JPH06267400A - 陰極構体 - Google Patents

陰極構体

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JPH06267400A
JPH06267400A JP5575393A JP5575393A JPH06267400A JP H06267400 A JPH06267400 A JP H06267400A JP 5575393 A JP5575393 A JP 5575393A JP 5575393 A JP5575393 A JP 5575393A JP H06267400 A JPH06267400 A JP H06267400A
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JP
Japan
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layer
cathode
electron
electron emission
rare earth
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Application number
JP5575393A
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English (en)
Inventor
Tadanori Taguchi
貞憲 田口
Shunji Saito
駿次 斎藤
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 長時間にわたって安定した高い電子放出特性
が得られることはもちろんのこと、品質が良好でかつ特
性上ばらつきのないものを得る。 【構成】 Niを主成分とし、Si、Mg、Zr、W等
の微量の還元性金属元素を含有する陰極基体と、この陰
極基体上に設けられたBaを含むアルカリ時類金属酸化
物の電子放出物質と、この電子放出物質の表面に設けら
れた少なくとも一種以上の希土類元素を含む薄膜酸化物
層とからなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、陰極構体に係り、たと
えば受像管あるいは撮像管等の各種電子管の陰極として
用いられる陰極構体に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の陰極構体は、たとえば図4に示
すように、ヒータ40を内蔵するスリーブ41があり、
このスリーブ41の一開口端を閉塞するように陰極基体
42が配置されている。
【0003】この陰極基体42は、Niを主成分として
Si、Mg、Zr等の微量の還元性金属元素が含有され
て構成されている。
【0004】また、この陰極基体42の表面には電子放
出物質層43が形成され、この電子放出物質層43はB
aを含むアルカリ土類金属酸化物から構成されている
(特開昭58−154130号公報参照)。
【0005】そして、近年では、このような陰極構体に
おいて、高電流密度で長時間安定した電子放出特性を有
するものが要望されるに到った。けだし、受像管あるい
は撮像感の高精細化が進んできたからである。
【0006】それ故、図4に示す陰極構体の電子放出物
質層43中に、酸化スカンジウムの粉末を分散させ、こ
れにより、アルカリ土類金属酸化物層中の遊離Ba、B
aOの濃度が高く保持されるようにしたものが知られる
に到った(特開昭61−271732号公報、特開昭6
2−22347号公報参照)。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような構
成からなる陰極構体は、電子放出物質層43内に酸化ス
カンジウム粉末を分散させて含有させた際、その電子放
出特性を安定化させるために行う活性化に極めて長時間
を要するという問題が残され、量産性の向上の妨げにな
っていた。
【0008】しかも、電子放出物質層43内に酸化スカ
ンジウム粉末を分散させて含有させる場合、それらの密
度の違いあるいは形状の違いなどのため、所定の比率で
一様に分散させることが困難であり、各陰極構体ごとに
電子放出特性が変動してしまうという問題も残されてい
た。
【0009】さらに、動作中において、酸化スカンジウ
ムが分散された電子放出物質層43の陰極基体42に対
する結合力が低下し、往々にして剥離が生じてしまうと
いう問題も残されていた。この現象は、分散させように
とする酸化スカンジウムの量が多くなればそれだけ顕著
になることが判明している。
【0010】それ故、本発明はこのような事情に基づい
てなされたものであり、その目的とするところのもの
は、長時間にわたって安定した高い電子放出特性を得る
ことのできることはもちろんのこと、品質が良好でかつ
