JPH06251673A - マイクロアクチュエータおよびそれを応用したマイクロリレー - Google Patents
マイクロアクチュエータおよびそれを応用したマイクロリレーInfo
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- JPH06251673A JPH06251673A JP3676793A JP3676793A JPH06251673A JP H06251673 A JPH06251673 A JP H06251673A JP 3676793 A JP3676793 A JP 3676793A JP 3676793 A JP3676793 A JP 3676793A JP H06251673 A JPH06251673 A JP H06251673A
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- fin
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H61/00—Electrothermal relays
- H01H2061/006—Micromechanical thermal relay
Landscapes
- Thermally Actuated Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 組立プロセスが不要で、素子の小型化および
多極化が可能なマイクロアクチュエータを得ることを最
も主要な特徴とする。 【構成】 互いに平行な一方側面と他方側面とを有する
複数個のフィン１２０を備える。複数個のフィン１２０
が水平面内で互いに平行に並ぶように、それらの一端を
支持する支持体１００がフィン１２０と一体的に形成さ
れている。少なくとも１個のフィンの一方側面に金属体
１３０が設けられる。金属体１３０をジュール熱により
加熱することにより、少なくとも１個のフィン１２０を
水平方向に運動させることができるようにしている。
多極化が可能なマイクロアクチュエータを得ることを最
も主要な特徴とする。 【構成】 互いに平行な一方側面と他方側面とを有する
複数個のフィン１２０を備える。複数個のフィン１２０
が水平面内で互いに平行に並ぶように、それらの一端を
支持する支持体１００がフィン１２０と一体的に形成さ
れている。少なくとも１個のフィンの一方側面に金属体
１３０が設けられる。金属体１３０をジュール熱により
加熱することにより、少なくとも１個のフィン１２０を
水平方向に運動させることができるようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、一般にマイクロアク
チュエータおよびマイクロリレーに関するものであり、
より特定的には、組立プロセスが不要で素子の小型化お
よび多極化が可能な、マイクロアクチュエータおよびマ
イクロリレーに関する。
チュエータおよびマイクロリレーに関するものであり、
より特定的には、組立プロセスが不要で素子の小型化お
よび多極化が可能な、マイクロアクチュエータおよびマ
イクロリレーに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のマイクロアクチュエータの１つで
あるマイクロリレーの一例を、図１２と図１３を参照し
て説明する。
あるマイクロリレーの一例を、図１２と図１３を参照し
て説明する。
【０００３】図１２に示す従来のマイクロリレーは、２
組（合計４つ）の固定接点５１０ａ，５１０ｂ，５１０
ｃ，５１０ｄが設けられた基板５００と、上記固定接点
５１０ａ，５１０ｂ，５１０ｃ，５１０ｄに対応する２
つの可動接点６２１Ｌ，６２１Ｒが設けられた可動部６
００とを有する。基板５００は、その表面および裏面
に、それぞれ２つの溝５２０Ｌ，５２０Ｒが形成されて
いる。図１３を参照して、溝５２０Ｌ，５２０Ｒに被覆
導線５４０が巻回され、これによって、磁力発生素子と
なる電磁コイル５５０Ｌ，５５０Ｒが構成される。
組（合計４つ）の固定接点５１０ａ，５１０ｂ，５１０
ｃ，５１０ｄが設けられた基板５００と、上記固定接点
５１０ａ，５１０ｂ，５１０ｃ，５１０ｄに対応する２
