JPH06260475A - 洗浄乾燥装置 - Google Patents
洗浄乾燥装置Info
- Publication number
- JPH06260475A JPH06260475A JP7294493A JP7294493A JPH06260475A JP H06260475 A JPH06260475 A JP H06260475A JP 7294493 A JP7294493 A JP 7294493A JP 7294493 A JP7294493 A JP 7294493A JP H06260475 A JPH06260475 A JP H06260475A
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- JP
- Japan
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- cleaning
- pure water
- drying
- tank
- jig
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、洗浄乾燥装置において、従来に比し
て乾燥に要する時間を短縮させることを目的とする。 【構成】槽内に洗浄液を供給する配管を、乾燥用に昇温
された気体を供給する配管と共用することとし、洗浄液
による洗浄後、配管を介して気体を槽内に供給する。こ
れにより乾燥中に洗浄液が洗浄物に付着して乾燥時間が
長くなるおそれや、劣化した洗浄液の付着によつて洗浄
物が汚染されるおそれを有効に回避することができる。
て乾燥に要する時間を短縮させることを目的とする。 【構成】槽内に洗浄液を供給する配管を、乾燥用に昇温
された気体を供給する配管と共用することとし、洗浄液
による洗浄後、配管を介して気体を槽内に供給する。こ
れにより乾燥中に洗浄液が洗浄物に付着して乾燥時間が
長くなるおそれや、劣化した洗浄液の付着によつて洗浄
物が汚染されるおそれを有効に回避することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は洗浄乾燥装置に関し、特
に同一の槽を半導体装置の製造に用いられる治具等の洗
浄と洗浄が終了した治具の乾燥に共用するものに適用し
て好適なものである。
に同一の槽を半導体装置の製造に用いられる治具等の洗
浄と洗浄が終了した治具の乾燥に共用するものに適用し
て好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、定期的に洗浄する必要がある半導
体ウエハの製造に用いる治具等（例えばハンドラ、各種
設備に使用する部品、ウエハ搬送用のキヤリア等）につ
いての洗浄及びその乾燥には、図４に示すような洗浄乾
燥機が広く用いられている。
体ウエハの製造に用いる治具等（例えばハンドラ、各種
設備に使用する部品、ウエハ搬送用のキヤリア等）につ
いての洗浄及びその乾燥には、図４に示すような洗浄乾
燥機が広く用いられている。
【０００３】この洗浄乾燥機１は、装置本体２内に設け
られた槽３を治具の洗浄及び乾燥に共用するようになさ
れている。まず治具を洗浄する場合、治具が槽３内に入
れられて蓋４が閉じられると、洗浄乾燥機１は純水用エ
アバルブ５を開くことにより純水専用の配管６および配
管６の先端に設けられたシヤワーノズル７を介して純水
を治具に吹きかけ、その後純水によつてスクラブ洗浄す
るようになされている（図５）。
られた槽３を治具の洗浄及び乾燥に共用するようになさ
れている。まず治具を洗浄する場合、治具が槽３内に入
れられて蓋４が閉じられると、洗浄乾燥機１は純水用エ
アバルブ５を開くことにより純水専用の配管６および配
管６の先端に設けられたシヤワーノズル７を介して純水
を治具に吹きかけ、その後純水によつてスクラブ洗浄す
るようになされている（図５）。
【０００４】続いて洗浄が終わつた治具を乾燥させる場
合、洗浄乾燥機１は、純水用エアバルブ５を閉じて純水
の供給を停止させる一方、乾燥用に一定温度に昇温され
た窒素ガス（以下ホツトＮ2 という）用エアバルブ８を
開くことによりホツトＮ2 専用の配管９および配管９の
先端に設けられた通気孔１０を介してゴミや水分を含ま
ない清浄なホツトＮ2 を供給するようになされている。
また洗浄乾燥機１は、給気と共に、沿具の乾燥に用いら
れたホツトＮ2 を排気孔１１から排出し、密閉状態にお
いて沿具を乾燥させるようになされている。
合、洗浄乾燥機１は、純水用エアバルブ５を閉じて純水
の供給を停止させる一方、乾燥用に一定温度に昇温され
た窒素ガス（以下ホツトＮ2 という）用エアバルブ８を
開くことによりホツトＮ2 専用の配管９および配管９の
先端に設けられた通気孔１０を介してゴミや水分を含ま
ない清浄なホツトＮ2 を供給するようになされている。
また洗浄乾燥機１は、給気と共に、沿具の乾燥に用いら
れたホツトＮ2 を排気孔１１から排出し、密閉状態にお
いて沿具を乾燥させるようになされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところがこの方式によ
る洗浄乾燥機１では、洗浄の終了後、純水用エアバルブ
５とシヤワーノズル７を結ぶ純水専用の配管６内に洗浄
