JPH06254383A

JPH06254383A - 金属酸化物微粒子の製造方法

Info

Publication number: JPH06254383A
Application number: JP4010493A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Kato; 寛加藤; Namihiro Okabayashi; 南洋岡林
Original assignee: Tokuyama Corp
Current assignee: Tokuyama Corp
Priority date: 1993-03-01
Filing date: 1993-03-01
Publication date: 1994-09-13
Anticipated expiration: 2018-01-08
Also published as: JP3364261B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【構成】アンモニア水等のアルカリ性水溶液中でテト
ラエトキシシラン等の加水分解可能な有機金属化合物を
加水分解してシリカ等の金属酸化物微粒子を１０重量％
以上の高スラリー濃度で製造する方法において、アルカ
リ性水溶液（Ｉ）中に、遅くとも該アルカリ性水溶液中
の水が消費されて存在しなくなる時点前から、加水分解
可能な有機金属化合物とアルカリ性水溶液（ＩＩ）とを
当該有機金属化合物中の金属元素１モルに対してアルカ
リ性水溶液（ＩＩ）中の水が１〜６倍モルとなる供給比
で両者を各々独立して同時に且つ連続して滴下し、しか
も加水分解可能な有機金属化合物は液中滴下して加水分
解することを特徴とする金属酸化物微粒子の製造方法。【効果】プラスチックやフィルムの充填材や添加材、
セラミックスの原料などの一般工業材料として用いるこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は粒径が非常に揃った、い
わゆる単分散性の良好な金属酸化物粒子の高スラリー状
態での製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、テトラエトキシシランなどの加水
分解可能な有機金属化合物を、水、アンモニアおよびア
ルコールなどの反応液中ににおいて加水分解することに
より、シリカなどの金属酸化物粒子を得る方法が知られ
ている。このような方法により製造された金属酸化物粒
子は単分散性が良好であるため各種の充填材やスペーサ
ー、セラミックスの原料などとして非常に有用であるに
もかかわらず、工業的規模で実用に供される例はあまり
見あたらないのが現状である。

【０００３】このように実用化が遅れている理由は、原
料のテトラエトキシシランなどの金属アルコキサイドが
比較的高価なことと、製造する金属酸化物粒子の液相中
におけるスラリー濃度を高くできず、生産性が低かった
ことなどが原因と考えられる。一般に、スラリー濃度を
上げようとした場合には、粒子同志が凝集したり、また
は、新たな小粒子が発生するなどして、単分散性の良好
な無機酸化物粒子を得ることはできなかった。

【０００４】ところが、最近、スラリー濃度を上げて生
産性を向上させようとする試みも知られているようにな
ってきた。例えば、特開平３ー２２８８３９では、メチ
ルシリケートとアンモニア水を反応させ、スラリー濃度
（シリカ濃度）２５％のコロイダルシリカを得ている。
しかしながら、ここで合成されたコロイダルシリカは粒
径が５〜４０μｍと単分散粒子とは言いがたいものであ
った。

【０００５】また、特開平４ー７７３０９には、アルコ
キシシランをアニオン系又はノニオン系界面活性剤の存
在下に加水分解し、シリカ粒子を製造する方法が公開さ
れている。この方法では、原料にテトラメトキシシラン
を用い、スラリー濃度（固形分濃度）２６．２重量％と
いう高スラリー濃度でシリカ粒子を合成したことが記さ
れている。しかしながら、実施例に記されているよう
に、合成可能な粒子径は、０．１４〜０．３０μｍとい
う狭い範囲であり、しかも、平均粒径が０．２３μｍの
ときの標準偏差が０．１６μｍと大きく、単分散粒子と
は言いがたいものであった。また、界面活性剤を添加す
ることによって生成するシリカの粒径は小さくなること
が記されており、０．４μｍ以上の大きな粒径の粒子を
合成することは困難である。