つの可動接点６２１Ｌ，６２１Ｒが設けられた可動部６
００とを有する。基板５００は、その表面および裏面
に、それぞれ２つの溝５２０Ｌ，５２０Ｒが形成されて
いる。図１３を参照して、溝５２０Ｌ，５２０Ｒに被覆
導線５４０が巻回され、これによって、磁力発生素子と
なる電磁コイル５５０Ｌ，５５０Ｒが構成される。
【０００４】一方、可動部６００には、枠部６１０に連
結部６３０を介して、可動体６２０が連結されている。
可動体６２０には、可動接点６２１Ｌ，６２１Ｒの他
に、磁性体部６２２Ｌ，６２２Ｒが設けられている。可
動体６２０は、２つの電磁コイル５５０Ｌ，５５０Ｒの
うち一方が励磁されると、連結部６３０を中心として、
あたかもシーソのように変位して、可動接点６２１Ｌ，
６２１Ｒの一方を固定接点に接触させる。これによっ
て、固定接点の間が導通する。
結部６３０を介して、可動体６２０が連結されている。
可動体６２０には、可動接点６２１Ｌ，６２１Ｒの他
に、磁性体部６２２Ｌ，６２２Ｒが設けられている。可
動体６２０は、２つの電磁コイル５５０Ｌ，５５０Ｒの
うち一方が励磁されると、連結部６３０を中心として、
あたかもシーソのように変位して、可動接点６２１Ｌ，
６２１Ｒの一方を固定接点に接触させる。これによっ
て、固定接点の間が導通する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のマイクロリレー
および電磁力を駆動源にしたマイクロアクチュエータ
は、上述のように構成されており、次のような問題点が
あった。すなわち、図１３を参照して、電磁コイル５５
０Ｌ，５５０Ｒを作製するための巻線プロセス、および
可動部と基板の組立プロセスが必要であった。また、接
点の多極化、および集積化が困難であるため、素子の小
型化が容易でなかった。
および電磁力を駆動源にしたマイクロアクチュエータ
は、上述のように構成されており、次のような問題点が
あった。すなわち、図１３を参照して、電磁コイル５５
０Ｌ，５５０Ｒを作製するための巻線プロセス、および
可動部と基板の組立プロセスが必要であった。また、接
点の多極化、および集積化が困難であるため、素子の小
型化が容易でなかった。
【０００６】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、組立プロセスが不要で、素子の
小型化および多極化が可能な、マイクロアクチュエータ
およびマイクロリレーを提供することを目的とする。
ためになされたもので、組立プロセスが不要で、素子の
小型化および多極化が可能な、マイクロアクチュエータ
およびマイクロリレーを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に従うマイクロ
アクチュエータは、互いに実質的に平行な一方側面と他
方側面とを有する複数個のフィンを備える。上記複数個
のフィンが水平面内で互いに平行に並ぶように、それら
の一端を支持する支持体が、上記複数個のフィンと一体
的に形成されている。少なくとも１個の上記フィンの一
方側面には、金属体が設けられている。当該マイクロア
クチュエータは、上記金属体をジュール熱により加熱す
ることによって、上記少なくとも１個のフィンを水平方
向に運動させることができるようにされている。
アクチュエータは、互いに実質的に平行な一方側面と他
方側面とを有する複数個のフィンを備える。上記複数個
のフィンが水平面内で互いに平行に並ぶように、それら
の一端を支持する支持体が、上記複数個のフィンと一体
的に形成されている。少なくとも１個の上記フィンの一
方側面には、金属体が設けられている。当該マイクロア
クチュエータは、上記金属体をジュール熱により加熱す
ることによって、上記少なくとも１個のフィンを水平方
向に運動させることができるようにされている。
【０００８】この発明の他の局面に従うマイクロリレー
は、互いに実質的に平行な一方側面と他方側面とを有す
る複数個のフィンを備える。上記複数個のフィンが水平
面内で互いに平行に並ぶように、それらの一端を支持す
る支持体が、上記複数個のフィンと一体的に形成されて
いる。少なくとも１個の上記フィンの一方側面には、金
属体が設けられている。上記少なくとも１個のフィンの
他方側面には、電界開閉用の可動側接点が設けられてい
