JP3878714B2 - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車電話及び携帯電話等の移動体無線機器等に内蔵される周波数帯域フィルタとしての弾性表面波フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の弾性表面波(Surface Acoustic Wave で、以下、SAWと略す)フィルタ用のSAW共振子を図4に示す。同図(a)はSAW共振子Sの基本構成の平面図、(b)は電極1と電極2との間のインピーダンス特性のグラフである。
【0003】
同図(a)において、SAW共振子Sは、LiTaO3 やLiNbO3 等の圧電基板上に、蒸着法,フォトリソグラフィ法等により、Al,Al合金等から成る一対の櫛歯状の電極(Inter Digital Transducerで、以下、IDT電極という)1,2を形成して成る。IDT電極1,2のSAW伝搬路の両端には、SAWを反射し効率よく共振させるための反射器3,3が設けられており、この反射器3,3は場合によって省略されることもある。尚、(a)において、IDT電極1,2及び反射器3,3の電極指の本数は数10〜数100本に及ぶため、その形状を簡略化して描いてある。
【0004】
前記IDT電極1とIDT電極2との間のインピーダンス−周波数特性は、同図(b)に示すように、比較的狭帯域の周波数範囲に、非常に低インピーダンスの共振点4と非常に高インピーダンスの共振点5が現れるというものである。このインピーダンス特性により、SAW共振子Sは、入力する周波数に応じて選択的にオン・オフ動作をする一種のスイッチとして機能する。
【0005】
このようなSAW共振子Sを直列・並列交互に多段接続したものがラダー型(梯子型)SAWフィルタ(以下、SAWフィルタという)と呼ばれ、図5は移動体通信用のGHz周波数帯域でよく使用される2.5段π型のものである。同図(a)は2.5段π型のSAWフィルタFの基本構成の平面図、(b)は並列SAW共振子のインピーダンス−周波数特性のグラフ、(c)は直列SAW共振子のインピーダンス−周波数特性のグラフ、(d)は2.5段π型のSAWフィルタFの通過特性のグラフである。
【0006】
図5(a)に示すように、2.5段π型のSAWフィルタFは、2個の直列SAW共振子6a,6bと3個の並列SAW共振子7a,7b,7cの計5個のSAW共振子を、多段接続することにより構成される。その際、図5(b),(c)に示すように、並列SAW共振子7a,7b,7cの共振周波数は、直列SAW共振子6a,6bの共振周波数よりも低くなるようにしている。その結果、このSAWフィルタFのフィルタ通過特性、所謂信号強度−周波数特性は、同図(d)に示すようなものとなる。
【0007】
図6は、図5(d)の周波数8〜10におけるSAWフィルタFのインピーダンス特性を、各SAW共振子のスイッング動作に置き換えて表現した等価回路図である。図6(a)は、周波数8付近における等価回路図で、並列SAW共振子7a,7b,7cが非常に低インピーダンス(スイッチ・オン)になるため、並列SAW共振子7a,7b,7cがグランドにショートし、かつ直列SAW共振子6a,6bが非常に高インピーダンス(スイッチ・オフ)になるため、信号が通過し難くなっている。(b)は、周波数9付近における等価回路図で、並列SAW共振子7a,7b,7cが非常に高インピーダンス(スイッチ・オフ)になり、かつ直列SAW共振子6a,6bが非常に低インピーダンス(スイッチ・オン)になるため、信号がよく通過する。(c)は、周波数10付近における等価回路図で、直列SAW共振子6a,6b及び並列SAW共振子7a,7b,7cが共に高インピーダンス(スイッチ・オフ)になるため、信号が通過し難くなる。
【0008】
また、近年、携帯電話等の移動体通信の分野において、通過周波数帯域が異なる2つの帯域通過SAWフィルタを並列に接続した、デュアルモード型のSAWフィルタに対する要望が強くなっている。図7はデュアルモード型について示したもので、同図(a)はフィルタ通過特性を模式的に示したグラフ、(b)は一入力二出力タイプのブロック図で、入力端子13に対し出力端子14a,14bがあり、(c)は二入力一出力タイプのブロック図で、入力端子13a,13bに対し出力端子14が存在する。尚、15,16は各々通過周波数帯域が異なる2つの帯域通過SAWフィルタである。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図5に示したラダー型のSAWフィルタFをそのまま並列接続して、図7(b),(c)のようなデュアルモード型としても、以下に述べるような問題点が生じていた。すなわち、図7(b)のように構成した場合、低域側の通過周波数帯域11(中心周波数800MHz程度)において、高域側の通過周波数帯域12(中心周波数900MHz程度)に相当するSAWフィルタの並列SAW共振子が非常に低インピーダンス(図6(a)の状態)になってしまい、その結果、信号が通過し難くなる。
