JP2008180587A - 寸法測定ヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】測定結果の安定化と、ワーク表面を傷つけないようにする。
【解決手段】接触子20を保持するアーム部2と、アーム部2を変位可能する機構5と、アーム部2の変位量を検知するセンサ部8とを備え、アーム部2を変位し接触子20をワークWに当接してワークWの寸法を測定する寸法測定ヘッドにおいて、アーム部2は、初期位置に付勢する第一付勢部材6と、第一付勢部材6の付勢力を調整する第二付勢部材3とを備え、アーム部2の変位に拘らず、ワークWに対する接触子20の押付力を所定範囲内に保つように構成している。
【選択図】図2
【解決手段】接触子20を保持するアーム部2と、アーム部2を変位可能する機構5と、アーム部2の変位量を検知するセンサ部8とを備え、アーム部2を変位し接触子20をワークWに当接してワークWの寸法を測定する寸法測定ヘッドにおいて、アーム部2は、初期位置に付勢する第一付勢部材6と、第一付勢部材6の付勢力を調整する第二付勢部材3とを備え、アーム部2の変位に拘らず、ワークWに対する接触子20の押付力を所定範囲内に保つように構成している。
【選択図】図2
Description
本発明は、旋盤等の工作機械で加工されたワークの寸法を測定する寸法測定ヘッドに関するものである。
寸法測定ヘッドは、旋盤等の工作機械で加工されたワークが所定の加工条件を有するか否かを判定するために、ワークの外径等の寸法を測定するものである。寸法測定ヘッドは、変位可能なアーム部と、アーム部に設けられた接触子と、アーム部の変位量を検知するセンサ部とを備えている。寸法測定ヘッドは、接触子がワークに当接するようにアーム部を変位させ、このアーム部の変位量をセンサ部で検知することにより、ワークの寸法を測定する。
図11は、従来の寸法測定ヘッドを示す正面図である。寸法測定ヘッドは、一対のアーム部100,100を備えている。測定対象となるワークWは、各アーム部100,100の間に配置される。接触子101はアーム部100,100の下部に設けられ、それぞれ対向している。アーム部100,100は、上部にセンサ部104を備えている。
アーム部100,100は支持部材102を備えている。支点部材102は、3枚の鋼薄板からなる変形自在要素や(特許文献1の符号74、第9頁21行目〜第10頁16行目、図2及び図8等参照)、十字バネやL字バネ等(特許文献2の符号11、第5頁39〜49行目、図1及び図2等参照)から構成されている。支点部材102は、アーム部100の回転(変位)付勢を可能とするものである。
アーム部100,100はコイルバネ103を備えている。コイルバネ103は、接触子101がワークWに当接する方向にアーム部100を付勢するものである(特許文献1の符号95、第1頁2〜3行目及び図2、特許文献2の符号17、第5頁13〜15行目及び図1参照)。
アーム部100が変位することによって、支持部材102の変形による反力と共に、コイルバネ103の付勢力が付加される。従って、アーム部100は、支点部材102及びコイルバネ103の付勢力が組み合わされて付与される。これにより、ワークWに対する接触子101の押付力は、アーム部100の変位に応じて大幅に変化する。このように、接触子101の押付力が大幅に変化すると、測定結果が不安定になったり、ワークWの表面に傷を付けたりする場合がある。
特表2001−503523号公報
特開2005−16972号公報
そこで、本発明が解決しようとする課題は、上記の問題点に鑑み、測定結果の安定化と、ワーク表面を傷つけないようにすることである。
上記の課題を解決するために、本発明は、接触子を保持するアーム部と、アーム部を変位可能する機構と、アーム部の変位量を検知するセンサ部とを備え、アーム部を変位し接触子をワークに当接してワーク寸法を測定する寸法測定ヘッドにおいて、アーム部は、初期位置に付勢する第一付勢部材と、第一付勢部材の付勢力を調整する第二付勢部材とを備え、アーム部の変位に拘らず、ワークに対する接触子の押付力を所定範囲内に保つように構成している。
好ましくは、第一付勢部材は、二枚の板バネを平行に組み付けた平行板バネからなり、アーム部を直動変位可能に付勢するように構成されている。
更に好ましくは、第二付勢部材は、アーム部に回転可能に連結されたリンク部材と、リンク部材を付勢するスプリングとから構成されている。
更に好ましくは、第二付勢部材は、アーム部に設けられた第一磁石と、第一磁石を吸引付勢する第二磁石とから構成されている。
