JPH0626105B2 - 超高真空用精密テーブル - Google Patents
超高真空用精密テーブルInfo
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- JPH0626105B2 JPH0626105B2 JP1139103A JP13910389A JPH0626105B2 JP H0626105 B2 JPH0626105 B2 JP H0626105B2 JP 1139103 A JP1139103 A JP 1139103A JP 13910389 A JP13910389 A JP 13910389A JP H0626105 B2 JPH0626105 B2 JP H0626105B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、超高真空環境において、電子ビームやフォー
カストイオンビームにより加工、検査を行なう半導体製
造装置等の薄膜加工装置、検査装置等に用いる超高真空
用精密テーブルに関するものである。
カストイオンビームにより加工、検査を行なう半導体製
造装置等の薄膜加工装置、検査装置等に用いる超高真空
用精密テーブルに関するものである。
従来の技術 超高真空環境において、電子ビームやフォーカストイオ
ンビームにより半導体の薄膜加工、若しくは検査を行な
う場合、これら薄膜加工、検査装置に用いるテーブルを
確実に動作させ、また、薄膜の加工表面の不純物ガス、
成分との反応による有害物生成を防止し、若しくは検査
表面層界面の状態を分析するための分解能を向上するた
めには、これら薄膜加工、検査装置に用いる精密テーブ
ル自身からの放出ガスの発生が少ない超高真空環境で使
用できるものが必要とされつつある。従来、この種の超
高真空用精密テーブルとしては、第12図ないし第16
図に示す構成が知られている。以下、この従来の超高真
空用精密テーブルについて図面を参照しながら説明す
る。
ンビームにより半導体の薄膜加工、若しくは検査を行な
う場合、これら薄膜加工、検査装置に用いるテーブルを
確実に動作させ、また、薄膜の加工表面の不純物ガス、
成分との反応による有害物生成を防止し、若しくは検査
表面層界面の状態を分析するための分解能を向上するた
めには、これら薄膜加工、検査装置に用いる精密テーブ
ル自身からの放出ガスの発生が少ない超高真空環境で使
用できるものが必要とされつつある。従来、この種の超
高真空用精密テーブルとしては、第12図ないし第16
図に示す構成が知られている。以下、この従来の超高真
空用精密テーブルについて図面を参照しながら説明す
る。
第12図ないし第14図に示すようにベース201上に
第1のテーブル(Y軸テーブル)202と第2のテーブ
ル(X軸テーブル)203がリニアガイド204と20
5により直交方向に移動可能に支持されている。各リニ
アガイド204、205はベース201側にボルト20
6により固定されたリニアガイド台207と、第1のテ
ーブル202、若しくは第2のテーブル203側にボル
ト208により固定された移動部209と、これらリニ
アガイド台207と移動部209との間に循環し得るよ
うに介在された多数のボール210(第15図、第16
図参照)とより構成され、グリースニップル211部よ
りボール210の潤滑のためにシリコングリースを注入
するようになっている。第1と第2のテーブル202と
203はそれぞれステッピングモータ211と送りねじ
212およびナット213等からなる動力伝達手段によ
り移動される。すなわち、各送りねじ212はその先端
部がベース201上に固定された支持部材214にベア
リング215により回転可能に支持され、基部がベース
201上に固定された支持部材216にベアリング21
7により回転可能に支持されている。送りねじ212の
基部に形成されたねじ部に止めナット218が螺合さ
れ、ねじ部に嵌合されたワッシャ219がベアリング2
17の内輪に当接され、ベアリング217の外輪はワッ
シャ219の反対側において支持部材216内の段部に
より位置規制されている。各送りねじ212の基端には
ベローカップリング220により真空槽(図示省略)外
に設置されたステッピングモータ211の出力軸221
に連結されている。一方、第1のテーブル202にはブ
ラケット222が突設され、このプラケット222の先
端部内側にナット213がボルト223により固定さ
れ、このナット213が送りねじ212の中間部に螺合
されている。同様に第2のテーブル203に突設された
ブラケット224の先端部内側にナット213が取り付
けられ、このナット213が送りねじ212の中間部に
螺合されている。作業台225は下面の四隅に柱状の摺
動台226が突設され、これらの摺動台226により第
1と第2のテーブル202と203とがそれぞれ挟ま
れ、各摺動台226はベース201上に摺動可能に載せ
られている。
第1のテーブル(Y軸テーブル)202と第2のテーブ
ル(X軸テーブル)203がリニアガイド204と20
5により直交方向に移動可能に支持されている。各リニ
アガイド204、205はベース201側にボルト20
6により固定されたリニアガイド台207と、第1のテ
ーブル202、若しくは第2のテーブル203側にボル
ト208により固定された移動部209と、これらリニ
アガイド台207と移動部209との間に循環し得るよ
うに介在された多数のボール210(第15図、第16
図参照)とより構成され、グリースニップル211部よ
りボール210の潤滑のためにシリコングリースを注入
するようになっている。第1と第2のテーブル202と
203はそれぞれステッピングモータ211と送りねじ
212およびナット213等からなる動力伝達手段によ
り移動される。すなわち、各送りねじ212はその先端
部がベース201上に固定された支持部材214にベア
リング215により回転可能に支持され、基部がベース
201上に固定された支持部材216にベアリング21
7により回転可能に支持されている。送りねじ212の
基部に形成されたねじ部に止めナット218が螺合さ
れ、ねじ部に嵌合されたワッシャ219がベアリング2
17の内輪に当接され、ベアリング217の外輪はワッ
シャ219の反対側において支持部材216内の段部に
より位置規制されている。各送りねじ212の基端には
ベローカップリング220により真空槽(図示省略)外
に設置されたステッピングモータ211の出力軸221
に連結されている。一方、第1のテーブル202にはブ
ラケット222が突設され、このプラケット222の先
端部内側にナット213がボルト223により固定さ
れ、このナット213が送りねじ212の中間部に螺合
されている。同様に第2のテーブル203に突設された
ブラケット224の先端部内側にナット213が取り付
けられ、このナット213が送りねじ212の中間部に
螺合されている。作業台225は下面の四隅に柱状の摺
動台226が突設され、これらの摺動台226により第
1と第2のテーブル202と203とがそれぞれ挟ま
れ、各摺動台226はベース201上に摺動可能に載せ
られている。
次に上記従来例の動作について説明する。
ステッピングモータ211の駆動により送りねじ212
を回転させることにより、これに螺合しているナット2
13、ブラケット222および第1のテーブル202等
をリニアガイド204に沿ってY軸方向に移動させるこ
とができ、これに伴い摺動台226を押してこの摺動台
226および作業台225をY軸方向に移動させること
ができる。一方、図示していないステッピングモータの
駆動により送りねじ212を回転させることにより、こ
れに螺合しているナット213、ブラケット224およ
び第2のテーブル203等をリニアガイド205に沿っ
てX軸方向に移動させることができ、これに伴い摺動台
226を押してこの摺動台226および作業台225を
X軸方向に移動させることができる。
を回転させることにより、これに螺合しているナット2
13、ブラケット222および第1のテーブル202等
をリニアガイド204に沿ってY軸方向に移動させるこ
とができ、これに伴い摺動台226を押してこの摺動台
226および作業台225をY軸方向に移動させること
ができる。一方、図示していないステッピングモータの
駆動により送りねじ212を回転させることにより、こ
れに螺合しているナット213、ブラケット224およ
び第2のテーブル203等をリニアガイド205に沿っ
てX軸方向に移動させることができ、これに伴い摺動台
226を押してこの摺動台226および作業台225を
X軸方向に移動させることができる。
発明が解決しようとする課題 真空槽内を真空にするためには、真空槽を加熱して脱ガ
ス(ベーキング)することが必要である。このとき、各
部材に熱歪を生じるが、上記従来例のように案内手段に
リニアガイド204と205を用いると、そのリニアガ
イド台207をベース201にボルト206により固定
し、移動部209を第1、若しくは第2のテーブル20
2、203にボルト208により固定し、各支持部材2
14、216をベース201に固定していると、送りね
