JPH06268293A

JPH06268293A - パルスレーザの電源装置

Info

Publication number: JPH06268293A
Application number: JP4929693A
Authority: JP
Inventors: Shigenori Aoki; 茂徳青木; Yasuo Tanaka; 康雄田中; Naoki Mitsuyanagi; 直毅三柳
Original assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Current assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Priority date: 1993-03-10
Filing date: 1993-03-10
Publication date: 1994-09-22

Abstract

(57)【要約】【目的】パルスレーザの電源装置において、フラッシュ
ランプのインピーダンスに応じて安定したシマー電流を
流すためのシマー電圧を個々のフラッシュランプ毎に設
定することができ、安定したレーザ発振を行うことがで
きるようにする。【構成】レーザ光発生に先立つシマー電圧設定動作にお
いて、シマー電圧設定部２６の指令に基づきシマー回路
５を介してフラッシュランプ７へシマー電圧設定値Ｖ_S
が印加される。次にトリガ回路６でフラッシュランプ７
に電場がかけられ、その際シマー電流が流れたか否かが
電流検出部１９で判定される。シマー電圧設定値Ｖ
_Sは、ＲＯＭ２２に格納されたフローに沿ってＣＰＵ２
３によりＶ_MINからＶ_MAXの範囲で増加させられ、電流検
出部１９でシマー電流が流れ始めたと判定された時の電
圧が最適なシマー電圧としてＲＡＭ２１に記憶される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フラッシュランプで発
振素子を励起しレーザ光を発生させるパルスレーザ発振
器に係わり、特にフラッシュランプに安定したシマー電
流を流すためのシマー電圧を設定する機能を有するパル
スレーザの電源装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＹＡＧレーザ等の固体レーザを発振させ
るレーザ発振器は、レーザ発振を起こすＹＡＧロッド等
の発振素子と、そのロッドに光を照射して励起エネルギ
を与えるフラッシュランプとを備える。このような固体
レーザ発振器でパルス状のレーザ光を得る場合は、フラ
ッシュランプをパルス状に発光させ、その時間（周期）
と印加電圧によって出力を制御している。

【０００３】上記のようにフラッシュランプをパルス状
に発光させる場合、安定したレーザ発振が行えるよう
に、フラッシュランプには予めシマー電流と呼ばれる微
弱な電流が流されており、この状態のフラッシュランプ
にスイッチ回路によってパルスエネルギを供給すること
によりフラッシュランプが発光する。このシマー電流は
シマー回路で設定されたシマー電圧がフラッシュランプ
に印加されることによって流れる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】発振素子の励起用に使
用されるフラッシュランプは、発光時間や印加される電
圧などによって耐久時間に違いはあるが、寿命が近づく
と劣化したり破損する消耗品であり、その都度交換する
必要がある。しかし、交換されるフラッシュランプは、
同じ種類のものであっても、その内部に封入されるガス
の圧力や成分比等の違いにより個々のインピーダンスが
異なり、同じ印加電圧でも流れる電流が変化し、フラッ
シュランプの交換毎に出力される電力が変化してしま
う。

【０００５】また、安定したレーザ発振を行うためのシ
マー電流は、シマー回路で設定されたシマー電圧をフラ
ッシュランプに印加することにより流れるが、個々のフ
ラッシュランプのインピーダンスが異なるためシマー電
流もフラッシュランプの交換毎に変化してしまう。つま
り、高インピーダンスのフラッシュランプに合わせてシ
マー電圧値を設定すると、低インピーダンスのフラッシ
ュランプでは過剰電流を流すことになり、低インピーダ
ンスのフラッシュランプに合わせて電圧値を設定する
と、高インピーダンスのフラッシュランプでは必要電流
を流せなくなる。さらに、フラッシュランプの特性が劣
化したり破損したりすると、シマー電圧を印加しても電
流が流れない場合もある。

【０００６】本発明の目的は、フラッシュランプを交換
しても、そのインピーダンスに応じて安定したシマー電
流を流すためのシマー電圧を個々のフラッシュランプ毎
に設定することができ、安定したレーザ発振を行うこと
ができるパルスレーザの電源装置を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によれば、シマー回路によりフラッシュラン
プにシマー電圧を印加して予めシマー電流を流し、さら
にこのフラッシュランプにパルスエネルギを供給して発
光させ、励起素子を励起してパルス状にレーザ光を発生
させるパルスレーザの電源装置において、前記フラッシ
ュランプのインピーダンスに応じて安定したシマー電流
を流すためのシマー電圧を設定するシマー電圧設定手段
を有することを特徴とするパルスレーザの電源装置が提
供される。

