JPH06251907A - サーミスタ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 抵抗値のばらつきが小さく、リード線のサー
ミスタ焼結体との電気的結合が良好で、生産性に優れ
る。また抵抗値を広範囲に正確に調整する。 【構成】 サーミスタ焼結体１１と、この焼結体１１の
内部に所定の間隔をあけて焼結体１１と一体的に設けら
れた複数の面状の内部電極１２，１２と、一部が焼結体
１１の内部に複数の内部電極にそれぞれ密着して焼結体
１１と一体的に設けられ残部が焼結体１１から突出する
内部電極と同数のリード線１３，１３と、焼結体１１の
外面に形成された絶縁コーティング層１４とを備える。
複数の内部電極１２，１２のそれぞれの電極面が同一平
面上に位置するように焼結体１１の内部に並設される。
必要により、焼結体１１の内部に複数の内部電極１２，
１２とそれぞれ間隔をあけて内部電極と電位の異なる１
又は２以上の抵抗値調整用の面状のフローティング電極
が焼結体１１と一体的に設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は温度検知用の温度センサ
又は温度補償用素子に適するサーミスタ及びその製造方
法に関する。更に詳しくはリード線を有するサーミスタ
及びその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種のリード線付きのサーミスタとし
て、ビード形サーミスタが知られている。図１０に示す
ように、このサーミスタ１は平行な２本の白金線２，２
の上にサーミスタペーストを付けて乾燥し、白金線２，
２を所定の長さに切断した後、１０００〜１３００℃で
焼成して得られる。３はサーミスタ焼結体、３ａは絶縁
コーティング層である。このビード形サーミスタはリー
ド線である白金線が焼成によりサーミスタ焼結体と一体
化するため、リード線とサーミスタ焼結体との界面の結
合が良好で安定しており、高い信頼性のあるサーミスタ
として広く用いられている。しかし、このビード形サー
ミスタでは、白金線に付けるペーストの形状や量を一定
に保つことが困難なため、また２本の白金線の間隔を一
定に保持しておくことが難しいため、得られたサーミス
タの抵抗値のばらつきが大きい不具合があった。またサ
ーミスタペーストに含まれる有機バインダの焼成時の飛
散により、焼結体に開気孔を生じてその密度が低下し易
く、これに起因してサーミスタの信頼性が低下しかつ抵
抗値のばらつきが大きくなる欠点があった。更にこの製
造方法は、その作業のほとんどを人手に頼るものである
ため、生産性が低く製造コストが高い問題点があった。

【０００３】これらの問題点を解決するために、少なく
とも２枚のサーミスタグリーンシートの間に複数の白金
線を配置した後、これらのグリーンシートを熱圧着して
白金線をグリーンシート中に埋設し、この圧着されたグ
リーンシートを所望の形状に切断した後、焼成してサー
ミスタ焼結体とするビード形サーミスタの製造方法が開
示されている（特公昭５６−２２１２１）。しかし、図
１１に示すように、このビード形サーミスタ４はリード
線である白金線５，５が上グリーンシートと下グリーン
シートの界面に位置し、かつサーミスタ焼結体６への白
金線５の接触が線接触であるため、焼成によってもサー
ミスタ焼結体６との結合が十分でなく、生産性に優れる
ものの依然として抵抗値のばらつきが大きい問題点があ
った。６ａは絶縁コーティング層である。