じ212を回転させることができない。このため、10-7
Torrレベルの雰囲気でしか使用することができず、
超高真空環境で使用することができなかった。このよう
な熱歪による影響を避けるには、あらかじめ機械的接触
部分に大きなクリアランスを設ければよいが、これでは
精度が大変悪い。また、上記従来例では、その全部品が
ステンレス製であり、リニアガイド204、205な油
抜き処理、シリコングリースの使用を必要とし、ボルト
206、208、ナット218、ワッシャ209等も表
面処理を施していない。しかも、ベース201上には摺
動台226を円滑に摺動させるため、MOS2等を塗布して
いる。このため、これらの油分等が真空槽内の真空度、
真空の質を悪くし、好ましい真空環境とは言えない。ま
た、この真空環境の悪化を少なくするため、ステッピン
グモータ211を真空槽外に設置し、その出力軸221
と送りねじ212とをベローカップリング220により
連結しているため、ステッピングモータ211の駆動の
際、ベローカップリング220の変動負荷で送りねじ2
12の回転角が変動し、送り精度を一層悪くしていた。
ス(ベーキング)することが必要である。このとき、各
部材に熱歪を生じるが、上記従来例のように案内手段に
リニアガイド204と205を用いると、そのリニアガ
イド台207をベース201にボルト206により固定
し、移動部209を第1、若しくは第2のテーブル20
2、203にボルト208により固定し、各支持部材2
14、216をベース201に固定していると、送りね
じ212を回転させることができない。このため、10-7
Torrレベルの雰囲気でしか使用することができず、
超高真空環境で使用することができなかった。このよう
な熱歪による影響を避けるには、あらかじめ機械的接触
部分に大きなクリアランスを設ければよいが、これでは
精度が大変悪い。また、上記従来例では、その全部品が
ステンレス製であり、リニアガイド204、205な油
抜き処理、シリコングリースの使用を必要とし、ボルト
206、208、ナット218、ワッシャ209等も表
面処理を施していない。しかも、ベース201上には摺
動台226を円滑に摺動させるため、MOS2等を塗布して
いる。このため、これらの油分等が真空槽内の真空度、
真空の質を悪くし、好ましい真空環境とは言えない。ま
た、この真空環境の悪化を少なくするため、ステッピン
グモータ211を真空槽外に設置し、その出力軸221
と送りねじ212とをベローカップリング220により
連結しているため、ステッピングモータ211の駆動の
際、ベローカップリング220の変動負荷で送りねじ2
12の回転角が変動し、送り精度を一層悪くしていた。
本発明は、上記のような従来技術の課題を解決するもの
であり、各部に熱歪が生じても、この熱歪を自由に吸収
することができ、したがって、超高真空環境において、
大気中と同様に円滑に、しかも、高精度に動作させるこ
とができるようにした超高真空用精密テーブルを提供す
ることを目的とするものである。
であり、各部に熱歪が生じても、この熱歪を自由に吸収
することができ、したがって、超高真空環境において、
大気中と同様に円滑に、しかも、高精度に動作させるこ
とができるようにした超高真空用精密テーブルを提供す
ることを目的とするものである。
課題を解決するための手段 本発明は、上記目的を達成するために、ベースこのベー
ス上に設けられる第1のガイドと、この第1のガイドを
基準に対しばねにより付勢して上記ベースに熱歪を吸収
し得るように保持する第1の保持手段と、上記第1のガ
イドに沿って移動する第1のテーブルと、この第1のテ
ーブルを基準に対しばねにより付勢して上記第1のガイ
ドに熱歪を吸収し得るように移動可能に支持する第1の
支持手段と、上記第1のテーブル上に上記第1のガイド
と直交方向に設けられる第2のガイドと、この第2のガ
イドを基準に対しばねにより付勢して上記第1のテーブ
ルに熱歪を吸収し得るように保持する第2の保持手段
と、上記第2のガイドに沿って移動する第2のテーブル
と、この第2のテーブルを上記第2のガイドに熱歪を吸
収し得るようにばねを用いて移動可能に支持する第2の
支持手段と、上記第1と第2のテーブルをそれぞれ移動
させる第1と第2の駆動装置と、これら第1と第2の駆
動装置と第1と第2のテーブルにばねを用いて熱歪を吸
収し得るように連係された第1と第2の動力伝達手段と
を備えたものである。
ス上に設けられる第1のガイドと、この第1のガイドを
基準に対しばねにより付勢して上記ベースに熱歪を吸収
し得るように保持する第1の保持手段と、上記第1のガ
イドに沿って移動する第1のテーブルと、この第1のテ
ーブルを基準に対しばねにより付勢して上記第1のガイ
ドに熱歪を吸収し得るように移動可能に支持する第1の
支持手段と、上記第1のテーブル上に上記第1のガイド
と直交方向に設けられる第2のガイドと、この第2のガ
イドを基準に対しばねにより付勢して上記第1のテーブ
ルに熱歪を吸収し得るように保持する第2の保持手段
と、上記第2のガイドに沿って移動する第2のテーブル
と、この第2のテーブルを上記第2のガイドに熱歪を吸
収し得るようにばねを用いて移動可能に支持する第2の
支持手段と、上記第1と第2のテーブルをそれぞれ移動
させる第1と第2の駆動装置と、これら第1と第2の駆
動装置と第1と第2のテーブルにばねを用いて熱歪を吸
収し得るように連係された第1と第2の動力伝達手段と
を備えたものである。
作用 本発明は、上記の構成により次のような作用を有する。
第1の駆動装置により第1の動力伝達手段を介し、第1
のテーブルおよび第2のテーブルをベース上のガイドに
よる第1のテーブルの第1の支持手段の案内により、あ
る方向に移動させ、第2の駆動装置により第2の動力伝
達手段を介し、第2のテーブルを第1のテーブル上の第
2のガイドによる第2のテーブルの第2の支持手段の案
内により上記の直交方向に移動させることができる。そ
して、第1のガイドをベースに熱歪を吸収し得るように
ばねを用いて保持し、第1のテーブルを第1のガイドに
熱歪を吸収し得るようにばねを用いて移動可能に支持
し、第2のガイドを第1のテーブルに熱歪を吸収し得る
ようにばねを用いて保持し、第2のテーブルを第2のガ
イドに熱歪を吸収し得るようにばねを用いて移動可能に
支持し、第1と第2の駆動装置と第1と第2のテーブル
をそれぞればねを用いた動力伝達手段により熱歪を吸収
し得るように連係しているので、真空槽を加熱して脱ガ
スする際に上記各部材が熱歪(熱膨張)を生じてもこれ
を吸収することができ、したがって、10-11 Torr台
の超高真空環境で動作させることができ、また、冷却
後、各部材を加熱前の状態に自動的に復帰させることが
できる。
のテーブルおよび第2のテーブルをベース上のガイドに
よる第1のテーブルの第1の支持手段の案内により、あ
る方向に移動させ、第2の駆動装置により第2の動力伝
達手段を介し、第2のテーブルを第1のテーブル上の第
2のガイドによる第2のテーブルの第2の支持手段の案
内により上記の直交方向に移動させることができる。そ
して、第1のガイドをベースに熱歪を吸収し得るように
ばねを用いて保持し、第1のテーブルを第1のガイドに
熱歪を吸収し得るようにばねを用いて移動可能に支持
し、第2のガイドを第1のテーブルに熱歪を吸収し得る
ようにばねを用いて保持し、第2のテーブルを第2のガ
イドに熱歪を吸収し得るようにばねを用いて移動可能に
支持し、第1と第2の駆動装置と第1と第2のテーブル
をそれぞればねを用いた動力伝達手段により熱歪を吸収
し得るように連係しているので、真空槽を加熱して脱ガ
スする際に上記各部材が熱歪(熱膨張)を生じてもこれ
を吸収することができ、したがって、10-11 Torr台
の超高真空環境で動作させることができ、また、冷却
後、各部材を加熱前の状態に自動的に復帰させることが
できる。
実施例 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。
する。
第1図ないし第11図は本発明の一実施例における超高
真空用精密テーブルを示し、第1図は全体斜視図、第2
図は回転作業台部分を除去した平面図、第3図は一部を
破断した第1図のIII矢視図、第4図は第1図のIV−IV
矢視断面図、第5図は第4図のV−V矢視断面図、第6
図は回転作業台部分と断面図、第7図はボールねじのね
じ軸の端部支持部の断面図、第8図はボールねじのねじ
軸と螺合するナット部の取り付け状態の断面図、第9図
はステッピングモータ部の断面図、第10図はステッピ
ングモータのステータ用ケーブルの断面図、第11図は
原点検出用スイッチの断面図である。
真空用精密テーブルを示し、第1図は全体斜視図、第2
図は回転作業台部分を除去した平面図、第3図は一部を
破断した第1図のIII矢視図、第4図は第1図のIV−IV
矢視断面図、第5図は第4図のV−V矢視断面図、第6
図は回転作業台部分と断面図、第7図はボールねじのね
じ軸の端部支持部の断面図、第8図はボールねじのねじ
軸と螺合するナット部の取り付け状態の断面図、第9図
