JP2018138894A - 表面測定機用検出器 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は表面性状測定機の全体構成図である。本明細書では、図1に示したX軸方向を表す矢印線が向く方向をX軸方向のプラス方向とする。X軸方向を表す矢印線が向く方向に反対の方向をX軸方向のマイナス方向とする。
図1に示した表面形状測定機10の測定手順は次のとおりである。測定力調節部40は、予め決められた圧力である測定力を接触子34へ付与し、被測定物の表面に接触子34を押し付ける。接触子34と被測定物とをX軸方向、及びY軸方向に沿って相対移動させる。Z軸方向検出センサ20は、被測定物の起伏に起因して生じる接触子34の変位を電気信号に変換する。
図2はテコ式検出器の概略構成図である。図2に示した検出器17は、測定力を調節する際に、低測定力範囲における高分解能と、高い最大測定力の両立を実現している。以下に検出器17について詳細に説明する。
図3は第一実施形態に係る測定力調節の模式図である。図3には、紐状部材42が接触部54と接触した状態が図示されている。図2に示した弾性部材44の他端44Bの位置を、更にZ軸方向の上方向へ移動させた場合、図3に示すように、紐状部材42と接触部54とが接触する。
第一実施形態に係る測定力調節によれば、接触子34に測定力を付与する測定力調節部40は、紐状部材42、及び弾性部材44、及び傾き調節部50を備える。紐状部材42の一端42Aをアーム32に取り付ける。紐状部材42の他端42Bと弾性部材44の一端44Aとを接続させる。弾性部材44の他端44Bの位置をZ軸方向に移動させる。
図6は第二実施形態に係る測定力調節の模式図である。図6に示した測定力調節部100は、傾き調節部102を備えている。傾き調節部102は、複数の接触部である、第一接触部104、及び第二接触部106を備えている。
第二実施形態に係る測定力調節によれば、図6に示した測定力調節部100は、複数のX軸方向に対する弾性部材44の傾斜を用いて、測定力調節位置の変位に対する測定力の複数の相関を構成することが可能である。図6に示した例では、低測定力、中測定力、及び高測定力のそれぞれにおいて、適切な測定力調節の分解能を持つ特性を得ることが可能である。
図8は第三実施形態に係る測定力調節の模式図である。第三実施形態では、第一実施形態、及び第二実施形態に示した接触部54を備えた傾き調節部50に代わり、接触部204を備えた傾き調節部202を備えている。
第三実施形態に係る測定力調節によれば、紐状部材210を接触させる接触部204を備えた傾き調節部202を備えることに起因して、測定力調整位置の変位に対して測定力の相関を得る、任意の曲面の形状が採用される。任意の相関に対して、曲面の形状、及び測定力調節位置を設定することが可能である。
Claims (9)
- 接触子を先端に備えたアームと、
前記アームを回転可能に支持する回転軸と、
前記アームにおける前記回転軸の前記接触子と反対の側の位置に、一端が接続される伝達部と、
前記伝達部の他端に、一端が接続される弾性部であり、前記接触子に付与される測定力を発生させる弾性部と、
前記弾性部の他端に接続される位置調節部であり、前記アームの長手方向である第一方向、及び前記回転軸の方向である第二方向と直交する第三方向の成分を有する移動方向について、前記弾性部の他端の位置を移動させる位置調節部と、
前記アームと接続される傾き調節部であり、前記弾性部の他端の位置を前記移動方向へ移動させた場合に、前記伝達部と接触可能な位置に配置される接触部を備えた傾き調節部と、
を備えた表面測定機用検出器。 - 前記伝達部は、非弾性を有する部材であるか、又は前記弾性部の弾性係数未満の弾性係数を有する部材である請求項1に記載の表面測定機用検出器。
- 前記伝達部は、前記接触部と接触した状態において、前記弾性部の他端の位置を前記移動方向へ移動させた場合に屈曲し、かつ、前記接触部と非接触の状態において非屈曲となる請求項1又は2に記載の表面測定機用検出器。
- 前記接触部は、前記第一方向について、前記アームと前記伝達部との接続位置から一定の距離を有する位置であり、前記第三方向について、前記アームの位置から一定の距離を有する位置に配置される請求項1から3のいずれか一項に記載の表面測定機用検出器。
- 前記第一方向の位置、及び前記第三方向の位置が異なる複数の前記接触部を備えた請求項1から4のいずれか一項に記載の表面測定機用検出器。
- 前記接触部は、前記第一方向に沿う曲面であり、前記第三方向の変位を有する任意の形状の曲面を備えた請求項1から5のいずれか一項に記載の表面測定機用検出器。
- 前記接触部は、前記第一方向について、前記アームと前記伝達部との接続位置の前記回転軸と反対の側の位置に配置される請求項1から6のいずれか一項に記載の表面測定機用検出器。
- 前記接触部は、前記第一方向について、前記アームと前記伝達部との接続位置の前記回転軸の側の位置に配置される請求項1から6のいずれか一項に記載の表面測定機用検出器。
- 前記アームの他端の側の前記第三方向における変位を検出する検出部を備えた請求項1から8のいずれか一項に記載の表面測定機用検出器。
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