JPH06258003A - 表面形状測定機の測定力調整手段 - Google Patents
表面形状測定機の測定力調整手段Info
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- JPH06258003A JPH06258003A JP4376393A JP4376393A JPH06258003A JP H06258003 A JPH06258003 A JP H06258003A JP 4376393 A JP4376393 A JP 4376393A JP 4376393 A JP4376393 A JP 4376393A JP H06258003 A JPH06258003 A JP H06258003A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 触針を取替えた場合やワークの材質が変化し
た場合に、触針の測定力を調整して最適な測定力を得る
ことを目的とする。 【構成】 揺動自在に支持されたアーム３４に設けられ
た触針５８をワーク６０に所望の測定力で押圧した状態
でワーク６０の表面形状を測定する表面形状測定機２８
の測定力調整手段４１において、アーム３４にスプリン
グ３８を連結して、スプリング３８の付勢力で触針５８
に所望の測定力を生じさせるようにした。このスプリン
グ３８はスライダ４０に連結されている。そして、移動
手段４７は、スプリング３８の付勢力が増加する方向及
び減少する方向にスライダ４０を移動する。これによ
り、触針５８の測定力が調整される。
た場合に、触針の測定力を調整して最適な測定力を得る
ことを目的とする。 【構成】 揺動自在に支持されたアーム３４に設けられ
た触針５８をワーク６０に所望の測定力で押圧した状態
でワーク６０の表面形状を測定する表面形状測定機２８
の測定力調整手段４１において、アーム３４にスプリン
グ３８を連結して、スプリング３８の付勢力で触針５８
に所望の測定力を生じさせるようにした。このスプリン
グ３８はスライダ４０に連結されている。そして、移動
手段４７は、スプリング３８の付勢力が増加する方向及
び減少する方向にスライダ４０を移動する。これによ
り、触針５８の測定力が調整される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は表面形状測定機の測定
力調整手段に係り、特に触針を被測定物の表面に所望の
測定力で押圧した状態でワークの表面に沿って移動して
ワークの表面形状を測定する表面形状測定機の測定力調
整手段に関する。
力調整手段に係り、特に触針を被測定物の表面に所望の
測定力で押圧した状態でワークの表面に沿って移動して
ワークの表面形状を測定する表面形状測定機の測定力調
整手段に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４に示す表面形状測定機１０のアーム
１２は、支点１４を介して本体１６に揺動自在に支持さ
れている。アーム１２の先端部には触針１８が設けられ
ていて、アーム１２の後端部には鉄芯２０が設けられて
いる。鉄芯２０はコイル２２内に配置されていて、コイ
ル２２は本体１６に固定されている。鉄芯２０及びコイ
ル２２はＺ軸検出器を構成する。すなわち、鉄芯２０が
Ｚ軸方向（コイル２２の軸心方向）に移動するとコイル
２２の電圧が変化して、鉄芯２０の移動量が検出され
る。
１２は、支点１４を介して本体１６に揺動自在に支持さ
れている。アーム１２の先端部には触針１８が設けられ
ていて、アーム１２の後端部には鉄芯２０が設けられて
いる。鉄芯２０はコイル２２内に配置されていて、コイ
ル２２は本体１６に固定されている。鉄芯２０及びコイ
ル２２はＺ軸検出器を構成する。すなわち、鉄芯２０が
Ｚ軸方向（コイル２２の軸心方向）に移動するとコイル
２２の電圧が変化して、鉄芯２０の移動量が検出され
る。
【０００３】アーム１２の支点１４の近傍にはスプリン
グ２４の下端部が係止されていて、スプリング２４の上
端部はピン２６に係止されている。ピン２６は本体１６
に固定されている。これにより、アーム１２はスプリン
グ２４の付勢力で図４上で反時計回り方向に付勢され
る。この場合、スプリング２４の付勢力で触針１８にワ
ーク２８に対して最適な測定力が付与される。
グ２４の下端部が係止されていて、スプリング２４の上
端部はピン２６に係止されている。ピン２６は本体１６
に固定されている。これにより、アーム１２はスプリン
グ２４の付勢力で図４上で反時計回り方向に付勢され
る。この場合、スプリング２４の付勢力で触針１８にワ
ーク２８に対して最適な測定力が付与される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、表面形
