JPH06237035A - 光学装置 - Google Patents

光学装置

Info

Publication number
JPH06237035A
JPH06237035A JP2141293A JP2141293A JPH06237035A JP H06237035 A JPH06237035 A JP H06237035A JP 2141293 A JP2141293 A JP 2141293A JP 2141293 A JP2141293 A JP 2141293A JP H06237035 A JPH06237035 A JP H06237035A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
semi
optical device
laser light
reflecting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2141293A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Shimobayashi
隆 下林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2141293A priority Critical patent/JPH06237035A/ja
Publication of JPH06237035A publication Critical patent/JPH06237035A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】きわめて短い時間間隔のレーザ光を発生可能な
構造の光学装置や、きわめて精度の高い温度計測が可能
な構造の光学装置や、きわめて精度の高い重力センサと
しての応用が可能な構造の光学装置の構造を提供する。 【構成】レーザ光源および該レーザ光源より放射された
光線を2つ以上の光路長の異なる光路に分離後、該分離
光を合成・干渉させる構造を有することを特徴とする光
学装置である。レーザ光源101の光路上に半透鏡10
2を設置し、さらに半透鏡102で反射されたレーザ光
を反射するための第1の反射鏡103aを設置する。第
1の反射鏡103aで反射されたレーザ光は、半透鏡1
02を透過して第2の反射鏡103bで反射され、半透
鏡102で反射され、半透鏡102を透過した光線と干
渉して出力される。さらに、反射鏡の移動機構、光強度
検出器を設置することで、温度計測や、重力波の検出が
可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、きわめて短い時間間隔
のレーザ光を発生可能な構造の光学装置や、きわめて精
度の高い温度計測が可能な構造の光学装置や、きわめて
精度の高い重力センサとしての応用が可能な構造の光学
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、レーザ技術を応用した様々な分
野、通信、加工、医療などが研究されている。中でも通
信技術に光学を応用したものは、極めて遠い距離間の信
号伝達や、極めて高速の通信を行なうための技術として
各方面で盛んに研究が行なわれている。非常に長い距離
の間の通信を実現するためには、減衰の小さな母材によ
り作成された光ファイバーの実用化が大きな鍵になる。
また、非常に高速な通信を実現するためには、信号の発
信源となるレーザ光の短パルス化が重要な鍵となる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来、レーザ光
の短パルス化は、レーザに入力される電気信号を変調し
て行なっていたため、その限度は電気的な信号の変調の
能力で律速されてしまっていた。従って、あまり短い時
間間隔のレーザパルスを発生させることはできなかった
という問題点を有していた。本発明の目的はかかる課題
を解決し、従来のように電気的な手法を用いなくても変
調可能なレーザ光源の構造を提供するであり、きわめて
短い時間間隔のレーザ光を発生可能な構造の光学装置
や、きわめて精度の高い温度計測が可能な構造の光学装
置や、きわめて精度の高い重力センサとしての応用が可
能な構造の光学装置の構造を提供することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ光源お
よび該レーザ光源より放射された光線を2つ以上の光路
長の異なる光路に分離後、該分離光を合成・干渉させる
構造を有することを特徴とする光学装置である。該構成
を実現するために、レーザ光源および該レーザ光源の光
路上に設置した半透鏡、該半透鏡で反射されたレーザ光
を反射するための第1の反射鏡、第1の反射鏡で反射さ
れたレーザ光を反射させるための第2の反射鏡を有する
構造にしてもよい。
【0005】また、レーザ光源および該レーザ光源の光
路上に設置した第1の半透鏡、該半透鏡で反射されたレ
ーザ光を反射するための第1の反射鏡、第1の反射鏡で
反射されたレーザ光を反射させるための第2の反射鏡、
該反射鏡で反射されたレーザ光を反射させるための第2
の半透鏡を有し、かつ該第2の半透鏡がレーザ光源の第
1の半透鏡を透過した光線の光路上に設置されている構
造にしてもよい。
【0006】そして、構成要素のうち、反射鏡と半透鏡
をプリズムで構成しても同様な効果が期待できる。
【0007】また、反射鏡と半透鏡の間の距離を調整可
能な機構を設けたり、レーザ光源の位置を調整可能な機
構を設けたりすることで、光路長の調整が可能になる。
【0008】そして、レーザ光の半透鏡を透過した光量
の時間変化を計測可能な機構と光路長を変化させる機構
を使用して、温度センサや重力センサの実現が可能であ
る。
【0009】また、その装置全体を、温度を一定に保つ
恒温槽内に設置することで、精度を著しく向上させるこ
とが可能である。
【0010】
【作用】レーザは、コヒーレント光であるので、その発
する光は完全に位相のそろった単色光である。本光学装
置は、2つ以上の光路長の異なる光路に分離後、該分離
光を合成・干渉させる構造を有することを特徴とする
が、光路長の異なる光路に分離・再合成された光線は、
時間的・位置座標的に位相が異なった光波であり、また
そのズレの大きさは、光路長の差に完全に依存する。従
って、合成・干渉された光線は分離された光線の位相が
半波長ずれるように光路長を設定することにより見かけ
上、分離された光線の光路差を光線が通過する時間だけ
しか出力されず、そのため非常に短い時間間隔の光線を
発生させることが可能になる。また、位相のズレは、光
路を光が走る速度で決まるわけだが、その速度は媒質の
温度に敏感に影響されることから、きわめて精度の高い
温度センサの役をなすことも可能になる。また、温度以
外にも重力波でも同様な影響があるので、重力波の検出
の際にも同様な構成の光学装置が使用可能である。
【0011】
【実施例】図1は、本発明の実施例による光学装置の構
造の一例を示す図である。
【0012】レーザ光源101の光路上に半透鏡102
が設置されており、さらに半透鏡102で反射されたレ
ーザ光を反射するための第1の反射鏡103aが設置さ
れている。第1の反射鏡103aで反射されたレーザ光