【0010】
つまり、図8のように通過周波数帯域が異なる2つのSAWフィルタ21,22を、一入力二出力タイプのデュアルモード型として構成した場合、図9(a)のようなフィルタ通過特性及び図9(b)のようなVSWR(Voltage Standing Wave Ratio;電圧定在波比)−周波数特性が理想的であるが、実際には図10(a),(b)のようになってしまう。
【0011】
すなわち、図10(a)に示すように、低域側のSAWフィルタ21に相当する通過周波数帯域での信号レベルが低下し、挿入損失劣化を生じる。また、図10(b)のように、低域側の通過周波数帯域でVSWRが非常に大きくなり、外部回路とのインピーダンス不整合による信号の反射、不通過が大きくなる。これは、等価回路でいえば図11の状態に相当し、高域側の通過周波数帯域に相当するSAWフィルタ22の並列SAW共振子26a,26b,26cが低インピーダンスになり、グランドにほぼショートしてしまうためである。前記VSWRは交流信号のインピーダンス不整合による信号の反射、不通過の度合いを示すパラメータで、その値が1の場合が最もよく、1より大きいと信号の反射、不通過が大きくなる。また、図10(a)のS21(縦軸)は信号強度に比例するパラメータである。
【0012】
因みに、このときの図8の各SAW共振子のパラメータを表1に示す。
【0013】
【表1】
【0014】
尚、図8及び図11において、21は低域側の通過周波数帯域に相当する2.5段T型のSAWフィルタ、22は高域側の通過周波数帯域に相当する2.5段π型のSAWフィルタ、23a,23b,23cはSAWフィルタ21側の直列SAW共振子、24a,24bはSAWフィルタ21側の並列SAW共振子、25a,25bはSAWフィルタ22側の直列SAW共振子、26a,26b,26cはSAWフィルタ22側の並列SAW共振子、27は入力端子、28a,bは出力端子である。
【0015】
従来、このような問題を解決するために、図12に示すように、並列接続されたSAWフィルタ21,22の前段に遅延線路31,32を挿入することによって、図7の低域側の通過周波数帯域11において、本来短絡(ショート)した状態にある高域側のSAWフィルタ22の特性を、正反対のオープン状態になるように位相回転、すなわち位相及びインピーダンスのシフトを行うというものが提案されている(”DEVELOPMENT OF SMALL ANTENNA DUPLEXER USING SAW FILTERS FOR HANDHELD PHONES",O.Ikata et.al,1993 ULTRASONICS SYMPOSIUM,PP.111-114参照)。
【0016】
しかし、上記の遅延線路を挿入するものの場合、所望の位相回転量を得るためには、遅延線路の長さが必要以上に長くなってしまい、SAWフィルタの小型化の障害となっていた。しかも、周波数が低くなればなるほど遅延線路の長さは長くなり、さらに小型化に不適当となる。また、遅延線路が持つ抵抗及び電磁放射による損失が、SAWフィルタの挿入損失を劣化するという問題点もあった。
【0017】
更には、遅延線路が長いために、SAW共振子と共に圧電基板上に集積化することができず、パッケージの表面等に遅延線路を設ける必要があった。しかし、遅延線路の仕様はSAWフィルタの仕様と共に変わるため、異なるSAWフィルタ間でパッケージを共用化できず、その結果、高コスト化を招くという問題点も有していた。
【0018】
従って、本発明は上記事情に鑑みて完成されたものであり、その目的は、デュアルモード型のSAWフィルタにおいて、低域側のフィルタ通過特性の劣化を防止し、また小型化に適しており、その結果、低コストに製造可能なものとすることにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】
本発明の弾性表面波フィルタは、通過周波数帯域が異なる複数のラダー型弾性表面波フィルタを並列接続して成り、高域側の通過周波数帯域を有するラダー型弾性表面波フィルタの並列弾性表面波共振子と接地間に、低域側の通過周波数帯域で1000Ω以上の高インピーダンスを有するフィルタを介装してなることを特徴とし、高域側のSAWフィルタで信号がグランドへショートして、低域側のフィルタ通過特性が劣化するのを抑制、防止する。好ましくは、前記フィルタをSAWフィルタと共に圧電基板上に一体的に集積化する。
【0020】
【発明の実施の形態】