【０００４】この白金線とサーミスタ焼結体の結合力を
より強化するために、第１のサーミスタグリーンシート
の表面に複数の第１の内部電極を所定の間隔で形成し、
第２のサーミスタグリーンシートの表面に第１の内部電
極と同数の第２の内部電極を同様に形成し、内部電極を
形成しないブランクの第３のサーミスタグリーンシート
の上下両面に第１及び第２の内部電極をそれぞれ第３の
グリーンシートに向けて第１及び第２のグリーンシート
を配置し、第１及び第３のグリーンシートの間及び第２
及び第３のグリーンシートの間に第１及び第２の内部電
極に接するように複数のリード線をそれぞれ配置し、第
１〜第３のサーミスタグリーンシートを重ね合わせて熱
圧着した後、個々に切断し、焼成して絶縁コーティング
するサーミスタの製造方法が提案されている（特開昭５
９−１３８３０９）。図１２はこの方法により製造され
たサーミスタ７である。８，８はリード線、８ａは第１
の内部電極，８ｂは第２の内部電極、９はサーミスタ焼
結体、９ａは絶縁コーティング層である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、特開昭５９−
１３８３０９号公報に示される製造方法は、第１〜第３
のグリーンシートの重ね合わせ時に、図１２に示す第１
の内部電極８ａの電極面と第２の内部電極８ｂの電極面
が丁度向かい合うように第１及び第２のグリーンシート
を精度よく配置することが困難であり、これらの内部電
極８ａ，８ｂが精度よく配置されないと、各電極面の対
向面積が変化し所望の抵抗値が得られない不具合があっ
た。更に、この製造方法はこれらの内部電極８ａ，８ｂ
に接するリード線８，８が同一平面上にないため、製造
しにくい欠点があった。また、特公昭５６−２２１２１
号公報及び特開昭５９−１３８３０９号公報に示された
サーミスタはその抵抗値の調整が難しく、限られた範囲
の抵抗値しか得られない問題点があった。

【０００６】本発明の目的は、抵抗値のばらつきが小さ
く、リード線のサーミスタ焼結体との電気的結合が良好
で、しかも製造が容易で生産性に優れたサーミスタ及び
その製造方法を提供することにある。本発明の別の目的
は、抵抗値の広範囲に正確に調整し得るサーミスタ及び
その製造方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】図１に示すように、本発
明の第１のサーミスタ１０は、サーミスタ焼結体１１
と、このサーミスタ焼結体１１の内部に所定の間隔をあ
けてサーミスタ焼結体１１と一体的に設けられた複数の
面状の内部電極１２，１２と、一部がサーミスタ焼結体
１１の内部に複数の内部電極１２，１２にそれぞれ密着
して焼結体１１と一体的に設けられ残部が焼結体１１か
ら突出する内部電極と同数のリード線１３，１３と、サ
ーミスタ焼結体１１の外面に形成された絶縁コーティン
グ層１４とを備える。その特徴ある構成は、複数の内部
電極１２，１２のそれぞれの電極面が同一平面上に位置
するようにサーミスタ焼結体１１の内部に並設されたこ
とにある。

【０００８】図７又は図８に示すように、本発明の第２
のサーミスタ２０は、サーミスタ焼結体１１の内部に複
数の内部電極１２，１２とそれぞれ間隔をあけて内部電
極１２，１２と電位の異なる１又は２以上の抵抗値調整
用の面状のフローティング電極１５が焼結体１１と一体
的に設けられたものである。

【０００９】本発明の第１のサーミスタの製造方法は、
図２に示すように、(a) サーミスタ用酸化物粉末とバイ
ンダとを混練してこの混練物からサーミスタグリーンシ
ート２１を形成する工程と、(b) 前記(a)工程で形成さ
れた１枚又は２枚以上積層されたグリーンシート２１の
表面に複数の内部電極１２をそれぞれ間隔をあけて形成
する工程と、(c) 前記(b)工程で形成されたグリーンシ
ート表面の複数の内部電極１２のそれぞれに前記グリー
ンシート２１を横切って端部が前記グリーンシート２１
の端縁から突出するようにリード線１３を重ね合わせる
工程と、(d) 前記(c)工程でリード線１３を重ね合わせ
た内部電極１２を有するグリーンシート２１に前記内部
電極１２とリード線１３を挟込むように前記(a)工程で
形成された別のブランクの１枚又は２枚以上のサーミス
タグリーンシート２１を積層する工程と、(e) 前記(d)
工程で積層された複数枚のグリーンシート２１を所定数
の内部電極毎に切断してリード線付きの積層グリーン体
２２を得る工程と、(f) 前記(e)工程で切断された積層
グリーン体２２を焼成してサーミスタ焼結体１１（図
１）を得る工程と、(g) 前記(f)工程で得られたサーミ
スタ焼結体１１の外面に絶縁コーティング層１４（図
１）を形成する工程とを含む。