本発明に係る寸法測定ヘッドは、アーム部を初期位置に付勢する第一付勢部材と、第一付勢部材の付勢力を調整する第二付勢部材とを備えている。そして、各付勢部材は、ワークに対する接触子の押付力がアーム部の変位に拘らず略一定範囲内に保たれるように設定されている。接触子の押付力を所定範囲内にすることにより、安定した測定ができると共に、ワーク表面を傷付けないという効果を奏する。
以下、図面に基づいて、本発明に係る寸法測定ヘッドについて詳細に説明する。先ず、寸法測定ヘッドの第一実施形態を説明する。
図1は、寸法測定ヘッドを示す正面図である。図2は、ブロック部の内部を示すものであり、(a)は正面図、(b)は第二付勢部材の拡大正面図である。図3は、図2(a)に示すI−I線断面図である。図4は、リトラクト機構を説明するための正面図である。図5は、センサ部を示す拡大断面図である。
図1に示すように、寸法測定ヘッドは、ベース部Tを備えている。ベース部Tは、水平方向に設けられた上板T1及び下板T2を有する。寸法測定ヘッドは、ベース部Tの両側に一対の測定ユニット1,1を備えている。測定ユニット1,1は、上板T1に固定され垂下されている。測定対象となるワークWは、ベース部Tの下板T2に載置される。ワークWは、各測定ユニット1,1の間に配置される。
測定ユニット1は、アーム部2及びブロック部4を備えている。アーム部2は、下部に接触子20を備えている。接触子20は、水平方向に延設されている。各測定ユニット1,1に設けられた接触子20,20は、それぞれ対向している。各アーム部2,2は、それぞれワークWに対して近接、離反する方向に変位自在な機構を備えている。そして、各アーム部2,2は、接触子20,20がワークWに当接するまで移動して、各アーム部2,2の変位量を測定して合算することで、ワークWの外径寸法を測定する。
尚、ワークWの板厚等を測定する場合には、測定ユニット1は一つであっても良い。又、測定ユニット1は、スライドベアリングやシリンダ装置等により、昇降、水平移動可能に構成されても良い。
次に、図2及び図3に基づき、測定ユニット1のブロック部4の内部について説明する。測定ユニット1は、ブロック部4内に進退ブロック5を備えている。進退ブロック5は、下端にアーム部2が連結されている。ブロック部4は、底面に貫通孔40を備えている。アーム部2は、貫通孔40を通じてブロック部4から垂下している。
測定ユニット1は、垂直方向に延設された平行板バネ(第一付勢部材)6を備えている。平行板バネ6は、2枚の板バネ60,61を組合わせて構成されている。各板バネ60,61は、同一構成であって、所定間隔を置いて平行に配置されている。
平行板バネ6は、上端が板バネ支持部6aを介してブロック部4に固定されている。平行板バネ6は、下端が進退ブロック5に連結されている。従って、平行板バネ6は、上端が固定端、下端が自由端となっている。
進退ブロック5は、平行板バネ6によって変位規制されるので、水平方向に略直動変位可能に構成されている。進退ブロック5の直動移動により、アーム部2が変位する。アーム部2は貫通孔40を通じているので、貫通孔40の空間が、アーム部2が移動可能な範囲となる。
測定ユニット1は、バネリンク機構(第二付勢部材)3を備えている。図3に示すように、バネリンク機構3は、ブロック部4の正面側及び背面側にそれぞれ設けられている。バネリンク機構3は、リンク部30及びコイルバネ31を備えている。
リンク部30は、下部に長穴30aが設けられている。リンク部30は、上部に軸30bが設けられている。進退ブロック5は、ガイドピン50を備えている。ガイドピン50は、リンク部30の長穴30aに沿って移動可能に係合されている。図3に示すように、リンク部30の軸30bは、ブロック部4に対して回転可能に軸支されている。
コイルバネ31は、引っ張りバネで構成されている。コイルバネ31は、上部に軸31aが、下部に軸31bが設けられている。図3に示すように、コイルバネ31の軸31aは、ブロック部4に対して回転可能に軸支されている。コイルバネ31の軸31bは、リンク部30の中央部に回転可能に軸支されている。
測定ヘッド1は、リトラクト機構7を備えている。図4に示すように、リトラクト機構7は、押圧部71、回転ローラ70、アクチュエータ72及びロッド73を備えている。回転ローラ70は、進退ブロック5に回転可能に支持されている。アクチュエータ72は、ブロック部4に固定されている。押圧部71は、ロッド73を介してアクチュエータ72の動作により、上下方向に移動する。