の際に使用した純水が常時残留しているため、乾燥中に
残留している純水が膨張等により槽３内に流れ出て治具
の乾燥を遅くらせる原因となつたり、乾燥の終わつた沿
具を蓄４を開いて取り出す際に純水が洩れ出て治具に付
着し、乾燥のやり直しの原因となることがあつた。さら
に洗浄液に薬液を用いる場合には、配管６内に残留して
劣化した薬液や酸化した薬液が乾燥中に槽内に洩れて沿
具に付着すると、治具が汚染されるおそれがあつた。
る洗浄乾燥機１では、洗浄の終了後、純水用エアバルブ
５とシヤワーノズル７を結ぶ純水専用の配管６内に洗浄
の際に使用した純水が常時残留しているため、乾燥中に
残留している純水が膨張等により槽３内に流れ出て治具
の乾燥を遅くらせる原因となつたり、乾燥の終わつた沿
具を蓄４を開いて取り出す際に純水が洩れ出て治具に付
着し、乾燥のやり直しの原因となることがあつた。さら
に洗浄液に薬液を用いる場合には、配管６内に残留して
劣化した薬液や酸化した薬液が乾燥中に槽内に洩れて沿
具に付着すると、治具が汚染されるおそれがあつた。
【０００６】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、乾燥に要する時間を従来に比して一段と短縮するこ
とができる洗浄乾燥装置を提案しようとするものであ
る。
で、乾燥に要する時間を従来に比して一段と短縮するこ
とができる洗浄乾燥装置を提案しようとするものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、槽３内に注入された洗浄液によつ
て洗浄物を洗浄し、続いて、被洗浄物に乾燥用の乾燥用
に昇温された気体を吹き付けることにより当該洗浄物を
乾燥させる洗浄乾燥装置において、槽内に洗浄液２１を
供給する配管２３を、気体２２を槽３内に供給する配管
２３と共用することとし、洗浄液２１による洗浄後、配
管２３を介して気体２２を槽３内に供給する。
め本発明においては、槽３内に注入された洗浄液によつ
て洗浄物を洗浄し、続いて、被洗浄物に乾燥用の乾燥用
に昇温された気体を吹き付けることにより当該洗浄物を
乾燥させる洗浄乾燥装置において、槽内に洗浄液２１を
供給する配管２３を、気体２２を槽３内に供給する配管
２３と共用することとし、洗浄液２１による洗浄後、配
管２３を介して気体２２を槽３内に供給する。
【０００８】
【作用】洗浄液２１による洗浄後、配管２３を介して気
体２２を槽３内に供給することにより、配管２３内に残
留する洗浄液２１をなくすことができる。この結果、乾
燥中に洗浄液２１が洗浄物に付着して乾燥時間が長くな
るおそれや、劣化した洗浄液の付着によつて洗浄物が汚
染されるおそれを有効に回避することができる。
体２２を槽３内に供給することにより、配管２３内に残
留する洗浄液２１をなくすことができる。この結果、乾
燥中に洗浄液２１が洗浄物に付着して乾燥時間が長くな
るおそれや、劣化した洗浄液の付着によつて洗浄物が汚
染されるおそれを有効に回避することができる。
【０００９】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【００１０】図４及び図５との対応部分に同一符号を付
して示す図１及び図２において、洗浄乾燥機２０は、１
つの配管２３を洗浄用の純水２１及び乾燥用のホツトＮ
2 （２２）に対して共用し、純水２１による洗浄後、40
〔℃〕〜60〔℃〕に昇温され、かつ 1.5〔kg/cm2〕〜
2.0〔kg/cm2〕の圧力が加えられたホツトＮ2 （２２）
を配管２３を介して槽３に供給することを除いて同様の
構成を有している。
して示す図１及び図２において、洗浄乾燥機２０は、１
つの配管２３を洗浄用の純水２１及び乾燥用のホツトＮ
2 （２２）に対して共用し、純水２１による洗浄後、40
〔℃〕〜60〔℃〕に昇温され、かつ 1.5〔kg/cm2〕〜
2.0〔kg/cm2〕の圧力が加えられたホツトＮ2 （２２）
を配管２３を介して槽３に供給することを除いて同様の
構成を有している。
【００１１】以上の構成において、洗浄乾燥機２０によ
る治具の洗浄および洗浄後の乾燥手順を図３を用いて説
明する。まず一定期間の使用により汚れた治具が洗浄兼
乾燥機２０の槽３内に入れられ、自動洗浄の開始ボタン
が押されると（ステツプＳＰ１）、純水専用エアバルブ
５が開き、配管２３に純水の注入が開始される（ステツ
プＳＰ２）。
る治具の洗浄および洗浄後の乾燥手順を図３を用いて説
明する。まず一定期間の使用により汚れた治具が洗浄兼
乾燥機２０の槽３内に入れられ、自動洗浄の開始ボタン
が押されると（ステツプＳＰ１）、純水専用エアバルブ
５が開き、配管２３に純水の注入が開始される（ステツ
プＳＰ２）。
【００１２】洗浄乾燥機２０は、シヤワーノズル７を介
して槽３内に純水を注入し、適量の純水が注入されると
エアバルブ５を閉じ（ステツプＳＰ３）、超音波による
洗浄を開始する（ステツプＳＰ４）。やがて洗浄の開始
から一定時間が経過すると、洗浄乾燥機２０は槽３内に
ある洗浄後の純水を排出し（ステツプＳＰ５）、同時に
ホツトＮ2 専用のエアバルブ８を開いてホツトＮ2 を槽
３内に供給すると共に排気を開始する（ステツプＳＰ
６）。
して槽３内に純水を注入し、適量の純水が注入されると