はステッピングモータ部の断面図、第10図はステッピ
ングモータのステータ用ケーブルの断面図、第11図は
原点検出用スイッチの断面図である。
第1図ないし第5図、特に第4図および第5図から明ら
かなようにベース1上の中央部に第1のガイド2が保持
されている。すなわち、第1のガイド2の複数箇所(図
示例では4箇所)に形成された穴3と一対の円錐台座
4、5の穴6、7に保持ピン8が遊合状態に挿通され、
先端のねじ部8aがベース1に形成された穴9に挿入さ
れている。ねじ部8aには複数枚の皿ばね10が嵌装さ
れ、その外側よりねじ部8aに止めナット11が螺着さ
れ、第1とガイド2がベース1に固定状態に保持されて
いる。この止めナット11は軸と直角方向に割溝11a
が形成され、止めねじ11bが割溝11aの外周部を拡
開するように螺入されることによりねじ部8aに固定さ
れる。第1のガイド2の一方の長辺側の外側部におい
て、ベース1上の複数箇所に基準ブロック12がボルト
13により固定され、この基準ブロック12のV字状の
凹入部14と第1のガイド2の長辺側端面との間に基準
ピン15が水平方向に介在されている。第1のガイド2
の他方の長辺側の外側部において、ベース1上に支持ブ
ロック16が固定され、この支持ブロック16には長辺
側に沿って所定間隔毎に押圧ピン17が水平方向に摺動
可能に支持されている。各押圧ピン17の後方突出部に
は引張ばね18が嵌装され、各押圧ピン17の後方突出
端のねじ部にナット19が螺合され、引張ばね18の両
端が支持ブロック16とナット19に係止され、引張ば
ね18の弾性により押圧ピン17が第1のガイド2に付
勢され、第1のガイド2が基準ピン15に付勢されてい
る。第1のガイド2の一方の短辺側の外側部において、
ベース1上の複数箇所に基準ブロック20がボルト21
により固定され、この基準ブロック20のV字状の凹入
部22と第1のガイド2の短辺側端面との間に基準ピン
23が水平方向に介在されている。第1のガイド2の他
方の短辺側の外側面には複数箇所に受部材24が固定さ
れ、第1のガイド2の短辺側端面に対向するようにベー
ス1上に支持ブロック25がボルト26により固定さ
れ、この支持ブロック25には各受部材24と対応する
ように押圧ピン27が水平方向に摺動可能に支持されて
いる。各押圧ピン27の後方において支持ブロック25
に調整ねじ28がナット29により取り付けられ、各押
圧ピン27と調整ねじ28との間に介在された圧縮ばね
30の弾性により押圧ピン27が受押部材24側に付勢
されている。受部材24の円錐状の凹入部31と押圧ピ
ン27との間にはボール32が介在され、圧縮ばね30
の弾性により第1のガイド2が基準ピン23に付勢され
ている。この状態で、常温では保持ピン8が第1とガイ
ド2の穴3の中央に位置するように設定されている。し
たがって、加熱によりベース1、第1のガイド2等の熱
歪(熱膨張)が生じても、これを基準ピン15、23を
基準として、皿ばね10、圧縮ばね18、30により吸
収することができ、冷却により皿ばね10、圧縮ばね1
8、30の反撥弾性により加熱前の原位置に自動的に復
帰する。
かなようにベース1上の中央部に第1のガイド2が保持
されている。すなわち、第1のガイド2の複数箇所(図
示例では4箇所)に形成された穴3と一対の円錐台座
4、5の穴6、7に保持ピン8が遊合状態に挿通され、
先端のねじ部8aがベース1に形成された穴9に挿入さ
れている。ねじ部8aには複数枚の皿ばね10が嵌装さ
れ、その外側よりねじ部8aに止めナット11が螺着さ
れ、第1とガイド2がベース1に固定状態に保持されて
いる。この止めナット11は軸と直角方向に割溝11a
が形成され、止めねじ11bが割溝11aの外周部を拡
開するように螺入されることによりねじ部8aに固定さ
れる。第1のガイド2の一方の長辺側の外側部におい
て、ベース1上の複数箇所に基準ブロック12がボルト
13により固定され、この基準ブロック12のV字状の
凹入部14と第1のガイド2の長辺側端面との間に基準
ピン15が水平方向に介在されている。第1のガイド2
の他方の長辺側の外側部において、ベース1上に支持ブ
ロック16が固定され、この支持ブロック16には長辺
側に沿って所定間隔毎に押圧ピン17が水平方向に摺動
可能に支持されている。各押圧ピン17の後方突出部に
は引張ばね18が嵌装され、各押圧ピン17の後方突出
端のねじ部にナット19が螺合され、引張ばね18の両
端が支持ブロック16とナット19に係止され、引張ば
ね18の弾性により押圧ピン17が第1のガイド2に付
勢され、第1のガイド2が基準ピン15に付勢されてい
る。第1のガイド2の一方の短辺側の外側部において、
ベース1上の複数箇所に基準ブロック20がボルト21
により固定され、この基準ブロック20のV字状の凹入
部22と第1のガイド2の短辺側端面との間に基準ピン
23が水平方向に介在されている。第1のガイド2の他
方の短辺側の外側面には複数箇所に受部材24が固定さ
れ、第1のガイド2の短辺側端面に対向するようにベー
ス1上に支持ブロック25がボルト26により固定さ
れ、この支持ブロック25には各受部材24と対応する
ように押圧ピン27が水平方向に摺動可能に支持されて
いる。各押圧ピン27の後方において支持ブロック25
に調整ねじ28がナット29により取り付けられ、各押
圧ピン27と調整ねじ28との間に介在された圧縮ばね
30の弾性により押圧ピン27が受押部材24側に付勢
されている。受部材24の円錐状の凹入部31と押圧ピ
ン27との間にはボール32が介在され、圧縮ばね30
の弾性により第1のガイド2が基準ピン23に付勢され
ている。この状態で、常温では保持ピン8が第1とガイ
ド2の穴3の中央に位置するように設定されている。し
たがって、加熱によりベース1、第1のガイド2等の熱
歪(熱膨張)が生じても、これを基準ピン15、23を
基準として、皿ばね10、圧縮ばね18、30により吸
収することができ、冷却により皿ばね10、圧縮ばね1
8、30の反撥弾性により加熱前の原位置に自動的に復
帰する。
上記第1のガイド2にはこの第1のガイド2に沿ってY
軸方向に移動する第1のテーブル(Y軸テーブル)33
が熱歪を吸収し得るように移動可能に支持されている。
すなわち、第1のガイド2の両側長辺側の外側におい
て、サイドガイド34、35の複数箇所(図示例では3
箇所)に形成された穴36に保持ピン37が遊合状態に
挿通され、保持ピン37のねじ部37aが第1のテーブ
ル33に形成された穴38に挿入され、保持ピン37の
ねじ部37aには複数毎の皿ばね39が嵌装され、その
外側よりねじ部37aに上記と同様の止めナット40が
螺着され、サイドガイド34、35が第1のテーブル3
3の下面に固定状態に保持されている。サイドガイド3
4、35と第1のガイド2の対向面には長手方向に沿っ
てV字状面を有する凹入部41と42が形成され、これ
ら凹入部41と42に多数とボール43が介在され、こ
れらのボール43は保持器44により保持されている。
上記基準ブロック12側のサイドガイド34の外側に位
置して第1のテーブル33の下面の複数箇所に基準ブロ
ック45がボルト46により固定されている。基準ブロ
ック45の内側のV字状の凹入部47とサイドガイド3
4の側面との間に基準ピン48が水平方向に介在されて
いる。他方のサイドガイド35の外側面には長手方向に
沿って受部材49が複数箇所に固定されている。第1の
テーブル33におけるサイドガイド35側の外端面には
支持ブロック50がボルト51により固定されている。
支持ブロック50には受部材49と対応するように押圧
ピン52が水平方向に摺動可能に支持されている。各押
圧ピン52の後方において支持ブロック50に調整ねじ
53がナット54により取り付けられ、各押圧ピン52
と調整ねじ53との間に圧縮ばね55が介在され、この
圧縮ばね55の弾性により押圧ピン52が受部材49側
に付勢されている。各受部材49の円錐状の凹入部56
と押圧ピン52との間にはボール57が介在され、圧縮
ばね55の弾性によりサイドガイド35がボール43を
介して第1のガイド2へ、第1のガイド2がボール43
を介してサイドガイド34へ、サイドガイド34が基準
ピン48へ順次付勢されている。各サイドガイド34、
35の一方の短辺側の外側部において、第1のテーブル
33の下面に上記基準ブロック20と一直線状に基準ブ
ロック58がボルト59により固定され、この基準ブロ
ック58のV字状の凹入部60とサイドガイド34の短
辺側端面との間に基準ピン61が水平方向に介在されて
いる。各サイドガイド34、35の他方の短辺側の外端
面には受部材62が固定され、各受部材62に対向する
ように第1のテーブル33の端面に支持ブロック63が
ボルト64に固定され、この支持ブロック63には受部
材62と対応するように押圧ピン65が水平方向に摺動
可能に支持されている。各押圧ピン65の後方において
支持ブロック63に調整ねじ66がナット67により取
り付けられ、各押圧ピン65と調整ねじ66との間に介
在された圧縮ばね68の弾性により押圧ピン65が受部
材62側に付勢されている。受部材62の円錐状の凹入