【０００６】一方、特開昭６２−５２１１９では、加水
分解可能な有機ケイ素化合物を、反応液中において水お
よびアンモニアの濃度を実質的に変化させることなく加
水分解することによって、粒子径が０．０５〜５０μｍ
の範囲で粒子径の変動係数が１０％以下である極めて単
分散性の高いシリカ粒子が得られている。しかしなが
ら、スラリー濃度は数％と低かった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来知られ
ているような単分散性の極めて高い金属酸化物粒子を１
０％以上の高スラリー濃度で製造する方法を提供するも
のである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために鋭意研究を重ねた。その結果、アルカ
リ性水溶液に、加水分解可能な有機金属化合物とアルカ
リ性水溶液を同時に滴下する際に、該有機金属化合物中
の金属元素のモル数に対し１〜６倍モルの水を含むアル
カリ性水溶液を用いることを主とする製造条件によっ
て、合成した粒子の粒子径の変動係数が１０％以下で、
しかも、合成終了後の反応液のスラリー濃度が１０％以
上の高濃度で合成できることを見いだし、本発明を完成
するに至った。

【０００９】即ち、本発明は、アルカリ性水溶液中で加
水分解可能な有機金属化合物を加水分解して金属酸化物
微粒子を１０重量％以上の高スラリー濃度で製造する方
法において、アルカリ性水溶液（Ｉ）中に、遅くとも該
アルカリ性水溶液中の水が消費されて存在しなくなる時
点前から、加水分解可能な有機金属化合物とアルカリ性
水溶液（ＩＩ）とを当該有機金属化合物中の金属元素１
モルに対してアルカリ性水溶液（ＩＩ）中の水が１〜６
倍モルとなる供給比で両者を各々独立して同時に且つ連
続して滴下し、しかも加水分解可能な有機金属化合物は
液中滴下して加水分解することを特徴とする金属酸化物
微粒子の製造方法である。

【００１０】本発明に用いるアルカリ性水溶液（Ｉ）と
は、ｐＨが７より大きい水溶液、または、該水溶液とメ
タノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノー
ル、ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリ
コールなどのアルコール類、アセトン、メチルーエチル
ケトンなどのケトン類、ジオキサン、ジエチルエーテル
などのエーテル類、酢酸エチルなどのエーテル類、その
他水と相溶性のある有機溶媒を単独または複数混合した
液を言う。

【００１１】アルカリ性にするための塩基としては、ア
ンモニア、ＬｉＯＨ、ＮａＯＨ、ＫＯＨなどが何ら制限
されることなく用いられる。該アルカリ水溶液中の水の
割合は、用いる有機金属化合物の種類によって異なるた
め一概には言えないが、好ましくは３〜９５％、さらに
好ましくは、５〜４０％の範囲である。

【００１２】次に、本発明の原料である加水分解可能な
有機金属化合物としては、前記のアルカリ性水溶液中で
加水分解を受けて金属酸化物になるものであれば公知の
化合物が何ら制限なく採用される。加水分解可能な有機
金属化合物の代表的なものを示すと、例えば、一般式Ｓ
ｉ（ＯＲ）₄またはＳｉＲ^' _n（ＯＲ）_4-nで示されるアル
コキシシラン、またはアルコキシシランを部分的に加水
分解して得られる低縮合物が工業的に入手し易く、その
一種または２種以上の混合物が好ましく用いられる。な
お、上記の一般式において、ＲおよびＲ^'はアルキル基
で、例えばメチル基、エチル基、イソプロピル基、ブチ
ル基などの低級アルキル基が好適である。ｎは１〜３の
整数である。

【００１３】その他の加水分解可能な有機金属化合物と
しては、周期律表第Ｉ族、第ＩＩ族、第ＩＩＩ族、およ
び第ＩＶ族の加水分解可能な有機金属化合物が特に制限
されず使用される。例えば、一般式Ｍ¹（ＯＲ）、Ｍ
²（ＯＲ）₂、Ｍ³（ＯＲ）₃、Ｍ⁴（ＯＲ）₄（但し、Ｒは
アルキル基）で表示される金属アルコキシド化合物また
は上記一般式中の一つ又は二つのアルコキシド基（Ｏ
Ｒ）がカルボキシル基あるいはβ−ジカルボニル基で置
換された化合物が好ましい。ここでＭ¹は第Ｉ族の金
属、Ｍ²は第ＩＩ族の金属、Ｍ³は第ＩＩＩ族の金属、Ｍ
⁴は第ＩＶ族の金属で、具体的には例えばリチウム、ナ
トリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、スト
ロンチウム、バリウム、アルミニウム、チタニウム、ジ
ルコニウム、ゲルマニウム、ハフニウム、錫または鉛が
好適に挙げられる。