る。上記少なくとも１個のフィンの上記他方側面に対向
する、隣接のフィンの一方側面に、固定側接点が設けら
れている。当該マイクロリレーは、上記金属体をジュー
ル熱により加熱することによって、上記少なくとも１個
のフィンを水平方向に運動させ、上記可動側接点と上記
固定側接点とを接触させることができるようにされてい
る。
は、互いに実質的に平行な一方側面と他方側面とを有す
る複数個のフィンを備える。上記複数個のフィンが水平
面内で互いに平行に並ぶように、それらの一端を支持す
る支持体が、上記複数個のフィンと一体的に形成されて
いる。少なくとも１個の上記フィンの一方側面には、金
属体が設けられている。上記少なくとも１個のフィンの
他方側面には、電界開閉用の可動側接点が設けられてい
る。上記少なくとも１個のフィンの上記他方側面に対向
する、隣接のフィンの一方側面に、固定側接点が設けら
れている。当該マイクロリレーは、上記金属体をジュー
ル熱により加熱することによって、上記少なくとも１個
のフィンを水平方向に運動させ、上記可動側接点と上記
固定側接点とを接触させることができるようにされてい
る。
【０００９】この発明の好ましい実施態様によれば、上
記フィンと支持体は、面方位（１１０）のシリコン基板
を深溝加工することによって形成される。
記フィンと支持体は、面方位（１１０）のシリコン基板
を深溝加工することによって形成される。
【００１０】
【作用】本発明に係るマイクロアクチュエータによれ
ば、フィンと、該フィンの一方側面に形成された金属体
とでバイメタルを構成し、このバイメタルをジュール熱
により運動させ、それによって電気エネルギーを機械的
運動に変換する。
ば、フィンと、該フィンの一方側面に形成された金属体
とでバイメタルを構成し、このバイメタルをジュール熱
により運動させ、それによって電気エネルギーを機械的
運動に変換する。
【００１１】
【実施例】図１は、本発明の第１の実施例に係るマイク
ロアクチュエータの斜視図である。マイクロアクチュエ
ータは、互いに実質的に平行な一方側面と他方側面とを
有する複数個の、シリコンからなるフィン１２０を備え
る。複数個のフィン１２０が水平面内で互いに実質的に
平行に並ぶように、それらの一端を支持する、シリコン
からなる支持体１００が、フィン１２０と一体的に形成
されている。このような支持体１００とフィン１２０
は、面方位（１１０）のシリコン基板を異方性エッチン
グにより、深溝加工することによって形成される。フィ
ン１２０の一方側面には、金属体（たとえばＺｎ）１３
０が電解法により電鋳されて設けられている。フィン１
２０と金属体１３０とから、バイメタル１１０が構成さ
れる。金属体１３０の上面には駆動電極１４０が設けら
れ、裏面には、駆動電極１５０が設けられている。
ロアクチュエータの斜視図である。マイクロアクチュエ
ータは、互いに実質的に平行な一方側面と他方側面とを
有する複数個の、シリコンからなるフィン１２０を備え
る。複数個のフィン１２０が水平面内で互いに実質的に
平行に並ぶように、それらの一端を支持する、シリコン
からなる支持体１００が、フィン１２０と一体的に形成
されている。このような支持体１００とフィン１２０
は、面方位（１１０）のシリコン基板を異方性エッチン
グにより、深溝加工することによって形成される。フィ
ン１２０の一方側面には、金属体（たとえばＺｎ）１３
０が電解法により電鋳されて設けられている。フィン１
２０と金属体１３０とから、バイメタル１１０が構成さ
れる。金属体１３０の上面には駆動電極１４０が設けら
れ、裏面には、駆動電極１５０が設けられている。
【００１２】次に動作について説明する。駆動電極１４
０と駆動電極１５０間に電流を流すと、抵抗加熱による
ジュール熱が発生し、バイメタル１１０は加熱される。
このとき、シリコンからなるフィン１２０の線膨張係数
（λSi）と金属体（Ｚｎ）１３０の線膨張係数（λZn）
は異なり、λSi＜λZnであるので、バイメタル１１０は
矢印Ａ方向に運動する。アクチュエータの駆動力と変位
は、計算により求められる。たとえばバイメタル１１０
の、長さＬ＝１ｍｍ、高さＨ＝０．１ｍｍ、幅Ｗ＝０．
１ｍｍ、温度上昇Ｔ＝１００ｄｅｇとした場合、駆動力