部69と押圧ピン65との間にはボール70が介在さ
れ、圧縮ばね68の弾性によりサイドガイド34、35
が基準ピンに付勢されている。この状態で、常温では保
持ピン36がサイドガイド34、35の穴36の中央に
位置するように設定されている。したがって、加熱によ
り第1のガイド2、第1のテーブル33等に熱歪が生じ
ても、これを基準ピン48、61を基準として、皿ばね
39、圧縮ばね55、68により吸収することができ、
冷却により皿ばね39、圧縮ばね55、68の反撥弾性
により加熱前の原位置に自動的に復帰する。そして、サ
イドガイド34、35、第1のテーブル33等をボール
43を介して第1のガイド2に対しY軸方向に移動させ
ることができる。
軸方向に移動する第1のテーブル(Y軸テーブル)33
が熱歪を吸収し得るように移動可能に支持されている。
すなわち、第1のガイド2の両側長辺側の外側におい
て、サイドガイド34、35の複数箇所(図示例では3
箇所)に形成された穴36に保持ピン37が遊合状態に
挿通され、保持ピン37のねじ部37aが第1のテーブ
ル33に形成された穴38に挿入され、保持ピン37の
ねじ部37aには複数毎の皿ばね39が嵌装され、その
外側よりねじ部37aに上記と同様の止めナット40が
螺着され、サイドガイド34、35が第1のテーブル3
3の下面に固定状態に保持されている。サイドガイド3
4、35と第1のガイド2の対向面には長手方向に沿っ
てV字状面を有する凹入部41と42が形成され、これ
ら凹入部41と42に多数とボール43が介在され、こ
れらのボール43は保持器44により保持されている。
上記基準ブロック12側のサイドガイド34の外側に位
置して第1のテーブル33の下面の複数箇所に基準ブロ
ック45がボルト46により固定されている。基準ブロ
ック45の内側のV字状の凹入部47とサイドガイド3
4の側面との間に基準ピン48が水平方向に介在されて
いる。他方のサイドガイド35の外側面には長手方向に
沿って受部材49が複数箇所に固定されている。第1の
テーブル33におけるサイドガイド35側の外端面には
支持ブロック50がボルト51により固定されている。
支持ブロック50には受部材49と対応するように押圧
ピン52が水平方向に摺動可能に支持されている。各押
圧ピン52の後方において支持ブロック50に調整ねじ
53がナット54により取り付けられ、各押圧ピン52
と調整ねじ53との間に圧縮ばね55が介在され、この
圧縮ばね55の弾性により押圧ピン52が受部材49側
に付勢されている。各受部材49の円錐状の凹入部56
と押圧ピン52との間にはボール57が介在され、圧縮
ばね55の弾性によりサイドガイド35がボール43を
介して第1のガイド2へ、第1のガイド2がボール43
を介してサイドガイド34へ、サイドガイド34が基準
ピン48へ順次付勢されている。各サイドガイド34、
35の一方の短辺側の外側部において、第1のテーブル
33の下面に上記基準ブロック20と一直線状に基準ブ
ロック58がボルト59により固定され、この基準ブロ
ック58のV字状の凹入部60とサイドガイド34の短
辺側端面との間に基準ピン61が水平方向に介在されて
いる。各サイドガイド34、35の他方の短辺側の外端
面には受部材62が固定され、各受部材62に対向する
ように第1のテーブル33の端面に支持ブロック63が
ボルト64に固定され、この支持ブロック63には受部
材62と対応するように押圧ピン65が水平方向に摺動
可能に支持されている。各押圧ピン65の後方において
支持ブロック63に調整ねじ66がナット67により取
り付けられ、各押圧ピン65と調整ねじ66との間に介
在された圧縮ばね68の弾性により押圧ピン65が受部
材62側に付勢されている。受部材62の円錐状の凹入
部69と押圧ピン65との間にはボール70が介在さ
れ、圧縮ばね68の弾性によりサイドガイド34、35
が基準ピンに付勢されている。この状態で、常温では保
持ピン36がサイドガイド34、35の穴36の中央に
位置するように設定されている。したがって、加熱によ
り第1のガイド2、第1のテーブル33等に熱歪が生じ
ても、これを基準ピン48、61を基準として、皿ばね
39、圧縮ばね55、68により吸収することができ、
冷却により皿ばね39、圧縮ばね55、68の反撥弾性
により加熱前の原位置に自動的に復帰する。そして、サ
イドガイド34、35、第1のテーブル33等をボール
43を介して第1のガイド2に対しY軸方向に移動させ
ることができる。
第1のテーブル33上に一対の円柱状の第2のガイド7
1が第1のガイド2と直交方向に保持されている。すな
わち、第1のテーブル33上に支持台72が固定され、
支持台72の両側部上に各一対の支持ブロック73、7
4が固定されている。第2のガイド71の各一端は支持
ブロック73に基準となる円弧状の面を有する座75を
介してボルト76により連結され、第2のガイド71の
各他端は支持ブロック74に皿ばね77、座78を介し
てボルト79により連結されている。したがって、加熱
により第2のガイド71等に熱歪が生じても、これを皿
ばね77により吸収することができ、冷却により皿ばね
77の反撥弾性により加熱前の原位置に自動的に復帰す
る。
1が第1のガイド2と直交方向に保持されている。すな
わち、第1のテーブル33上に支持台72が固定され、
支持台72の両側部上に各一対の支持ブロック73、7
4が固定されている。第2のガイド71の各一端は支持
ブロック73に基準となる円弧状の面を有する座75を
介してボルト76により連結され、第2のガイド71の
各他端は支持ブロック74に皿ばね77、座78を介し
てボルト79により連結されている。したがって、加熱
により第2のガイド71等に熱歪が生じても、これを皿
ばね77により吸収することができ、冷却により皿ばね
77の反撥弾性により加熱前の原位置に自動的に復帰す
る。
上記第2のガイド71にはこの第2のガイド71に沿っ
てX軸方向に移動する円板状の第2のテーブル(X軸テ
ーブル)80が熱歪を吸収し得るように移動可能に支持
されている。すなわち、第2のテーブル80には中心よ
り放射状位置において、雌ねじ81が形成され、各雌ね
じ81に調整用ナット82が螺入され、各調整用ナット
82の内側でボルト83により支持台84が水平位置調
整可能に取り付けられている。支持台84の切欠き穴8
5内において、第2のテーブル80の下面に支持ブロッ
ク86が位置決めピン87とボルト88により固定され
ている。支持台84の切欠き穴89内において、第2の
テーブル80の下面に支持ブロック90がボルト91に
より固定されている。支持台84には一方の第2のガイ
ド71の方向に沿って2箇所に切欠き92が形成され、
各切欠き92内に鼓状の溝付きのガイドローラ93が配
置され、その両側の軸が支持台84にベアリング94を
介して回転可能に支持され、外側のベアリング94は支
持台84に螺入されたナット95により抜け止めされて
いる。支持台84には他方の第2のガイド71の中間部
上に位置して切欠き96が形成され、切欠き96内に円
柱状のガイドローラ97が配置され、その両側の軸が支
持台84にベアリング98を介して回転可能に支持さ
れ、外側のベアリング98は支持台84に螺入されたナ
ット99により抜け止めされている。支持ブロック86
の下端部には支持部材100の二股状部100aが嵌合
され、ピン101により上下方向に揺動可能に支持さ
れ、支持部材100には揺動部材102の中間部の支持
部103がベアリング104を介して回転可能に支持さ
れている。揺動部材102の各先端部にはベアリング1
05がナット106により取り付けられている。支持部
103にはばね掛け107がナット108により取り付
けられ、一方、支持ブロック90内にはばね掛け109
が取り付けられ、これらばね掛け107と109に引張
ばね110が張設されている。そして、一方の第2のガ
イド71の上下が鼓状のガイドローラ93とベアリング
105により挟まれ、他方の第2のガイド71の上下が
円柱状のガイドローラ97とベアリング105により挟
まれ、これらガイドローラ93、97とベアリング10
5の転動により第2のテーブル80等がX軸方向に移動
される。したがって、加熱により第2のガイド71、第
2のテーブル80、支持ブロック86等に熱歪が生じて
も、鼓状のガイドローラ93が引張ばね110の弾性に
抗して上方へ逃げると共に、円柱状のガイドローラ97
が第2のガイド71に対し軸心方向にずれて熱歪を吸収
することができ、冷却により引張ばね110の反撥弾性
等により加熱前の原位置に自動的に復帰する。
てX軸方向に移動する円板状の第2のテーブル(X軸テ
ーブル)80が熱歪を吸収し得るように移動可能に支持
されている。すなわち、第2のテーブル80には中心よ
り放射状位置において、雌ねじ81が形成され、各雌ね
じ81に調整用ナット82が螺入され、各調整用ナット
82の内側でボルト83により支持台84が水平位置調
整可能に取り付けられている。支持台84の切欠き穴8
5内において、第2のテーブル80の下面に支持ブロッ
ク86が位置決めピン87とボルト88により固定され