【００１０】本発明の第２のサーミスタの製造方法は、
図９に示すように、(h) サーミスタ用酸化物粉末とバイ
ンダとを混練してこの混練物からサーミスタグリーンシ
ート２１を形成する工程と、(i) 前記(h)工程で形成さ
れた１枚又は２枚以上積層されたグリーンシート２１の
表面に複数のフローティング電極１５をそれぞれ間隔を
あけて形成する工程と、(j) 前記(i)工程でフローティ
ング電極１５が形成されたグリーンシート２１に前記シ
ート２１のフローティング電極１５を挟込むように前記
(h)工程で形成された別のブランクの１枚又は２枚以上
のサーミスタグリーンシート２１を積層する工程と、
(k) 前記(j)工程で積層された複数枚のグリーンシート
２１の表面に複数の内部電極１２を前記(i)工程で形成
された複数のフローティング電極１５の間隔に相応した
間隔でそれぞれ形成する工程と、(l) 前記(k)工程で形
成されたグリーンシート表面の各内部電極１２に前記グ
リーンシート２１を横切って端部が前記グリーンシート
の端縁から突出するようにリード線１３を重ね合わせる
工程とを含む。

【００１１】更に第２の製造方法は、(m) 前記(l)工程
でリード線１３を重ね合わせた内部電極１２を有するグ
リーンシート２１に前記内部電極１２とリード線１３を
挟込むように前記(h)工程で形成された別のブランクの
１枚又は２枚以上のサーミスタグリーンシート２１を積
層する工程と、(n) 前記(m)工程で積層された複数枚の
グリーンシート２１の表面に複数のフローティング電極
１５を前記(i)工程で形成された複数のフローティング
電極１５の間隔に相応した間隔でそれぞれ形成する工程
と、(o) 前記(n)工程でフローティング電極１５が形成
されたグリーンシート２１に前記シート２１のフローテ
ィング電極１５を挟込むように前記(h)工程で形成され
た別のブランクの１枚又は２枚以上のサーミスタグリー
ンシート２１を積層する工程と、(p) 前記(o)工程で積
層された複数枚のグリーンシート２１を所定数の内部電
極毎に切断してリード線付きの積層グリーン体(23)（図
５）を得る工程と、(q) 前記(p)工程で切断された積層
グリーン体(23)を焼成してサーミスタ焼結体(11)を得る
工程と、(r) 前記(q)工程で得られたサーミスタ焼結体
(11)の外面に絶縁コーティング層(14)を形成する工程と
を含む。

【００１２】本発明の第３のサーミスタの製造方法は、
(s) 前記(m)工程で積層された複数枚のグリーンシート
２１を所定数の内部電極毎に切断してリード線付きの積
層グリーン体(23)（図６）を得る工程と、(t) 前記(s)
工程で切断された積層グリーン体(23)を焼成してサーミ
スタ焼結体(11)を得る工程と、(u) 前記(t)工程で得ら
れたサーミスタ焼結体(11)の外面に絶縁コーティング層
(14)を形成する工程とを含む。

【００１３】本発明のサーミスタを製造するときのグリ
ーンシートの積層方法は、スクリーン印刷を利用した湿
式積層法でも、ドクタブレード法によりベースフィルム
上にシート成形したものを積み重ねる乾式積層法でもよ
い。

【００１４】

【作用】サーミスタ焼結体１１の内部で複数の内部電極
１２，１２の各電極面を同一平面上に位置するようにし
たので、並んだ内部電極の互いに向かい合う端縁と端縁
の間隔の大小により抵抗値が決まる。この間隔はスクリ
ーン印刷等により精度よく決められる。またリード線１
３は面状の内部電極１２を介してサーミスタ焼結体内に
埋設されるため、リード線１３が間接的にサーミスタ焼
結体と面接触していることになり、サーミスタ焼結体と
の電気的結合は強まり、導通状態は良好になる。更に各
リード線が同一平面上に位置するため、リード付け等の
サーミスタの製造が容易になる。

【００１５】また、リード線１３とは電気的に接続され
ないフローティング電極１５をサーミスタ焼結体１１の
内部に設けることにより、この電極１５の面積に応じ
て、或いは内部電極１２とフローティング電極１５との
間の距離に応じて、サーミスタの抵抗値を調整すること
ができる。絶縁コーティング層１４はサーミスタの耐湿
性を向上させる。