Ｆ＝１．４ｇ（変位＝０の場合）、変位Ｄ＝１５μｍが
得られる。
０と駆動電極１５０間に電流を流すと、抵抗加熱による
ジュール熱が発生し、バイメタル１１０は加熱される。
このとき、シリコンからなるフィン１２０の線膨張係数
（λSi）と金属体（Ｚｎ）１３０の線膨張係数（λZn）
は異なり、λSi＜λZnであるので、バイメタル１１０は
矢印Ａ方向に運動する。アクチュエータの駆動力と変位
は、計算により求められる。たとえばバイメタル１１０
の、長さＬ＝１ｍｍ、高さＨ＝０．１ｍｍ、幅Ｗ＝０．
１ｍｍ、温度上昇Ｔ＝１００ｄｅｇとした場合、駆動力
Ｆ＝１．４ｇ（変位＝０の場合）、変位Ｄ＝１５μｍが
得られる。
【００１３】図２は、上述したマイクロアクチュエータ
の動作に着目して、これを応用して作ったマイクロリレ
ーの斜視図である。実施例に係るマイクロリレーは、互
いに平行な一方側面と他方側面とを有する複数個のフィ
ン１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄを備える。
複数個のフィン１２０が水平面内で互いに平行に並ぶよ
うに、それらの一端を支持するシリコンからなる支持体
１００が、複数個のフィン１２０ａ，１２０ｂ，１２０
ｃ，１２０ｄと一体的に形成されている。フィン１２０
ｂとフィン１２０ｄの一方側面には、金属体１３０が設
けられ、それぞれ、バイメタル１１０ａとバイメタル１
１０ｂを構成している。フィン１２０ａの一方側面に
は、Ａｕからなる固定接点３８０が設けられている。フ
ィン１２０ｃの一方側面にも同様に固定接点３８０が設
けられている。フィン１２０ｂの他方側面には、Ａｕか
らなる可動接点３９０が形成され、フィン１２０ｄの他
方側面にも、可動接点３９０が形成されている。固定接
点３８０の上には、固定接点用電極３６１が形成されて
いる。金属体１３０の上面には駆動電極１４０が設けら
れ、裏面には駆動電極１５０が形成されている。可動接
点３９０の上には、可動接点用電極３６２が接続されて
いる。駆動電極１４０と駆動電極１５０の間に電流を流
すと、抵抗加熱によるジュール熱が発生し、バイメタル
１１０ａ，１１０ｂは矢印Ａ方向に運動し、これによっ
て、可動接点３９０と固定接点３８０が接触する。固定
接点３８０と可動接点３９０の非接触または接触によ
り、電流の開閉が行なわれる。
の動作に着目して、これを応用して作ったマイクロリレ
ーの斜視図である。実施例に係るマイクロリレーは、互
いに平行な一方側面と他方側面とを有する複数個のフィ
ン１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄを備える。
複数個のフィン１２０が水平面内で互いに平行に並ぶよ
うに、それらの一端を支持するシリコンからなる支持体
１００が、複数個のフィン１２０ａ，１２０ｂ，１２０
ｃ，１２０ｄと一体的に形成されている。フィン１２０
ｂとフィン１２０ｄの一方側面には、金属体１３０が設
けられ、それぞれ、バイメタル１１０ａとバイメタル１
１０ｂを構成している。フィン１２０ａの一方側面に
は、Ａｕからなる固定接点３８０が設けられている。フ
ィン１２０ｃの一方側面にも同様に固定接点３８０が設
けられている。フィン１２０ｂの他方側面には、Ａｕか
らなる可動接点３９０が形成され、フィン１２０ｄの他
方側面にも、可動接点３９０が形成されている。固定接
点３８０の上には、固定接点用電極３６１が形成されて
いる。金属体１３０の上面には駆動電極１４０が設けら
れ、裏面には駆動電極１５０が形成されている。可動接
点３９０の上には、可動接点用電極３６２が接続されて
いる。駆動電極１４０と駆動電極１５０の間に電流を流
すと、抵抗加熱によるジュール熱が発生し、バイメタル
１１０ａ，１１０ｂは矢印Ａ方向に運動し、これによっ
て、可動接点３９０と固定接点３８０が接触する。固定
接点３８０と可動接点３９０の非接触または接触によ
り、電流の開閉が行なわれる。
【００１４】マイクロリレーをこのような構成にする
と、フィンを複数個設けるというだけで、組立プロセス
が不要で、装置の小型化および多極化が可能となる。
と、フィンを複数個設けるというだけで、組立プロセス
が不要で、装置の小型化および多極化が可能となる。
【００１５】図３〜図８は、図２に示すマイクロリレー