寸法測定ヘッドにワークWを設置する際、接触子20をワークWから離間した待機位置に配置する。接触子20を待機位置へ移動する時は、図4に示すように、アクチュエータ72を作動して、押圧部71を下方へ移動する(図4)。これにより、押圧部71が回転ローラ70を押圧して、進退ブロック5及びアーム部2を移動する。そして、接触子20を測定位置へ移動する時は、図2に示すように、押圧部71を上方へ移動し、進退ブロック5及びアーム部2を変位自在にする。
図3に示すように、測定ユニット1はセンサ部8を備えている。センサ部8は、センサロッド80及びセンサヘッド81を備えている。図2に示すように、センサロッド80は、水平方向に延設されている。センサロッド80は、両端がロッド支持部82を介してブロック部4に固定されている。センサヘッド81は、進退ブロック5に設けられている(図3)。センサヘッド81は、センサロッド80を貫通している。
図5に示すように、センサロッド80は、非磁性化された軸本体80aを備えている。軸本体80aは、中心軸部が中空となっており、この中空部に、磁性部材80bと非磁性部材80cとが交互に内蔵されている。センサヘッド81は、コイル部81aを備えている。
上述のように、進退ブロック5は、平行板バネ6によって水平方向に直動する。そのため、進退ブロック5に設けられたセンサヘッド81が直動する構成であるので、センサロッド80の軸径B1が大きくても、センサヘッド81の内径B2と接触する虞が小さく、軸径B1を大きくすることができ、測定精度が向上する。又、繰り返しスライド移動しても、磁性部材が接触することがないので、磨耗したり損傷しない。
更に、センサロッド80は、非磁性化された軸本体80aを備え、内部に磁性部材80bと非磁性部材80cとが交互に配置されているので、磁気結合の変化を敏感に検知でき、高精度な測定が可能となる。例えば、0.1μm単位の分解能を得ることができる。
次に、接触子のワークに対する押付力について説明する。図6は、接触子がワークに当接した状態を示す一部正面図である。図7は、接触子のワークに対する押付力を説明するためのグラフ図である。
上述の通り、ワークWの寸法を測定する際、先ず、リトラクト機構7を作動して、接触子20をワークWから離間する待機位置に配置する。次に、リトラクト機構7を解除して、接触子20をワークWに当接させるべく測定位置に配置する。図6に示すように、リトラクト機構7を解除することにより、接触子20がワークWに当接する。
本発明に係る寸法測定ヘッドは、リトラクト機構7を解除すると、平行板バネ(第一付勢部材)及びバネリンク機構(第二付勢部材)により、接触子20がワークWに当接して、ワークWに対する接触子20の押付力Fが略一定となるように構成されている。以下これにつき詳述する。
尚、アーム部2の変位量について、接触子20がワークWに近づく方向をプラス(+)、離れる方向をマイナス(−)とする。この変位量は、貫通孔40の中心線(垂直線)D1とアーム部2の中心線(垂直線)D2との距離とする。
平行板バネ(第一付勢部材)6の付勢力、バネリンク機構(第二付勢部材)3の付勢力及びこれら6,3の合成付勢力について、接触子20がワークWに対して押し付ける力(押付力)をプラス(+)、戻す力(戻し力)をマイナス(−)とする。
先ず、図6(a)の状態について説明する。この時、アーム部2が図の最左端に位置しており、接触子20がワークw1に当接している。アーム部2の変位量は(−X2)である。平行板バネ6は、進退ブロック5を図右方向(ワークw1側)に付勢している。よって、平行板バネ6の付勢力は、接触子20がワークw1を押し付ける、押付力(+Fa1)が作用する(図7)。
コイルバネ31の両端軸31a,31bを結ぶ線C1に対して、リンク部30の軸30bは図右側に位置し、進退ブロック5のガイドピン50は図左側に位置する。そして、線C1は、軸31aと軸30bとを結ぶ直線C2に対して、角度θ1だけ反ワークw1側に変位している。よって、バネリンク機構3は、進退ブロック5を図左方向(反ワークw1側)に付勢している。従って、バネリンク機構3の付勢力は、接触子20がワークw1から離れる、戻り力(−Fb1)が作用する(図7)。
図7に示すように、アーム部2の変位量が(−X2)の時、押付力(+Fa1)と戻り力(−Fb1)とが作用する。そして、平行板バネ(第一付勢部材)6の付勢力とバネリンク機構(第二付勢部材)3の付勢力との合成付勢力は、接触子20がワークw1を押し付ける、押付力(+Fa1−Fb1=+F)が作用するように設定されている(図7)。
