TW201349298A - 電極調整組件與調整電極的方法 - Google Patents

Abstract

一種電極調整方法與裝置被揭露以用於工件製程。組件可包括具有第一端及第二端的電極組件。第一及第二機械手可被耦接至第一及第二端。機械手可被用以選擇性地帶動電極組件的第一和第二端部的移動以調整一或多個通過電極的離子束特性。第一及第二機械手可獨立操縱使得電極的第一及第二端可彼此獨立地被調整。使用本揭露裝置的方法也被揭露。

Description

雙端電極機械手 【交叉相關申請案】

本申請案主張2012年4月17日申請的美國非臨時專利申請案第61/625,428號的優先權，其中該案的所有內容併入於本案中。

本發明的實施例關於一般的半導體加工，且特別是有關於一種在半導體製程應用中，用以操縱電極組件的系統與方法。

離子植入法是一種藉由帶電離子轟擊工件用以將化學物種植入工件的製程。在半導體製程中，離子植入機被用於改變靶材的導電性的類型和級別的摻雜製程。在工件上的一個精確的摻雜分佈，例如是積體電路(IC)基材，且對適當的積體電路的表現而言，其薄膜結構是相當重要的。為了達到理想的摻雜分佈，一或多種離子種類可以不同的劑量及不同的能量水平被植入。

圖1描繪了一個離子注入器系統。離子植入機100包括離子源101，包括多個電極的電極組件102以及用於操縱離子能量 以及產生離子束10以所需的能量轟擊標靶工件114的多個光束線元件103。

如前所述，離子植入機利用電極操縱離子能量(例如是引導、加速或減速離子束中的離子)。舉例而言，多個電極104可被用以從離子源提取並形成離子束。這些電極的位置可能需要考量離子束能量或離子束電流的變化調整。這些電極的方向也需要被調整以更正機械偏差或改變離子束的方向。當電極變大或當離子束的尺寸變大時，以單一端支撐電極會變得更加具有挑戰性。因此，有必要提供一種改進的裝置以在離子植入機中調整大型電極的位置以維持理想的均勻離子束。

本發明內容以簡單的形式提供且介紹概念的選擇，並在以下的具體實施方式中進一步描述。本發明並不限制申請專利範圍標的物中的關鍵特徵或基本特徵，亦不欲作為決定申請專利範圍標的物的範圍一種輔助手段。

一種電極調整組件被揭露以用於工件製程。組件可包括具有第一及第二端的電極、耦接第一端的第一機械手以及耦接第二端的第二機械手。第一與第二機械手可被設置以選擇性地帶動電極的第一端及第二端的移動。第一與第二機械手獨立地可被致動，使得電極的第一及第二端能彼此獨立的被調整。

一種電極調整組件被揭露以用於工件製程。組件可包括 具有第一及第二端的電極組件、耦接第一端的第一機械手以及耦接第二端的第二機械手。第一與第二機械手可被配置以選擇性地且獨立地帶動電極組件的第一端及第二端的移動。

一種用於調整電極的方法，此方法為工件製程操作的一部分。本方法可包括：利用與第一及第二端關聯的第一及第二獨立地可操作的機械手分別調整電極的第一及第二端，其中調整第一及第二端以調整通過電極的開孔所接收到的離子束的參數。

