JPH06266436A - サーボ送り装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 精密サーボ送り装置において、比較的簡単な
構成で、装置の剛性やサーボシステムの性能を低下させ
るこなく微細な誤差の補正を可能とする。 【構成】 レーザ光源１、ビームスプリッタ２、反射鏡
３、偏向ビームスプリッタ４、移動鏡８、参照鏡５及び
第１レシーバ６により、移動鏡８が載置されたテーブル
１６の位置を検出するテーブル測長系が構成される。ま
たレーザ光源１、ビームスプリッタ２、反射鏡９、偏向
ビームスプリッタ４、参照鏡５、偏光参照鏡１１及び第
２レシーバ１０により、参照鏡５の位置を検出する参照
鏡測長系が構成される。サーボコントローラ１４は第１
レシーバ６の出力に基づいて駆動装置１５を制御する。
補正用制御装置１８は第２レシーバ１０の出力及びデー
タ供給装置１７から供給される補正データに基づいて電
歪素子７に電圧を加え、参照鏡５の位置を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば工作機械のよう
に精密な位置決めが必要な装置におけるサーボ送り装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、サーボ技術が発達し応答性やロバ
スト性が高い性能の良いサーボコントローラが販売され
ているが、通常の市販サーボシステムでは、単純な代数
関数で表わされる送り（例えば１軸では定速送り、定加
速度送り、２軸では直線送り、円弧送り等）しかできな
い。

【０００３】ところが一般に装置を製作する際には単純
な送りの他に機械系の誤差や外力によるたわみ等の影響
を補正したい場合も多い。このような場合には、複雑な
関数で表わされる送りや微細な誤差を補正するための送
りを行う必要があり、そのために別の機械的補助駆動機
構を設けた装置が従来より提案されている（例えば特開
平２−２８４８４８号公報）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この装
置では装置全体の剛性が低下し、必要な精度を確保する
のが難しくなることがあった。

【０００５】また、上記のように機械的補助駆動機構を
設けることに代えて、サーボコントローラ自体を改造す
ることもできるが、コスト及び工数の増加が大きいとい
う問題があった。

【０００６】本発明は上述した点に鑑みなされたもので
あり、比較的簡単な構成で、装置の剛性やサーボシステ
ムの性能を低下させることなく微細な誤差等の補正を行
うことができるサーボ送り装置を提供することを目的と
する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、少なくとも一方向に移動可能なテーブルと、
該テーブルを前記少なくとも一方向に駆動するテーブル
駆動手段と、偏光面が互いに直交する２種類の直線偏光
を出射する光源と、前記２種類の直線偏光が入射され、
該２種類の直線偏光を分離してテーブル測長光及びテー
ブル参照光として出射する偏光ビームスプリッタと、前
記テーブルに固定され、前記テーブル測長光が入射さ
れ、これを反射するテーブル測長光反射手段と、前記テ
ーブル参照光が入射され、これを反射する参照鏡と、前
記テーブル測長光反射手段及び参照鏡の反射光を干渉さ
せ、その結果に基づいて前記テーブルの位置情報を検出
するテーブル位置情報検出手段と、該テーブル位置情報
に基づいて前記テーブル駆動手段を制御するサーボ制御
手段とを有するサーボ送り装置において、外部からデー
タが入力され、該データに基づく関数データを供給する
データ供給記憶手段と、該データ供給手段より供給され
た関数データに基づいて前記参照鏡を駆動し、前記テー
ブル参照光の光路長を変化させる参照鏡駆動手段とを設
けるようにしたものである。

【０００８】前記参照鏡駆動手段は、前記参照鏡を駆動
するアクチュエータと、前記参照鏡の位置を検出する参
照鏡位置検出手段と、検出した参照鏡位置が前記記憶手
段に記憶された関数データに応じて変化するように、前
記アクチュエータを制御する参照鏡位置制御手段とから
成ることが望ましい。