【００１６】

【実施例】次に本発明の実施例を図面に基づいて詳しく
説明する。図１は第１実施例のサーミスタ１０を示す。
このサーミスタ１０は乾式積層法により製造される。先
ずマンガン、コバルト、ニッケル、鉄酸化物等のサーミ
スタ用酸化物粉末と有機バインダを混合してペースト状
にし、ドクタブレード法により成膜乾燥してサーミスタ
グリーンシートを作製する。次いでこのグリーンシート
を切断して、図２（ａ）に示すように所定の寸法のグリ
ーンシート２１を形成する。次に図２（ｂ）に示すよう
に、グリーンシート２１の表面に金、銀、白金、パラジ
ウム又はこれらの合金のような金属を含む導電性ペース
トをスクリーン印刷して長方形の内部電極１２を合計２
０個（１０個×２列）形成する。これらの内部電極はそ
れぞれ所定の間隔をあけて正確に位置決めされる。

【００１７】図２（ｃ）に示すように、このグリーンシ
ート表面の１０の内部電極１２のそれぞれに金、銀、白
金、パラジウム又はこれらの合金のような金属からなる
リード線１３をグリーンシート２１を横切って端部がグ
リーンシートの端縁から突出するように重ね合わせる。
図２（ｄ）に示すように、このグリーンシート２１に内
部電極１２とリード線１３を挟込むように、図２（ａ）
に示す別のブランクのサーミスタグリーンシート２１を
加熱圧着する。この加熱圧着で内部電極１２とリード線
１３とは電気的な導通が十分得られる。続いて図２
（ｄ）の矢印Ａ及び図３の破線に示す箇所で、このグリ
ーンシート２１を一対の内部電極１２毎に切断して、図
２（ｅ）に示すように、１０個のリード線付きの積層グ
リーン体２２を得る。このときの切断は印刷された内部
電極１２が積層グリーン体２２の端部に全く現れないよ
うに行う。図４は図３のＢ−Ｂ線断面図である。これら
の積層グリーン体２２をまとめて加熱炉に入れ、脱バイ
ンダ処理した後、１０００〜１４００℃の温度で３０分
〜３時間保持して焼成し、サーミスタ焼結体１１を得
る。最後にこの焼結体１１の外面にガラスペーストを塗
布した後、熱処理して絶縁コーティング層１４を焼付
け、図１に示すサーミスタ１０を得る。

【００１８】図７は第２実施例のサーミスタ２０を示
す。このサーミスタ２０は湿式積層法により製造され
る。先ず図９（ｈ）に示すように、サーミスタ用酸化物
粉末とバインダとを混練してこの混練物をスクリーン印
刷し乾燥してサーミスタグリーンシート２１を形成す
る。次いで図９（ｉ）に示すように、このグリーンシー
ト２１の表面に第１実施例と同じ導電性ペーストをスク
リーン印刷して長方形のフローティング電極１５を合計
１０個（５個×２列）形成する。これらのフローティン
グ電極はそれぞれ所定の間隔をあけて正確に位置決めさ
れる。図９（ｊ）に示すように、このフローティング電
極１５が形成されたグリーンシート２１にこのフローテ
ィング電極１５を挟込むように、図９（ｈ）に示す別の
ブランクのサーミスタグリーンシート２１を印刷して積
層する。図９（ｋ）に示すように、この２枚の積層グリ
ーンシート２１の表面に複数対（２×１０個）の内部電
極１２をそれぞれ間隔をあけてスクリーン印刷する。こ
の一対毎の間隔は前述した各フローティング電極１５が
一対の内部電極１２と１２の丁度中間位置に来るように
決められる。次いで図９（ｌ）に示すように、２枚の積
層グリーンシート表面の内部電極１２のそれぞれに第１
実施例と同様にグリーンシート２１を横切って端部がグ
リーンシートの端縁から突出するようにリード線１３を
重ね合わせる。