10‧‧‧離子束

100‧‧‧離子植入機

101‧‧‧離子源

102、124‧‧‧電極組件

103‧‧‧光束線元件

104‧‧‧電極

114‧‧‧標靶工件

120‧‧‧離子源腔體組件

122‧‧‧腔體部

126‧‧‧第一端

126a‧‧‧前端

128‧‧‧第二端

130‧‧‧第一機械手

132‧‧‧第二機械手

134‧‧‧第一驅動臂組件

136‧‧‧第二驅動臂組件

138‧‧‧第一密封板

140‧‧‧第二密封板

142‧‧‧操縱桿

144‧‧‧頸部

146‧‧‧臂部

148‧‧‧第一支點塊

150‧‧‧第二支點塊

152‧‧‧第一針連接部

154‧‧‧固定架

156‧‧‧第二針連接部

158‧‧‧絕緣子

160‧‧‧固定螺絲

161‧‧‧底板

162‧‧‧滑台

164‧‧‧頸部

166‧‧‧開口

168‧‧‧第一致動器

170‧‧‧第二致動器

172‧‧‧第一伺服馬達

174‧‧‧第二伺服馬達

176、178‧‧‧螺桿

180‧‧‧第一凸緣

182‧‧‧第二凸緣

184‧‧‧皮帶

186‧‧‧滑輪

187、188‧‧‧馬達架

188‧‧‧開口

189‧‧‧第一光感測器

190a、190b、190c‧‧‧溝槽

191‧‧‧第二光感測器

192‧‧‧中間密封板

192‧‧‧開口

192、194‧‧‧管連接

196‧‧‧接地電極

198‧‧‧抑制電極

200‧‧‧汲取電極

202、206、208‧‧‧缺口槽

204‧‧‧磁抑制板

1000~1400‧‧‧步驟

A、B、Z‧‧‧箭頭

X-X、Y-Y、Z-Z‧‧‧軸

附圖繪示目前本公開方法較佳實施例的設計的原則的實際應用，其中：圖1為本實施例的離子植入系統的示意圖。

圖2為圖1的系統的離子源腔體組件的立體圖。

圖3為沿圖2的線3-3的離子源腔體組件的剖面圖。

圖4為圖2的離子源腔體的一實施例的抑制接地電極組件的部分的立體圖。

圖5為圖4的抑制接地電極組件的部分的立體圖。

圖6為圖5的抑制接地電極組件的部分其組件繞著第一軸旋轉的另一第一側視圖。

圖7為圖5的抑制接地電極組件的部分其組件繞著第二軸旋轉的另一第二側視圖。

圖8為圖4的抑制接地電極組件的一實施例的機械手的立體圖。

圖9為圖4的抑制接地電極組件的密封板組件的立體圖。

圖10為圖9的密封板組件的反向立體圖。

圖11至圖14是圖2的抑制接地電極組件，沿線11-11，使用機械手的離子源與接地電極在不同的位置的一系列的剖面圖。

圖15繪示本揭露內容一實施例的方法的流程圖。

本實施例在此描述關於一種離子植入機。離子植入機可為一種質量分析離子束的束線離子植入機，或是一種不質量分析離子束的大量植入機。然而，這些實施例也能被利用在其他有關半導體製造或其他利用離子的系統中的系統或製程。這些實施例可被利用在用於平板的植入機、半導體或積體電路基板、太陽能電池或其他工件。因此，本發明並不以下列描述的具體實施例為限。

圖2及圖3示意包括腔體部122及抑制/接地電極組件(電極組件)124的一種示例性的離子源腔體組件120。如同將要理解的，在腔體部122的外部將暴露於週遭環境下的同時，腔體部122的內部及電極組件124將在操作中受到高真空狀態。電極組件124具有位於腔體部122的外部並連接第一機械手130及第二機械手132的第一端126及第二端128。如同將在後續更詳細描述，為了 調整在以箭頭Z的方向上通過的離子束10(如圖1)的一或多個特性，機械手130、132能被利用以調整電極組件124的第一及第二端126、128的位置。

圖4示意電極組件124及第一及第二機械手130、132脫離腔體部122。在該視圖中可見第一及第二驅動臂組件134、136將第一及第二機械手130、132對應連接至電極組件124的第一及第二端126、128。如同之前所指電極組件124設置於腔體部122的內部且暴露於高真空環境。第一及第二機械手130、132位於腔體部122外且暴露於週遭環境。因為第一及第二驅動臂組件134、136必須穿入腔體部122，第一及第二密封板138、140設置於機械手130、132及腔體部122的外表面之間以避免在操作中環境空氣或其他污染物會因為穿透設置的方式而進入腔體部122的內部。

圖5示意第一機械手130與電極組件124的第一端126相互連接放大細部圖。雖然進行的描述關於組件的第一端，但應理解此說明將同樣適用於第二機械手132與電極組件的第二端128。如同所見，第一機械手130經由第一驅動臂組件134耦接電極組件124的第一端126。驅動臂組件134可包括設置以接合第一機械手130的操縱桿142。操縱桿142可被連接於可滑動收納所述桿的頸部144。頸部144可連接臂部146，在圖示的實施例中，有一個可使臂部在相對離子束10射過來相對的一側沿著電極組件124周圍的前端126a延伸以連接電極組件彎曲的幾何形狀(如圖3)。如此，驅動臂組件134的一部分藉由電極組件的第一端126 屏蔽離子束。