エアバルブ５を閉じ（ステツプＳＰ３）、超音波による
洗浄を開始する（ステツプＳＰ４）。やがて洗浄の開始
から一定時間が経過すると、洗浄乾燥機２０は槽３内に
ある洗浄後の純水を排出し（ステツプＳＰ５）、同時に
ホツトＮ2 専用のエアバルブ８を開いてホツトＮ2 を槽
３内に供給すると共に排気を開始する（ステツプＳＰ
６）。
【００１３】このときホツトＮ2 はそれまで純水の供給
に用いられていた配管２３を通じて槽３に導かれるた
め、純水の供給を停止してからホツトＮ2 の供給開始ま
での間、配管２３内に残留していた純水を全て押し出す
ことができる。これにより従来のように乾燥中に純水が
槽３内に滴り落ちて治具にかかることもなく、治具の乾
燥に要する時間は短縮される。
に用いられていた配管２３を通じて槽３に導かれるた
め、純水の供給を停止してからホツトＮ2 の供給開始ま
での間、配管２３内に残留していた純水を全て押し出す
ことができる。これにより従来のように乾燥中に純水が
槽３内に滴り落ちて治具にかかることもなく、治具の乾
燥に要する時間は短縮される。
【００１４】この乾燥の終了後、蓋４を開いて治具を取
り出すことにより全ての処理は全て完了する（ステツプ
ＳＰ７）。因に従来の場合には、蓋４を開く際に、排気
によつて負圧になつていた槽３内が大気圧になるときに
生じる純水の洩れにより、乾燥が終わつたばかりの治具
が再び濡れてしまい乾燥のやり直しをしなければならな
いこともあつたが、この実施例の洗浄乾燥機２０を用い
れば繰り返し乾燥し直す無駄もなくすことができる。
り出すことにより全ての処理は全て完了する（ステツプ
ＳＰ７）。因に従来の場合には、蓋４を開く際に、排気
によつて負圧になつていた槽３内が大気圧になるときに
生じる純水の洩れにより、乾燥が終わつたばかりの治具
が再び濡れてしまい乾燥のやり直しをしなければならな
いこともあつたが、この実施例の洗浄乾燥機２０を用い
れば繰り返し乾燥し直す無駄もなくすことができる。
【００１５】以上の構成によれば、治具の洗浄に用いる
純水供給用の配管と洗浄後の治具の乾燥に用いるホツト
Ｎ2 供給用の配管を共用することとし、純水による洗浄
から乾燥に移る際には、管内に残留している純水をホツ
トＮ2 の圧力で予め押し出してから乾燥に移ることによ
り、シヤワーノズル７からの液洩れや配管中の液残りを
なくすことができる。これにより従来に比して乾燥時間
を短縮することができ、半導体製造装置の可動率も向上
させることができる。
純水供給用の配管と洗浄後の治具の乾燥に用いるホツト
Ｎ2 供給用の配管を共用することとし、純水による洗浄
から乾燥に移る際には、管内に残留している純水をホツ
トＮ2 の圧力で予め押し出してから乾燥に移ることによ
り、シヤワーノズル７からの液洩れや配管中の液残りを
なくすことができる。これにより従来に比して乾燥時間
を短縮することができ、半導体製造装置の可動率も向上
させることができる。
【００１６】なお上述の実施例においては、治具の洗浄
には純水を用いる場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、各種の薬液を用いて治具を洗浄するようにし
ても同様の効果を得ることができる。この場合には管内
に残留した薬液の劣化や酸化を防止でき、劣化した薬液
等によつて治具が汚染されるおそれも有効に回避するこ
とができる。
には純水を用いる場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、各種の薬液を用いて治具を洗浄するようにし
ても同様の効果を得ることができる。この場合には管内
に残留した薬液の劣化や酸化を防止でき、劣化した薬液
等によつて治具が汚染されるおそれも有効に回避するこ
とができる。
【００１７】またこの場合、配管内に残留する薬液が存
在しないことにより、配管を洗浄する際にも純水と薬液
の反応による発熱等を有効に回避し得る。またこのよう
に配管内に残留する薬液を乾燥時に取り除くことができ
ることにより、配管を交換する際にも液洩れのおそれを
なく、作業効率を一段と向上させることができる。
在しないことにより、配管を洗浄する際にも純水と薬液
の反応による発熱等を有効に回避し得る。またこのよう
に配管内に残留する薬液を乾燥時に取り除くことができ
ることにより、配管を交換する際にも液洩れのおそれを
なく、作業効率を一段と向上させることができる。
【００１８】さらに上述の実施例においては、洗浄の終
わつた治具の乾燥にはホツトＮ2 を用いる場合について
述べたが、本発明はこれに限らず、水分を含まない他の
気体を用いて乾燥させるようにしても良い。
わつた治具の乾燥にはホツトＮ2 を用いる場合について
述べたが、本発明はこれに限らず、水分を含まない他の
気体を用いて乾燥させるようにしても良い。
【００１９】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、乾燥中に
洗浄液が配管より洩れ出て洗浄物に付着するおそれをな
くし得、乾燥時間を従来に比して一段と短縮させること
ができる。また配管内で劣化した洗浄液が乾燥中に洩れ
出て洗浄物に付着するおそれもなくし得、汚染のおそれ
のなく洗浄物を乾燥させることができる。
洗浄液が配管より洩れ出て洗浄物に付着するおそれをな