【０００８】ここで好ましくは、前記シマー電圧設定手
段は、シマー電圧を所定の電圧範囲内において変化させ
る電圧変化手段と、該シマー電圧の変化に対応してシマ
ー電流が流れるかどうかを判定するシマー電流検出手段
と、該シマー電流が流れる時の最低のシマー電圧を記憶
するシマー電圧記憶手段とを有する。

【０００９】また、好ましくは、前記電圧変化手段によ
り所定の電圧範囲内においてシマー電圧を変化させて
も、前記シマー電流検出手段でシマー電流が全く流れな
いと判定された場合に、前記フラッシュランプまたは前
記シマー回路の故障であると判定する故障判定手段と、
前記故障が判定された時に警告を発する警告発生手段と
を有する。

【００１０】また、上記パルスレーザの電源装置におい
て好ましくは、前記シマー電圧設定手段によりシマー電
圧が設定されている間は、前記励起素子より発生するレ
ーザ光が外部に出て行かないようにこれを遮断するレー
ザ光遮断手段をさらに有する。

【００１１】

【作用】上記のように構成した本発明において、シマー
電圧設定手段によって設定されるシマー電圧は、個々の
フラッシュランプのインピーダンスに応じて安定したシ
マー電流を流すための電圧である。従って、フラッシュ
ランプを交換しても、上記設定されたシマー電圧がフラ
ッシュランプに印加され、個々のフラッシュランプ毎の
インピーダンスに影響されないシマー電流が安定してフ
ラッシュランプに流れ、過剰な電流が流れたり、必要な
電流が流れなくなることが防止される。

【００１２】また、シマー電圧設定手段においては、電
圧変化手段によってシマー電圧を所定の電圧範囲内で変
化させ、このシマー電圧の変化に対応してシマー電流が
流れるかどうかがシマー電流検出手段で判定される。そ
して、シマー電流が流れると判定されたシマー電圧のう
ち最低の電圧が設定すべきシマー電圧としてシマー電圧
記憶手段によって記憶される。即ち、フラッシュランプ
に少しでも電流が流れれば、その時にその電流をシマー
電流とし、このシマー電流を流しうる最低の電圧をシマ
ー電圧とする。例えば、シマー電圧を漸増させていった
時、シマー電流が流れ始めた時の電圧が最適なシマー電
圧として記憶されることになる。これにより、設定され
るシマー電圧は個々のフラッシュランプのインピーダン
スに対応した電圧となり、この記憶されたシマー電圧が
フラッシュランプに印加されることにより、個々のフラ
ッシュランプ毎のインピーダンスに影響されずに安定し
たシマー電流がフラッシュランプに流れ、過剰な電流が
流れたり、必要な電流が流れなくなることが防止され
る。

【００１３】さらに、故障判定手段において、所定の電
圧範囲内でシマー電圧を変化させても全くシマー電流が
流れない場合には、特性劣化や破損等のフラッシュラン
プの故障またはシマー回路等の故障であると判定され、
警告発生手段より故障の警告が発せられる。

【００１４】また、上記シマー電圧設定手段によってシ
マー電圧が設定されている間に、レーザ光が外部に出て
行かないように遮断手段によってこれを遮断することに
より、上記シマー電圧の設定中の安全性が維持される。
即ち、照射すべきでない物にレーザ光が誤って照射され
たり、作業者の身体にレーザ光が照射される等の事故が
防止される。

【００１５】

【実施例】本発明によるパルスレーザの電源装置の一実
施例について、図１及び図２を参照しながら説明する。

【００１６】まず、本実施例のパルスレーザの電源装置
の構成について図１により説明する。図１においてパル
スレーザの電源装置は、商用電源１と、商用電源１から
の交流電流を直流に整流し供給する直流電源２と、レー
ザ光を発生するレーザ発振器１４と、直流電源２及びレ
ーザ発振器１４の間の回路を構成する充電コンデンサ
３、スイッチ回路４、シマー回路５、及びトリガ回路６
と、これらの回路における電圧及び電流の測定をそれぞ
れ行う電圧検出部１８及び電流検出部１９と、装置全体
の制御を行う制御部３０とから構成される。