【０００９】前記参照鏡位置検出手段は、同一光路上に
おいては前記テーブル参照光の偏光面と直交する偏光面
を有する参照鏡測長光と、同一光路上においては前記テ
ーブル測長光の偏光面と直交する偏光面を有する参照鏡
参照光とを生成する偏光生成手段と、前記偏光ビームス
プリッタと、該偏光ビームスプリッタと前記テーブル測
長光反射手段との間に設けられ、前記テーブル測長光を
通過させ前記参照鏡参照光を反射する偏光参照鏡と、前
記参照鏡及び偏光参照鏡の反射光を干渉させ、その結果
に基づいて前記参照鏡の位置情報を取得する参照鏡位置
情報取得手段とから成り、前記参照鏡測長光は前記偏光
ビームスプリッタを介して前記参照鏡により反射され、
前記参照鏡参照光は前記偏向ビームスプリッタを介して
前記偏光参照鏡により反射され、それぞれ前記参照鏡位
置情報取得手段に入射されるように構成することが望ま
しい。

【００１０】前記参照鏡測長光の光路は、前記偏向ビー
ムスプリッタと前記参照鏡との間において、前記テーブ
ル参照光の光路と一致させることが望ましい。

【００１１】前記偏光生成手段は、前記光源と、該光源
から出射される２種類の直線偏光のそれぞれの一部を通
過させ、残部を反射して進行方向を変更するビームスプ
リッタと、反射鏡とから構成することが望ましい。

【００１２】前記テーブル測長光反射手段は、反射面が
前記テーブル測長光の光軸に垂直である平面鏡と、該平
面鏡と前記偏光ビームスプリッタとの間に設けられ、入
射光の偏光面の方向によりその入射光を通過させ又は反
射する偏光反射鏡と、該偏光反射鏡と前記平面鏡との間
に設けられ、入射光の偏光状態を変化させる偏光状態変
更手段をから構成することが望ましい。

【００１３】

【作用】関数データに基づいて参照鏡が駆動されて参照
光の光路長が変化し、テーブル位置が前記関数データに
応じて補正される。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面を参照して
説明する。

【００１５】図１は本発明の第１の実施例（ＮＣ旋盤へ
の適用例）に係るサーボ送り装置の全体構成を示す図で
あり、該装置は、光源としてのレーザ光源１、ビームス
プリッタ２、反射鏡３、偏光ビームスプリッタ４、参照
鏡５、移動鏡８及び第１レシーバ６から成り、テーブル
１６の位置を検出するテーブル測長系（図２参照）を有
する。なお、前記参照鏡５および前記移動鏡８として
は、入射光と平行な反射光を得るのに通常用いられるコ
ーナーキューブを使用している。

【００１６】テーブル測長系の移動鏡８はテーブル１６
上の刃物台に一体的に固定されており、テーブル１６
は、駆動装置１５により図の左右方向（切込軸の方向）
に移動可能に構成されている。移動鏡８の上部には刃物
１３が固定されており、刃物１３により切削されるワー
ク１２は回転しながら刃物に対し図面に垂直な方向（ト
ラバース軸方向）に移動できるように設置されている。
従って、テーブル１６が切込軸方向およびトラバース軸
方向に移動することにより、ワーク１２が切削される。

【００１７】テーブル測長系の第１レシーバ６は、テー
ブル１６の位置情報をサーボコントローラ１４に供給
し、サーボコントローラ１４は、その位置情報に応じて
駆動装置１５を制御する。

【００１８】また、参照鏡５は電歪素子７によって支持
されており、図の上下方向に微小距離の移動ができるよ
うに構成されている。この参照鏡５の位置を正確に検出
すべく、反射鏡９、偏光参照鏡１１及び第２レシーバ１
０が設けられており、レーザ光源１、ビームスプリッタ
２、偏向ビームスプリッタ４及び参照鏡５とともに参照
鏡測長系（図３参照）を構成する。なお、図１の２点鎖
線はレーザ光の光路を示しており、テーブル測長系及び
参照鏡測長系の各構造要素は、図示した光路が得られる
ように配置している。