図6(b)の状態について説明する。この時、アーム部2が図6(a)より図右側に位置して、接触子20がワークw2に当接している。アーム部2の変位量は(−X1)である。平行板バネ6は、進退ブロック5を図右方向(ワークw2側)に付勢している。よって、平行板バネ6の付勢力は、接触子20がワークw2を押し付ける、押付力(+F)が作用する(図7)。
線C1及び線C2は重なる。線C1,C2には、リンク部30の軸30b及び進退ブロック5のガイドピン50が配置されている。よって、バネリンク機構3は、進退ブロック5を図左右方向に付勢しない。従って、バネリンク機構3の付勢力は、接触子20のワークw2に対する押付力及び戻り力が作用しない(図7)。
図7に示すように、アーム部2の変位量が(−X1)の時、押付力(+F)のみが作用する。よって、平行板バネ(第一付勢部材)6の付勢力とバネリンク機構(第二付勢部材)3の付勢力との合成付勢力は、接触子20がワークw2を押し付ける、押付力(+F−0=+F)が作用する(図7)。
図6(c)の状態について説明する。この時、アーム部2は、貫通孔40の中心線D1とアーム部2の中心線D2とが重なるように配置されている。アーム部2の変位量は0(ゼロ)である。平行板バネ6は、各板バネ60,61が垂直方向に配置されている。よって、平行板バネ6は、進退ブロック5を図左右方向に付勢しない。従って、平行板バネ6の付勢力は、接触子20のワークw3に対する押付力及び戻り力が作用しない(図7)。
線C1に対して、リンク部30の軸30bは図左側に位置し、進退ブロック5のガイドピン50は図右側に位置する。線C1は、線C2に対して角度θ2だけワークw3側に変位している。よって、バネリンク機構3は、進退ブロック5を図右方向(ワークw3側)に付勢する。従って、バネリンク機構3の付勢力は、接触子20がワークw3を押し付ける、押付力(+F)が作用する(図7)。
図7に示すように、アーム部2の変位量(0)のとき、押付力(+F)のみが作用する。よって、平行板バネ(第一付勢部材)6の付勢力とバネリンク機構(第二付勢部材)3の付勢力との合成付勢力は、接触子20がワークw3を押し付ける、押付力(+F−0=+F)が作用する(図7)。
図6(d)の状態について説明する。この時、アーム部2が図の最右端位置して、接触子20がワークw4に当接している。アーム部2の変位量は(+X3)である。平行板バネ6は、進退ブロック5を図左方向(反ワークw4側)に付勢する。よって、平行板バネ6の付勢力は、接触子20がワークw4から離れる、戻り力(−Fa2)が作用する(図7)。
線C1に対して、リンク部30の軸30bは図左側に位置し、進退ブロック5のガイドピン50は図右側に位置する。線C1は、線C2に対して角度θ3だけワークw4側に変位している。よって、バネリンク機構3は、進退ブロック5を図右方向(ワークw4側)に付勢している。従って、バネリンク機構3の付勢力は、接触子20がワークw4を押し付ける、押付力(+Fb2)が作用する(図7)。
図7に示すように、アーム部2の変位量が(+X3)のとき、押付力(+Fb2)と戻り力(−Fa2)とが作用する。平行板バネ(第一付勢部材)6の付勢力とバネリンク機構(第二付勢部材)3の付勢力との合成付勢力は、接触子20がワークw4を押し付ける、押付力(+Fb2−Fa2=+F)が作用するように設定されている(図7)。
上述を図7に基づいてまとめる。第一実施形態の寸法測定ヘッドは、平行板バネ(第一付勢部材)6及びバネリンク機構(第二付勢部材)3の付勢力がアーム部2の変位量に応じて変化するように構成されている。即ち、平行板バネ(第一付勢部材)6の付勢力は、バネリンク機構(第二付勢部材)3の付勢力により調整される。
平行板バネ6の付勢力は、アーム部2の変位量が(−X2)の時は押付力が(+Fa1)、変位量が(−X1)の時は押付力が(+F)、変位量が(0)の時は押付力が(0)、変位量が(+X3)の時は戻り力が(−Fa2)となる。アーム部2の変位量をX軸とし、平行板バネ6の付勢力をY軸とするグラフは、比例直線Faとして近似できる。
バネリンク機構3の付勢力は、アーム部2の変位量が(−X2)の時は戻り力が(−Fb1)、変位量が(−X1)の時は押付力が(0)、変位量が(0)の時は押付力が(+F)、変位量が(+X3)の時は押付力が(+Fb2)となる。アーム部2の変位量をX軸とし、バネリンク機構3の付勢力をY軸とするグラフは、比例直線Fbとして近似できる。図7に示す通り、直線Faと直線Fbとは傾きが正反対となる。