の製造工程を、斜視図で示したものである。
の製造工程を、斜視図で示したものである。
【００１６】図３を参照して、面方位（１１０）のシリ
コン基板３００の表裏両面に、熱酸化膜３１０を形成す
る。その後、表裏両面にフォトレジストを塗布し（図示
せず）、このフォトレジストを形成すべきシリコンのフ
ィン形状にパターニングする（図示せず）。パターニン
グされたフォトレジストをマスクに用いて、ＣＨＦ3に
より、熱酸化膜３１０のエッチングを図のように行な
う。
コン基板３００の表裏両面に、熱酸化膜３１０を形成す
る。その後、表裏両面にフォトレジストを塗布し（図示
せず）、このフォトレジストを形成すべきシリコンのフ
ィン形状にパターニングする（図示せず）。パターニン
グされたフォトレジストをマスクに用いて、ＣＨＦ3に
より、熱酸化膜３１０のエッチングを図のように行な
う。
【００１７】図３と図４を参照して、シリコン基板３０
０を水酸化カリウム溶液に浸すと、熱酸化膜３１０のな
い部分がエッチングされることによって、シリコンのフ
ィン１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄが形成さ
れる。
０を水酸化カリウム溶液に浸すと、熱酸化膜３１０のな
い部分がエッチングされることによって、シリコンのフ
ィン１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄが形成さ
れる。
【００１８】図５を参照して、シリコン基板３００の表
裏両面に、熱酸化膜３３０を再び形成する。
裏両面に、熱酸化膜３３０を再び形成する。
【００１９】図６を参照して、可動接点の下地膜（たと
えばＡｕまたはＮｉ）３４０を真空蒸着法により、正面
やや斜め上方向（矢印Ｂ方向）から、フィン１２０ａ，
１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄの側面および上面に成膜
する。このとき、隣のフィンをマスクに利用して、成膜
するようにする。
えばＡｕまたはＮｉ）３４０を真空蒸着法により、正面
やや斜め上方向（矢印Ｂ方向）から、フィン１２０ａ，
１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄの側面および上面に成膜
する。このとき、隣のフィンをマスクに利用して、成膜
するようにする。
【００２０】同様に、図７を参照して、バイメタルの金
属および固定接点を電鋳するためのめっきの下地膜（た
とえばＮｉ）３５０を、真空蒸着法により正面やや斜め
下方向（矢印Ｃ方向）からフィン１２０ａ，１２０ｂ，
１２０ｃ，１２０ｄの側面および下面に成膜する。この
とき、隣のフィンをマスクにすれば便利である。
属および固定接点を電鋳するためのめっきの下地膜（た
とえばＮｉ）３５０を、真空蒸着法により正面やや斜め
下方向（矢印Ｃ方向）からフィン１２０ａ，１２０ｂ，
１２０ｃ，１２０ｄの側面および下面に成膜する。この
とき、隣のフィンをマスクにすれば便利である。
【００２１】図８を参照して、シリコン基板３００の表
面にフォトレジストを塗布し（図示せず）、これを形成
すべき電極形状にパターニングする。その後、イオンミ
リングにて、上記蒸着膜を、パターニングされたフォト
レジストをマスクにしてエッチングし、固定接点用電極
３６１、可動接点用電極３６２、およびバイメタルの駆
動用電極３６３を形成する。
面にフォトレジストを塗布し（図示せず）、これを形成
すべき電極形状にパターニングする。その後、イオンミ
リングにて、上記蒸着膜を、パターニングされたフォト
レジストをマスクにしてエッチングし、固定接点用電極
３６１、可動接点用電極３６２、およびバイメタルの駆
動用電極３６３を形成する。
【００２２】図９を参照して、バイメタルの金属用電極
３６３，３６４を用いて、電気めっき法により、金属体
１３０を形成し、バイメタル１１０を形成する。これに
よって、バイメタル式アクチュエータが完成する。な
お、金属体１３０としては、シリコンより線膨張係数が
大きい金属がバイメタルの性能上有利であり、電解めっ
きにはたとえばスルファミン酸Ｎｉ浴によるＮｉめっ
き、あるいは硫酸Ｚｎ浴によるＺｎめっきを用いること