【００１９】第２レシーバ１０は、参照鏡５の位置情報
を補正用制御装置１８に供給する。補正用制御装置１８
には予め特定の規則（関数）が記憶されており、ある変
量をモニタし、前記規則に基づき前記変量に対応する関
数データを出力するデータ供給装置１７が接続されてお
り、制御装置１８は、参照鏡５の位置情報及びデータ供
給装置１７から前記関数データが入力され、該データに
基づいて電歪素子７を制御し、参照鏡５の位置の微調整
を行う。

【００２０】データ供給装置１７には、例えば次のよう
な関数が記憶されている。

【００２１】図５に示すように、ワーク１２が載置され
るトラバーステーブル１２ａをトラバース軸（Ｘ軸）方
向に動かしながら、変位計２１によりトラバーステーブ
ルを構成する案内等のもつ真直度等の誤差により生じる
切込軸（Ｚ軸）方向の変位の変動δ（Ｘ）を測定し、適
当な間隔毎のＸに対し、データδ（Ｘ１），δ（Ｘ
２），…を得る。測定時、前記変位計２１は前記テーブ
ル１６に一体的に設置され、これにより前記トラバース
テーブル１２ａと一体的に移動する測定基準面（トラバ
ーステーブル１２ａ側面の他、例えばワーク１２のかわ
りに載置される円筒状の測定用マスター等の側面でもよ
い）の測定を行う。そして各位置Ｘｉ（ｉ＝１，２，
３，…）及び対応するδ（Ｘｉ）の組をデータ供給装置
１７に格納しておく。なお、δ（Ｘｉ）の測定は、実際
に加工をする位置に近い方が望ましい。

【００２２】なお、レーザ光源１やレシーバ６は、例え
ばヒューレットパッカード社製５５２７やリニアインス
ツルメント社製ＬＩＬ３０００等、市販のレーザ干渉測
長器システムをそのまま用いることができる。

【００２３】以上のように構成されるサーボ送り装置の
動作を以下に説明する。

【００２４】レーザ光源１は、振動面が互いに直交する
２種類の直線偏向成分ａ（Ｐ偏光），ｂ（Ｓ偏光）を含
むレーザ光を出射する。レーザ光源１から出射されたレ
ーザ光は、ビームスプリッタ２で２系統のレーザ光Ｌ１
とＬ２に分離され、レーザ光Ｌ１はテーブル測長系で使
用され、レーザ光Ｌ２は参照鏡測長系で使用される。な
おビームスプリッタ２はＰ偏光及びＳ偏光ともに５０％
を通過させ、５０％を反射する。

【００２５】以下先ず図１、図２及び図４を参照してテ
ーブル測長系について説明する。

【００２６】ビームスプリッタ２で分離され、反射鏡３
で反射されたレーザ光Ｌ１は、偏光ビームスプリッタ４
に入射される。偏向ビームスプリッタ４は、入射したレ
ーザ光の一方の偏光成分Ｌ１ａ（Ｐ偏光）を完全に通過
させ、他方の偏光成分Ｌ１ｂ（Ｓ偏光）を完全に反射す
る向きに設置されている。通過成分Ｌ１ａはテーブル測
長光として移動鏡８に入射し、反射成分Ｌ１ｂはテーブ
ル参照光として参照鏡５に入射する。

【００２７】テーブル参照光Ｌ１ｂは、参照鏡５により
入射光と反射光が平行となるように反射され、偏光ビー
ムスプリッタ４に戻り、再度反射されて第１レシーバ６
に入射する。この際、電歪素子７により参照鏡５の位置
の微調整を行うと、テーブル参照光Ｌ１ｂの光路長が補
正用制御装置１８からの指令通りになるよう調整され
る。

【００２８】一方、テーブル測長光Ｌ１ａは移動鏡８に
より入射光と反射光が平行となるように反射され、偏光
ビームスプリッタ４に戻り、再びこれを通過して前記テ
ーブル参照光Ｌ１ｂと同一光路上を進み第１レシーバ６
に入射する。第１レシーバ６は、テーブル測長光Ｌ１ａ
とテーブル参照光Ｌ１ｂとを干渉させ、テーブル１６の
位置情報を検出して、その情報をサーボコントローラ１
４に供給する。