【００１７】レーザ発振器１４は、光励起型の固体レー
ザであり、クリプトンランプやキセノンランプ等からな
る励起用のフラッシュランプ７を発光させると、そのエ
ネルギによってＹＡＧロッド等の発振素子９がレーザ光
を発生する。レーザ光はエンドミラー８と出力ミラー１
０との間で共振し、ある強度に達すると出力ミラー１０
から外部に出ていく。

【００１８】また、ビームシャッタ１１は制御部３０の
インターフェイス２４からの信号により開閉動作を行
う。ビームシャッタ１１が閉状態ではレーザ光はアブソ
ーバ１２に吸収されレーザ発振器１４の外部には出力さ
れない。ビームシャッタ１１が開状態ではレーザ光は発
振器１４から出力され、穴開け、切断、溶接といった加
工等に用いることができる。

【００１９】フラッシュランプ７には、安定したレーザ
発振が行えるように、シマー回路５により予めシマー電
流と呼ばれる微弱な電流が流されている。この状態、つ
まりフラッシュランプ７が予備点灯されている状態で、
スイッチ回路４によってパルスエネルギを供給すること
によってフラッシュランプ７が発光する。

【００２０】制御部３０は、発振周波数とパルス幅を設
定するタイミング回路１６、直流電源２から出力する直
流電流の電圧を設定する電圧設定部１７、レーザ発振器
１４を制御するための指令信号やパラメータを入力する
入力部２０、予め図２のフローチャートやその他の演算
処理の手順が格納されたＲＯＭ２２、各回路へ指令を送
ったりデータの各種演算処理を行うＣＰＵ２３、電圧検
出部１８及び電流検出部１９において検出したデータや
ＣＰＵ２３で演算したデータを一時的に格納するＲＡＭ
２１、レーザ発振器１４のビームシャッタ１１の開閉信
号を送信するインターフェイス２４、電圧検出部１８及
び電流検出部１９からのアナログ信号をデジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換部２５、シマー回路５からフラッシ
ュランプ７に印加されるシマー電圧をＣＰＵ２３の指令
のもとに設定するシマー電圧設定部２６、及びパラメー
タの設定値等の表示や故障の警告等を表示する表示部１
５から構成される。またＲＡＭ２１は図示しないバック
アップ用の電源を有し、全体の電源を止めてもデータを
保持できる。

【００２１】次に、以上の構成を有するパルスレーザの
電源装置によるレーザ光発生の基本的な動作について説
明する。まず、商用電源１から例えばＡＣ２００（Ｖ）
の電力が直流電源２に供給され、直流電源２によって交
流が直流に整流され、制御部３０のタイミング回路１６
の信号により電圧設定部１７であらかじめ設定された電
圧の電流が出力される。この出力電流は充電コンデンサ
３に供給される。

【００２２】フラッシュランプ７にはシマー電圧設定部
２６より設定した電圧（シマー電圧）がシマー回路５に
より印加され、この状態のフラッシュランプ７のまわり
の電極１３にトリガ回路で電場をかけることによりシマ
ー電流がフラッシュランプ７を流れる。このシマー電圧
は、レーザ光発生の動作に先立って、後述するような設
定動作によって予め設定されている。

【００２３】上記のようにフラッシュランプ７にシマー
電流が流れた状態で、スイッチ回路４によって次のよう
にパルスエネルギを供給する。即ち、スイッチ回路４
は、発振周波数とパルス幅が予め設定されたタイミング
回路１６からの信号に従って充電コンデンサ３に蓄えら
れた電荷をパルス状に放電し、このパルス放電によりレ
ーザ発振器１４のフラッシュランプ７にパルスエネルギ
が供給される。これにより、フラッシュランプ７が発光
し、また回路にはランプ電流がパルス状に流れ、そし
て、フラッシュランプ７の発光により励起された発振素
子９よりレーザ光が発生する。