【００１４】本発明において一般に好適に使用される上
記化合物を更に具体的に例示すると、Ｓｉ（ＯＭ
ｅ）₄、Ｓｉ（ＯＥｔ）₄、およびこれらの低縮合物等の
アルコキシシラン；ＮａＯＣＨ₃，ＮａＯＣ₂Ｈ₅，Ｎａ
ＯＣ₃Ｈ₇等の有機ナトリウム化合物および上記Ｎａに代
わって、Ｌｉ、Ｋ等で代替した第Ｉ族化合物；Ｍｇ（Ｏ
ＣＨ₃）₂、Ｍｇ（ＯＣ₂Ｈ₅）₂、Ｍｇ（ＯＣ₃Ｈ₇）₂、Ｍ
ｇ（ＯＣ₄Ｈ₉）₂、Ｍｇ（ＯＣ₅Ｈ₁₁）₂等の有機マグネ
シウム化合物および上記Ｍｇに代わって、Ｃａ、Ｓｒ、
Ｂａ等で代替した第ＩＩ族化合物；Ａｌ（ＯＣ
₂Ｈ₅）₃、Ａｌ（ＯＣ₃Ｈ₇）₃、Ａｌ（ＯＣ₄Ｈ₉）₃等の
化合物および上記Ａｌに代わって、Ｂ等で代替した第Ｉ
ＩＩ族化合物；Ｔｉ（Ｏ−ｉｓｏＣ₃Ｈ₇）₄、Ｔｉ（Ｏ
−ｎＣ₄Ｈ₉）₄、等の化合物および上記Ｔｉに代わっ
て、Ｚｒ、Ｇｅ、Ｈｆ、Ｓｎ、Ｐｂ等で代替した第ＩＶ
族化合物などが挙げられる。また、ＣａＣｌ₂、Ｃａ
（ＨＯＣ₆Ｈ₄ＣＯＯ）₂・Ｈ₂Ｏ等の化合物も好適に使用
できる。

【００１５】本発明を実施するためには、上記の有機金
属化合物を１種、または２種以上混合して適宜用いれば
よい。なお、ケイ素とその他の金属とよりなる複合酸化
物の粒子を製造するためには、アルコキシシランを部分
的に加水分解したものか、または部分的に加水分解して
得られる低縮合物を、その他の加水分解可能な有機金属
化合物と単に混合するか、または、混合後還流操作など
により生成した複合アルコキサイドを用いることも、本
発明を実施する上で好適である。

【００１６】上記加水分解可能な有機金属化合物は、ア
ルコール等の有機溶媒で希釈して用いても差しつかえは
ないが、スラリー濃度を上げるためには、全く希釈せず
に用いるか、または、希釈する場合にも希釈率は５０％
程度にとどめることが望ましい。

【００１７】ところで、本発明では、上記加水分解可能
な有機金属化合物の液中滴下と同時に別途調製された該
有機金属化合物中の金属元素のモル数に対し水のモル数
が１〜６倍モルとなるような供給比でアルカリ性水溶液
（ＩＩ）を滴下することが必要である。アルカリ性水溶
液の同時滴下を行わなかった場合には、単分散性の高い
１０％以上の高濃度の金属酸化物微粒子スラリーを得る
ことは困難である。また、１０％以上の高スラリー濃度
で製造する場合は、上記水の供給モル比が１倍モルより
小さい場合には、加水分解に必要な水が不足するため、
凝集を起こし易くなり、６倍モルよりも大きい場合に
は、新たな核粒子が発生する傾向が強く単分散性が低下
するので、合成条件としては不適である。

【００１８】アルカリ性水溶液（ＩＩ）の最適な供給比
は、用いる加水分解可能な有機金属化合物の種類によっ
て上記範囲から適宜選択する必要がある。例えば、有機
金属化合物としてアルコキシシランを部分的に加水分解
して得られる低縮合物を用いた場合には、供給比は比較
的小さい方が良く、ケイ素とその他の金属とよりなる複
合アルコキサイドを用いた場合には、供給比は比較的大
きい方が良い場合が多い。

【００１９】該アルカリ性水溶液（ＩＩ）は上述のよう
に該溶液中の水の供給量比が重要である点を除けばその
組成は特に限定されず先に述べたアルカリ性水溶液
（Ｉ）と同様に調製すればよい。しかし、１０％以上の
高スラリー濃度で合成するためには、水の濃度は５０〜
９９．９％と高いことが好ましい。