【００２９】サーボコントローラ１４は、第１レシーバ
６から供給される位置情報をフィードバック情報とし
て、テーブル１６が所望の位置に位置するように、駆動
装置１５を制御する。今、仮に移動鏡８が一定位置に停
止しているよう指令が与えられているとしても、参照鏡
５が駆動され、テーブル参照光光路長が変化すると、サ
ーボコントローラ１４は、この参照光光路長の変化に対
応して系を平衡状態に戻すようテーブル１６を動かすこ
とになる。

【００３０】なお、テーブル測長光Ｌ１ａの光路内に位
置する偏光参照鏡１１は、偏向ビームスプリッタを２つ
合体させた構造を有し、Ｐ偏光であるテーブル測長光Ｌ
１ａは完全に通過させるので、テーブル測長系に対して
何ら影響を及ぼさない。

【００３１】次に図１、図３及び図４を参照して参照鏡
測長系について説明する。

【００３２】ビームスプリッタ２を通過し、反射鏡９で
反射されたレーザ光Ｌ２は、偏光ビームスプリッタ４に
入射される。偏光ビームスプリッタ４は、Ｐ偏光の成分
Ｌ２ａを完全に通過させ、Ｓ偏光の成分Ｌ２ｂを完全に
反射し、通過成分Ｌ２ａは参照鏡測長光として参照鏡５
に入射する一方、反射成分Ｌ２ｂは参照鏡参照光として
偏光参照鏡１１に入射する。

【００３３】参照鏡参照光Ｌ２ｂは、Ｓ偏光であるた
め、偏光参照鏡１１により図３に示すように（入射光と
反射光が平行となるように）完全に反射され、偏光ビー
ムスプリッタ４に戻り、再度反射されて第２レシーバ１
０に入射する。

【００３４】一方参照鏡測長光Ｌ２ａは、参照鏡５によ
り図３に示すように反射され、偏光ビームスプリッタ４
に戻り、再度これを通過して前記参照鏡参照光Ｌ２ｂと
同一光路上を進み第２レシーバ１０に入射する。第２レ
シーバ１０は、参照鏡測長光Ｌ２ａと参照鏡参照光Ｌ２
ｂとを干渉させ、参照鏡５の位置情報を検出して、その
情報を補正用制御装置１８に供給する。

【００３５】補正用制御装置１８は、参照鏡５の位置情
報をフィードバック情報として、データ供給装置１７か
ら供給される補正用データ（δ（Ｘｉ））に基づく電歪
素子７の駆動制御を行う。これにより、テーブル参照光
Ｌ１ｂの光路長を補正用データに応じて制御することが
でき、従って、テーブル１６の位置も補正用データに応
じて補正される。

【００３６】ここで、テーブル参照光Ｌ１ｂ及び参照鏡
測長光Ｌ２ａの、偏光ビームスプリッタ４から参照鏡５
を経て再び偏光ビームスプリッタ４に戻るまでの光路
は、同一となるように各構成要素が配置されているの
で、参照鏡測長光Ｌ２ａにより、テーブル参照光Ｌ１ｂ
の光路長の変化を検出することができ、参照鏡５の位置
の制御を正確に行うことができる。

【００３７】次に、ワーク１２を載置しているトラバー
ステーブルに誤差があり、ワーク１２と刃物１３の間隔
が変動する場合（但し、その変動には再現性がある場
合）の、誤差の補正について具体的に説明する。

【００３８】先ずサーボコントローラ１４、駆動装置１
５及びテーブル測長系により刃物送りのサーボループを
構成し、この系には機械系が理想的である場合に相当す
る指令Ｚ＝ｇ（ｔ）を与える。ここでＺは切込軸方向の
刃物１３の位置、ｔは時間である。

【００３９】そして、トラバース軸方向の位置Ｘをモニ
タするか、あるいはタイマでタイミングをとる等の手法
を用いて、位置Ｘを求めながら第２レシーバ１０の出力
Ｕ＝δ（Ｘ）となるように電歪素子７に電圧を加え、参
照鏡５の位置を制御する。ここでδ（Ｘ）は、データ供
給装置１７に記憶されたトラバーステーブル１２ａの変
動データである。