本発明を図1により説明する。同図は一入力二出力タイプのデュアルモード型のSAWフィルタに、本発明を適用した構成のブロック図である。同図において、41は低域側の通過周波数帯域に相当する2.5段T型のSAWフィルタ、42は高域側の通過周波数帯域に相当する2.5段π型のSAWフィルタ、43a,43b,43cはSAWフィルタ41側の直列SAW共振子、44a,44bはSAWフィルタ41側の並列SAW共振子、45a,45bはSAWフィルタ42側の直列SAW共振子、46a,46b,46cはSAWフィルタ42側の並列SAW共振子、47は入力端子、48a,bは出力端子、49a,49b,49cはSAWフィルタ42の並列SAW共振子46a,46b,46cと接地間に介装され、かつ低域側の通過周波数帯域で高インピーダンスであるフィルタである。
【0021】
従って、低域側の通過周波数帯域では図2のような等価回路となり、フィルタ49a,49b,49cが高インピーダンス(スイッチ・オフ)となる。このような構成により、信号が接地側へショートせずに通過可能となり、SAWフィルタ42の動作が良好なものとなる。
【0022】
本発明でいう前記高インピーダンスは、圧電基板材料、SAW共振子のIDT電極指対数、IDT電極指ピッチ等のパラメータにより変動はあるが、少なくとも1000Ω以上とするのが、本発明の上記効果を発揮するうえで必要である。
【0023】
本発明のフィルタ49a,49b,49cは、一般的に、インダクタ,キャパシタ,抵抗素子等のインピーダンス素子により構成できるが、SAW共振子を用いると、他のSAW共振子と共に同じ製造工程で一体的に作製でき、また従来の遅延線路よりも大幅な小型化が可能となるため好適である。また、前記フィルタ49a,49b,49cは、高域側の通過周波数帯域を含む高周波数帯域側では、低インピーダンスのフィルタ又は高インピーダンスのフィルタ(低域通過フィルタ)のいずれでもよいが、低域通過フィルタである方が、高周波数帯域側で信号がグランドへショートし難いため好ましい。
【0024】
本発明は、SAWフィルタが2種類のものに限らず、通過周波数帯域が各々異なるものを複数並列接続したものであれば適用できる。例えば、3種類のSAWフィルタの場合、高域、中域、低域の通過周波数帯域に相当するSAWフィルタにおいて、より高域側のものと低域側のものとの関係で本発明を適用すればよい。例えば、高域と中域、高域と低域、中域と低域、高域及び中域と低域という関係において適用する。
【0025】
また、本実施形態では、一入力二出力タイプについて説明したが、二入力一出力タイプの場合も同様である。
【0026】
本発明において、SAW共振子のIDT電極はAlあるいはAl合金(Al−Cu系,Al−Ti系等)からなり、特にAlが励振効率が高く、材料コストが低いため好ましい。また、IDT電極は蒸着法、スパッタリング法又はCVD法等の薄膜形成法により形成する。
【0027】
そして、IDT電極の対数は50〜200程度、電極指の幅は0.1〜10.0μm程度、電極指の間隔は0.1〜10.0μm程度、電極指の開口幅(交差幅)は10〜100μm程度、IDT電極の厚みは0.2〜0.4μm程度とすることが、共振器あるいはフィルタとしての所期の特性を得るうえで好適である。また、IDT電極の電極指間に酸化亜鉛,酸化アルミニウム等の圧電材料を成膜すれば、SAWの共振効率が向上し好適である。
【0028】
SAWフィルタ用の圧電基板としては、36°Yカット−X伝搬のLiTaO3 結晶、64°Yカット−X伝搬のLiNbO3 結晶、45°Xカット−Z伝搬のLiB4 O7 結晶等が、電気機械結合係数が大きく且つ群遅延時間温度係数が小さいため好ましい。圧電基板の厚みは0.3〜0.5mm程度がよく、0.3mm未満では圧電基板が脆くなり、0.5mm超では材料コストが大きくなる。
【0029】
かくして、本発明は、低域側の通過周波数帯域におけるフィルタ通過特性の劣化を抑制、防止し、また小型化に適しており、その結果、低コストに製造可能になるという作用効果を有する。
【0030】
なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更は何等差し支えない。
【0031】
【実施例】
本発明の実施例を以下に説明する。図1のようなデュアルモード型のSAWフィルタを、以下の(1)〜(3)の工程で製造した。
【0032】
(1)36°Yカット−X伝搬のLiTaO3 結晶から成るウエハ上に、複数のSAWフィルタ用のパターンを、紫外線(Deep-UV 光)光源を用いた密着露光機によるフォトリソグラフィ法で形成し、前記パターン上にIDT電極及び反射器用のAlを電子ビーム蒸着法により3500Å成膜した。
【0033】
(2)レジスト剥離液中で不要なAlをリフトオフし、SAWフィルタ用のAlパターンを形成した。
【0034】
(3)パターニングの完了したウエハを個々のSAWフィルタにダイシング法でカットし、個々のSAWフィルタをSMD(Surface Mounted Device:表面実装素子)用のパッケージに収容して、エポキシ樹脂で接着固定し、リッドを被せ封止する。
【0035】