【００２０】アルカリ性水溶液（ＩＩ）の同時滴下を開
始する時期は、最初に仕込んだアルカリ性水溶液（Ｉ）
の反応液中の水が加水分解で消費されて無くなる以前に
開始する必要があり、これ以前であれば特に限定されな
い。加水分解可能な有機金属化合物の滴下と同時期に開
始するのが製造工程上は、最も簡便な方法である。最初
に仕込んだアルカリ性水溶液（Ｉ）の反応液中の水が加
水分解で消費されて無くなった後に同時滴下を開始する
と、それまで成長していた球状粒子を含んだ凝集体しか
得られない。一方、加水分解可能な有機金属化合物の滴
下をある程度行った後にアルカリ性水溶液（Ｉ）の同時
滴下を開始すると、より単分散性の優れた粒子が得られ
る場合もある。加水分解可能な有機金属化合物の滴下を
始めると、加水分解反応によって反応液中の水が消費さ
れ、反応液中の水の濃度は低下する。この様な状態で合
成する方が、単分散性を向上させる場合がある。

【００２１】加水分解可能な有機金属化合物の滴下は、
液中滴下することが必須である。液中滴下とは、上記溶
液をアルカリ性水溶液の反応液中に滴下する際、滴下口
先端が反応液中に浸されていることを言う。滴下口先端
の位置は、液中にあれば特に限定されないが、撹拌羽根
の近傍などの充分に撹拌が行われる位置が望ましい。液
中滴下をせずに、例えば、反応液の上部から液上滴下し
た場合には粒子は凝集しやすくなる。一方、同時滴下す
るアルカリ性水溶液（Ｉ）の滴下は、特に液中滴下する
必要はないが、撹拌羽根近傍で液中滴下した方が撹拌が
充分に行われるので好ましい。

【００２２】また、単分散性を上げるためには、滴下速
度も製造因子となりうる。滴下速度は、できる限り遅く
した方が、単分散性は高くなる傾向にある。しかしなが
ら、滴下速度が遅い場合には、合成が終了するまでに長
時間を要するため、実用的ではない。そのため、合成初
期は滴下速度を遅くし、後半になってから滴下速度を速
めるのも本発明を実施する上で好ましい態様である。

【００２３】加水分解可能な有機金属化合物およびアル
カリ性水溶液は、それぞれ滴下を開始してから終了する
まで連続的に滴下することが必要である。なお、ここで
言う連続的とは、通常は１０分以上、好ましくは３分以
上の間隔を空けないことを言う。滴下速度は、必ずしも
一定である必要はないが、滴下速度を変える場合には連
続的に変えた方が望ましい。特開平４−７７３０９に
は、数回に分けて水を添加することが記されているが、
このような方法では、急激な水の添加によって反応液中
の雰囲気が乱され、粒子同志の凝集や、新たな核粒子の
発生などが起こるため、好ましい方法ではない。

【００２４】ところで、本発明で言う高スラリー濃度と
は、用いる有機金属化合物の種類によって変わるため一
概には言えないが、およそ次のように説明される。例え
ば、有機金属化合物にテトラエトキシシラン（Ｓｉ（Ｏ
Ｅｔ）₄）を用いた場合には、次式のように加水分解反
応が起こるので、シリカの分子量（約６０）を右辺の分
Ｓｉ（ＯＥｔ）₄＋２Ｈ₂Ｏ−−−＞ＳｉＯ₂＋４Ｅ
ｔＯＨ子量の総和（約２４４）で除した値（約２８％）が理論
的なスラリー濃度の上限値となる。実際には、溶媒等が
存在するためスラリー濃度は上記上限値の４〜８割程度
となる。有機金属化合物にテトラメトキシシランのオリ
ゴマー（例えば、コルコート（株）、品名；メチルシリ
ケート５１）を用いた場合には、理論的なスラリー濃度
の上限値は、約５０％と高いため、実際のスラリー濃度
も３０％以上と高くできる。このように、用いる有機金
属化合物の種類によってスラリー濃度の上限値は変わ
る。本発明で言う高スラリー濃度とは、一般に１０％〜
４０％の範囲にあり、少なくとも合成終了時点でこの範
囲にあるものを言う。従って、合成途中のスラリー濃度
はこの範囲を下回っても良い。加水分解を行うときの反
応槽の温度は、０〜５０℃の範囲であれば良く、用いる
加水分解可能な有機金属化合物の種類によって適宜選択
される。