は、半透鏡102を透過して第2の反射鏡103bで反
射され、半透鏡102で反射され、半透鏡102を透過
した光線と干渉して出力される。ここで、第1の反射鏡
103aと第2の反射鏡103bの間の距離をLとおく
と、半透鏡102を透過した光線と、半透鏡102で反
射されて第1の反射鏡103aで反射され半透鏡102
を透過して第2の反射鏡103bで反射されて半透鏡1
02で反射された光線との光路差は、2Lとなる。従っ
て両光線が出力される時間差は、第1の反射鏡103a
と第2の反射鏡103bの間の媒質中での光の速度をc
とすると、 (2L/c) となる。従って、レーザ光の波長をλとすると、 2L=(2n+1)/2・λ の条件を満たすとき、半透鏡102を透過した光線と、
半透鏡102で反射され第1の反射鏡103aで反射さ
れ半透鏡102を透過して第2の反射鏡103bで反射
され半透鏡102で反射された光線と干渉して一定時間
の短い間しか出力されないことになる。なおここで、n
は0以上の整数値である。
【0013】図2は、本発明の実施例による光学装置の
構造の一例を示す図である。
【0014】レーザ光源101の光路上に第1の半透鏡
102a、第2の半透鏡102bが設置されており、さ
らに第1の半透鏡102aで反射されたレーザ光を反射
するための第1の反射鏡103a、第2の反射鏡103
bが設置されている。第1の半透鏡102aで反射され
たレーザ光は、第1の反射鏡103aで反射され、第2
の反射鏡103bで反射され、第2の半透鏡102bで
反射され、第2の半透鏡102bを透過した光線と干渉
して出力される。ここで、第1の半透鏡102aと第1
の反射鏡103aの間の距離をLとおくと、第1の半透
鏡102aを透過した光線と、第1の半透鏡102aで
反射されて第1の反射鏡103aで反射され第2の反射
鏡103bで反射されて第2の半透鏡102bで反射さ
れた光線との光路差は、2Lとなる。従って図1の本発
明の実施例によるものと同様に一定時間の短いレーザパ
ルスを発生することが可能になる。
【0015】図3は、本発明の実施例による光学装置の
構造の一例を示す図である。
【0016】レーザ光源101の光路上に第1のプリズ
ム201a、第2のプリズム201bが設置されてい
る。レーザ光源101から発射された光線は、第1のプ
リズム201aの面202aで反射する成分と透過する
成分に分離される。面202aを透過した成分は、第2
のプリズム201bの面202dを透過して出力され
る。また面202aで反射された成分は、面202bで
反射され、第2のプリズム201bに入射される。その
光線は、面202c、面202dで反射され、第1のプ
リズム201aを透過した成分と干渉して出力される。
ここで、面202bと面202cの間の距離をLとおく
と、面202aを透過した光線と、面202a、面20
2b、面202c、面202dで反射された光線との光
路差は、2Lとなる。従って図1の本発明の実施例によ
るものと同様に一定時間の短いレーザパルスを発生する
ことが可能になる。なお本実施例で用いた2つのプリズ
ムの間の距離は、分岐された光線の光路が同じになるよ
う、ほとんどゼロに設定した。
【0017】図4は、本発明の実施例による光学装置の
構造の一例を示す図である。
【0018】レーザ光源101の光路上に図示の形状の
プリズム401が設置されている。レーザ光源101か
ら発射された光線は、プリズム401の面402aで反
射する成分と透過する成分に分離される。面402aを
透過した成分は、面402dを透過して出力される。ま
た面402aで反射された成分は、面402bで反射さ
れ、面402c、面402dで反射され、プリズム40
1の面402aを透過した成分と干渉して出力される。
ここで、面402aと面402bの間の距離をLとおく
と、面402aを透過した光線と、面402a、面40
2b、面402c、面402dで反射された光線との光
路差は、2Lとなる。従って図1の本発明の実施例によ
るものと同様に一定時間の短いレーザパルスを発生する
ことが可能になる。
【0019】図5は、図1の本発明の実施例による光学
装置の第1の反射鏡103aに、図の上下方向に移動可
能な機構を設置した光学装置の構造の一例を示す図であ
る。
【0020】レーザ光線101の光路上に半透鏡102
が設置されており、さらに半透鏡102で反射されたレ
ーザ光を反射させるための、移動機構501を備えた第
1の反射鏡103aが設置されている。第1の反射鏡1
03aで反射されたレーザ光は、半透鏡102を透過し
て第2の反射鏡103bで反射され、半透鏡102で反
射され、半透鏡102を透過した光線と干渉して出力さ
れる。さらに、この光学系で得られた光線出力の大きさ
を検出するための光量検出器502が設置されている。
ここで、第1の反射鏡103aと第2の反射鏡103b
の間の距離をLとおくと、半透鏡102を透過した光線
と、半透鏡102で反射されて第1の反射鏡103aで
反射され半透鏡102を透過して第2の反射鏡103b
で反射されて半透鏡102で反射された光線との光路差
は、2Lとなる。ここで、Lの値は移動機構501を用
いて変更可能であり、また干渉の結果得られる光の強さ
は光量検出器502によりモニタリング可能であるの
で、光量検出器502の出力を移動機構501にフィー
ドバックさせることにより現在の温度に対する光の速度
が得られ、その値は既知のものであるので、逆に温度の
計測が可能になる。なお、本光学装置を用いて温度計測
を行なう際には、光量検出器502の出力が0になるよ
うに移動機構501を調整する方法が一番精度が高くな
ることはいうまでもない。また、本光学装置は、温度の
みならず、重力波も検出可能である。これは、重力波の
影響で、見かけのLの大きさが変わるためであり、本光
学装置を複数個用いたり、別の方法で温度を検出して補
正をかけたり、また本光学装置全体を温度が一定の恒温
槽内に設置することで行なうことが可能である。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明の実施例によ
る光学装置により、きわめて短い時間間隔のレーザ光の
発生が可能になった。またきわめて精度の高い温度計測
が可能な構造の光学装置を構成することができた。同様
に、きわめて精度の高い重力センサを作製することがで
きた。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例による光学装置の構造の一例
を示す図。
【図2】 本発明の実施例による光学装置の構造の一例
を示す図。
【図3】 本発明の実施例による光学装置の構造の一例
を示す図。
【図4】 本発明の実施例による光学装置の構造の一例
を示す図。
【図5】 図1の本発明の実施例による光学装置の第1
の反射鏡103aに、図の上下方向に移動可能な機構を
設置した光学装置の構造の一例を示す図。
【符号の説明】
101 レーザ光源 102 半透鏡 102a 第1の半透鏡 102b 第2の半透鏡 103a 第1の反射鏡 103b 第2の反射鏡 201a 第1のプリズム 201b 第2のプリズム 202a、202b、202c、202d 面 401 プリズム 402a、402b、402c、402d 面 501 移動機構 502 光量検出器