臂部146可被固定於第一支點塊148。第一支點塊148可經由第一針連接部152被樞接至第二支點塊150，使得第一及第二支點塊可繞軸X-X相對於彼此旋轉。在一實施例中，軸X-X對齊離子束10的短尺寸。第二支點塊150可樞接地經由第二針連接部156連接至固定架154，使得第二支點塊與固定架154可繞軸Z-Z相對於彼此旋轉。在一實施例中，軸Z-Z對齊離子束10的移動方向(如圖3的箭頭Z)且正交於軸X-X。這樣設置，電極組件124及第一機械手130可分別以兩個相互垂直的軸相對於彼此旋轉。應當理解本發明並不限制這樣的配置，且支點塊可被安排以提供較多或較少的自由度。此外，多個自由度可被提供，且不需正交。

可以理解的是，當機械手130可以被保持在接地電位時，電極組件124的抑制電極可在操作中被保持在一個較高的電壓。因此，多個絕緣子158可被連接於固定架154和電極組件的第一端126之間。

如上所述，電極組件124可相對於X-X和Z-Z軸樞轉於機械手130。組件124也可沿軸Y-Y(如圖7)經由操縱桿142及驅動臂組件134的頸部144之間的滑動被調整。在一實施例中，軸Y-Y對齊離子束10的長尺寸。固定螺絲160可被設置於頸部144的開口使得一旦電極組件124期望的Y的位置被獲得時，螺絲的頂端接合於所述桿142以鎖定兩個的位置。這可以通過在初 始手動調整步驟，在該步驟中，用戶可以物理地操作電極組件124的Y的位置以獲得相對於光束10所需的電極的位置。然而，可理解的，電極組件的Y的位置可藉由一個適當的調整機制作為機械手130的一部份以被自動地控制。

在操作中，電極組件124將經歷在Y-Y的方向熱膨脹。因此，在與第二機械手132關聯的固定螺絲可被取消(或是並非組裝於所述桿)時，與第一機械手130關聯的固定螺絲160可被用以將所述桿142及頸部144固定在一起，使得所述桿可被允許在頸部內滑動以適應在操作中組件的擴大。

圖6及圖7示出了示例性的電極組件124經由針連接部154、156的移動模式。圖6繪示電極組件124的第一端126藉由第二針連接部156沿軸Z-Z旋轉。此做動可由操縱桿142在與軸X-X對齊的箭頭A的方向的移動而引發(如圖5)。圖9繪示電極組件124的第一端126藉由第一針連接部154繞著軸X-X旋轉。此作動可由操縱桿142在與軸Z-Z對齊的箭頭B的方向的移動而引發(如圖5)。

如將理解的，電極組件124的位置的廣大範圍可藉由使用第一及第二機械手130、132以及第一及第二針連接部154、156的電極組件124的第一及第二端126、128的相對移動達成。藉由電極組件124以這樣的方式移動，離子束10的一個或多個屬性可被加以調整，像是光束目前的水平及光束電流均勻度等等。當之前測量的光束電流參數，在植入製程的期間或之後，且其中一個 或更多的參數超出預定的範圍內，離子束可藉由使用機械手調整電極組件124的位置以重新調整。

圖8示出了第一機械手130的元件。可以理解的是，在以下的說明中，將同樣適用於在第一及第二機械手130、132。機械手130可包括底板161，且滑台162組裝在底板161上以在其上移動。滑台162可包括具有開口166的桿容納頸部164，開口166用以容納操縱桿142的一末端，如此一預期的做動可被依次提供至所述桿及電極組件124的第一端126。滑台162可被設置以指示箭頭A跟B的兩個相互正交的方向相對於底板161移動。在繪示的實施例中，滑台162沿箭頭A的移動導致第一端126以平行於軸X-X方向的移動(如圖6)，在移動沿著箭頭B導致第一端126以平行於軸Z-Z方向的移動(如圖5)。

滑台162可在底板161上經由第一及第二致動器168、170被移動往前及往後。在繪示的實施例中，第一及第二致動器168、170包括分別連接螺桿176、178的第一及第二伺服馬達172、174。螺桿176、178藉由在連接於滑台的第一和第二凸緣180、182相應的螺紋開口而容納。如將理解的，伺服馬達172、174的驅動導致各別皮帶/滑輪配置184、186以轉動相關的螺桿176、178。因為螺桿176、178為軸向固定於對應的馬達架187、188(其本身被固定於基板161)，螺桿176、178的轉動導致各別的第一和第二凸緣180，182通過法蘭孔中的螺紋與螺桿螺紋之間的相互作用的移動。第一和第二凸緣180，182的移動引起滑台162在底板161上 的移動，並順帶以所需移動量移動操縱桿142。這將會理解，第一和第二致動器168、170可藉由輸入在A和B方向的運動坐標以被控制，使得提高或降低一個或多個離子束的狀況或屬性。增量調整可在兩個軸上被實行直到預期的光束規格被達成。第一和第二致動器168、170可獨立地被調整以提供操縱桿142預期的移動量。