【００２５】その他、加水分解に使用する反応容器、そ
の他の反応条件等は公知のものがなんら制限なく採用さ
れる。

【００２６】

【発明の効果】本発明の方法によれば、単分散性の極め
て高い金属酸化物粒子を１０％以上の高スラリー濃度で
製造することができる。このような生産性の改善によっ
て、粒子の価格が大幅に下がり、そのため、従来価格的
に応用が不可能であった用途にまで使用できるようにな
る。例えば、プラスチックやフィルムの充填材や添加
材、セラミックスの原料などの一般工業材料として用い
ることができる。

【００２７】

【実施例】以下、本発明の実施例を挙げて具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例によって何ら制限され
るものではない。

【００２８】粒子を製造するときの加水分解可能な有機
金属化合物中の金属元素と、同時に液中滴下するアルカ
リ性水溶液中の水のモル比を、ここでは単にモル比と表
記する。

【００２９】平均粒子径と標準偏差値は、電子顕微鏡撮
影像の任意の粒子１００個の粒子径を測定し、下記式よ
り求めた。

【００３０】

【数１】

【００３１】（式中、Ｘｉはｉ番目の粒子径を示し、ｎ
＝１００である。）実施例１撹拌羽根付きの内容積４リットルのガラス製反応器にメ
タノールおよびアンモニア水（２５重量％）をそれぞれ
４００ｇおよび１００ｇ仕込み、よく混合して反応液を
調製した。次に、反応液の温度を３０℃に保ちつつ、テ
トラエトキシシラン（関東化学（株）、品名；テトラエ
トキシシラン、純度；３Ｎ）を５ｇ加え、３０分間攪拌
して核粒子を生成させた。次いで、テトラエトキシシラ
ン（Ｓｉ（ＯＥｔ）４、コルコート（株）、品名；エチ
ルシリケート２８）を８．３ｇ／ｍｉｎの速度で、アン
モニア水（２５重量％）を２．７ｇ／ｍｉｎの速度で、
それぞれ別々に反応液中に液中同時滴下した。なお、こ
のときの金属に対する水の供給モル比は２．８であっ
た。滴下開始から４時間後に滴下を終了し、テトラエト
キシシランを２０００ｇ、アンモニア水を６４０ｇ滴下
した。さらに１時間撹拌を続けた後、系内の溶液を取り
出した。取り出した溶液の重量は、３１４５ｇであっ
た。また、この溶液を濾過し、２００℃で乾燥した後、
９００℃で焼成したところ、５７５ｇのシリカ粒子を得
た。したがって、このときのスラリー濃度は１８％であ
った。なお、得られたシリカ粒子は、真球状で、平均粒
子径は０．７７μｍ、標準偏差値は１．０６７であっ
た。

【００３２】実施例２メタノールの代わりにエタノールを用い、反応液の温度
を４０℃で行った以外は実施例１と同様にしてシリカ粒
子を合成した。このときの水の供給モル比は２．８であ
った。溶液の重量は、３１４０ｇ、シリカ粒子は５７５
ｇ得られた。したがって、このときのスラリー濃度は１
８％であった。なお、得られたシリカ粒子は、真球状
で、平均粒子径は２．１２μm、標準偏差値は１．０４
４であった。

【００３３】実施例３反応液の温度を１０℃に保ちつつ、テトラメトキシシラ
ンのオリゴマー（Ｓｉ（ＯＭｅ）４の２〜６量体で、平
均４量体、コルコート（株）、品名；メチルシリケート
５１）を６．３ｇ／ｍｉｎの速度で、アンモニア水（２
５重量％）を２．０ｇ／ｍｉｎの速度で滴下し、テトラ
メトキシシランのオリゴマーを１５００ｇ、アンモニア
水を４８０ｇ滴下した以外は実施例１と同様にしてシリ
カ粒子を合成した。このときの水の供給モル比は１．６
であった。溶液の重量は、２５００ｇ、シリカ粒子は７
６３ｇ得られた。したがって、このときのスラリー濃度
は、３１％であった。なお、得られたシリカ粒子は、真
球状で、平均粒子径は０．７９μm、標準偏差値は１．
０８９であった。