特性上ばらつきのない陰極構体を提供するにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、基本的には、Niを主成分とし、
Si、Mg、Zr、W等の微量の還元性金属元素を含有
する陰極基体と、この陰極基体上に設けられたBaを含
むアルカリ土類金属酸化物の電子放出物質層と、この電
子放出物質の表面に設けられた少なくとも一種以上の希
土類元素を含む薄膜酸化物層とからなることを特徴とす
るものである。
【0012】
【作用】このように構成された陰極構体は、その電子放
出物質層の表面に、少なくとも一種以上の希土類元素を
含む薄膜酸化物層が形成されていることから、該電子放
出物質層内のBa、BaOの濃度が高く保持されるよう
になる。
【0013】これは、電子放出物質層上に形成された薄
膜酸化物層中の希土類元素が、陰極基体と電子放出物質
層との界面で生成されたBaと結合する性質を有するた
め、生成された該Baの陰極構体外への蒸発が抑制され
るからである。
【0014】したがって、このように電子放出物質層中
のBa、BaOの濃度が高く保持されれば、高い電流密
度で長時間安定した電子放出特性を得ることができるよ
うになる。
【0015】そして、希土類元素を含む薄膜酸化物層
は、電子放出物質層上に均一な膜厚で形成することが容
易であることから、品質が良好でかつ特性上ばらつきの
ないものを得ることができる。
【0016】
【実施例】図1は、本発明による陰極構体の一実施例を
示す断面図である。
【0017】同図において、加熱用ヒータ10を内蔵す
る円筒形状のスリープ11があり、このスリーブ11の
一開口端には、この開口端を閉塞するようにして陰極基
体12が配置されている。
【0018】そして、この陰極基体の表面には電子放出
物質層13が形成され、さらに、この電子放出物質層1
3の表面には薄膜酸化物層14が形成されている。
【0019】ここで、前記陰極基体12は、Niを主成
分として微量還元性金属元素としてのSi、Mg、W等
を含有する基体からなっている。このような微量還元性
金属元素は、前記電子放出物質層13中のBaOを還元
してBaを生成するために添加されるものである。
【0020】また、前記電子放出物質層13は、Baを
含むアルカリ土類金属酸化物からなる層となっている。
たとえば、Ba、Sr、Caを含む3元の炭酸塩((B
a、Sr、Ca)CO3)で構成されている。
【0021】このような電子放出物質層13は、たとえ
ばスプレーガン等で約80μmの厚さに塗布されて形成
されるようになっている。
【0022】さらに、前記薄膜酸化物層14は、Eu酸
化物(Eu23)からなる層である。この薄膜酸化物層
14は、前記電子放出物質層13の表面に、Eu23
ターゲットとしたスパッタ蒸着によって厚さ0.5〜6
000nmで形成されるようになっている。
【0023】なお、この薄膜酸化物層14の形成は、必
ずしもスパッタ蒸着に限定されず、たとえば真空蒸着、
イオンプレーテング、あるいはCVD等を用いて形成し
てもよい。
【0024】要は、膜厚を均一に形成できれば足り、物
理的あるいは化学的気相成長法等で行ってもよいことは
いうまでもない。
【0025】図2は、このように構成した陰極構体にお
ける電子放出能の経時変化を従来の陰極構体と比較して
示したグラフである。ここでは、それらの陰極構体で2
極真空管を製作して実験したものである。なお、2極真
空管の製作過程において、(Ba、Sr、Ca)CO3
は、酸化物の分解および陰極基体12に含有されている
還元性金属による還元からなる活性化過程を経て電子放
出物質層13になるものである。
【0026】同図に示すグラフは、その縦軸において、
各陰極の初期の電子放出能を100とした場合の電子放
出能の相対値を示し、横軸において、該陰極を電流密度
2A/cm2で動作させたときの動作時間の経過を10
00時間単位で示したものである。
【0027】図中、特性Aは本実施例の陰極構体による
もので、特性Bは従来の陰極構体によるものである。
【0028】このグラフから明らかなように、本実施例
による陰極構体は、従来の陰極構体と比較して、その寿
命特性が格段に優れていることが判明する。
【0029】また、図3は、実施例による陰極構体の表
面におけるBa濃度の変化を、従来による陰極構体のそ
れと比較して示したグラフである。各陰極構体をオージ
ェ分析装置に入れて活性化を行った後に、定格動作温度
よりも20%高い温度で加熱しながら陰極表面のBa濃
度の経時的変化を示したものである。
【0030】このグラフにおいて、その縦軸はBaのオ
ージェ強度を、横軸は加熱時間の経過を表している。
【0031】実施例による陰極構体の特性Aから明らか
なように、加熱によってもBa濃度の減少はほとんど見
