JP6250635B2 - 電極調整アセンブリ及び電極を調整する方法 - Google Patents
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Description
本願は、米国特許仮出願第61/625428号、2012年4月17日出願の非仮出願であり、その全文を参照する形で本明細書に含める。
本発明の好適例は、半導体処理全般に関するものであり、特に、半導体処理用途に関係する電極アセンブリを操作するシステム及び方法に関するものである。
イオン注入は、エネルギーを与えたイオンをワークピース(加工片)に衝突させることによって化学種をワークピース内に注入するプロセス(処理工程)である。半導体製造では、ターゲット材料の導電性の型及びレベルを変更するドーピングプロセスに、イオン注入を用いる。集積回路(IC)基板のようなワークピース内への精密なドーピング・プロファイル、及びワークピースの薄膜構造は、適切なIC性能にとって重要である。所望のドーピング・プロファイルを実現するために、1つ以上のイオン種を、異なるドーズ量及び異なるエネルギーレベルで注入することができる。
Claims (13)
- ワークピース処理用の電極調整アセンブリであって、
第1端及び第2端を有する電極と;
前記第1端に結合された第1マニピュレータ、及び前記第2端に結合された第2マニピュレータとを具え、前記第1及び第2マニピュレータは、前記電極の前記第1端及び前記第2端を選択的に移動させるように構成され、
前記第1及び第2マニピュレータは、独立して作動可能であり、これにより、前記電極の前記第1端及び前記第2端を、互いに独立して調整することができ、
前記第1及び第2マニピュレータが、前記電極のそれぞれ前記第1端及び前記第2端を、互いに直交する第1及び第2軸の両方に沿って移動させるように構成されていることを特徴とする電極調整アセンブリ。 - 前記第1及び第2マニピュレータが、前記電極の前記第1端及び前記第2端を独立して移動させるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の電極調整アセンブリ。
- 前記第1及び第2マニピュレータの各々が、第1及び第2ピン接続部の両方を具え、前記第1マニピュレータは、前記第1及び第2ピン接続部を介して前記第1端に結合され、前記第2マニピュレータは、前記第1及び第2ピン接続部を介して前記第2端に結合され、前記第1端及び前記第2端の各々が、前記互いに直交する第1及び第2軸の周りに、それぞれ前記第1ピン接続部及び前記第2ピン接続部を介して回転可能であり、これにより、前記電極の前記第1端及び前記第2端を互いに独立して調整することができ、前記第1及び第2マニピュレータが、真空チャンバ内の開口を通して配置された第1及び第2作動部材を介して作動可能であることを特徴とする請求項1に記載の電極調整アセンブリ。
- 前記第1及び第2作動部材が、前記真空チャンバの外側にあるそれぞれのアクチュエータと係合し、前記電極、及び前記第1及び第2マニピュレータが、前記真空チャンバ内に配置されていることを特徴とする請求項3に記載の電極調整アセンブリ。
- ワークピース処理用の電極調整アセンブリであって、
第1端及び第2端を有する電極アセンブリと;
前記第1端に結合された第1マニピュレータ、及び前記第2端に結合された第2マニピュレータとを具え、
前記第1及び第2マニピュレータは、前記電極アセンブリの前記第1及び第2端を、選択的に独立して移動させるように構成され、
前記第1マニピュレータが、前記電極アセンブリの前記第1端を、互いに直交する第1及び第2軸に沿って移動させるように構成されていることを特徴とする電極調整アセンブリ。 - 前記第2マニピュレータが、前記電極アセンブリの前記第2端を、前記互いに直交する第1及び第2軸に沿って移動させるように構成されていることを特徴とする請求項5に記載の電極調整アセンブリ。
- 前記第1及び第2マニピュレータ、及び前記電極アセンブリが真空チャンバ内に配置され、前記第1及び第2マニピュレータが、前記真空チャンバの壁面内の少なくとも1つの開口を通るそれぞれの作動部材を介して、前記真空チャンバ外に配置されたアクチュエータに結合されていることを特徴とする請求項5に記載の電極調整アセンブリ。
- 前記第1及び第2マニピュレータの各々が、第1及び第2ピン接続部の両方を具え、前記第1マニピュレータは、前記第1及び第2ピン接続部を介して前記第1端に結合され、前記第2マニピュレータは、前記第1及び第2ピン接続部を介して前記第2端に結合され、前記第1端及び前記第2端の各々が、前記互いに直交する第1及び第2軸の周りに、それぞれ前記第1ピン接続部及び前記第2ピン接続部を介して回転可能であり、これにより、前記第1及び第2マニピュレータは、前記電極アセンブリの前記第1及び第2端を選択的に独立して移動させるように構成され、前記互いに直交する第1及び第2軸が、それぞれイオンビームの進行方向及び前記イオンビームの短軸と同一直線上に整列していることを特徴とする請求項5に記載の電極調整アセンブリ。
- ワークピース処理操作の一部として電極を調整する方法であって、
前記電極の第1及び第2端を、独立して制御可能なそれぞれ第1及び第2マニピュレータを用いて調整するステップであって、前記第1及び第2マニピュレータが、それぞれ前記第1及び第2端に関連するステップを含み、
前記第1及び第2端を調整するステップによって、前記電極内の開口を通して受け入れたイオンビームのパラメータを調整することを特徴とする方法。 - 前記電極の前記第1及び第2端を調整するステップが、前記電極の前記第1及び第2端を独立して調整して、前記イオンビームのパラメータを調整することを含むことを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記電極の前記第1及び第2端を調整するステップが、前記第1及び第2端の一方を、互いに直交する2つの方向の少なくとも一方に移動させることを含むことを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 前記第1及び第2端の少なくとも一方を、前記互いに直交する2つの方向の少なくとも一方に移動させることが、前記第1及び第2端に関連する第1及び第2マニピュレータ・アセンブリに、それぞれの力を加えることを含むことを特徴とする請求項11に記載の方法。
- 前記それぞれの力を加えることが、前記第1及び第2マニピュレータ・アセンブリに結合された第1及び第2作動部材の位置を調整することを含むことを特徴とする請求項12に記載の方法。
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