在繪示的實施例中，第一及第二光感測器189、191被設置相鄰於滑台162以提供滑台162相對於底板161的驗證的位置。這些光感測器189、191能夠讀取設置於滑台162的校準磁帶的位置以定義位置。這資訊可被提供至控制系統(未繪示)以用於控制電極組件124的位置。

圖9與圖10繪示用以密封用於關聯的機械手130至電極組件124的腔體部122的第一密封板138的一實施例。再一次說明，可理解地，這些描述同樣適用於所述第二密封板140。密封板138可具有一開口188以使操縱桿142通過並容納於其中。多個溝槽190a、190b及190c可圍繞開口188以提供以抵抗在操作過程中的空氣或其它氣體的侵入腔體部122的密封。在繪示的實施例中，溝槽190a、190b及190c並非以開口188對稱設置。不同的間隔縫隙允許相鄰的平板與其對應的開口相對的移動以在腔體部122內啟用於大氣壓力和高真空條件之間的兩階段的差分抽氣，如以下將更詳細地描述。雖然未繪示，但彈性O形環可被設置於各個溝槽190a、190b及190c。

溝槽190a、190b及190c一起可包括差壓抽氣區域，其 中溝槽190a、190b及190c連接至機械手的底板161的開口(未繪示)中，或是中間板(未繪示)中。開口可通過管連接192、194連接至吸氣源(如圖8)，以吸取氣體通過溝槽190a、190b及190c。因此，任何從外在環境及/或密封板138與腔體部122之間的空氣或其他氣體將在到達腔體部內部前從溝槽190a、190b及190c或密封抽走，從而將從空氣軸承或外在環境進入腔體部的氣體可被縮減至最少或消除。

中間密封板192也可被提供於密封板138與底板161之間。中間密封板192較佳地如圖10所示。中間密封板192也可具有一開口194用以使操縱桿142通過並容納於其中。雖然未繪示，中間密封板192包括類似前述關於密封板138用以降低在製程中空氣或其它污染物進入腔體部122的多個抽氣溝。這些抽氣溝可被連接至吸氣源(例如是藉由管連接192、194)以在空氣或其他氣體到達腔體部的內部之前透過凹槽抽走。

可以理解的是，雖然繪示的實施例中採用了差動排氣安排以密封製程腔，避免環境和空氣軸承，其它密封配置可被利用。舉例而言，一或多個脣形密封配置可被利用以代替，或除了抽氣溝系列之外。此外，可依照需求而使用多於或少於三個溝槽。

現請參考圖11至15，示意電極組件124的不同位置。將會理解的是，這些定位能夠藉由使用機械手130，132(如圖2)達成。此外，雖然這些電極組件124分散的位置被繪示，但理解的是，其他大的範圍的位置仍可藉由本揭露的配置達成。這些圖 示意從第二調整臂組件136俯視電極組件124的截面。圖11示意接地電極196、抑制電極198及汲取電極200的相對位置。如前所述，接地及抑制電極196，198能夠一起組成電極組件124，且因此這些電極的位置就可相對於汲取電極200被操縱且離子束10被示意通過缺口槽202。在此視圖中還示出了磁抑制板204設置以避免離子從離子流回流至電極組件124。如同所見，電極組件124已被調整使得汲取電極200的接地與抑制電極的缺口槽206、208相對於汲取電極200的缺口槽202稍微偏離中心。圖12示意電極組件124以平行於圖5所示X-X軸的箭頭A的方向抬起狀態。在此位置，組件的此部分的缺口槽206、208對齊汲取電極的缺口槽202。圖13示意電極組件124以平行(且相對)於圖5所示Z-Z軸的箭頭B的方向抬起狀態，使繪示的組件部分靠近汲取電極200。圖14示意電極組件124以箭頭B的方向進一步調整，使組件更接近汲取電極200.