【００４０】このように参照鏡５の位置を制御すること
により、サーボコントローラ１４は補正とは無関係に、
Ｚ＝ｇ（ｔ）の指令を実行するだけで刃物１３の位置は
Ｚ＝ｇ（ｔ）−δ（Ｘ）となり、トラバーステーブルの
運動の誤差により生じる切込軸（Ｚ軸）方向の変動を補
正することができる。

【００４１】以上のように本実施例によれば、フィード
バック量を加減することにより、補正が行われるので、
市販のサーボシステムをそのまま用いて所望の補正を行
うことができ、またコントローラ内部に手を加える必要
がないので、もとのサーボシステムの応答性、安定性、
ロバスト性を損なうことがない。また、補正用のサーボ
は、質量の小さな参照鏡を駆動するだけなので、簡単な
構成で精度の高い制御が可能である。さらに、テーブル
測長系の参照光路と、参照鏡測長系の測定光路とを同一
としているので、補正量に測定誤差が生じることがな
く、特別なキャリブレートの必要がない。

【００４２】図６は本発明の第２の実施例に係るサーボ
送り装置の全体構成を示す図であり、図１と同一の構成
要素には同一の符号を付して示している。

【００４３】図６において２２はＸＹテーブルであり、
図のＸ方向及びＹ方向に移動可能なものである。なお、
Ｙ方向の駆動機構は図示を省略している。ＸＹテーブル
２２の側面には、Ｘ軸に垂直な反射面を有する移動鏡８
ａと、Ｙ軸に垂直な反射面を有する８ｂとが固定されて
いる。移動鏡８ｂはＹ方向の位置検出用の反射鏡であ
り、Ｙ方向の位置検出もＸ方向と同様の構成により行う
が図示は省略している。

【００４４】偏光参照鏡１１と移動鏡８ａの間には、入
射される偏光の振動面が４５°の方位角を持つような光
学軸を有するλ／４板２０が挿入され、さらにλ／４板
と偏光参照鏡１１の間には、偏光参照鏡１１と同じ構造
の偏光反射鏡１９がλ／４板２０に向けて設置されてい
る。

【００４５】以上の点以外は、図１の構成と同一であ
る。

【００４６】次に図６の装置の動作を、図７も参照して
説明する。

【００４７】偏光ビームスプリッタ４から出射されるテ
ーブル測長光Ｌ１ａは、偏光参照鏡１１及び偏光反射鏡
１９は通過し、λ／４板２０に入射する。テーブル測長
光Ｌ１ａの振動面はλ／４板２０の光学軸と４５°の方
位角を持っているので、直線偏光Ｌ１ａは円偏光Ｌ１
ａ′に変化し、円偏向Ｌ１ａ′は移動鏡８ａで反射され
て戻り、再びλ／４板２０を通過してＬ１ａとは偏光面
が９０°変化した直線偏光Ｌ１ａ＊となる。従って、直
線偏光Ｌ１ａ＊は偏光反射鏡１９で反射され、再びλ／
４板２０を通過し、円偏光Ｌ１ａ″となる。円偏光Ｌ１
ａ″は移動鏡８ａで反射されて再びλ／４板２０を通過
し、Ｌ１ａ＊とは偏光面が９０°変化して最初の直線偏
光Ｌ１ａに戻る。その結果、テーブル測長光Ｌ１ａは偏
光反射鏡１９及び偏光参照鏡１１を通過して、偏光ビー
ムスプリッタ４に入射する。

【００４８】このようにして、第１レシーバ６にはテー
ブル測長光Ｌ１ａが入射され、また第１の実施例と同様
にテーブル参照光も入射されるので、ＸＹテーブル２２
がＹ軸方向に動いたとしても移動鏡８ａに大きさにより
定まる範囲内であればＸＹテーブル２２のＸ方向の位置
を検出することができる。そして、参照鏡５の位置を第
１の実施例と同様に微調整することにより、ＸＹテーブ
ル２２のＸ方向の位置を補正することができる。この場
合、微調整のために予めデータ供給装置に蓄えられる関
数は、例えば、ＸＹテーブル２２のＹ方向移動時に生じ
る、Ｙ軸テーブルのもつ誤差に起因するＸ軸方向の変動
δ（Ｙ）であり、δ（Ｙ）は予め測定しておく必要のあ
ることは第１の実施例と同様である。。