【００２４】この時のランプ電流のピーク電流値が電流
検出部１９で検出され、その検出信号は制御部３０のＡ
／Ｄ変換部２５に送信される。また、この時スイッチ回
路４による充電コンデンサ３からの放電の出力電圧値が
電圧検出部１８で検出され、同様にその検出信号はＡ／
Ｄ変換部２５に送信される。受信したピーク電流値およ
び出力電圧値は、Ａ／Ｄ変換部２５においてデジタル値
に変換され、そのデジタル値はＣＰＵ２３の動作に従っ
てＲＡＭ２１に一旦保持される。このＣＰＵ２３はＲＯ
Ｍ２２にあらかじめ格納されたソフトウェアの手順に従
い動作し、上記ピーク電流値及び放電の出力電圧値より
フラッシュランプ７のインピーダンス特性等が求めら
れ、ランプの種類の判定や登録された加工条件に対する
適合性の確認等が行われる。上記の動作は、例えば本件
出願人が先に出願した特願平４−２５８２８５号（平成
４年９月２８日出願）に記載されている。

【００２５】次に、本発明のパルスレーザの電源装置に
おけるシマー電圧の設定動作について図２により説明す
る。以下に説明する動作はあらかじめＲＯＭ２２にプロ
グラミングされており、ＣＰＵ２３がそれに基づいて起
動するものである。この設定動作は、ランプの交換が行
われた時等に実際のレーザ光発振を行うに先立って安定
したシマー電流を流すために行われるものであって、オ
ペレータが入力部２０よりシマー電圧の設定動作を指示
することにより行われる。そしてこの指示を行うと図２
の設定動作のフローに入る。

【００２６】まず、ステップＳ１において、ビームシャ
ッタ１１が閉じられる。このビームシャッタ１１は、シ
マー電圧が設定されている間はレーザ光が外部に出て行
かないように閉じられており、この間に照射すべきでな
い物にレーザ光が誤って照射されたり、作業者の身体に
レーザ光が照射される等の事故が防止され、安全性が維
持される。上記ステップＳ１はビームシャッタ１１と共
に遮断手段を構成する。

【００２７】次いで、ステップＳ２において、シマー電
圧設定値として設けられた変数Ｖ_Sへ初期値Ｖ_MINが代入
される。このＶ_MINはシマー回路５において設定可能な
最小値（最低電圧）であり、例えば８０〜９０（Ｖ）程
度とする。

【００２８】次に、ステップＳ３において、ＣＰＵ２３
の指令によりシマー電圧設定部２６に上記シマー電圧設
定値Ｖ_Sが設定される。そして、シマー電圧設定部２６
からの指令に従ってシマー回路５によりフラッシュラン
プ７へシマー電圧設定値Ｖ_Sが印加される。

【００２９】次に、ステップＳ４において、ＣＰＵ２３
からの指令信号によってトリガ回路６が起動し、シマー
電圧設定値Ｖ_Sが印加された状態のフラッシュランプ７
のまわりの電極１３（図１参照）に電場がかけられる。

【００３０】次に、ステップＳ５において、電流検出部
１９（図１参照）によりこの時の電流値が測定され、Ａ
／Ｄ変換部２５でデジタル値に変換され、ＣＰＵ２３で
シマー電流が流れているかどうかが判定される。このス
テップＳ５において電流が全く流れていないと判定され
た場合は、シマー電圧が低すぎるかフラッシュランプ７
が破損している場合である。

【００３１】この場合、ステップＳ６に進み、まずトリ
ガ回路６が停止される。そして、ステップＳ７に進み、
シマー電圧設定値Ｖ_Sが予め決められている設定可能な
シマー電圧の最大値（最高電圧）Ｖ_MAXと比較されてそ
れ以上かどうかが判定される。始めはＶ_Sに最小値Ｖ_MIN
が代入されているので、ここでＶ_Sが即Ｖ_MAXであると判
定されることはないが、以下述べるようにステップＳ３
からＳ８のループを経るうちにＶ_Sが増加し、このステ
ップＳ７で、もしＶ_SがＶ_MAX以上と判定された時には、
最大のシマー電圧を印加しても電流が流れないことにな
る。この時、フラッシュランプ７の破損やシマー回路自
体の故障等、何らかの故障とみなされ、ステップＳ９に
進み、表示部１５に警告表示が出力されてこのフローが
終了する。上記シマー電圧の最大値Ｖ_MAXとしては、例
えば１５０（Ｖ）程度とする。また、上記ステップＳ７
は故障判定手段を構成し、ステップＳ９は表示部１５と
共に警告発生手段を構成する。