状測定機１０はワークの形状が変化した場合、ワークの
形状に適した触針に取替える必要がある。この場合、触
針１８と取り替えられた新たな触針の重量が異なるの
で、新たな触針の測定力が変化する。従って、スプリン
グ２４が固定ピン２６に取り付けられている場合、新た
な触針は最適な測定力を維持することができないという
問題がある。
状測定機１０はワークの形状が変化した場合、ワークの
形状に適した触針に取替える必要がある。この場合、触
針１８と取り替えられた新たな触針の重量が異なるの
で、新たな触針の測定力が変化する。従って、スプリン
グ２４が固定ピン２６に取り付けられている場合、新た
な触針は最適な測定力を維持することができないという
問題がある。
【０００５】一方、ワーク２６の材質変化に対応させ
て、触針１８の測定力を変えたい場合でも、触針１８の
測定力を変えることができないという問題がある。本発
明はこのような事情に鑑みてなされたもので、触針を取
替えた場合やワークの材質が変化した場合に、触針の測
定力を容易に変えることができる表面形状測定機の測定
力調整手段を提供することを目的とする。
て、触針１８の測定力を変えたい場合でも、触針１８の
測定力を変えることができないという問題がある。本発
明はこのような事情に鑑みてなされたもので、触針を取
替えた場合やワークの材質が変化した場合に、触針の測
定力を容易に変えることができる表面形状測定機の測定
力調整手段を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、揺動自在に支持されたアーム部材に設けら
れた触針を被測定物の表面に所望の測定力で押圧した状
態で前記被測定物の表面に沿って移動して前記被測定物
の表面形状を測定する表面形状測定機の測定力調整手段
において、前記アーム部材に連結されると共に付勢力で
前記触針に前記所望の測定力を生じさせる弾性部材と、
該弾性部材の付勢力を調整する駆動手段と、を備えたこ
とを特徴とする。
成する為に、揺動自在に支持されたアーム部材に設けら
れた触針を被測定物の表面に所望の測定力で押圧した状
態で前記被測定物の表面に沿って移動して前記被測定物
の表面形状を測定する表面形状測定機の測定力調整手段
において、前記アーム部材に連結されると共に付勢力で
前記触針に前記所望の測定力を生じさせる弾性部材と、
該弾性部材の付勢力を調整する駆動手段と、を備えたこ
とを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明によれば、アーム部材に弾性部材を連結
して、弾性部材の付勢力で触針に所望の測定力を生じさ
せるようにした。この弾性部材はスライダに連結されて
いる。そして、移動手段は、弾性部材の付勢力が増加す
る方向及び減少する方向にスライダを移動する。これに
より、触針の測定力が調整される。
して、弾性部材の付勢力で触針に所望の測定力を生じさ
せるようにした。この弾性部材はスライダに連結されて
いる。そして、移動手段は、弾性部材の付勢力が増加す
る方向及び減少する方向にスライダを移動する。これに
より、触針の測定力が調整される。
【０００８】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る表面形状
測定機の測定力調整手段について詳説する。図１には表
面形状測定機の要部拡大図が示されている。同図に示す
表面形状測定機２８の本体３０には、支点３２を介して
アーム３４が揺動自在に支持されている。アーム３４は
支点３２の近傍に突片３４Ａが形成されている。突片３
４Ａのにはスプリング３８の下端部が係止されていて、
スプリング３８の上端部はスライダ４０に係止されてい
る。
測定機の測定力調整手段について詳説する。図１には表
面形状測定機の要部拡大図が示されている。同図に示す
表面形状測定機２８の本体３０には、支点３２を介して
アーム３４が揺動自在に支持されている。アーム３４は
支点３２の近傍に突片３４Ａが形成されている。突片３
４Ａのにはスプリング３８の下端部が係止されていて、
スプリング３８の上端部はスライダ４０に係止されてい
る。
【０００９】スライダ４０は測定力調整手段４１の構成
部材であり、ねじ棒４２にねじ結合されている。ねじ棒
４２は端部がモータ４４の駆動軸に連結されていて、モ
ータ４４は本体３０に固定されている。また、スライダ
４０はガイド棒４６に移動自在に支持されていて、ガイ
ド棒４６は本体３０に固定されている。これにより、モ
ータ４４が駆動するとねじ棒４２が回転して、スライダ
４０が図１上で左右方向に移動する。
部材であり、ねじ棒４２にねじ結合されている。ねじ棒
４２は端部がモータ４４の駆動軸に連結されていて、モ
ータ４４は本体３０に固定されている。また、スライダ
４０はガイド棒４６に移動自在に支持されていて、ガイ