くし得、乾燥時間を従来に比して一段と短縮させること
ができる。また配管内で劣化した洗浄液が乾燥中に洩れ
出て洗浄物に付着するおそれもなくし得、汚染のおそれ
のなく洗浄物を乾燥させることができる。
【図１】本発明による洗浄乾燥装置の一実施例の説明に
供する斜視図である。
供する斜視図である。
【図２】その配管の説明に供する略線的側面図である。
【図３】洗浄および乾燥の処理手順の説明に供するフロ
ーチヤート図である。
ーチヤート図である。
【図４】従来の洗浄乾燥装置の説明に供する斜視図であ
る。
る。
【図５】その配管の説明に供する略線的側面図である。
１、２０……洗浄乾燥機、２……本体、３……槽、４…
…蓋、５……純水用エアバルブ、６……純水用配管、７
……シヤワーノズル、８……ホツトＮ2 用エアバルブ、
９……ホツトＮ2 用配管、１０……通気孔、１１……排
気孔、２３……配管。
…蓋、５……純水用エアバルブ、６……純水用配管、７
……シヤワーノズル、８……ホツトＮ2 用エアバルブ、
９……ホツトＮ2 用配管、１０……通気孔、１１……排
気孔、２３……配管。
Claims (3)
- 【請求項１】槽内に注入された洗浄液によつて洗浄物を
洗浄し、続いて、上記洗浄物に乾燥用に昇温された気体
を吹き付けてることにより当該洗浄物を乾燥させる洗浄
乾燥装置において、 上記槽内に上記洗浄液を供給する配管を、 上記気体を上記槽内に供給する配管と共用することと
し、 上記洗浄液による洗浄後、上記配管を介して上記気体を
上記槽内に供給することを特徴とする洗浄乾燥装置。 - 【請求項２】上記洗浄液を純水とし、かつ上記気体を窒
素ガスとすることを特徴とする請求項１に記載の洗浄乾
燥装置。 - 【請求項３】上記洗浄液を有機溶媒とし、かつ上記気体
を窒素ガスとすることを特徴とする請求項１に記載の洗
浄乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7294493A JPH06260475A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | 洗浄乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7294493A JPH06260475A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | 洗浄乾燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06260475A true JPH06260475A (ja) | 1994-09-16 |
Family
ID=13504006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7294493A Pending JPH06260475A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | 洗浄乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06260475A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0439642A1 (en) * | 1990-01-29 | 1991-08-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Control apparatus for inverter |
| JP2001315720A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-13 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | キャップ状物品の無菌搬送方法及び無菌搬送シュート体 |
-
1993
- 1993-03-08 JP JP7294493A patent/JPH06260475A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0439642A1 (en) * | 1990-01-29 | 1991-08-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Control apparatus for inverter |
| EP0439642B1 (en) * | 1990-01-29 | 1994-08-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Control apparatus for inverter |
| JP2001315720A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-13 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | キャップ状物品の無菌搬送方法及び無菌搬送シュート体 |
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