JPH06251618A - 同時焼成用メタライズペースト - Google Patents

同時焼成用メタライズペースト

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Publication number
JPH06251618A
JPH06251618A JP3340593A JP3340593A JPH06251618A JP H06251618 A JPH06251618 A JP H06251618A JP 3340593 A JP3340593 A JP 3340593A JP 3340593 A JP3340593 A JP 3340593A JP H06251618 A JPH06251618 A JP H06251618A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
binder
solvent
screen printing
ethyl cellulose
baking
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP3340593A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahiro Shirai
正宏 白井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NGK Insulators Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by NGK Insulators Ltd filed Critical NGK Insulators Ltd
Priority to JP3340593A priority Critical patent/JPH06251618A/ja
Publication of JPH06251618A publication Critical patent/JPH06251618A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 シート抵抗が良好でしかもスクリーン印刷時
の印刷性も良好な同時焼成用メタライズペーストを提供
する。 【構成】 導電性粉末と、エチルセルロースとアクリル
との混合物からなり、エチルセルロース/アクリルの配
合比が1/4〜4/1である結合剤と、溶剤とからメタ
ライズペーストを構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、グリーンシートに塗布
して当該グリーンシートと同時に焼成される同時焼成用
メタライズペーストに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、セラミックグリーンシート上に導
電性のメタライズペーストをスクリーン印刷した後同時
焼成して得られた基板が、高密度配線化、多層による小
型化、高信頼化等が要求されるデバイス用基板に利用さ
れている。そして、一般的に使用されている同時焼成用
の導電性のメタライズペーストは、タングステン、モリ
ブデン等の金属粉末と、エチルセルロースからなる結合
剤と、ジエチレングリコール等の溶剤とから構成されて
いる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た構成の同時焼成用のメタライズペーストでは、結合剤
としてエチルセルロースを使用しているが、エチルセル
ロースだけでは配線パターン等を形成するためのスクリ
ーン印刷において塗布厚が30μm 程度しか得ることが
できず、その結果シート抵抗が10mΩ/□以上と高く
なる問題が発生していた。
【0004】この問題を解決するために、本出願人は特
開平2−228375号公報において、タングステンお
よび/またはモリブデンを主成分とする金属成分と、少
なくともアクリル樹脂を含有する結合剤と、溶剤と、可
塑剤とからなり、比較的低いシート抵抗を達成するとと
もに焼成後の反り等も防止し得るメタライズペーストを
開示している。
【0005】上述した特開平2−228375号公報で
開示されたメタライズペーストでは、結合剤としてアク
リル樹脂を使用することにより、同時焼成においても良
好なシート抵抗を達成することができるが、結合剤がア
クリル樹脂からなるため、スクリーン印刷時にダイラタ
ンシー流動となり、スクリーン印刷時の印刷性が悪くな
る問題があった。
【0006】本発明の目的は上述した課題を解消して、
シート抵抗が良好でしかもスクリーン印刷時の印刷性も
良好な同時焼成用メタライズペーストを提供しようとす
るものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の同時焼成用メタ
ライズペーストは、導電性粉末と、エチルセルロースと
アクリルとの混合物からなり、エチルセルロース/アク
リルの配合比が1/4〜4/1である結合剤と、溶剤と
からなることを特徴とするものである。
【0008】
【作用】上述した構成において、結合剤としてセルロー
ス/アクリルの配合比が1/4〜4/1である混合物
が、メタライズペーストの分散性を向上させ、従来より
もメタライズペースト中の溶剤を少なくすることがで
き、スクリーン印刷時の塗布厚を厚くでき、良好なシー
ト抵抗を得ることができる。また、アクリルのみの結合
剤と比べてダイラタンシー流動となりにくく、スクリー
ン印刷時の印刷性も良好になる。
【0009】ここで、エチルセルロース/アクリルの配
合比を1/4〜4/1と限定したのは、4/1を超える
とスクリーン印刷時に十分な塗布厚を得ることができ
ず、良好なシート抵抗を得ることができないとともに、