そして、本実施例のSAWフィルタの各SAW共振子及びSAW共振子から成るフィルタのパラメータを表2に示す。本実施例のフィルタのインピーダンス値は、低域側の通過周波数帯域(840±12.5MHz)において、約1000Ωであった。尚、高域側の通過周波数帯域は880±12.5MHzである。
【0036】
【表2】
【0037】
また、図3にそのフィルタ特性を示し、同図(a)はフィルタ通過特性のグラフ、(b)はVSWR−周波数特性のグラフである。図3において明らかなように、SAWフィルタ41,42による2つの通過周波数帯域が実現されており、各々の通過周波数帯域において、相手側の通過周波数帯域への信号の漏れは−20dB以下に抑制された。その結果、低域側のフィルタ通過特性が改善され、劣化はまったく見られなかった。また、VSWR−周波数特性も大きく改善された。
【0038】
更に、図1のSAWフィルタ41,42全体が一個の圧電基板上に一体的に集積化されているので、従来の遅延線路を使用したものと比較して、大幅な小型化及び低コスト化が達成された。
【0039】
【発明の効果】
本発明は、高域側の通過周波数帯域を有するSAWフィルタの並列SAW共振子と接地間に、低域側の通過周波数帯域で1000Ω以上の高インピーダンスのフィルタを介装することにより、低挿入損失のフィルタ通過特性及び低VSWR−周波数特性が実現できるという作用効果を有する。
【0040】
また、フィルタをSAWフィルタと同一の圧電基板上に一体的に形成可能なため、従来の長い遅延線路が不要となり、大幅な小型化ができる。更には、仕様に応じて異なる遅延線路を個々のパッケージ上に設ける必要もないため、パッケージが共用化され、低コストに製造できるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のSAWフィルタのブロック図である。
【図2】本発明のSAWフィルタの低域側の通過周波数帯域における、インピーダンス特性の等価回路図である。
【図3】本発明のSAWフィルタのフィルタ特性を示し、(a)はフィルタ通過特性のグラフ、(b)はVSWR−周波数特性のグラフである。
【図4】(a)は従来のSAW共振子の基本構成の平面図、(b)は従来のSAW共振子のインピーダンス特性のグラフである。
【図5】(a)は従来のラダー型SAWフィルタの回路図、(b)は並列SAW共振子のインピーダンス特性のグラフ、(c)は直列SAW共振子のインピーダンス特性のグラフ、(d)はラダー型SAWフィルタのフィルタ通過特性のグラフである。
【図6】(a)は図5(d)の周波数8における従来のラダー型SAWフィルタのインピーダンス特性の等価回路図、(b)は図5(d)の周波数9における従来のラダー型SAWフィルタのインピーダンス特性の等価回路図、(c)は図5(d)の周波数10における従来のラダー型SAWフィルタのインピーダンス特性の等価回路図である。
【図7】(a)は従来のデュアルモード型のSAWフィルタのフィルタ通過特性を模式的に示したグラフ、(b)は従来の一入力二出力タイプのブロック図、(c)は従来の二入力一出力タイプのブロック図である。
【図8】従来の通過周波数帯域が異なる2つのSAWフィルタを、一入力二出力タイプのデュアルモード型としたもののブロック図である。
【図9】(a)は図8のものの理想的なフィルタ通過特性のグラフ、(b)は図8のものの理想的なVSWR−周波数特性のグラフである。
【図10】(a)は図8のものの実際のフィルタ通過特性のグラフ、(b)は図8のものの実際のVSWR−周波数特性のグラフである。
【図11】図8のものの低域側の通過周波数帯域におけるインピーダンス特性の等価回路図である。
【図12】従来の一入力二出力タイプのデュアルモード型のSAWフィルタで、各SAWフィルタの前段に遅延線路を設けたもののブロック図である。
【符号の説明】
1:IDT電極
2:IDT電極
3:反射器
41:低域側の通過周波数帯域に相当するSAWフィルタ
42:高域側の通過周波数帯域に相当するSAWフィルタ
43a:直列SAW共振子
43b:直列SAW共振子
43c:直列SAW共振子
44a:並列SAW共振子
44b:並列SAW共振子
45a:直列SAW共振子
45b:直列SAW共振子
46a:並列SAW共振子
46b:並列SAW共振子
46c:並列SAW共振子
49a:フィルタ
49b:フィルタ
49c:フィルタ
Claims (1)
- 通過周波数帯域が異なる複数のラダー型弾性表面波フィルタを並列接続して成り、高域側の通過周波数帯域を有するラダー型弾性表面波フィルタの並列弾性表面波共振子と接地間に、低域側の通過周波数帯域で1000Ω以上の高インピーダンスを有するフィルタを介装してなることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
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