ている。支持台84の切欠き穴89内において、第2の
テーブル80の下面に支持ブロック90がボルト91に
より固定されている。支持台84には一方の第2のガイ
ド71の方向に沿って2箇所に切欠き92が形成され、
各切欠き92内に鼓状の溝付きのガイドローラ93が配
置され、その両側の軸が支持台84にベアリング94を
介して回転可能に支持され、外側のベアリング94は支
持台84に螺入されたナット95により抜け止めされて
いる。支持台84には他方の第2のガイド71の中間部
上に位置して切欠き96が形成され、切欠き96内に円
柱状のガイドローラ97が配置され、その両側の軸が支
持台84にベアリング98を介して回転可能に支持さ
れ、外側のベアリング98は支持台84に螺入されたナ
ット99により抜け止めされている。支持ブロック86
の下端部には支持部材100の二股状部100aが嵌合
され、ピン101により上下方向に揺動可能に支持さ
れ、支持部材100には揺動部材102の中間部の支持
部103がベアリング104を介して回転可能に支持さ
れている。揺動部材102の各先端部にはベアリング1
05がナット106により取り付けられている。支持部
103にはばね掛け107がナット108により取り付
けられ、一方、支持ブロック90内にはばね掛け109
が取り付けられ、これらばね掛け107と109に引張
ばね110が張設されている。そして、一方の第2のガ
イド71の上下が鼓状のガイドローラ93とベアリング
105により挟まれ、他方の第2のガイド71の上下が
円柱状のガイドローラ97とベアリング105により挟
まれ、これらガイドローラ93、97とベアリング10
5の転動により第2のテーブル80等がX軸方向に移動
される。したがって、加熱により第2のガイド71、第
2のテーブル80、支持ブロック86等に熱歪が生じて
も、鼓状のガイドローラ93が引張ばね110の弾性に
抗して上方へ逃げると共に、円柱状のガイドローラ97
が第2のガイド71に対し軸心方向にずれて熱歪を吸収
することができ、冷却により引張ばね110の反撥弾性
等により加熱前の原位置に自動的に復帰する。
第2のテーブル80上には回転作業台111が設けられ
ている。すなわち、第6図に示すように第2のテーブル
80上にハウジング112がボルト113により固定さ
れ、回転作業台111の下面中央部に固定された回転軸
114がベアリング115と116により回転可能に支
持されている。回転軸114の中間部外周には中空軸1
17が嵌合され、中空軸117の外周にはケイ素鋼板1
18と磁石119からなるローターが溶接により固定さ
れている。回転軸114にはローターの下方において止
めナット120が固定され、回転軸114の上方の段部
121により後退規制された楔122の先端部が中空軸
117の一端部と回転軸114との間に圧入され、止め
ナット120により後退規制された楔123の先端部が
中空軸117の他端部と回転軸114との間に圧入さ
れ、両者が固定されている。ハウジング112の内側に
はローターの外周においてステーター124が固定され
ている。したがって、ローターの回転によりこれと一体
の回転軸114および回転作業台111が回転される。
ている。すなわち、第6図に示すように第2のテーブル
80上にハウジング112がボルト113により固定さ
れ、回転作業台111の下面中央部に固定された回転軸
114がベアリング115と116により回転可能に支
持されている。回転軸114の中間部外周には中空軸1
17が嵌合され、中空軸117の外周にはケイ素鋼板1
18と磁石119からなるローターが溶接により固定さ
れている。回転軸114にはローターの下方において止
めナット120が固定され、回転軸114の上方の段部
121により後退規制された楔122の先端部が中空軸
117の一端部と回転軸114との間に圧入され、止め
ナット120により後退規制された楔123の先端部が
中空軸117の他端部と回転軸114との間に圧入さ
れ、両者が固定されている。ハウジング112の内側に
はローターの外周においてステーター124が固定され
ている。したがって、ローターの回転によりこれと一体
の回転軸114および回転作業台111が回転される。
上記第1と第2のテーブル33と80はそれぞれステッ
ピングモータ125、126とボールねじにより移動さ
れる。すなわち、ステッピングモータ125は第9図に
示すようにベース1にハウジング127がボルト128
により固定されている。ハウジング127にはボールね
じのねじ軸129の端部がベアリング130、131に
より回転可能に支持されている。ねじ軸129の外周に
は中空軸132が嵌合され、中空軸132の外周にはケ
イ素鋼板133と磁石134からなるローターが溶接に
より固定されている。ねじ軸129にはローターの外方
において止めナット135が固定され、ねじ軸129の
内方の段部136により後退規制された楔137の先端
部が中空軸132の一端部とねじ軸129との間に圧入
され、止めナット135により後退規制された楔138
の先端部が中空軸132の他端部とねじ軸129との間
に圧入され、両者が固定されている。ハウジング127
の内側にはローターの外周においてステーター139が
固定されている。ハウジング127にはねじ軸129の
外方において、プッシャー140が摺動可能に支持さ
れ、プッシャー140の外方に止めねじ141が螺入さ
れ、止めねじ141とプッシャー140の間に圧縮ばね
142が介在され、圧縮ばね142の弾性によりプッシ
ャー140がねじ軸129側に付勢されている。ねじ軸
129の端面とプッシャー140の端面の円錐状部に跨
ってボール143が介在されている。したがって、ステ
ータ139とローターのギャップが確保され、ローター
の回転によりこれと一体のねじ軸129が回転される。
第7図から明らかなようにベース1に支持ブロック14
4がボルト145により固定され、この支持ブロック1
45の穴にスリーブ195が挿入され、スリーブ195
と一体に設けられたフランジ195aがボルト196に
より支持ブロック144に固定されている。スリーブ1
95にはステッピングモータ125、126のねじ軸1
29の先端部がベアリング146を介して回転可能に支
持されている。一方、第1のテーブル33にはブラケッ
ト147が取り付けられ、ブラケット147の穴148
にはボールねじのナット149と150が遊合状態で挿
通され、ナット150にはブラケット147とナット1
50の鍔状部151との間で環状板152が遊嵌されて
いる。ブラケット147と環状板152の対向面には軸
心と直交方向に断面V字状の凹入溝147a、152a
が形成され、環状板152の反対側の面には凹入溝15
2aと直交方向に断面V字状の凹入溝152bが形成さ
れている。ナット150の鍔状部151と環状板152
とブラケット147には複数本のボルト153が遊合状
態で挿通され、ナット149の外周に取り付けられたナ
ット154に螺入されている。ブラケット147と環状
板152の凹入溝147a、152a間に複数個のボー
ル155が介在され、環状板152の凹入溝152bと
鍔状部151との間に複数個のボール156が介在さ
れ、ナット149の外周において、ナット154とブラ
ケット147の間に圧縮ばね157が介在され、圧縮ば
ね157の弾性によりナット150の鍔状部151がボ
ール156を介して環状板152に圧接され、環状板1
52がボール155を介してブラケット147に圧接さ
れている。上記ねじ軸129がナット149、150に
ボール(図示省略)を介して噛合わされている。したが
って、ステッピングモータ125の駆動によりねじ軸1
29を回転させることにより、ナット149、150を
介して第1のテーブル33、第2のテーブル80および
回転作業台111等を第1のガイド2に沿ってY軸方向
に移動させることができる。そして、ナット149、1
50を圧縮ばね154、ボール155、156等を介し
てブラケット147に支持させることにより、加熱によ
る各部材の熱歪を吸収することができ、また、ねじ軸1
29の曲がりが第1のテーブル33等へ影響を及ぼすの
を防止することができる。一方、ステッピングモータ1
26も上記ステッピングモータ125と同様に構成され
て支持台72上に取り付けられ、このステッピングモー
タ126の駆動により回転されるねじ軸129も同様に
支持台72上に取り付けられた支持ブロック145内の
スリーブ195にベアリング(図示省略)を介して回転
可能に支持され、このねじ軸129が支持台84より突
出するブラケット147に同様に支持されたナット14
9と150にボール(図示省略)を介して噛合わされて
いる。したがって、ステッピングモータ126の駆動に
よりねじ軸129を回転させることにより、ナット14
9、150を介して支持台84、第2のテーブル80お
よび回転作業台111等を第2のガイド2に沿ってX軸
方向に移動させることができる。そして、ステッピング
モータ125のねじ軸129側と同様に加熱による各部
材の熱歪を吸収することができ、また、ねじ軸129の
曲がりが第2のテーブル80等へ影響を及ぼすのを防止