そして、平行板バネ(第一付勢部材)6とバネリンク機構(第二付勢部材)3の合成付勢力は、アーム部2の変位量が(−X2)、(−X1)、(0)及び(+X3)の時に常に押付力が(+F)となるように、平行板バネ6及びコイルバネ31の付勢力等が設定されている。アーム部2の変位量をX軸とし、平行板バネ6とバネリンク機構3との合成付勢力をY軸とするグラフは、一定直線Fcとなる。直線Fcは、押付合成力Fとなる。
第二付勢部材3は、リンク部30とコイルバネ31で構成され、その付勢力Fbが変位に応じて直線変化するので、第一付勢部材6の付勢力Faを調整し易く、これらの合成付勢力Fcを略一定に保つことができる。これにより、非常に安定した測定ができると共に、ワークWの表面を傷付けることもない。
次に、寸法測定ヘッドの第二実施形態を説明する。尚、上記した第一実施形態と同じ構成については同一符号を付して説明を省略する。図8は、ブロック部の内部を示す正面図である。図9は、接触子がワークに当接した状態を示す一部正面図である。図10は、接触子のワークに対する押付力を説明するためのグラフ図である。
図8に示すように、この寸法測定ヘッドは、永久磁石機構3’を備えている。永久磁石機構3’は、第一永久磁石対32及び第二永久磁石対33からなる。上記第一実施形態では、第二付勢部材3はバネリンク機構で構成されているのに対し、第二実施形態では、第二付勢部材3’は永久磁石機構で構成されている。
第一永久磁石対32は、永久磁石32a及び32bで構成されている。永久磁石32aは、進退ブロック5に設けられている。永久磁石32bは、ブロック部4に設けられている。そして、各永久磁石32a,32bは、互いに吸引付勢されている。
第二永久磁石対33は、永久磁石33a及び33bで構成されている。永久磁石33aは、進退ブロック5に設けられている。永久磁石33bは、ブロック部4に設けられている。そして、各永久磁石33a,33bは、互いに吸引付勢されている。
この寸法測定ヘッドは、リトラクト機構7を解除すると、平行板バネ(第一付勢部材)6及び永久磁石対(第二付勢部材)3’により、接触子20がワークWに当接して、ワークWに対する接触子20の押付力Fcが所定範囲となるように構成されている。以下これにつき詳述する。
先ず、図9(a)の状態について説明する。アーム部2の変位量が(−X2)の時、平行板バネ6は、進退ブロック5を図右方向(ワークw1側)に付勢している。よって、平行板バネ6の付勢力は、接触子20がワークw1を押し付ける、押付力(+Fa1)が作用する(図10)。
この時、第一永久磁石対32の吸引力は、第二永久磁石対33の吸引力に対して小さい。よって、永久磁石機構3’は、進退ブロック5を図左方向(反ワークw1側)に付勢している。永久磁石機構3’の付勢力は、接触子20がワークw1から離れる、戻り力(−Fb1)が作用する(図10)。
図10に示すように、アーム部2の変位量(−X2)のとき、押付力(+Fa1)と戻り力(−Fb1)とが作用する。平行板バネ(第一付勢部材)6の付勢力と永久磁石機構(第二付勢部材)3’の付勢力との合成付勢力は、接触子20がワークw1を押し付ける、押付力(+Fa1−Fb1=+F1)が作用するように設定されている(図10)。
図9(b)の状態について説明する。アーム部2の変位量が(−X1)の時、平行板バネ6は、進退ブロック5を図右方向(ワークw2側)に付勢している。平行板バネ6の付勢力は、接触子20がワークw2を押し付ける、押付力(+F2)が作用する(図10)。
この時、第一永久磁石対32の吸引力と第二永久磁石対33の吸引力は同じになるように設定されている。よって、永久磁石機構3は、進退ブロック5を図左右方向に付勢しない。従って、永久磁石機構3の付勢力は、接触子20のワークw2に対する押付力及び戻り力が作用しない(図10)。
図10に示すように、アーム部2の変位量が(−X1)のとき、押付力(+F2)のみが作用する。よって、平行板バネ(第一付勢部材)6の付勢力と永久磁石機構(第二付勢部材)3の付勢力との合成付勢力は、接触子20がワークw2を押し付ける、押付力(+F2−0=+F2)が作用する(図10)。
図9(c)の状態について説明する。アーム部2の変位量が(0)の時、平行板バネ6は、各板バネ60,61が垂直方向に配置されている。よって、平行板バネ6は、進退ブロック5を図左右方向には付勢しない。従って、平行板バネ6の付勢力は、接触子20のワークw3に対する押付力及び戻り力が作用しない(図10)。