【００１９】図９（ｍ）に示すように、この２枚の積層
グリーンシート２１に内部電極１２とリード線１３を挟
込むように、図９（ｈ）に示す別のブランクのサーミス
タグリーンシート２１を印刷して積層する。続いて図９
（ｎ）に示すように、この３枚の積層グリーンシート２
１の表面に１０個のフローティング電極１５を図９
（ｉ）の１０個のフローティング電極１５の間隔と同じ
間隔でそれぞれ形成する。更に続いて図９（ｏ）に示す
ように、この３枚の積層グリーンシート２１にフローテ
ィング電極１５を挟込むように図９（ｈ）に示す別のブ
ランクのサーミスタグリーンシート２１を印刷して積層
する。続いてこの４枚の積層グリーンシート２１を図３
及び図９（ｐ）の破線に示す箇所で、一対の内部電極１
２毎に第１実施例と同様に切断して、図５に示すように
リード線付きの積層グリーン体２３を得る。この積層グ
リーン体２３の内部には一対の内部電極１２，１２の中
間位置の上下にこれらの電極１２，１２と所定の間隔を
あけて一対のフローティング電極１５，１５が形成され
る。以下、第１実施例と同様に積層グリーン体２３を脱
バインダ処理して焼成し、サーミスタ焼結体１１を得た
後、この焼結体１１の外面に熱処理して絶縁コーティン
グ層１４を焼付け、図７に示すサーミスタ２０を得る。

【００２０】図８は第３実施例のサーミスタ２０を示
す。このサーミスタの製造方法は、図９（ｍ）に示す３
枚の積層グリーンシートの状態で一対の内部電極１２毎
に第１実施例と同様に切断して、図６に示すようにリー
ド線付きの積層グリーン体２３を得る。以下、第１実施
例と同様に積層グリーン体２３を脱バインダ処理して焼
成し、サーミスタ焼結体１１を得た後、この焼結体１１
の外面に熱処理して絶縁コーティング層１４を焼付け、
図８に示すサーミスタ２０を得る。

【００２１】なお、上記例では１枚のサーミスタグリー
ンシート２１の表面に内部電極又はフローティング電極
を印刷形成したが、この場合グリーンシートは１枚に限
らず、複数枚積層したグリーンシートの表面にこれらの
電極を印刷形成してもよい。また、印刷形成した内部電
極及びフローティング電極の数は一例であって、本発明
は上記数値に限定されるものではない。また、一対の内
部電極毎にグリーンシートを切断したが、必要に応じて
３つ或いはそれ以上の内部電極を１組としてグリーンシ
ートを切断して３本又はそれ以上のリード線を有するサ
ーミスタを作ることもできる。

【００２２】更に、第１実施例のサーミスタは乾式積層
法で製造したが、このサーミスタを湿式積層法で製造し
てもよい。また第２及び第３実施例のサーミスタは湿式
積層法で製造したが、乾式積層法で製造してもよい。こ
の乾式積層法を用いる場合、例えば図２（ｄ）に示すよ
うな内部電極とリード線を挟込んだ２枚の圧着グリーン
シートの両面又は片面に、図９（ｊ）に示すようなフロ
ーティング電極を挟込んだ２枚の圧着グリーンシートを
重ね合わせて製造することができる。

【００２３】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
の優れた効果を奏する。 サーミスタ焼結体が所望サイズのグリーンシートの
積層体を焼成して得られるため、サーミスタの外観寸法
が一定となり、抵抗値のばらつきが小さくなり、しかも
大量生産が可能となる。 リード線を内部電極と一体的に焼結するため、内部
電極のない従来のサーミスタと比べて、リード線のサー
ミスタ焼結体との電気的結合が良好で抵抗値精度が高
い。 複数の内部電極を焼結体内部にそれぞれの電極面が
同一平面上に位置するように並設するようにしたので、
サーミスタの製造が容易になり、従来の対向する２つの
内部電極を有するサーミスタと比べて抵抗値のばらつき
が小さい。 サーミスタ焼結体内部にフローティング電極を内部
電極に平行に設ければ、このフローティング電極の広狭
で、又は内部電極とフローティング電極との間の距離の
大小で、サーミスタの抵抗値を調整でき、高抵抗から低
抵抗までの広い範囲の抵抗値を有することができる。 更に内部電極又はフローティング電極を焼結体内部
に設ければ、従来の卵形のビード形サーミスタと同等或
いはそれ以上の高い信頼性が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明第１実施例のサーミスタの要部破断斜視
図。