【００４９】なお、Ｙ方向についても同様にして位置の
補正を行うことができる。

【００５０】次に、図８を参照して第１の実施例の変形
例を説明する。

【００５１】この変形例では、ワーク１２の回転軸が切
込軸と同一方向にあり、刃物１３の切込軸方向の位置Ｚ
をトラバース軸方向の位置Ｘの関数として移動させるこ
とにより、例えばワーク１２の端面が球面に切削され
る。

【００５２】具体的には、下記式で表わされるように位
置Ｘ及びＺを変化させるようにサーボコントローラ１４
に指示を与えることにより、球面加工を行うことができ
る。

【００５３】

【数１】Ｘ＝ａｔ ここで、ｔは時間、ａは定数、Ｒは曲率半径である。

【００５４】このような変形例においても、トラバース
テーブルがＸ軸方向移動時に、切込軸方向にδ（Ｘ）だ
け変動すれば、加工された物にもδ（Ｘ）の形状誤差が
生じるので、第１の実施例で説明したように参照鏡５の
位置の微調整を行うことにより、この誤差を補正するこ
とができる。

【００５５】なお、上述した各実施例におけるデータ供
給装置１７は、トラバーステーブル（第１の実施例およ
びその変形例）またはＹ軸テーブル（第２の実施例）の
位置情報に基づき、その関数としての切込軸（第１の実
施例およびその変形例）方向、またはＸ軸（第２実施
例）方向の、前記トラバーステーブルまたはＹ軸テーブ
ルのもつ誤差に起因する変動値を出力するものであった
が、これに限られるものではない。

【００５６】例えば、前記第１の実施例またはその変形
例において、ワーク加工時のワーク１２と刃物１３の間
に生じる加工力によるワーク１２および刃物１３のたわ
みによる逃げ量分を補正したい場合がある。この場合、
データ供給装置１７は、加工力Ｆを測定するための力測
定器（例えば刃物と刃物台の間に組込まれたロードセル
とその出力電圧値を増幅するアンプよりなる）からその
出力値としての加工力Ｆを得て、これの関数としてのワ
ーク１２および刃物１３の逃げ量の和δＢ（Ｆ）を出力
するようにしてもよい。そのため、予め加工力Ｆを変化
させながらワーク１２および刃物１３の変形量を変位計
により測定し、その結果に基づき加工力ＦとδＢ（Ｆ）
のデータの組を用意しておく。そして実際の加工時に
は、データ供給装置１７は加工力Ｆをモニタし、それに
対応するδＢ（Ｆ）を補正用制御装置１８に出力し、補
正用制御装置１８は、これに基づき参照鏡５を駆動し、
前記たわみによる逃げ量分の補正が行われる。

【００５７】また、例えば、装置各部の温度上昇に起因
する変形によるワークと刃物の相対的位置関係の変動を
補正するようにしてもよい。この場合はモニタするのが
必要な箇所の温度Ｔ（数ヶ所の平均値でもよいし、代表
的な１ヶ所でもよい）となり、予め求めておく関数がＴ
による前記相対的位置関係の変動δＴ（Ｔ）である点を
除けば、前記加工力に起因する変形の補正の場合と同様
である。

【００５８】また、データ供給装置１７は、前記実施例
で述べたδ（Ｘ）（又はδ（Ｙ））と前記δＢ（Ｆ），
δＴ（Ｔ）をそれぞれ前記の方法により求め、これらを
組合せたものを出力するようにしてもよい。またδＢや
δＴが位置Ｘ（またはＹ）によっても変動する場合はδ
Ｂ（Ｘ，Ｆ），δＴ（Ｘ，Ｔ）を求めるようにしてもよ
い。また、使用条件によってこれらのうち無視しうるも
のは除いてもよいことは勿論である。