することができる。
ピングモータ125、126とボールねじにより移動さ
れる。すなわち、ステッピングモータ125は第9図に
示すようにベース1にハウジング127がボルト128
により固定されている。ハウジング127にはボールね
じのねじ軸129の端部がベアリング130、131に
より回転可能に支持されている。ねじ軸129の外周に
は中空軸132が嵌合され、中空軸132の外周にはケ
イ素鋼板133と磁石134からなるローターが溶接に
より固定されている。ねじ軸129にはローターの外方
において止めナット135が固定され、ねじ軸129の
内方の段部136により後退規制された楔137の先端
部が中空軸132の一端部とねじ軸129との間に圧入
され、止めナット135により後退規制された楔138
の先端部が中空軸132の他端部とねじ軸129との間
に圧入され、両者が固定されている。ハウジング127
の内側にはローターの外周においてステーター139が
固定されている。ハウジング127にはねじ軸129の
外方において、プッシャー140が摺動可能に支持さ
れ、プッシャー140の外方に止めねじ141が螺入さ
れ、止めねじ141とプッシャー140の間に圧縮ばね
142が介在され、圧縮ばね142の弾性によりプッシ
ャー140がねじ軸129側に付勢されている。ねじ軸
129の端面とプッシャー140の端面の円錐状部に跨
ってボール143が介在されている。したがって、ステ
ータ139とローターのギャップが確保され、ローター
の回転によりこれと一体のねじ軸129が回転される。
第7図から明らかなようにベース1に支持ブロック14
4がボルト145により固定され、この支持ブロック1
45の穴にスリーブ195が挿入され、スリーブ195
と一体に設けられたフランジ195aがボルト196に
より支持ブロック144に固定されている。スリーブ1
95にはステッピングモータ125、126のねじ軸1
29の先端部がベアリング146を介して回転可能に支
持されている。一方、第1のテーブル33にはブラケッ
ト147が取り付けられ、ブラケット147の穴148
にはボールねじのナット149と150が遊合状態で挿
通され、ナット150にはブラケット147とナット1
50の鍔状部151との間で環状板152が遊嵌されて
いる。ブラケット147と環状板152の対向面には軸
心と直交方向に断面V字状の凹入溝147a、152a
が形成され、環状板152の反対側の面には凹入溝15
2aと直交方向に断面V字状の凹入溝152bが形成さ
れている。ナット150の鍔状部151と環状板152
とブラケット147には複数本のボルト153が遊合状
態で挿通され、ナット149の外周に取り付けられたナ
ット154に螺入されている。ブラケット147と環状
板152の凹入溝147a、152a間に複数個のボー
ル155が介在され、環状板152の凹入溝152bと
鍔状部151との間に複数個のボール156が介在さ
れ、ナット149の外周において、ナット154とブラ
ケット147の間に圧縮ばね157が介在され、圧縮ば
ね157の弾性によりナット150の鍔状部151がボ
ール156を介して環状板152に圧接され、環状板1
52がボール155を介してブラケット147に圧接さ
れている。上記ねじ軸129がナット149、150に
ボール(図示省略)を介して噛合わされている。したが
って、ステッピングモータ125の駆動によりねじ軸1
29を回転させることにより、ナット149、150を
介して第1のテーブル33、第2のテーブル80および
回転作業台111等を第1のガイド2に沿ってY軸方向
に移動させることができる。そして、ナット149、1
50を圧縮ばね154、ボール155、156等を介し
てブラケット147に支持させることにより、加熱によ
る各部材の熱歪を吸収することができ、また、ねじ軸1
29の曲がりが第1のテーブル33等へ影響を及ぼすの
を防止することができる。一方、ステッピングモータ1
26も上記ステッピングモータ125と同様に構成され
て支持台72上に取り付けられ、このステッピングモー
タ126の駆動により回転されるねじ軸129も同様に
支持台72上に取り付けられた支持ブロック145内の
スリーブ195にベアリング(図示省略)を介して回転
可能に支持され、このねじ軸129が支持台84より突
出するブラケット147に同様に支持されたナット14
9と150にボール(図示省略)を介して噛合わされて
いる。したがって、ステッピングモータ126の駆動に
よりねじ軸129を回転させることにより、ナット14
9、150を介して支持台84、第2のテーブル80お
よび回転作業台111等を第2のガイド2に沿ってX軸
方向に移動させることができる。そして、ステッピング
モータ125のねじ軸129側と同様に加熱による各部
材の熱歪を吸収することができ、また、ねじ軸129の
曲がりが第2のテーブル80等へ影響を及ぼすのを防止
することができる。
特に第1図、第2図および第11図から明らかなように
第1のテーブル33の原点検出用スイッチ158がベー
ス1と、第1のテーブル33に固定された支持ブロック
50に設けられている。ベースにブラケット159がボ
ルト160により固定され、ブラケット159の穴16
1にスリーブ162が遊合状態に挿通されている。スリ
ーブ162の内側にセラミックスからなる絶縁体163
を介して端子164が固定されている。スリーブ162
の基部突出部には止めリング165が止めねじ166に
より固定され、スリーブ162の先端側の鍔状部167
とブラケット159との間には圧縮ばね168が介在さ
れている。端子164の先端にはヘッド169が止めね
じ170により固定され、端子164の基端には圧着端
子171を介してケーブル172に接続されている。一
方、支持ブロック50にブラケット173が固定され、
ブラケット173の穴174にスリーブ175が固定さ
れ、スリーブ175の内側に絶縁体176を介して端子
177が固定されている。端子177の先端はスリーブ
175の先方へ突出され、端子177の基端には圧着端
子178を介してケーブル179が接続されている。し
たがって、上記のように第1のテーブル33、支持ブロ
ック50等がY軸方向に移動する際、支持ブロック50
側の端子177をベース1側の端子164のヘッド16
9に接触させておくことにより、原点位置を検出するこ
とができ、このとき、端子177をヘッド169に強く
押し当てても圧縮ばね169によりその衝撃を吸収する
ことができる。第1のテーブル33のY軸方向へ移動を
規制するための一対の近接スイッチ180がそれぞれベ
ース1にボルト181により固定されたブラケット18
2に支持され、一方、第4図から明らかなように上記近
接スイッチ180を動作させる磁石183が支持ブロッ
ク50にボルト184により固定されている。したがっ
て、上記のように第1のテーブル33、支持ブロック5
0等がY軸方向に移動する際、磁石183がいずれかの
近接スイッチ180を動作させて限界移動位置を検出す
ることができる。第1図に示すように第2のテーブル8
0の原点検出用のスイッチ185が支持台72と支持台
84に上記と同様にブラケット159と173により取
り付けられ、また、第1図、第2図に示すように第2の
テーブル80のX軸方向への移動を規制するための一対
の近接スイッチ186がそれぞれ支持台72に上記と同
様にブラケット182により支持され、これらの近接ス
イッチ186を動作させる磁石187が支持台84に取
り付けられている。したがって、上記と同様に原点検出
用のスイッチ185により第2のテーブル80の原点位
置を検出し、近接スイッチ186により第2のテーブル
80の限界移動位置を検出することができる。第6図に
示すように回転作業台111の回転位置検出用の近接ス
イッチ188はハウジング112にボルト189により
取り付けられたブラケット190に支持されている。一
方、回転作業台111にブラケット191がボルト19
2により固定され、このブラケット191に近接スイッ
チ188を動作させる磁石193がボルト194により
固定されている。したがって、磁石193により近接ス
イッチ188の動作により回転作業台111の回転位置
を検出することができる。
第1のテーブル33の原点検出用スイッチ158がベー
ス1と、第1のテーブル33に固定された支持ブロック
50に設けられている。ベースにブラケット159がボ
ルト160により固定され、ブラケット159の穴16
1にスリーブ162が遊合状態に挿通されている。スリ
ーブ162の内側にセラミックスからなる絶縁体163
を介して端子164が固定されている。スリーブ162
の基部突出部には止めリング165が止めねじ166に
より固定され、スリーブ162の先端側の鍔状部167
とブラケット159との間には圧縮ばね168が介在さ
れている。端子164の先端にはヘッド169が止めね
じ170により固定され、端子164の基端には圧着端
子171を介してケーブル172に接続されている。一
方、支持ブロック50にブラケット173が固定され、
ブラケット173の穴174にスリーブ175が固定さ