【図２】その製造を説明するためのグリーンシートから
切断した積層グリーン体の斜視図。

【図３】第１〜第３実施例の積層したグリーンシートの
切断の仕方をそれぞれ説明するための平面図。

【図４】図３の第１実施例の積層グリーン体のＢ−Ｂ線
断面図。

【図５】図３の第２実施例の積層グリーン体のＢ−Ｂ線
断面図。

【図６】図３の第３実施例の積層グリーン体のＢ−Ｂ線
断面図。

【図７】本発明第２実施例のサーミスタの要部破断斜視
図。

【図８】本発明第３実施例のサーミスタの要部破断斜視
図。

【図９】第２実施例のサーミスタの製造を説明するため
のグリーンシートの積層の仕方を示す斜視図。

【図１０】従来の卵型のビード形サーミスタの断面図。

【図１１】従来の内部電極なしのビード形サーミスタの
要部破断斜視図。

【図１２】従来の内部電極付きのビード形サーミスタの
要部破断斜視図。

【符号の説明】

１０，２０ サーミスタ １１ サーミスタ焼結体 １２ 内部電極 １３ リード線 １４ 絶縁コーティング層 １５ フローティング電極 ２１ サーミスタグリーンシート ２２，２３ 積層グリーン体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中島 弘明 埼玉県秩父郡横瀬町大字横瀬2270番地 三 菱マテリアル株式会社セラミックス研究所 内 (72)発明者 西村 圭介 埼玉県秩父郡横瀬町大字横瀬2270番地 三 菱マテリアル株式会社セラミックス研究所 内 (72)発明者 越村 正己 埼玉県秩父郡横瀬町大字横瀬2270番地 三 菱マテリアル株式会社セラミックス研究所 内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 サーミスタ焼結体(11)と、前記サーミス
   タ焼結体(11)の内部に所定の間隔をあけて前記焼結体(1
   1)と一体的に設けられた複数の面状の内部電極(12,12)
   と、一部が前記サーミスタ焼結体(11)の内部に前記複数
   の内部電極(12,12)にそれぞれ密着して前記焼結体(11)
   と一体的に設けられ残部が前記焼結体(11)から突出する
   前記内部電極と同数のリード線(13,13)と、前記サーミ
   スタ焼結体(11)の外面に形成された絶縁コーティング層
   (14)とを備えたサーミスタ(10)において、 前記複数の内部電極(12,12)はそれぞれの電極面が同一
   平面上に位置するように前記サーミスタ焼結体(11)の内
   部に並設されたことを特徴とするサーミスタ。
2. 【請求項２】 複数の内部電極(12,12)はサーミスタ焼
   結体(11)に被包されて前記サーミスタ焼結体(11)の外面
   に露出しないように設けられた請求項１記載のサーミス
   タ。
3. 【請求項３】 サーミスタ焼結体(11)の内部に複数の内
   部電極(12,12)とそれぞれ間隔をあけて前記内部電極と
   電位の異なる１又は２以上の抵抗値調整用の面状のフロ
   ーティング電極(15)が前記焼結体と一体的に設けられた
   請求項１又は２記載のサーミスタ。
4. 【請求項４】 フローティング電極(15)の電極面が複数
   の内部電極(12,12)の電極面に平行に設けられた請求項
   ３記載のサーミスタ。
5. 【請求項５】 フローティング電極(15)はサーミスタ焼
   結体(11)に被包されて前記サーミスタ焼結体(11)の外面
   に露出しないように設けられた請求項３記載のサーミス
   タ。
6. 【請求項６】 (a) サーミスタ用酸化物粉末とバインダ
   とを混練してこの混練物からサーミスタグリーンシート
   (21)を形成する工程と、 (b) 前記(a)工程で形成された１枚又は２枚以上積層さ
   れたグリーンシート(21)の表面に複数の内部電極(12)を
   それぞれ間隔をあけて形成する工程と、 (c) 前記(b)工程で形成されたグリーンシート表面の各
   内部電極(12)に前記グリーンシート(21)を横切って端部