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光源および該レーザ光源より放射
    された光線を2つ以上の光路長の異なる光路に分離後、
    該分離光を合成・干渉させる構造を有することを特徴と
    する光学装置。
  2. 【請求項2】 レーザ光源および該レーザ光源の光路上
    に設置した半透鏡、該半透鏡で反射されたレーザ光を反
    射するための第1の反射鏡、第1の反射鏡で反射された
    レーザ光を反射させるための第2の反射鏡を有すること
    を特徴とする光学装置。
  3. 【請求項3】 レーザ光源および該レーザ光源の光路上
    に設置した第1の半透鏡、該半透鏡で反射されたレーザ
    光を反射するための第1の反射鏡、第1の反射鏡で反射
    されたレーザ光を反射させるための第2の反射鏡、該反
    射鏡で反射されたレーザ光を反射させるための第2の半
    透鏡を有し、かつ該第2の半透鏡がレーザ光源の第1の
    半透鏡を透過した光線の光路上に設置されていることを
    特徴とする光学装置。
  4. 【請求項4】 前記反射鏡と前記半透鏡がプリズムで構
    成されていることを特徴とする請求項2または、請求項
    3記載の光学装置。
  5. 【請求項5】 請求項2または、請求項3記載の光学装
    置において、前記反射鏡と前記半透鏡の間の距離を調整
    可能な機構を具備することを特徴とする光学装置。
  6. 【請求項6】 請求項2または、請求項3記載の光学装
    置において、前記レーザ光源の位置を調整可能な機構を
    具備することを特徴とする光学装置。
  7. 【請求項7】 請求項1、請求項2または、請求項3記
    載の光学装置において、前記レーザ光の半透鏡を透過し
    た光量の時間変化を計測可能な機構を具備することを特
    徴とする光学装置。
  8. 【請求項8】 請求項5、請求項6及び請求項7記載の
    光学装置において、前記光量センサの出力を用いて、前
    記位置調整機構を動作させる構成を具備することを特徴
    とする光学装置。
  9. 【請求項9】 温度を一定に保つ恒温槽内に光学系全体
    を設置させることを特徴とする光学装置。
JP2141293A 1993-02-09 1993-02-09 光学装置 Pending JPH06237035A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2141293A JPH06237035A (ja) 1993-02-09 1993-02-09 光学装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2141293A JPH06237035A (ja) 1993-02-09 1993-02-09 光学装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06237035A true JPH06237035A (ja) 1994-08-23