れ、スリーブ175の内側に絶縁体176を介して端子
177が固定されている。端子177の先端はスリーブ
175の先方へ突出され、端子177の基端には圧着端
子178を介してケーブル179が接続されている。し
たがって、上記のように第1のテーブル33、支持ブロ
ック50等がY軸方向に移動する際、支持ブロック50
側の端子177をベース1側の端子164のヘッド16
9に接触させておくことにより、原点位置を検出するこ
とができ、このとき、端子177をヘッド169に強く
押し当てても圧縮ばね169によりその衝撃を吸収する
ことができる。第1のテーブル33のY軸方向へ移動を
規制するための一対の近接スイッチ180がそれぞれベ
ース1にボルト181により固定されたブラケット18
2に支持され、一方、第4図から明らかなように上記近
接スイッチ180を動作させる磁石183が支持ブロッ
ク50にボルト184により固定されている。したがっ
て、上記のように第1のテーブル33、支持ブロック5
0等がY軸方向に移動する際、磁石183がいずれかの
近接スイッチ180を動作させて限界移動位置を検出す
ることができる。第1図に示すように第2のテーブル8
0の原点検出用のスイッチ185が支持台72と支持台
84に上記と同様にブラケット159と173により取
り付けられ、また、第1図、第2図に示すように第2の
テーブル80のX軸方向への移動を規制するための一対
の近接スイッチ186がそれぞれ支持台72に上記と同
様にブラケット182により支持され、これらの近接ス
イッチ186を動作させる磁石187が支持台84に取
り付けられている。したがって、上記と同様に原点検出
用のスイッチ185により第2のテーブル80の原点位
置を検出し、近接スイッチ186により第2のテーブル
80の限界移動位置を検出することができる。第6図に
示すように回転作業台111の回転位置検出用の近接ス
イッチ188はハウジング112にボルト189により
取り付けられたブラケット190に支持されている。一
方、回転作業台111にブラケット191がボルト19
2により固定され、このブラケット191に近接スイッ
チ188を動作させる磁石193がボルト194により
固定されている。したがって、磁石193により近接ス
イッチ188の動作により回転作業台111の回転位置
を検出することができる。
上記各部材において、部品固定用のボルト、ナット、ワ
ッシャ、ばね、受部材、ボール、基準ピン、ベアリング
等の強度部材には酸洗、加熱脱ガス処理を行ない、また
は、表面にAgでコートしたステンレス材を用い、その他
の主要部材はアルミニウム合金をAr+O2中で加工し、表
面に緻密で硬い酸化膜を形成し、不純物を少なくした材
料を用いている。したがって、加熱の際に各部材からの
放出ガスの発生を極めて少なくすることができる。ま
た、上記第1のテーブル33と第2のテーブル80を移
動させる各ステッピングモータ125、126のステー
タ139および回転作業台111を回転させるモータの
ステータ124に用いるケーブルは第10図に示すよう
に芯線195の外周に絶縁被覆196が施され、絶縁被
覆196の外周がステンレスからなるチューブ197に
より被覆されている。したがって、加熱の際に放出ガス
の発生を極めて少なくすることができ、これにより各ス
テッピングモータ125、126を真空槽(図示省略)
内に設置することができる。
ッシャ、ばね、受部材、ボール、基準ピン、ベアリング
等の強度部材には酸洗、加熱脱ガス処理を行ない、また
は、表面にAgでコートしたステンレス材を用い、その他
の主要部材はアルミニウム合金をAr+O2中で加工し、表
面に緻密で硬い酸化膜を形成し、不純物を少なくした材
料を用いている。したがって、加熱の際に各部材からの
放出ガスの発生を極めて少なくすることができる。ま
た、上記第1のテーブル33と第2のテーブル80を移
動させる各ステッピングモータ125、126のステー
タ139および回転作業台111を回転させるモータの
ステータ124に用いるケーブルは第10図に示すよう
に芯線195の外周に絶縁被覆196が施され、絶縁被
覆196の外周がステンレスからなるチューブ197に
より被覆されている。したがって、加熱の際に放出ガス
の発生を極めて少なくすることができ、これにより各ス
テッピングモータ125、126を真空槽(図示省略)
内に設置することができる。
次に上記実施例の動作について説明する。
ステッピングモータ125の駆動により上記のように第
1のテーブル33、第2のテーブル80、回転作業台1
11等を第1のガイド2に沿ってY軸方向に移動させ、
ステッピングモータ126の駆動により上記のように第
2のテーブル80、回転作業台111等を第2のガイド
71に沿ってX軸方向に移動させることができる。ま
た、回転作業台111を上記のようにハウジング112
に内臓したモータの駆動により回転させることができ、
この回転作業台111上で素子に対する薄膜加工、検査
等を行なうことができる。そして、真空槽を加熱し、真
空槽内を脱ガスし、超高真空環境にする際、上記のよう
に第1のガイド2等の熱歪を基準ピン14、23を基準
として皿ばね10、圧縮ばね30により吸収し、第1の
テーブル33等の熱歪を基準ピン48、61を基準とし
て皿ばね39、圧縮ばね68により吸収し、第2のガイ
ド71等の熱歪を支持ブロック73と座75を基準とし
て皿ばね77により吸収し、第2のテーブル80等の熱
歪を鼓状のローラ93の案内側の第2のガイド71を基
準として引張ばね110により吸収することができる。
また、各部材を上記のように各ばねにより常に押し付け
ているので、各部材間の熱伝達を効果的に行なうことが
でき、温度勾配を小さくすることができる。したがっ
て、10-11 Torr台の超高真空環境において第1のテ
ーブル33、第2のテーブル80、回転作業台111を
大気中と同様に円滑に、しかも、高精度に動作させるこ
とができる。また、各部材を上記のように加熱の際の放
出ガスの極めて少ない材料により形成しているので、真
空槽内の好ましい環境に保つことができる。また、上記
のように第1の第2のテーブル33と80を移動させる
ステッピングモータ125、126を真空槽内に設置す
ることができるようにしているので、従来のような動力
伝達機構の変動をなくし、送り精度を更に一層向上させ
ることができる。試験の結果、10-11 Torrの超高真
空環境において、大気中での動作と同じように動作させ
ることができ、各テーブル33、80のピッチング、ヨ
ーイングはいずれもサブミクロン台であった。
1のテーブル33、第2のテーブル80、回転作業台1
11等を第1のガイド2に沿ってY軸方向に移動させ、
ステッピングモータ126の駆動により上記のように第
2のテーブル80、回転作業台111等を第2のガイド
71に沿ってX軸方向に移動させることができる。ま
た、回転作業台111を上記のようにハウジング112
に内臓したモータの駆動により回転させることができ、
この回転作業台111上で素子に対する薄膜加工、検査
等を行なうことができる。そして、真空槽を加熱し、真
空槽内を脱ガスし、超高真空環境にする際、上記のよう
に第1のガイド2等の熱歪を基準ピン14、23を基準
として皿ばね10、圧縮ばね30により吸収し、第1の
テーブル33等の熱歪を基準ピン48、61を基準とし
て皿ばね39、圧縮ばね68により吸収し、第2のガイ
ド71等の熱歪を支持ブロック73と座75を基準とし
て皿ばね77により吸収し、第2のテーブル80等の熱
歪を鼓状のローラ93の案内側の第2のガイド71を基
準として引張ばね110により吸収することができる。
また、各部材を上記のように各ばねにより常に押し付け
ているので、各部材間の熱伝達を効果的に行なうことが
でき、温度勾配を小さくすることができる。したがっ
て、10-11 Torr台の超高真空環境において第1のテ
ーブル33、第2のテーブル80、回転作業台111を
大気中と同様に円滑に、しかも、高精度に動作させるこ
とができる。また、各部材を上記のように加熱の際の放
出ガスの極めて少ない材料により形成しているので、真
空槽内の好ましい環境に保つことができる。また、上記
のように第1の第2のテーブル33と80を移動させる
ステッピングモータ125、126を真空槽内に設置す
ることができるようにしているので、従来のような動力
伝達機構の変動をなくし、送り精度を更に一層向上させ
ることができる。試験の結果、10-11 Torrの超高真
空環境において、大気中での動作と同じように動作させ
ることができ、各テーブル33、80のピッチング、ヨ
ーイングはいずれもサブミクロン台であった。
発明の効果 以上述べたように本発明によれば、第1の駆動装置によ
り第1の動力伝達手段を介し、第1のテーブルおよび第
2のテーブルをベース上のガイドによる第1のテーブル
の第1の支持手段の案内により一方向に移動させ、第2
の駆動装置により第2の動力伝達手段を介し、第2のテ
ーブルを第1のテーブル上の第2のガイドによる第2の
テーブルの第2の支持手段の案内により上記と直交方向
に移動させるようにし、第1とガイドをベースに熱歪を