電極與對應的間隙之間的對準，隨著其他光束控制元件，將決定離子經由離子束10傳輸至工件(例如平板或半導體基板)。不同的離子與植入深度(也可視為配方)需要不同的優化位置。在一些實施例中，藉由機械手施予而沿著各軸的移動範圍能夠補足所有預期的配方。

汲取、抑制電極和接地電極，可以利用各種適當的治具預先對準以取得兩個機械手的各種軸的零點位置。在兩個方向提供起始位置的目在於當電源耗損或被關閉時可啟動並退回機械 手。

在某些實施例中，X-X軸的移動量在正負7.5毫米，Z-Z軸的移動量為正負18毫米是可允許的，雖然其他移動量也是可行的。機械手130、132可被設置以支撐電極組件124的重量，其中這樣的組件具有符合用於大型工件，例如是平板面板，的離子束的重量及尺寸。

如將理解的，一對機械手130、132的使用可驅動多個運動模式。首先，機械手可一起以相同方向移動以調整沿著X-X或Z-Z軸的整個電極組件124。在一些實施例中，沿著X-X及/或Z-Z軸的移動可在設置和校準系統或在配方創建及調束過程中被調整。在較高的離子束電流被提取或當離子束能量較低時，小範圍的Z-Z軸的運動(例如移動抑制電極和接地電極靠近至離子源的前板)是可行的。沿X-X軸的調整通常可以修正離子束的錯位。

機械手130、132也可在電極組件的第一及第二端126、128以相對於中心的兩個相對方向移動時，以遠離靜止的電極組件124的中心的相反方向移動。這樣的移動可修正電極組件124的錯位。

此外，機械手130、132其中之一或二可沿著X-X及/或Z-Z軸調整，且標註為調整量△X或△Z調整。△X及△Z可被用以在調束時修正錯位。錯位可表現為抑制電極電源的高電流，通過系統的較低的整體傳遞離子束流，或作為一個非均勻離子束電流，此離子束電流作為沿帶狀離子束的位置的函數。機械錯位通 常由於裝配誤差、對製造精度的限制，或在離子植入機的操作過程中升高的溫度下元件的熱膨脹所導致。△X或△Z也可被用以調整離子束的狀況。這包括需沿著Z-Z軸朝向離子源或改變離子束能量以提升離子束電流。較低的離子束能量一般沿著Z-Z軸具有較小的值。沿著X-X軸的組件的位置與分析儀磁鐵交互作用且可定義通過離子植入機的離子束軌跡。

雖然連接到機械手中的電極組件已在本文具體公開，在另一個實施例，機械手可以連接到離子植入機內的個別電極。這可能會增加用來調整電極的位置的機械手的數量，但也可以細部定位。如將理解的，使用本文所公開的實施例能夠對於長或大的電極進行動態定位。這樣的定位可反映了不同的離子束能量的大範圍或提取離子束電流。

現請參考圖15，示例性說明調整電極組件的方法。在步驟1000，第一及第二機械手被提供於電極組件的第一及第二端。第一及第二機械手可被設置以獨立地調整電極組件的第一及第二端的位置。在步驟1100，第一及/或第二機械手被致動以調整電極組件的第一及/或第二端從而調整通過電極的孔接收的離子束的參數。在步驟1200離子束的參數可被測量。在步驟1300，判斷測得的參數是否在預定範圍之外。在步驟1400，第一及第二致動器可被致動以調整電極組件的第一及/或第二端以調整離子束的參數以符合預定義的範圍內。

在一些實施例中，調整電極的第一及第二端包括在沿著 兩個相互垂直的方向的至少其中之一方向上移動第一及第二端其中之一。在其他實施例中，調整電極的第一及第二端包括在沿著兩個相互垂直的至少其中之一方向上移動第一及第二端。在另外的實施例中，兩個相互垂直的方向的第一方向可被對齊離子束的移動方向。在進一步的實施例中，在兩個相互垂直的方向中的至少其中之一移動第一端及第二端的至少其中之一包括施加對應的力至相關聯於第一及第二端的第一及第二機械手組件。施加各別的力可以包括調整耦接至第一及第二機械手組件的第一及第二致動件的位置。各別的力可藉由設置於真空腔體外的致動器施加，且其中第一及第二機械手組件被設置於真空腔體之內。