ができる。
３６３，３６４を用いて、電気めっき法により、金属体
１３０を形成し、バイメタル１１０を形成する。これに
よって、バイメタル式アクチュエータが完成する。な
お、金属体１３０としては、シリコンより線膨張係数が
大きい金属がバイメタルの性能上有利であり、電解めっ
きにはたとえばスルファミン酸Ｎｉ浴によるＮｉめっ
き、あるいは硫酸Ｚｎ浴によるＺｎめっきを用いること
ができる。
【００２３】図１０を参照して、固定接点用電極３６１
と可動接点用電極３６２を用いて、Ａｕの電解めっき法
により、固定接点３８０と可動接点３９０を形成する。
これで、バイメタル式マイクロリレーが完成する。な
お、Ａｕの電解めっきには、シアン浴、あるいはクエン
酸浴を好ましく用いることができる。
と可動接点用電極３６２を用いて、Ａｕの電解めっき法
により、固定接点３８０と可動接点３９０を形成する。
これで、バイメタル式マイクロリレーが完成する。な
お、Ａｕの電解めっきには、シアン浴、あるいはクエン
酸浴を好ましく用いることができる。
【００２４】図１１は、この発明のさらに他の実施例に
係るマイクロリレーの斜視図である。図２に示す実施例
と異なる点は、フィンの長さを変えた点である。このよ
うな構成にしても、図２に示す実施例と同様の効果を奏
する。なお、図１１において図２に示す部材と同一また
は相当する部分には、同一の参照番号が付されている。
係るマイクロリレーの斜視図である。図２に示す実施例
と異なる点は、フィンの長さを変えた点である。このよ
うな構成にしても、図２に示す実施例と同様の効果を奏
する。なお、図１１において図２に示す部材と同一また
は相当する部分には、同一の参照番号が付されている。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明に係るマイ
クロアクチュエータは、多数のシリコンのフィンの側面
に電解法により金属を電鋳し、バイメタルを作製し、該
バイメタルをジュール熱により加熱することにより、フ
ィンを水平方向に運動させることができるように構成し
たので、組立プロセスが不要で、素子の小型化および多
極化が可能となる。
クロアクチュエータは、多数のシリコンのフィンの側面
に電解法により金属を電鋳し、バイメタルを作製し、該
バイメタルをジュール熱により加熱することにより、フ
ィンを水平方向に運動させることができるように構成し
たので、組立プロセスが不要で、素子の小型化および多
極化が可能となる。
【００２６】また、上述のマイクロアクチュエータに、
電流開閉用の固定接点および可動接点を設けると、組立
プロセスが不要で、素子の小型化および多極化が可能
な、マイクロリレーとなる。
電流開閉用の固定接点および可動接点を設けると、組立
プロセスが不要で、素子の小型化および多極化が可能
な、マイクロリレーとなる。
【図１】本発明の一実施例に係るマイクロアクチュエー
タの概略的斜視図である。
タの概略的斜視図である。
【図２】本発明の他の実施例に係るマイクロリレーの概
略的斜視図である。
略的斜視図である。
【図３】図２に示すマイクロリレーの製造方法の第１の
工程図である。
工程図である。
【図４】図２に示すマイクロリレーの製造方法の第２の
工程図である。
工程図である。
【図５】図２に示すマイクロリレーの製造方法の第３の
工程図である。
工程図である。
【図６】図２に示すマイクロリレーの製造方法の第４の
工程図である。
工程図である。
【図７】図２に示すマイクロリレーの製造方法の第５の
工程図である。
工程図である。
【図８】図２に示すマイクロリレーの製造方法の第６の
工程図である。
工程図である。
【図９】図２に示すマイクロリレーの製造方法の第７の
工程図である。
工程図である。
【図１０】図２に示すマイクロリレーの製造方法の第８
の工程図である。
の工程図である。
【図１１】この発明のさらに他の実施例に係るマイクロ
リレーの概略的斜視図である。
リレーの概略的斜視図である。
【図１２】従来の電磁式マイクロリレーの概略的斜視図
である。
である。
【図１３】図１２におけるＣ−Ｃ線に沿う断面図であ
る。
る。