ド棒４６は本体３０に固定されている。これにより、モ
ータ４４が駆動するとねじ棒４２が回転して、スライダ
４０が図１上で左右方向に移動する。
【００１０】従って、スライダ４０が左方向に移動して
支点３２の前方の図２（Ａ）に示す位置に位置決めされ
るとスプリング３８の伸長量が大きくなるので測定力が
増加し、スライダ４０が図２（Ａ）に示す位置から右方
向に移動して図２（Ｂ）に示す位置に位置決めされる
と、スプリング３８の伸長量が小さくなるので測定力が
減少する。また、スライダ４０が図２（Ｂ）に示す位置
から右方向に移動して支点３２の後方の図２（Ｃ）に示
す位置に位置決めされると測定力がマイナスになる。さ
らに、スライダ４０が図２（Ｃ）に示す位置から右方向
に移動して図１に示す位置に位置決めされるとリトラク
ト状態になる。尚、ねじ棒４２、モータ４４及びガイド
棒４６は移動手段４７を構成する。
支点３２の前方の図２（Ａ）に示す位置に位置決めされ
るとスプリング３８の伸長量が大きくなるので測定力が
増加し、スライダ４０が図２（Ａ）に示す位置から右方
向に移動して図２（Ｂ）に示す位置に位置決めされる
と、スプリング３８の伸長量が小さくなるので測定力が
減少する。また、スライダ４０が図２（Ｂ）に示す位置
から右方向に移動して支点３２の後方の図２（Ｃ）に示
す位置に位置決めされると測定力がマイナスになる。さ
らに、スライダ４０が図２（Ｃ）に示す位置から右方向
に移動して図１に示す位置に位置決めされるとリトラク
ト状態になる。尚、ねじ棒４２、モータ４４及びガイド
棒４６は移動手段４７を構成する。
【００１１】アーム３４の後端部には鉄芯４８が設けら
れていて、鉄芯４８はコイル５０内に配置されている。
鉄芯４８及びコイル５０はＺ軸検出器５１を構成してい
る。すなわち、鉄芯４８がＺ軸方向（コイル５０の軸線
方向）に移動すると、コイル５０の電圧が変化して鉄芯
４８の変位量が検出される。Ｚ軸検出器５１の変位量は
検出器信号回路５２に入力される。検出器信号回路５２
はＺ軸検出器５１の変位量を表示する。また、増幅記録
計５４は検出器信号回路５２から出力されたＺ軸検出器
５１の変位量を記録する。さらに、測定力制御回路５６
は入力部５７から入力された情報に基づいてモータ４４
を駆動する。そして、測定力制御回路５６に入力する情
報は、例えば図３に示す測定力一覧表に基づいて得るこ
とができ、測定力一覧表から得た情報は入力部５７を介
して測定力制御回路５６に入力される。また、測定力制
御回路５６には測定力一覧表の各々の測定力とスライダ
４０の位置関係（すなわち、測定力が０点時のスライダ
４０の位置から各々の測定力を得るためのスライダ４０
の移動量）は予め測定力制御回路５６に記憶されてい
る。従って、測定力一覧表から得た情報が測定力制御回
路５６に入力されると、測定力制御回路５６は測定力一
覧表の各々の測定力とスライダ４０の位置関係のデータ
に基づいてモータ４４を制御する。
れていて、鉄芯４８はコイル５０内に配置されている。
鉄芯４８及びコイル５０はＺ軸検出器５１を構成してい
る。すなわち、鉄芯４８がＺ軸方向（コイル５０の軸線
方向）に移動すると、コイル５０の電圧が変化して鉄芯
４８の変位量が検出される。Ｚ軸検出器５１の変位量は
検出器信号回路５２に入力される。検出器信号回路５２
はＺ軸検出器５１の変位量を表示する。また、増幅記録
計５４は検出器信号回路５２から出力されたＺ軸検出器
５１の変位量を記録する。さらに、測定力制御回路５６
は入力部５７から入力された情報に基づいてモータ４４
を駆動する。そして、測定力制御回路５６に入力する情
報は、例えば図３に示す測定力一覧表に基づいて得るこ
とができ、測定力一覧表から得た情報は入力部５７を介
して測定力制御回路５６に入力される。また、測定力制
御回路５６には測定力一覧表の各々の測定力とスライダ
４０の位置関係（すなわち、測定力が０点時のスライダ
４０の位置から各々の測定力を得るためのスライダ４０
の移動量）は予め測定力制御回路５６に記憶されてい
る。従って、測定力一覧表から得た情報が測定力制御回
路５６に入力されると、測定力制御回路５６は測定力一
覧表の各々の測定力とスライダ４０の位置関係のデータ
に基づいてモータ４４を制御する。
【００１２】尚、図１上で５８はアーム３４の先端に設
けられている触針である。前記の如く構成された本発明
に係る表面形状測定機の測定力調整手段を説明する。例
えば図３に示す測定力一覧表の No.2 の触針を使用して
Ｂのワークの表面形状を測定する場合について説明す
る。この場合、測定力一覧表に示すように測定力を0.3
ｇf に設定する必要がある。従って、入力部５７に0.3
ｇf を入力すると、入力部５７は測定力制御回路５６に
0.3 ｇf の信号を出力する。測定力制御回路５６に0.3