【００３２】また、ステップＳ７においてＶ_SがＶ_MAXよ
り小さいと判定された時は、ステップＳ８に進み、Ｖ_S
に増分ΔＶ_Sが加えられ、その値が新たなＶ_Sとして設定
されてステップＳ３に戻る。即ち、シマー電圧設定値Ｖ
_Sは、Ｖ_MINからＶ_MAXの範囲において、シマー電流が流
れ始めるまで増分ΔＶ_Sで順次増加させられる。この増
分ΔＶ_Sの幅はシマー電圧の精度を決定するものであっ
て、予め適当な値が設定されている。上記ステップＳ
２，Ｓ３，Ｓ８はシマー電圧設定部２６と共に電圧変化
手段を構成する。

【００３３】上記のようにシマー電圧設定値Ｖ_Sが順次
増加して行き、ステップＳ５においてシマー電流が流れ
ると判定された場合、ステップＳ１０に進み、まずトリ
ガ回路が停止される。上述のステップＳ４，Ｓ５，Ｓ
６，Ｓ１０は電流検出部１９と共にシマー電流検出手段
を構成する。

【００３４】次に、ステップＳ１１に進み、この時設定
されているＶ_Sの値が最適なシマー電圧値として変数Ｖ
_SMに代入され、ステップＳ１２でこの変数Ｖ_SMがＲＡＭ
２１に格納されて記憶され、このフローが終了する。そ
して、この設定動作に続く先述のレーザ光発生の動作の
際に、このシマー電圧Ｖ_SMがフラッシュランプ７に印加
され、このシマー電圧に対応して安定したシマー電流が
流される。また、ＲＡＭ２１は装置の電源を切ってもデ
ータを保持するバックアップ機能を有しているため、次
にシマー電圧の設定動作が行われ新たなシマー電圧が設
定されるまでこのデータは保存されている。上記ステッ
プＳ１１，Ｓ１２はＲＡＭ２１と共にシマー電圧記憶手
段を構成する。

【００３５】以上のようにして、フラッシュランプ７に
シマー電流が流れ始めるシマー電圧、即ちフラッシュラ
ンプ７にシマー電流が流れる時の最低のシマー電圧を探
しだし、その値を最適なシマー電圧としてＲＡＭ２１に
記憶させておき、以後レーザ発振器１４を発振させる時
にはこのシマー電圧値を用いる。これによって、個々の
フラッシュランプ毎のインピーダンスに影響されずに安
定したシマー電流がフラッシュランプ７に流れ、スイッ
チ回路４から供給されるパルスエネルギによって安定し
たレーザ発振を行うことができる。

【００３６】以上のように構成した本実施例において
は、ＲＯＭ２２にプログラミングされたフローに従い、
ＣＰＵ２３によってシマー電圧設定値Ｖ_SがＶ_MINからＶ
_MAXの範囲内で増加させられ、電流検出部１９でシマー
電流が流れ始めたと判定された時の電圧がシマー電圧と
してＲＡＭ２１に記憶される。この記憶されたシマー電
圧がフラッシュランプ７に印加されることにより、フラ
ッシュランプを交換した後においても、個々のフラッシ
ュランプ毎のインピーダンスに影響されずに安定したシ
マー電流がフラッシュランプ７に流れる。従って、過剰
な電流が流れたり、必要な電流が流れなくなることが防
止され、安定したレーザ発振を行うことができる。ま
た、過剰な電流を流さないので、省エネルギ化を図るこ
とができる。

【００３７】また、Ｖ_MINからＶ_MAXの電圧範囲内でシマ
ー電圧設定値Ｖ_Sを増加させても全くシマー電流が流れ
ない場合に、故障であると判定して表示部１５より警告
を発するので、特性劣化や破損等のフラッシュランプの
故障、またはシマー回路等の故障を知ることができる。

【００３８】また、上記シマー電圧が設定されている間
はレーザ光が外部に出て行かないようにビームシャッタ
１１を閉じるので、この間に照射すべきでない物にレー
ザ光が誤って照射されたり、作業者の身体にレーザ光が
照射される等の事故が防止され、安全性を維持すること
ができる。

【００３９】本発明によるパルスレーザの電源装置の他
の実施例について、図３を参照しながら説明する。本実
施例の構成は、ＲＯＭ２２にプログラミングされたシマ
ー電圧の設定動作のフローが異なること以外は、前述の
実施例と同様である。