吸収し得るようにばねを用いて保持し、第1にテーブル
を第1のガイドに熱歪を吸収し得るようにばねを用いて
移動可能に支持し、第2のガイドを第1のテーブルに熱
歪を吸収し得るようにばねを用いて保持し、第2のテー
ブルを第2のガイドに熱歪を吸収し得るようにばねを用
いて移動可能に支持し、第1と第2の駆動装置と第1と
第2のテーブルをそれぞればねを用いて熱歪を吸収し得
るように連係しているので、真空槽を加熱して脱ガスす
る際に上記各部材が熱歪(熱膨張)を生じてもこれを吸
収することができ、したがって、10-11 Torr台の超
高真空環境で円滑に、しかも、高精度に動作させること
ができる。
り第1の動力伝達手段を介し、第1のテーブルおよび第
2のテーブルをベース上のガイドによる第1のテーブル
の第1の支持手段の案内により一方向に移動させ、第2
の駆動装置により第2の動力伝達手段を介し、第2のテ
ーブルを第1のテーブル上の第2のガイドによる第2の
テーブルの第2の支持手段の案内により上記と直交方向
に移動させるようにし、第1とガイドをベースに熱歪を
吸収し得るようにばねを用いて保持し、第1にテーブル
を第1のガイドに熱歪を吸収し得るようにばねを用いて
移動可能に支持し、第2のガイドを第1のテーブルに熱
歪を吸収し得るようにばねを用いて保持し、第2のテー
ブルを第2のガイドに熱歪を吸収し得るようにばねを用
いて移動可能に支持し、第1と第2の駆動装置と第1と
第2のテーブルをそれぞればねを用いて熱歪を吸収し得
るように連係しているので、真空槽を加熱して脱ガスす
る際に上記各部材が熱歪(熱膨張)を生じてもこれを吸
収することができ、したがって、10-11 Torr台の超
高真空環境で円滑に、しかも、高精度に動作させること
ができる。
第1図ないし第11図は本発明の一実施例における超高
真空用精密テーブルを示し、第1図は全体斜視図、第2
図は回転作業台部分を除去した平面図、第3図は一部を
破断した第1図のIII矢視図、第4図は第1図のIV−IV
矢視断面図、第5図は第4図のV−V矢視断面図、第6
図は回転作業台部分の断面図,第7図はボールねじのね
じ軸の端部支持部の断面図、第8図はボールねじのねじ
軸と螺合するナット部の取り付け状態の断面図、第9図
はステッピングモータ部の断面図、第10図はステッピ
ングモータのステータ用ケーブルの断面図、第11図は
原点検出用スイッチの断面図、第12図ないし第16図
は従来の真空用精密テーブルを示し、第12図は全体斜
視図、第13図は第12図のXIII−XIII矢視断面図、第
14図は第12図のXIV−XIV矢視断面図、第15図はリ
ニアガイドの横断面図、第16図はリニアガイドの一部
破断側面図である。 1……ベース、2……第1のガイド、8……保持ピン、
10……皿ばね、12……基準ブロック、15……基準
ピン、16……支持ブロック、18……圧縮ばね、20
……基準ブロック、23……基準ピン、25……支持ブ
ロック、30……圧縮ばね、33……第1のテーブル、
34、35……サイドガイド、37……保持ピン、45
……基準ブロック、48……基準ピン、50……支持ブ
ロック、55……圧縮ばね、58……基準ブロック、6
1……基準ピン、68……圧縮ばね、72……支持台、
73、74……支持ブロック、77……皿ばね、80…
…第2のテーブル、86……支持ブロック、93……ロ
ーラ、97……ローラ、105……ベアリング、110
……引張ばね、111……回転作業台、125、126
……ステッピングモータ、129……ボールねじのねじ
軸、149、150……ボールねじのナット、158…
…原点検出用スイッチ、180……近接スイッチ、18
5……原点検出用スイッチ、186……近接スイッチ、
188……近接スイッチ。
真空用精密テーブルを示し、第1図は全体斜視図、第2
図は回転作業台部分を除去した平面図、第3図は一部を
破断した第1図のIII矢視図、第4図は第1図のIV−IV
矢視断面図、第5図は第4図のV−V矢視断面図、第6
図は回転作業台部分の断面図,第7図はボールねじのね
じ軸の端部支持部の断面図、第8図はボールねじのねじ
軸と螺合するナット部の取り付け状態の断面図、第9図
はステッピングモータ部の断面図、第10図はステッピ
ングモータのステータ用ケーブルの断面図、第11図は
原点検出用スイッチの断面図、第12図ないし第16図
は従来の真空用精密テーブルを示し、第12図は全体斜
視図、第13図は第12図のXIII−XIII矢視断面図、第
14図は第12図のXIV−XIV矢視断面図、第15図はリ
ニアガイドの横断面図、第16図はリニアガイドの一部
破断側面図である。 1……ベース、2……第1のガイド、8……保持ピン、
10……皿ばね、12……基準ブロック、15……基準
ピン、16……支持ブロック、18……圧縮ばね、20
……基準ブロック、23……基準ピン、25……支持ブ
ロック、30……圧縮ばね、33……第1のテーブル、
34、35……サイドガイド、37……保持ピン、45
……基準ブロック、48……基準ピン、50……支持ブ
ロック、55……圧縮ばね、58……基準ブロック、6
1……基準ピン、68……圧縮ばね、72……支持台、
73、74……支持ブロック、77……皿ばね、80…
…第2のテーブル、86……支持ブロック、93……ロ
ーラ、97……ローラ、105……ベアリング、110
……引張ばね、111……回転作業台、125、126
……ステッピングモータ、129……ボールねじのねじ
軸、149、150……ボールねじのナット、158…
…原点検出用スイッチ、180……近接スイッチ、18
5……原点検出用スイッチ、186……近接スイッチ、
188……近接スイッチ。
Claims (1)
- 【請求項1】ベースと、このベース上に設けられる第1
のガイドと、この第1のガイドを基準に対しばねにより
付勢して上記ベースに熱歪を吸収し得るように保持する
第1の保持手段と、上記第1のガイドに沿って移動する
第1のテーブルと、この第1のテーブルを基準に対しば
ねにより付勢して上記第1のガイドに熱歪を吸収し得る
ように移動可能に支持する第1の支持手段と、上記第1
のテーブル上に上記第1のガイドと直交方向に設けられ
る第2のガイドと、この第2のガイドを基準に対しばね
により付勢して上記第1のテーブルに熱歪を吸収し得る
ように保持する第2の保持手段と、上記第2のガイドに
沿って移動する第2のテーブルと、この第2のテーブル
を上記第2のガイドに熱歪を吸収し得るようにばねを用
いて移動可能に支持する第2の支持手段と、上記第1と
第2のテーブルをそれぞれ移動させる第1と第2の駆動
装置と、これら第1と第2の駆動装置と第1と第2のテ
ーブルにばねを用いて熱歪を吸収し得るように連係され
た第1と第2の動力伝達手段とを備えたことを特徴とす
る超高真空用精密テーブル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1139103A JPH0626105B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | 超高真空用精密テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1139103A JPH0626105B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | 超高真空用精密テーブル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH038249A JPH038249A (ja) | 1991-01-16 |
JPH0626105B2 true JPH0626105B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=15237554
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1139103A Expired - Lifetime JPH0626105B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | 超高真空用精密テーブル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0626105B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10113334A1 (de) * | 2001-03-20 | 2002-09-26 | Cognis Deutschland Gmbh | Quartäre Tenside |
-
1989
- 1989-06-02 JP JP1139103A patent/JPH0626105B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH038249A (ja) | 1991-01-16 |
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