ｇf の信号が入力されると、測定力制御回路５６はＺ軸
検出器５１の変位量が「０」となるようにモータ４４を
駆動する。Ｚ軸検出器５１の変位量が「０」になると検
出器信号回路５２から測定力制御回路５６に信号が出力
される。
けられている触針である。前記の如く構成された本発明
に係る表面形状測定機の測定力調整手段を説明する。例
えば図３に示す測定力一覧表の No.2 の触針を使用して
Ｂのワークの表面形状を測定する場合について説明す
る。この場合、測定力一覧表に示すように測定力を0.3
ｇf に設定する必要がある。従って、入力部５７に0.3
ｇf を入力すると、入力部５７は測定力制御回路５６に
0.3 ｇf の信号を出力する。測定力制御回路５６に0.3
ｇf の信号が入力されると、測定力制御回路５６はＺ軸
検出器５１の変位量が「０」となるようにモータ４４を
駆動する。Ｚ軸検出器５１の変位量が「０」になると検
出器信号回路５２から測定力制御回路５６に信号が出力
される。
【００１３】次に、測定力制御回路５６は入力された情
報及び、予め入力されている測定力一覧表の各々の測定
力とスライダ４０の位置関係のデータに基づいてモータ
４４を駆動する。モータ４４の駆動でスライダ４０が移
動してスプリング３８の伸長量を調整する。これによ
り、スプリング３８の付勢力が変化して測定力が0.3 ｇ
f に設定される。
報及び、予め入力されている測定力一覧表の各々の測定
力とスライダ４０の位置関係のデータに基づいてモータ
４４を駆動する。モータ４４の駆動でスライダ４０が移
動してスプリング３８の伸長量を調整する。これによ
り、スプリング３８の付勢力が変化して測定力が0.3 ｇ
f に設定される。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る表面形
状測定機の測定力調整手段によれば、アーム部材に弾性
部材を連結して、弾性部材の付勢力で触針に所望の測定
力を生じさせるようにした。この弾性部材はスライダに
連結されている。そして、移動手段は、弾性部材の付勢
力が増加する方向及び減少する方向にスライダを移動す
る。これにより、触針の測定力が調整されるので、触針
を取替えた場合や被測定物の材質が変化した場合に、触
針の測定力を容易に変えることができる。
状測定機の測定力調整手段によれば、アーム部材に弾性
部材を連結して、弾性部材の付勢力で触針に所望の測定
力を生じさせるようにした。この弾性部材はスライダに
連結されている。そして、移動手段は、弾性部材の付勢
力が増加する方向及び減少する方向にスライダを移動す
る。これにより、触針の測定力が調整されるので、触針
を取替えた場合や被測定物の材質が変化した場合に、触
針の測定力を容易に変えることができる。
【００１５】また、スライダを移動させることによって
触針のリトラクト動作を行わせることができる。
触針のリトラクト動作を行わせることができる。
【図１】本発明に係る表面形状測定機の測定力調整手段
の全体図
の全体図
【図２】図２（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ本発明
に係る表面形状測定機の測定力調整手段の動作を説明し
た説明図
に係る表面形状測定機の測定力調整手段の動作を説明し
た説明図
【図３】本発明に係る表面形状測定機の測定力調整手段
に適用する測定力一覧表
に適用する測定力一覧表
【図４】従来の表面形状測定機の全体図
２８…表面形状測定機 ３４…アーム ３８…弾性部材 ４０…スライダ ４１…測定力調整手段 ４２…ねじ棒 ４４…モータ ４６…ガイド棒 ４７…移動手段 ５８…触針 ６０…ワーク
Claims (2)
- 【請求項１】 揺動自在に支持されたアーム部材に設け
られた触針を被測定物の表面に所望の測定力で押圧した
状態で前記被測定物の表面に沿って移動して前記被測定
物の表面形状を測定する表面形状測定機の測定力調整手
段において、 前記アーム部材に連結されると共に付勢力で前記触針に
前記所望の測定力を生じさせる弾性部材と、 該弾性部材の付勢力を調整する駆動手段と、 を備えたことを特徴とする表面形状測定機の測定力調整
手段。 - 【請求項２】 前記駆動手段は、 前記弾性部材に連結されたスライダと、 該スライダにねじ結合したねじ棒と、 該ねじ棒に回転力が伝達可能に連結されたモータと、 前記スライダが移動自在に支持されたガイド棒と、 から成り、前記モータの回転で前記スライダを前記アー
ム部材の触針側と該触針の反対側間を移動させ、前記ス
ライダが前記触針側に移動した時に前記弾性部材の付勢
力で前記触針に前記所望の測定力を生じさせ、前記スラ
イダが前記触針の反対側に移動した時に前記弾性部材の
付勢力で前記触針の測定力を負の状態又は前記触針をリ
トラクトの状態にすることを特徴とする請求項１の表面