【００５９】また、データ供給装置１７は、前記第１実
施例及びその変形例のトラバーステーブルや第２実施例
のＹ軸テーブルの誤差や種々の原因によるワークや刃物
の変形を補正するためのデータとして、ワークや刃物の
変形量やトラバーステーブルまたはＹ軸テーブルの変位
量を直接測定し、これを出力するようにしてもよい。

【００６０】なお、上述した各実施例では、参照鏡５の
位置を移動させることにより、機械的誤差や各種の変形
分を補正するだけでなく、サーボコントローラ１４が発
生できる単純な関数（例えば円弧）に、他の関数を重ね
合わせることも可能である。

【００６１】また、上述した実施例では、単一のレーザ
光源１から出射さるレーザ光をビームスプリッタ２によ
り分割してテーブル測長系に用いるレーザ光Ｌ１と参照
鏡測長系に用いるレーザ光Ｌ２とを得るようにしたが、
これに限るものではなく、例えば反射鏡３及び９に対応
する位置にそれぞれレーザ光源を配置し、必要なレーザ
光を得るようにしてもよい。

【００６２】また、電歪素子７は例えばボイスコイルモ
ータ等で代替してもよい。

【００６３】また、参照鏡５は図９に示すように、切欠
平行ばね２２によって支持し、切欠平行ばね２２を電歪
素子７で駆動するようにしてもよい。

【００６４】

【発明の効果】以上詳述したように本発明のサーボ送り
装置によれば、外部から入力される関数データに基づい
て参照鏡が駆動されて、参照光の光路長が変化し、テー
ブル位置が前記関数データに応じて補正されるので、比
較的簡単な構成で、装置の剛性やサーボシステムの性能
を低下させることなく微細な誤差の補正等を行うことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係るサーボ送り装置の
全体構成を示す図である。

【図２】図１の一部（テーブル測長系）を示す図であ
る。

【図３】図１の一部（参照鏡測長系）を示す図である。

【図４】図１の一部を拡大して示す斜視図である。

【図５】トラバーステーブルの切込軸方向の変動の計測
方法を説明するための図である。

【図６】本発明の第２の実施例に係るサーボ送り装置の
全体構成を示す図である。

【図７】図６の一部を拡大して示す斜視図である。

【図８】第１の実施例の変形例を説明するための図であ
る。

【図９】第１の実施例の変形例を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１ レーザ光源 ２ ビームスプリッタ ４ 偏向ビームスプリッタ ５ 参照鏡 ６ 第１レシーバ ７ 電歪素子 ８ 移動鏡 １０ 第２レシーバ １１ 偏光参照鏡 １４ サーボコントローラ １５ 駆動装置 １６ テーブル １７ データ供給装置 １８ 補正制御装置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも一方向に移動可能なテーブル
   と、該テーブルを前記少なくとも一方向に駆動するテー
   ブル駆動手段と、偏光面が互いに直交する２種類の直線
   偏光を出射する光源と、前記２種類の直線偏光が入射さ
   れ、該２種類の直線偏光を分離してテーブル測長光及び
   テーブル参照光として出射する偏光ビームスプリッタ
   と、前記テーブルに固定され、前記テーブル測長光が入
   射され、これを反射するテーブル測長光反射手段と、前
   記テーブル参照光が入射され、これを反射する参照鏡
   と、前記テーブル測長光反射手段及び参照鏡の反射光を
   干渉させ、その結果に基づいて前記テーブルの位置情報
   を検出するテーブル位置情報検出手段と、該テーブル位
   置情報に基づいて前記テーブル駆動手段を制御するサー
   ボ制御手段とを有するサーボ送り装置において、外部か
   らデータが入力され、該データに基づく関数データを供
   給するデータ供給手段と、該データ供給手段より供給さ
   れた関数データに基づいて前記参照鏡を駆動し、前記テ
   ーブル参照光の光路長を変化させる参照鏡駆動手段とを
   設けたことを特徴とするサーボ送り装置。