【００３４】実施例４撹拌羽根付きの内容積４リットルのガラス製反応器にイ
ソプロパノールおよびアンモニア水（２５重量％）をそ
れぞれ２４５ｇおよび１０５ｇ仕込み、反応液の温度を
４０℃に保持しつつ攪拌した。

【００３５】次に、３リットルの三角フラスコに、テト
ラメトキシシラン（Ｓｉ（ＯＭｅ）４、コルコート
（株）、商品名；メチルシリケート３９）９４３ｇを仕
込み、撹拌しながら、メタノール３５０ｇと０．１重量
％塩酸水溶液（３５％塩酸、和光純薬工業（株）を１／
１０００に水で希釈）４９ｇを加え、約１０分間撹拌し
た。続いて、テトラブトキシチタン（Ｔｉ（ＯＢｕ）
４、日本曹達（株）、品名；Ｂ−１（ＴＢＴ））３０８
ｇをイソプロパノール５４４ｇで希釈した液を加え、黄
色透明な均一溶液（ＳｉとＴｉの複合アルコキサイド）
を得た。

【００３６】上記複合アルコキサイド２１９２ｇを４．
６ｇ／ｍｉｎの速度で、アンモニア水（２５重量％）７
１０ｇを１．５ｇ／ｍｉｎの速度で反応液中に８時間か
けて同時滴下した。なお、このときの水の供給モル比は
４．２であった。

【００３７】溶液の重量は、３２５０ｇで、粒子４４０
ｇを得た。したがって、このときのスラリー濃度は１４
％であった。得られた粒子は球状で、平均粒子径は０．
６０μｍ、標準偏差値は１．０９２であった。

【００３８】実施例５実施例４と同様にして得た複合アルコキサイドを平均
１．１ｇ／ｍｉｎの速度で、単独に３時間滴下した。引
き続き複合アルコキサイドの滴下速度を４．５ｇ／ｍｉ
ｍに上げ、同時に、アンモニア水（２５重量％）を１．
４ｇ／ｍｉｎの速度で反応液中に同時滴下した。なお、
このときの水の供給モル比は４．０であった。約１０時
間後に滴下を終了した。

【００３９】溶液の重量は、３２５０ｇで、粒子４４０
ｇを得た。したがって、このときのスラリー濃度は１４
％であった。得られた粒子は球状で、平均粒子径は０．
６０μｍ、標準偏差値は１．０７３であった。

【００４０】比較例１同時滴下するアンモニア水（２５重量％）を０．８８ｇ
／ｍｉｎとした以外は実施例１と同様にしてシリカ粒子
を合成した。なお、このときの水の供給モル比は０．９
１であった。

【００４１】この条件では、合成途中で反応液が凝集し
始め、攪拌が困難となったので、実験を中断した。

【００４２】比較例２同時滴下するアンモニア水（２５重量％）を２．７ｇ／
ｍｉｎとした以外は実施例４と同様にして粒子を合成し
た。なお、このときの水の供給モル比は７．６であっ
た。

【００４３】取り出した溶液の重量は、３８４０ｇ、粒
子は４４０ｇ得られた。したがって、このときのスラリ
ー濃度は１２％であった。しかし、得られた粒子は、数
１０μｍから数１００μｍの大きさの凝集粒子を多く含
んでおり、独立した球状粒子も０．１から０．７μｍと
分布の広いものであった。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】アルカリ性水溶液中で加水分解可能な有
機金属化合物を加水分解して金属酸化物微粒子を１０重
量％以上の高スラリー濃度で製造する方法において、ア
ルカリ性水溶液（Ｉ）中に、遅くとも該アルカリ性水溶
液中の水が消費されて存在しなくなる時点前から、加水
分解可能な有機金属化合物とアルカリ性水溶液（ＩＩ）
とを当該有機金属化合物中の金属元素１モルに対してア
ルカリ性水溶液（ＩＩ）中の水が１〜６倍モルとなる供
給比で両者を各々独立して同時に且つ連続して滴下し、
しかも加水分解可能な有機金属化合物は液中滴下して加
水分解することを特徴とする金属酸化物微粒子の製造方
法。