Family

ID=12054313

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2141293A Pending JPH06237035A (ja) 1993-02-09 1993-02-09 光学装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06237035A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0646767B1 (en) Interferometric distance measuring apparatus
KR850000669A (ko) 거리측정 시스템
JP2755757B2 (ja) 変位及び角度の測定方法
JPH0419512B2 (ja)
EP0635705A2 (en) Angular michelson interferometer and optical wavemeter based on a rotating periscope
US5493395A (en) Wavelength variation measuring apparatus
EP0704685B1 (en) Angle detecting apparatus for detecting angle of inclination of scanning mirror provided on Michelson interferometer
DE69912608D1 (de) Hochgenaues interferometer mit lichtleitern
GB2256706A (en) Straightness measuring machine
JP3849266B2 (ja) レーザ干渉測長方法および装置、およびそれを用いたステージ装置、およびそれを用いた露光装置
JP2001033209A (ja) 距離計
JP3596964B2 (ja) 光遅延装置
EP0405462A1 (en) Optical system for measuring linear or angular displacements
JPH09166414A (ja) 光計測装置
JPH06237035A (ja) 光学装置
JPH11108614A (ja) 光波干渉測定装置
JP3448779B2 (ja) 光ファイバーセンサー
JP2000018918A (ja) レーザ干渉式可動体の移動量検出装置
JPH10132507A (ja) 干渉計
JP2592211B2 (ja) 干渉膜厚計測装置
JPH0326321B2 (ja)
JPH07229713A (ja) 変位測定方法及びそれを用いた変位測定装置
SU1441190A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени малых перемещений
JPH10170340A (ja) Ft用干渉計の干渉効率測定装置
JPH06185977A (ja) 干渉測長装置