第一永久磁石対32の吸引力は、第二永久磁石対33の吸引力より大きい。よって、永久磁石機構3は、進退ブロック5を図右方向(ワークw3側)に付勢する。従って、永久磁石機構3の付勢力は、接触子20がワークw3を押し付ける、押付力(+F4)が作用する(図10)。
図10に示すように、アーム部2の変位量が(0)のとき、押付力(+F4)のみが作用する。よって、平行板バネ(第一付勢部材)6の付勢力と永久磁石機構(第二付勢部材)3の付勢力との合成付勢力は、接触子20がワークw3を押し付ける、押付力(+F4−0=+F4)が作用する(図10)。
図9(d)の状態について説明する。アーム部2の変位量が(+X3)の時、平行板バネ6は、進退ブロック5を図左方向(反ワークw4側)に付勢する。よって、平行板バネ6の付勢力は、接触子20がワークw4から離れる、戻り力(−Fa2)が作用する(図10)。
第一永久磁石対32の吸引力は、第二永久磁石対33の吸引力に対して大きい。よって、永久磁石機構3は、進退ブロック5を図右方向(ワークw4側)に付勢している。従って、永久磁石機構3の付勢力は、接触子20がワークw4を押し付ける、押付力(+Fb2)が作用する(図10)。
図10に示すように、アーム部2の変位量が(+X3)の時、押付力(+Fb2)と戻り力(−Fa2)とが作用する。平行板バネ(第一付勢部材)6の付勢力と永久磁石機構(第二付勢部材)3の付勢力との合成付勢力は、接触子20がワークw4を押し付ける、押付力(+Fb2−Fa2=+F3)が作用するように設定されている(図10)。
上述を図10に基づいてまとめる。平行板バネ6の付勢力は、アーム部2の変位量が(−X2)の時は押付力が(+Fa1)、変位量が(−X1)の時は押付力が(+F2)、変位量が(0)の時は押付力が(0)、変位量が(+X3)の時は戻り力が(−Fa2)となる。アーム部2の変位量をX軸とし、平行板バネ6の付勢力をY軸とするグラフは、比例直線Faとして近似できる。
永久磁石機構3の付勢力は、アーム部2の変位量が(−X2)の時は戻り力が(−Fb1)、変位量が(−X1)の時は押付力が(0)、変位量が(0)の時は押付力が(+F4)、変位量が(+X3)の時は押付力が(+Fb2)となる。
永久磁石対の吸引力は、近づくにつれて大きくなり、離れるにつれて小さくなる。アーム部2の変位量をX軸とし、第一永久磁石対32の付勢力をY軸とするグラフは、曲線Fb’(一点鎖線)として近似できる。アーム部2の変位量をX軸とし、第二永久磁石対33の付勢力をY軸とするグラフは、曲線Fb’’(一点鎖線)として近似できる。従って、アーム部2の変位量をX軸とし、永久磁石機構3’の付勢力をY軸とするグラフは、曲線Fbとして近似できる。
そして、平行板バネ(第一付勢部材)6と永久磁石機構(第二付勢部材)3’との合成付勢力は、アーム部2の変位量が(−X2)、(−X1)、(0)及び(+X3)の時に押付力が(+F1〜+F4)となるように、平行板バネ6の付勢力及び永久磁石対32,33の吸引力等が設定されている。アーム部2の変位量をX軸とし、平行板バネ6と永久磁石機構3’との合成付勢力をY軸とするグラフは、曲線Fcとなる。
接触子20のワークWに対する押付力Fcは所定範囲内(+F1〜+F4)となり、安定した測定ができ、ワークWの表面を傷付けない。更に、永久磁石で第二付勢部材3’を構成することができるので、非常に簡単に組み付けることができる。尚、押付力Fcの範囲(+F1〜+F4)は、所定の押付力Fに対して+20%〜−20%の範囲内とすることが好ましい。
上記実施形態において、第一付勢部材は、十字バネやL字バネ等であっても良い。又、第二付勢部材は、第一付勢部材の付勢力を調整するものであれば良く、バネのみで組み立てた機構やダンパ機構、ゴム部材等で構成することもできる。
1 測定ユニット
2 アーム部
20 接触子
3 バネリンク機構(第二付勢部材)
30 リンク部
31 コイルバネ
3’ 永久磁石機構(第二付勢部材)
32 第一永久磁石対
33 第二永久磁石対
5 進退ブロック
6 平行板バネ(第一付勢部材)
60,61 板バネ
7 リトラクト機構
8 センサ部
80 センサロッド
81 センサヘッド
W ワーク
2 アーム部
20 接触子
3 バネリンク機構(第二付勢部材)
30 リンク部
31 コイルバネ
3’ 永久磁石機構(第二付勢部材)
32 第一永久磁石対
33 第二永久磁石対
5 進退ブロック
6 平行板バネ(第一付勢部材)
60,61 板バネ
7 リトラクト機構