られないのに対して、従来の陰極構体は加熱とともに急
激に減少することが判る(特性B)。
【0032】このことから、実施例における陰極構体の
電子放出物質層13中のBa濃度が常時高く保持される
ことになることから、図2に示したように良好な電子放
出特性を維持することができるようになる。
【0033】以上説明したことから明らかなように、本
実施例による陰極構体によれば、その電子放出物質層1
3の表面に、少なくとも一種以上の希土類元素を含む薄
膜酸化物層14が形成されていることから、該電子放出
物質層13内のBa、BaOの濃度が高く保持されるよ
うになる。
【0034】これは、電子放出物質層13上に形成され
た薄膜酸化物層14中の希土類元素が、陰極基体12と
電子放出物質層13との界面で生成されたBaと結合す
る性質を有するため、生成された該Baの陰極構体外へ
の蒸発が抑制されるからである。
【0035】したがって、このように電子放出物質層1
3中のBa、BaOの濃度が高く保持されれば、高い電
流密度で長時間安定した電子放出特性を得ることができ
るようになる。
【0036】そして、希土類元素を含む薄膜酸化物層1
4は、電子放出物質層13上に均一な膜厚で形成するこ
とが容易であることから、品質が良好でかつ特性上ばら
つきのないものを得ることができる。
【0037】上述した実施例では、陰極基体12中の還
元性金属をSiとし、また、薄膜酸化物層14をEu酸
化物としたものである。しかし、これに限定されること
なく、陰極基体12中の還元性金属をMg、Zr、W、
あるいはこれらの混合物であってもよく、また、薄膜酸
化物層14をEu以外の希土類元素を含んだ酸化物ある
いは複数以上の希土類元素を含んだ複合酸化物であって
もよいことはいうまでもない。
【0038】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による陰極構体によれば、長時間にわたって安定
した高い電子放出特性が得られることはもちろんのこ
と、品質が良好でかつ特性上ばらつきのないものを得る
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による陰極構体の一実施例を示す断面構
成図である。
【図2】本発明による陰極構体の効果を説明するための
グラフである。
【図3】本発明による陰極構体の効果を説明するための
グラフである。
【図4】従来の陰極構体の一例を示す断面構成図であ
る。
【符号の説明】
10 加熱用ヒータ 11 スリーブ 12 陰極基体 13 電子放出物質層 14 薄膜酸化物層

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Niを主成分とし、Si、Mg、Zr、
    W等の微量の還元性金属元素を含有する陰極基体と、こ
    の陰極基体上に設けられたBaを含むアルカリ土類金属
    酸化物の電子放出物質層と、この電子放出物質層の表面
    に設けられた少なくとも一種以上の希土類元素を含む薄
    膜酸化物層とからなることを特徴とする陰極構体。
JP5575393A 1993-03-16 1993-03-16 陰極構体 Pending JPH06267400A (ja)

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JP5575393A JPH06267400A (ja) 1993-03-16 1993-03-16 陰極構体

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001035435A1 (en) * 1999-11-12 2001-05-17 Orion Electric Co., Ltd. Electron tube cathode and method for manufacturing the same
KR100339747B1 (ko) * 1999-06-14 2002-06-05 가나이 쓰도무 개량된 음극을 갖는 음극선관
US6737794B2 (en) * 2002-09-04 2004-05-18 Lg Philips Displays Korea Co., Ltd. Cathode ray tube

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WO2001035435A1 (en) * 1999-11-12 2001-05-17 Orion Electric Co., Ltd. Electron tube cathode and method for manufacturing the same
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