1/4未満だとスクリーン印刷時にダイラタンシー流動
が発生し、印刷性が悪化するためである。
【0010】
【実施例】本発明の同時焼成用メタライズペーストは、
W、Mo等の1600℃程度の高い焼成温度では溶融し
ない導電性粉末と、エチルセルロースとアクリルとをエ
チルセルロース/アクリルの配合比が重量比で1/4〜
4/1となる結合剤を準備し、準備した導電性粉末およ
び結合剤とブチルカルビトール等の溶剤とその他必要に
応じて可塑剤等とを、例えばトリロールミルで混合する
ことにより得ることができる。
【0011】ここで、本発明に使用するエチルセルロー
ス、アクリル各々のバインダ(結合剤)についてその内
容を開示する。まず、エチルセルロースは周知の通りセ
ルロースの水酸基(−OH)をエトキシ基(−OC2
5)に置換したものであるが、その含有量はASTMD9
14の試験法によって45〜52%のもの好ましくは4
8〜49.5%のもので、重量平均分子量は3万〜20
万好ましくは8万〜15万のものである。一方、アクリ
ルバインダは主モノマとしてはメタクリル酸エステル、
アクリル酸エステルのどちらか又は混合物でもかまわな
いが、熱分解性、ガラス転移点よりメタクリル酸ブチル
が好ましい。また、重量平均分子長は1万〜20万が良
くさらに好ましくは3万〜10万程度が良い。さらに、
界面活性基のついたモノマーを共重合する方が望まし
く、この活性基としては、アミノ基、カルボキシル基が
良く、その量は0.001mol/kg〜0.1mol
/kg程度が良い。
【0012】図1は本発明の同時焼成用メタライズペー
ストを使用して基板を製造する工程を説明するためのフ
ローチャートである。図1に従って説明すると、まず基
板の主要部分となる例えばアルミナ、窒化アルミニウム
等の粉末と結合剤とをドクターブレード法等の方法によ
り混合成形してテープ状のセラミックグリーンシートを
準備する。同時に上述した方法に従って、導電性粉末等
の原料を例えばトリロールミル等により混合することに
より、本発明のメタライズペーストを準備する。その
後、セラミックグリーンシート上の所定位置にメタライ
ズペーストをスクリーン印刷して配線パターンを形成
し、例えば還元雰囲気中、1600℃でセラミックグリ
ーンシートとメタライズペーストとを同時に焼成するこ
とにより、基板を得ることができる。
【0013】以下、実際の例について説明する。実施例 実際に、図1に示した方法に従って、アルミナからなる
50×50mmのセラミックグリーンシート上に、以下
の表1に示すようにエチルセルロースとアクリル樹脂と
の配合比を変えた結合剤を使用した本発明のメタライズ
ペーストを線幅200μm で配線パターンをスクリーン
印刷し、同時焼成して基板を得る過程において、メタラ
イズペーストの1回のスクリーン印刷により得られる配
線パターンの塗布厚の最大値を求めるとともに、印刷後
の配線パターンを目視で観察して印刷適性の良否を判断
した。また、焼成後の線幅200μm の配線パターンの
シート抵抗を測定した。結果を表1に示す。
【0014】
【表1】
【0015】表1の結果から、エチルセルロースとアク
リル樹脂とをエチルセルロース/アクリルの配合比が1
/4〜4/1となる結合剤を使用した本発明例試料No.
1〜5が、これ以外の配合比の結合剤を使用した比較例
試料No. 1〜4と比較して、厚い塗布厚と10mΩ/□
以下の良好なシート抵抗の両者を兼ね備えていることが
わかった。
【0016】また、エチルセルロースとアクリル樹脂と
をエチルセルロース/アクリルの配合比を変えて得た結
合剤を、導電性粉末100重量部に対して5重量部と一
定にして得たメタライズペーストの粘度と溶剤量との関
係を調べた。結果を図2に示す。図2からわかるよう
に、本発明の範囲内であるエチルセルロース/アクリル
の配合比が1/4〜4/1で、適正な印刷粘度と考えら
れる5×104 〜2×105 cpsの範囲のメタライズ
ペーストを得るには、導電性粉末100重量部に対して
6〜16重量部の溶剤を使用すれば良いことがわかっ
た。
【0017】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、メタライズペーストを形成する結合剤として
セルロース/アクリルの配合比が1/4〜4/1である
混合物お使用しているため、メタライズペーストの分散
性を向上させ、従来よりもメタライズペースト中の溶剤
を少なくすることができ、スクリーン印刷時の塗布厚を
厚くでき、良好なシート抵抗を得ることができる。ま
た、アクリルのみの結合剤と比べてダイラタンシー流動
となりにくく、スクリーン印刷時の印刷性も良好にな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の同時焼成メタライズペーストを使用し
て基板を製造する工程を説明するためのフローチャート
である。
【図2】結合剤としてエチルセルロースとアクリル樹脂
の混合物を使用したメタライズペーストの粘度と溶剤量
との関係を示すグラフである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 導電性粉末と、エチルセルロースとアク
    リルとの混合物からなり、エチルセルロース/アクリル
    の配合比が1/4〜4/1である結合剤と、溶剤とから
    なることを特徴とする同時焼成用メタライズペースト。
JP3340593A 1993-02-23 1993-02-23 同時焼成用メタライズペースト Withdrawn JPH06251618A (ja)

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