【００４０】以下、本実施例のシマー電圧の設定動作に
ついて説明する。前述の実施例と同様にオペレータがシ
マー電圧の設定動作を指示することにより図３の設定動
作のフローに入り、ステップＳ２１において、図２のス
テップＳ１と同様にビームシャッタ１１が閉じられる。
このビームシャッタ１１を閉じることにより、前述の実
施例と同様に安全性が維持される。

【００４１】次いで、ステップＳ２２において、ＣＰＵ
２３にシマー電圧設定値として設けられた変数Ｖ_Sへ初
期値Ｖ_MAXが代入される。このＶ_MAXはシマー回路５にお
いて設定可能な最大値（最高電圧）であり、例えば１５
０（Ｖ）程度とする。

【００４２】次に、ステップＳ２３において、ＣＰＵ２
３の指令によりシマー電圧設定部２６に上記シマー電圧
設定値Ｖ_Sが設定される。そして、シマー電圧設定部２
６からの指令に従ってシマー回路５によりフラッシュラ
ンプ７へシマー電圧設定値Ｖ_Sが印加される。

【００４３】次に、ステップＳ２４において、ＣＰＵ２
３からの指令信号によってトリガ回路６が起動し、シマ
ー電圧設定値Ｖ_Sが印加された状態のフラッシュランプ
７のまわりの電極１３に電場がかけられる。

【００４４】次に、ステップＳ２５において、電流検出
部１９（図１参照）によりこの時の電流値が測定され、
Ａ／Ｄ変換部２５でデジタル値に変換され、ＣＰＵ２３
でシマー電流が流れているかどうかが判定される。この
ステップＳ２５において電流が流れると判定された場合
は、シマー電圧設定値Ｖ_Sはまだ十分高い値である場合
である。この時、ステップＳ２６に進み、まずトリガ回
路が停止される。

【００４５】そして、ステップＳ２７に進み、シマー電
圧設定値Ｖ_Sが予め決められている設定可能なシマー電
圧の最小値（最低電圧）Ｖ_MINと比較されてそれ以下か
どうかが判定される。始めはＶ_Sに最大値Ｖ_MAXが代入さ
れているので、ここでＶ_Sが即Ｖ_MINであると判定される
ことはないが、以下述べるようにステップＳ２３からＳ
２８のループを経るうちにＶ_Sが低下し、このステップ
Ｓ２７でもしＶ_SがＶ_MIN以下と判定された時には、最小
値以下のシマー電圧でも電流が流れてしまうので何らか
の故障とみなされ、ステップＳ２９に進み、表示部１５
に警告表示が出力されてこのフローが終了する。上記シ
マー電圧の最小値Ｖ_MINとしては、例えば８０〜９０
（Ｖ）程度とする。

【００４６】また、ステップＳ２７でＶ_SがＶ_MINよりも
大きいと判定された場合にはステップＳ２８に進み、Ｖ
_Sから変化分ΔＶ_Sが減じられ、その値が新たなＶ_Sとし
て設定されてステップＳ２３に戻る。即ち、シマー電圧
設定値Ｖ_Sは、Ｖ_MAXからＶ_MINの範囲において、シマー
電流が流れなくなるまで変化分ΔＶ_Sで順次低下させら
れる。この変化分ΔＶ_Sの幅はシマー電圧の精度を決定
するものであって、予め適当な値が設定されている。上
記ステップＳ２２，Ｓ２３，Ｓ２８はシマー電圧設定部
２６と共に電圧変化手段を構成する。

【００４７】上記のようにシマー電圧設定値Ｖ_Sが順次
低下して行き、ステップＳ２５においてシマー電流が流
れなくなったと判定された場合、ステップＳ３０に進
み、まずトリガ回路が停止される。上述のステップＳ２
４，Ｓ２５，Ｓ２６，Ｓ３０は電流検出部１９と共にシ
マー電流検出手段を構成する。

【００４８】次に、ステップＳ３１に進み、シマー電圧
設定値Ｖ_Sが最大値Ｖ_MAXと比較されてそれと等しいかど
うかが判定される。先述のようにステップＳ２３からＳ
２８のループを経た場合はＶ_SがＶ_MAXとはなり得ない
が、ステップＳ２３からＳ２８のループを経ない場合、
即ちＶ_S＝Ｖ_MAXである場合は、最大のシマー電圧を印加
しても電流が流れないことになる。この時、フラッシュ
ランプ７の破損やシマー回路自体の故障等、何らかの故
障とみなされ、ステップＳ２９に進み、表示部１５に警
告表示が出力されてこのフローが終了する。前述のステ
ップＳ２７と上記ステップＳ３１は故障判定手段を構成
し、ステップＳ２９は表示部１５と共に警告発生手段を
構成する。