１００ 支持体 １１０ バイメタル １２０ フィン １３０ 金属体 １４０ 駆動電極 １５０ 駆動電極 ３８０ 固定接点 ３９０ 可動接点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 賢司 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 山下 善二郎 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 互いに実質的に平行な一方側面と他方側
面とを有する複数個のフィンと、 前記複数個のフィンと一体的に形成され、該複数個のフ
ィンが水平面内で互いに実質的に平行に並ぶように、そ
れらの一端を支持する支持体と、 少なくとも１個の前記フィンの一方側面に設けられた金
属体と、を備え、 前記金属体をジュール熱により加熱することにより、前
記少なくとも１個のフィンを水平方向に運動させること
ができるようにした、マイクロアクチュエータ。 - 【請求項２】 互いに実質的に平行な一方側面と他方側
面とを有する複数個のフィンと、 前記複数個のフィンと一体的に形成され、該複数個のフ
ィンが水平面内で互いに実質的に平行に並ぶように、そ
れらの一端を支持する支持体と、 少なくとも１個の前記フィンの一方側面に設けられた金
属体と、 前記少なくとも１個のフィンの他方側面に設けられた電
流開閉用の可動側接点と、 前記少なくとも１個のフィンの前記他方側面に対向す
る、隣接のフィンの一方側面に設けられた固定側接点
と、を備え、 前記金属体をジュール熱により加熱することによって、
前記少なくとも１個のフィンを水平方向に運動させ、前
記可動側接点と前記固定側接点とを接触させることがで
きるようにした、マイクロリレー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3676793A JPH06251673A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | マイクロアクチュエータおよびそれを応用したマイクロリレー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3676793A JPH06251673A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | マイクロアクチュエータおよびそれを応用したマイクロリレー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06251673A true JPH06251673A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=12478916
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3676793A Withdrawn JPH06251673A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | マイクロアクチュエータおよびそれを応用したマイクロリレー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06251673A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6407482B2 (en) * | 1996-08-27 | 2002-06-18 | Omron Corporation | Micro-relay and method for manufacturing the same |
-
1993
- 1993-02-25 JP JP3676793A patent/JPH06251673A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6407482B2 (en) * | 1996-08-27 | 2002-06-18 | Omron Corporation | Micro-relay and method for manufacturing the same |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000509 |