形状測定機の測定力調整手段。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4376393A JP2853794B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 表面形状測定機の測定力調整手段 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4376393A JP2853794B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 表面形状測定機の測定力調整手段 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06258003A true JPH06258003A (ja) | 1994-09-16 |
| JP2853794B2 JP2853794B2 (ja) | 1999-02-03 |
Family
ID=12672802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4376393A Expired - Fee Related JP2853794B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 表面形状測定機の測定力調整手段 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2853794B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6397667B1 (en) | 1997-12-26 | 2002-06-04 | Mitutoyo Corporation | Surface property measuring device |
| JP2008241527A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Toyota Motor Corp | 表面粗さ測定装置 |
| WO2018155279A1 (ja) * | 2017-02-24 | 2018-08-30 | 株式会社東京精密 | 表面測定機用検出器 |
| KR20190033866A (ko) * | 2017-09-22 | 2019-04-01 | 삼성중공업 주식회사 | 도막 측정 장치 |
-
1993
- 1993-03-04 JP JP4376393A patent/JP2853794B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6397667B1 (en) | 1997-12-26 | 2002-06-04 | Mitutoyo Corporation | Surface property measuring device |
| JP2008241527A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Toyota Motor Corp | 表面粗さ測定装置 |
| WO2018155279A1 (ja) * | 2017-02-24 | 2018-08-30 | 株式会社東京精密 | 表面測定機用検出器 |
| JP2018138894A (ja) * | 2017-02-24 | 2018-09-06 | 株式会社東京精密 | 表面測定機用検出器 |
| US10571238B2 (en) | 2017-02-24 | 2020-02-25 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Detector for surface measuring device |
| DE112018000982B4 (de) * | 2017-02-24 | 2020-09-24 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Detektor für ein oberflächenformmessgerät |
| KR20190033866A (ko) * | 2017-09-22 | 2019-04-01 | 삼성중공업 주식회사 | 도막 측정 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2853794B2 (ja) | 1999-02-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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