8 センサ部
80 センサロッド
81 センサヘッド
W ワーク
Claims (4)
- 接触子を保持するアーム部と、前記アーム部を変位可能する機構と、前記アーム部の変位量を検知するセンサ部とを備え、前記アーム部を変位し前記接触子をワークに当接してワーク寸法を測定する寸法測定ヘッドにおいて、前記アーム部は、初期位置に付勢する第一付勢部材と、前記第一付勢部材の付勢力を調整する第二付勢部材とを備え、前記アーム部の変位に拘らず、前記ワークに対する前記接触子の押付力を所定範囲内に保つように構成していることを特徴とする寸法測定ヘッド。
- 前記第一付勢部材は、二枚の板バネを平行に組み付けた平行板バネからなり、前記アーム部を直動変位可能に付勢するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の寸法測定ヘッド。
- 前記第二付勢部材は、前記アーム部に回転可能に連結されたリンク部材と、前記リンク部材を付勢するスプリングとから構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の寸法測定ヘッド。
- 前記第二付勢部材は、前記アーム部に設けられた第一磁石と、前記第一磁石を吸引付勢する第二磁石とから構成されていることを特徴とする請求項1乃至3に記載の寸法測定ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007013826A JP2008180587A (ja) | 2007-01-24 | 2007-01-24 | 寸法測定ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007013826A JP2008180587A (ja) | 2007-01-24 | 2007-01-24 | 寸法測定ヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008180587A true JP2008180587A (ja) | 2008-08-07 |
Family
ID=39724599
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007013826A Pending JP2008180587A (ja) | 2007-01-24 | 2007-01-24 | 寸法測定ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008180587A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015200589A (ja) * | 2014-04-09 | 2015-11-12 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機 |
WO2018155279A1 (ja) * | 2017-02-24 | 2018-08-30 | 株式会社東京精密 | 表面測定機用検出器 |
JP2019049490A (ja) * | 2017-09-11 | 2019-03-28 | Kyb株式会社 | 変位検出装置 |
-
2007
- 2007-01-24 JP JP2007013826A patent/JP2008180587A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015200589A (ja) * | 2014-04-09 | 2015-11-12 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機 |
WO2018155279A1 (ja) * | 2017-02-24 | 2018-08-30 | 株式会社東京精密 | 表面測定機用検出器 |
JP2018138894A (ja) * | 2017-02-24 | 2018-09-06 | 株式会社東京精密 | 表面測定機用検出器 |
US10571238B2 (en) | 2017-02-24 | 2020-02-25 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Detector for surface measuring device |
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