【００４９】また、ステップＳ３１においてＶ_SがＶ_MAX
と等しくない、即ちＶ_SがＶ_MAXより小さいと判定された
場合は、ステップＳ３２に進み、この時設定されている
Ｖ_Sの値に変化分ΔＶ_Sが加えられ、その値が新たなＶ_S
として設定され、次のステップＳ３３において、このＶ
_Sが最適なシマー電圧値として変数Ｖ_SMに代入される。
即ち、ステップＳ２３からＳ２８のループでＶ_Sを順次
低下させて行った時の、シマー電流が流れなくなる直前
のＶ_Sが最適なシマー電圧となる。これも図２の場合と
同様に、フラッシュランプ７にシマー電流が流れる時の
最低のシマー電圧である。

【００５０】さらに、ステップＳ３４でこの変数Ｖ_SMが
ＲＡＭ２１に格納されて記憶され、このフローが終了す
る。そして、前述の実施例と同様に上記設定動作に続く
レーザ光発生の動作の際に、このシマー電圧Ｖ_SMがフラ
ッシュランプ７に印加され、このシマー電圧に対応して
安定したシマー電流が流される。また、ＲＡＭ２１にお
いては、次にシマー電圧の設定動作が行われ新たなシマ
ー電圧が設定されるまで上記データが保存されている。
上記ステップＳ３２，Ｓ３３，Ｓ３４はＲＡＭ２１と共
にシマー電圧記憶手段を構成する。

【００５１】以上のように構成した本実施例において
も、図１及び図２で説明した実施例と同様の効果が得ら
れる。

【００５２】

【発明の効果】本発明によれば、フラッシュランプを交
換しても、これに対応したシマー電圧を設定することが
でき、そのインピーダンスに応じて安定したシマー電流
を流すことができる。従って、フラッシュランプに過剰
な電流が流れたり、必要な電流が流れなくなることが防
止され、安定したレーザ発振を行うことができる。

【００５３】また、フラッシュランプやシマー回路等の
故障を知ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によるパルスレーザの電源装
置の構成を示す図である。

【図２】図１に示したパルスレーザの電源装置におい
て、シマー電圧の設定を行うフローチャートである。

【図３】本発明の他の実施例によるパルスレーザの電源
装置において、シマー電圧の設定を行うフローチャート
である。

【符号の説明】

５シマー回路６トリガ回路７フラッシュランプ９発振素子１１ビームシャッタ１４レーザ発振器１５表示部１９電流検出部２１ＲＡＭ２２ＲＯＭ２３ＣＰＵ２４インターフェイス２６シマー電圧設定部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】シマー回路によりフラッシュランプにシ
マー電圧を印加して予めシマー電流を流し、さらにこの
フラッシュランプにパルスエネルギを供給して発光さ
せ、励起素子を励起してパルス状にレーザ光を発生させ
るパルスレーザの電源装置において、前記フラッシュラ
ンプのインピーダンスに応じて安定したシマー電流を流
すためのシマー電圧を設定するシマー電圧設定手段を有
することを特徴とするパルスレーザの電源装置。
【請求項２】前記シマー電圧設定手段は、シマー電圧
を所定の電圧範囲内において変化させる電圧変化手段
と、該シマー電圧の変化に対応してシマー電流が流れる
かどうかを判定するシマー電流検出手段と、該シマー電
流が流れる時の最低のシマー電圧を記憶するシマー電圧
記憶手段とを有することを特徴とする請求項１記載のパ
ルスレーザの電源装置。
【請求項３】前記電圧変化手段により所定の電圧範囲
内においてシマー電圧を変化させても、前記シマー電流
検出手段でシマー電流が全く流れないと判定された場合
に、前記フラッシュランプまたは前記シマー回路の故障
であると判定する故障判定手段と、前記故障が判定され
た時に警告を発する警告発生手段とを有することを特徴
とする請求項２記載のパルスレーザの電源装置。
【請求項４】前記シマー電圧設定手段によりシマー電
圧が設定されている間は、前記励起素子より発生するレ
ーザ光が外部に出て行かないようにこれを遮断するレー
ザ光遮断手段をさらに有することを特徴とする請求項１
記載のパルスレーザの電源装置。