周波数をもつ第1の一端子対
弾性表面波共振器を並列腕に、該第1の共振器の反共振
周波数に略一致する共振周波数をもつ第2の一端子対弾
性表面波共振器を直列腕に接続してなる梯子型の弾性表
面波フィルタにおいて、前記第1の共振器と第2の共振
器との弾性表面波の伝播方位を変えてパターン形成して
あることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項2】 前項記載の伝播方位を変えてパターン形
成してある複数の共振器の内の少なくとも一つの伝播方
位を他の共振器の伝播方位より更に変えて形成してある
ことを特徴とする請求項1記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項3】 直列共振器の間に接続して梯子型のフィ
ルタを構成する並列共振器が同一の対数と開口長を有す
る3個以上の共振器よりなることを特徴とする弾性表面
波フィルタ。 - 【請求項4】 前項記載の並列腕を構成する3個以上の
共振器のうちの少なくとも一つが他の共振器に較べて対
数と開口長の何れか或いは何れも変えて形成してあるこ
とを特徴とする請求項3記載の弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4840993A JPH06268475A (ja) | 1993-03-10 | 1993-03-10 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4840993A JPH06268475A (ja) | 1993-03-10 | 1993-03-10 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06268475A true JPH06268475A (ja) | 1994-09-22 |
Family
ID=12802510
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4840993A Withdrawn JPH06268475A (ja) | 1993-03-10 | 1993-03-10 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06268475A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008523752A (ja) * | 2004-12-14 | 2008-07-03 | テレ フィルター ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 2つのワンポート表面波共振器を備える発振器 |
WO2010001522A1 (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-07 | 株式会社村田製作所 | 帯域阻止フィルタ |
US7737603B2 (en) | 2003-12-16 | 2010-06-15 | Murata Manufacturiing Co., Ltd. | Boundary acoustic wave device |
US7804384B2 (en) | 2005-07-13 | 2010-09-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Acoustic wave filter device utilizing filters having different acoustic wave propagation directions |
CN107210731A (zh) * | 2015-04-30 | 2017-09-26 | 株式会社村田制作所 | 梯子型滤波器及双工器 |
-
1993
- 1993-03-10 JP JP4840993A patent/JPH06268475A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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WO2010001522A1 (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-07 | 株式会社村田製作所 | 帯域阻止フィルタ |
JPWO2010001522A1 (ja) * | 2008-06-30 | 2011-12-15 | 株式会社村田製作所 | 帯域阻止フィルタ |
JP5041063B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2012-10-03 | 株式会社村田製作所 | 帯域阻止フィルタ |
US8773221B2 (en) | 2008-06-30 | 2014-07-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Band rejection filter |
CN107210731A (zh) * | 2015-04-30 | 2017-09-26 | 株式会社村田制作所 | 梯子型滤波器及双工器 |
CN107210731B (zh) * | 2015-04-30 | 2020-08-21 | 株式会社村田制作所 | 梯子型滤波器及双工器 |
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