   が前記グリーンシートの端縁から突出するようにリード
   線(13)を重ね合わせる工程と、 (d) 前記(c)工程でリード線(13)を重ね合わせた内部電
   極(12)を有するグリーンシート(21)に前記内部電極(12)
   とリード線(13)を挟込むように前記(a)工程で形成され
   た別のブランクの１枚又は２枚以上のサーミスタグリー
   ンシート(21)を積層する工程と、 (e) 前記(d)工程で積層された複数枚のグリーンシート
   (21)を所定数の内部電極毎に切断してリード線付きの積
   層グリーン体(22)を得る工程と、 (f) 前記(e)工程で切断された積層グリーン体(22)を焼
   成してサーミスタ焼結体(11)を得る工程と、 (g) 前記(f)工程で得られたサーミスタ焼結体(11)の外
   面に絶縁コーティング層(14)を形成する工程とを含むサ
   ーミスタの製造方法。
7. 【請求項７】 (h) サーミスタ用酸化物粉末とバインダ
   とを混練してこの混練物からサーミスタグリーンシート
   (21)を形成する工程と、 (i) 前記(h)工程で形成された１枚又は２枚以上積層さ
   れたグリーンシート(21)の表面に複数のフローティング
   電極(15)をそれぞれ間隔をあけて形成する工程と、 (j) 前記(i)工程でフローティング電極(15)が形成され
   たグリーンシート(21)に前記シート(21)のフローティン
   グ電極(15)を挟込むように前記(h)工程で形成された別
   のブランクの１枚又は２枚以上のサーミスタグリーンシ
   ート(21)を積層する工程と、 (k) 前記(j)工程で積層された複数枚のグリーンシート
   (21)の表面に複数の内部電極(12)を前記(i)工程で形成
   された複数のフローティング電極(15)の間隔に相応した
   間隔でそれぞれ形成する工程と、 (l) 前記(k)工程で形成されたグリーンシート表面の各
   内部電極(12)に前記グリーンシート(21)を横切って端部
   が前記グリーンシートの端縁から突出するようにリード
   線(13)を重ね合わせる工程と、 (m) 前記(l)工程でリード線(13)を重ね合わせた内部電
   極(12)を有するグリーンシート(21)に前記内部電極(12)
   とリード線(13)を挟込むように前記(h)工程で形成され
   た別のブランクの１枚又は２枚以上のサーミスタグリー
   ンシート(21)を積層する工程と、 (n) 前記(m)工程で積層された複数枚のグリーンシート
   (21)の表面に複数のフローティング電極(15)を前記(i)
   工程で形成された複数のフローティング電極(15)の間隔
   に相応した間隔でそれぞれ形成する工程と、 (o) 前記(n)工程でフローティング電極(15)が形成され
   たグリーンシート(21)に前記シート(21)のフローティン
   グ電極(15)を挟込むように前記(h)工程で形成された別
   のブランクの１枚又は２枚以上のサーミスタグリーンシ
   ート(21)を積層する工程と、 (p) 前記(o)工程で積層された複数枚のグリーンシート
   (21)を所定数の内部電極毎に切断してリード線付きの積
   層グリーン体(23)を得る工程と、 (q) 前記(p)工程で切断された積層グリーン体(23)を焼
   成してサーミスタ焼結体(11)を得る工程と、 (r) 前記(q)工程で得られたサーミスタ焼結体(11)の外
   面に絶縁コーティング層(14)を形成する工程とを含むサ
   ーミスタの製造方法。
8. 【請求項８】 (s) 前記(m)工程で積層された複数枚の
   グリーンシート(21)を所定数の内部電極毎に切断してリ
   ード線付きの積層グリーン体(23)を得る工程と、 (t) 前記(s)工程で切断された積層グリーン体(23)を焼
   成してサーミスタ焼結体(11)を得る工程と、 (u) 前記(t)工程で得られたサーミスタ焼結体(11)の外
   面に絶縁コーティング層(14)を形成する工程とを含む請
   求項７記載のサーミスタの製造方法。