本揭露內容不侷限於本文所描述的具體實施例的範圍。事實上，本公開的其他的各種實施例和修改，在除本文所述的那些外，從前面的描述和附圖，對本領域中的普通技術人員而言將是顯而易見。因此，如同其他實施例和修改都將落入本公開的範圍內。雖然本發明以參照某些實施例揭露，眾多的修改，改變和修改所描述的實施例是可能的，在不脫離本發明的精神和範圍的情況下，如同所附的權利要求書中所定義。因此，它被用於本發明不局限於所描述的實施例，但具有以下的權利要求及其等同物所定義的語言的全部範圍。

126‧‧‧第一端

126a‧‧‧前端

130‧‧‧第一機械手

134‧‧‧第一驅動臂組件

142‧‧‧操縱桿

144‧‧‧頸部

146‧‧‧臂部

148‧‧‧第一支點塊

150‧‧‧第二支點塊

152‧‧‧第一針連接部

154‧‧‧固定架

156‧‧‧第二針連接部

158‧‧‧絕緣子

160‧‧‧固定螺絲

X-X、Z-Z‧‧‧軸

Claims (15)

1. 一種電極調整組件，用於工件製程，該電極調整組件包括：一電極，具有第一及第二端；以及耦接該第一端的一第一機械手及耦接該第二端的一第二機械手，該第一及該第二機械手設置以選擇性地帶動該電極的該第一端及該第二端的移動；其中該第一及該第二機械手可獨立操縱使得該電極的該第一及該第二端可彼此獨立地被調整。
2. 如申請專利範圍第1項所述的電極調整組件，其中該第一及該第二機械手設置以獨立地帶動該電極的該第一端及該第二端的移動。
3. 如申請專利範圍第1項所述的電極調整組件，其中該第一及該第二機械手設置以沿著第一及第二正交軸帶動該電極的該第一端及該第二端的移動。
4. 如申請專利範圍第1項所述的電極調整組件，其中該第一及該第二機械手包括一第一及一第二針連接部，且其中該第一及該第二機械手為可經由設置在且通過一真空腔體中的一開口的一第一及一第二致動件。
5. 如申請專利範圍第4項所述的電極調整組件，其中該第一及該第二致動件與該真空腔體外分別的致動器接合，且其中該電極組件及該第一及該第二機械手設置於該真空腔體內。
6. 一種電極調整組件，用於工件製程，該電極調整組件包括： 一電極組件，具有第一及第二端；以及耦接該第一端的一第一機械手及耦接該第二端的一第二機械手；其中該第一及該第二機械手被設置以選擇性地且獨立地帶動該電極組件的該第一端及該第二端的移動。
7. 如申請專利範圍第6項所述的電極調整組件，其中該第一機械手被設置以沿著第一及第二正交軸帶動該電極組件的該第一端的移動。
8. 如申請專利範圍第7項所述的電極調整組件，其中該第二機械手被設置以沿著第一及第二正交軸帶動該電極組件的該第二端的移動。
9. 如申請專利範圍第6項所述的電極調整組件，其中該第一及該第二機械手以及該電極組件設置於該真空腔體內且該第一及該第二機械手耦接至設置於真空腔體外的第一及第二致動器並通過各別的通過且穿過在該真空腔體的一側壁中的至少一個開口的致動件。
10. 如申請專利範圍第9項所述的電極調整組件，其中該第一及該第二機械手包括一第一及一第二萬向支架且一第一及一第二正交軸分別對齊一離子束的一移動方向及該離子束的一短軸方向。
11. 一種用於調整一電極的方法，此方法為一工件製程的一部分，包括： 分別調整一電極的一第一及一第二端，其中該第一及該第二端是利用與該第一及該第二端關聯的可獨立控制的該第一及該第二機械手；其中調整該第一及該第二端以調整通過該電極的一開孔而接收的一離子束的一參數。
12. 如申請專利範圍第11項所述的方法，其中調整該電極的該第一及該第二端的步驟包括獨立地調整該電極的該第一及該第二端以調整該離子束的該參數。
13. 如申請專利範圍第12項所述的方法，其中調整該電極的該第一及該第二端包括在兩相互正交軸的至少其中之一方向上移動該第一及該第二端的其中之一。
14. 如申請專利範圍第13項所述的方法，其中在兩相互正交軸的至少其中之一方向上移動該第一及該第二端的至少其中之一包括施加各別的力至與該第一及該第二端關聯的該第一及該第二機械手組件。
15. 如申請專利範圍第14項所述的方法，其中施加各別的力的步驟包括調整耦接該第一及該第二機械手組件的該第一及該第二致動件的位置。