JPH06235697A - Ｉｃ検査装置 - Google Patents
Ｉｃ検査装置Info
- Publication number
- JPH06235697A JPH06235697A JP2122093A JP2122093A JPH06235697A JP H06235697 A JPH06235697 A JP H06235697A JP 2122093 A JP2122093 A JP 2122093A JP 2122093 A JP2122093 A JP 2122093A JP H06235697 A JPH06235697 A JP H06235697A
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- Japan
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＩＣパターンを色付バッドマークと誤判定す
ることがないＩＣ検査装置を提供すること。 【構成】 ＩＣウエハーをカラー撮像しカラー映像信号
７を発信するカラー撮像手段６と、前記ＩＣウエハーの
不良ＩＣ３に付けられた色付バッドマーク４の色分布内
の予め指定された色の画像を、前記カラー映像信号７か
ら抽出し色抽出データとして発信する色抽出手段８と、
前記色抽出データの画像輪郭を追跡する輪郭追跡手段１
０と、前記画像輪郭内の面積を演算する面積演算手段１
１と、演算された面積を、予め指示された基準面積と比
較して、色付バッドマーク４の有無を判定する第１判定
手段１とを有することを特徴とする。
ることがないＩＣ検査装置を提供すること。 【構成】 ＩＣウエハーをカラー撮像しカラー映像信号
７を発信するカラー撮像手段６と、前記ＩＣウエハーの
不良ＩＣ３に付けられた色付バッドマーク４の色分布内
の予め指定された色の画像を、前記カラー映像信号７か
ら抽出し色抽出データとして発信する色抽出手段８と、
前記色抽出データの画像輪郭を追跡する輪郭追跡手段１
０と、前記画像輪郭内の面積を演算する面積演算手段１
１と、演算された面積を、予め指示された基準面積と比
較して、色付バッドマーク４の有無を判定する第１判定
手段１とを有することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣウエハーから不良
ＩＣを除去するために、ＩＣウエハー内に在るＩＣに、
不良を表示する色付バッドマークの在り無しを判定する
ＩＣ検査装置に関するものである。
ＩＣを除去するために、ＩＣウエハー内に在るＩＣに、
不良を表示する色付バッドマークの在り無しを判定する
ＩＣ検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種のＩＣ検査装置の従来例を図８〜
図１２に基づいて説明する。
図１２に基づいて説明する。
【０００３】加工中のＩＣウエハー上には加工工程中の
多数のＩＣがあるが、検査工程で特性不良と判定された
ＩＣには、通常、その検査工程でカラーインクによる色
付バッドマーク３２が付けられている。従って、前記Ｉ
Ｃウエハーを加工する次の工程では、前記のバッドマー
クが付いた不良ＩＣを検出して加工対象から外す必要が
ある。
多数のＩＣがあるが、検査工程で特性不良と判定された
ＩＣには、通常、その検査工程でカラーインクによる色
付バッドマーク３２が付けられている。従って、前記Ｉ
Ｃウエハーを加工する次の工程では、前記のバッドマー
クが付いた不良ＩＣを検出して加工対象から外す必要が
ある。
【０００４】図８において、前記のＩＣウエハー上のＩ
Ｃ３３を走査しながら不良ＩＣを検出する場合、照明手
段３４が照明し、モノクロカメラ３５が撮像しモノクロ
映像信号３６を発信する。前記モノクロ映像信号３６
は、図９の４２に示すモノクロ画像であり、ＩＣ３３上
に色付バッドマーク３２が付いていても、モノクロなの
で、色付バッドマーク３２の輝度のみに対応したモノク
ロ画像になっている。
Ｃ３３を走査しながら不良ＩＣを検出する場合、照明手
段３４が照明し、モノクロカメラ３５が撮像しモノクロ
映像信号３６を発信する。前記モノクロ映像信号３６
は、図９の４２に示すモノクロ画像であり、ＩＣ３３上
に色付バッドマーク３２が付いていても、モノクロなの
で、色付バッドマーク３２の輝度のみに対応したモノク
ロ画像になっている。
【０００５】２値化手段３７が、前記映像信号３６を、
Ａ／Ｄ変換し、予め与えられた２値化レベルによって、
図１０の４３に示す２値化画像に変換する。色付バッド
マーク３２があれば、この時点では、色付バッドマーク
３２はローレベル「０」になっている。
Ａ／Ｄ変換し、予め与えられた２値化レベルによって、
図１０の４３に示す２値化画像に変換する。色付バッド
マーク３２があれば、この時点では、色付バッドマーク
３２はローレベル「０」になっている。
【０００６】通常は、白黒反転手段３８を設け、白黒反
転手段３８が、前記図１０の２値化画像４３を、図１１
の４４に示すように、白黒反転する。これによって、図
１０の色付バッドマーク３２のモノクロ画像は図１１の
ハイレベル「１」の白のバッドマーク４５になってい
る。
転手段３８が、前記図１０の２値化画像４３を、図１１
の４４に示すように、白黒反転する。これによって、図
１０の色付バッドマーク３２のモノクロ画像は図１１の
ハイレベル「１」の白のバッドマーク４５になってい
る。
【０００７】カウンタ手段３９が、図１１に示す予め与
えられた窓枠部４６内について、ハイレベル「１」の画
素をカウントして、バッドマーク４５の面積を演算す
る。
えられた窓枠部４６内について、ハイレベル「１」の画
素をカウントして、バッドマーク４５の面積を演算す
る。
【０００８】判定手段４０が、バッドマーク４５の面積
を、予め指示された基準面積と比較して、基準面積の許
容範囲内か否かを判断し、許容範囲内にあれば色付バッ
ドマーク３２在りと判定する。
を、予め指示された基準面積と比較して、基準面積の許
容範囲内か否かを判断し、許容範囲内にあれば色付バッ
ドマーク３２在りと判定する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図８に示すよ
うに、従来例のモノクロカメラ３５による撮像では、加
工工程中のＩＣウエハーに光を当てる照明手段３４の光
量と角度を如何に調節しても、ＩＣ回路が多層に重なっ
ているＩＣ部分の内部にＩＣ回路の影が発生し、この影
が、図１２（ａ）に示すように、黒っぽいＩＣパターン
３１になって見える。このＩＣパターン３１は、種々の
大きさの面積を有するモノクロ画像となるので、図１２
（ａ）に示すように、その面積が色付バッドマーク３２
の面積に類似した場合には、図１２（ａ）のＡ−Ａ断面
の輝度は図１２（ｂ）に示すようになりＩＣパターン３
１と色付バッドマーク３２との輝度が類似し、これを２
値化しても、図１２（ｃ）に示すように、ＩＣパターン
３１と色付バッドマーク３２との面積が類似するので、
ＩＣパターン３１と色付バッドマーク３２との識別が困
難になり、誤判定が発生するという問題点がある。
うに、従来例のモノクロカメラ３５による撮像では、加
工工程中のＩＣウエハーに光を当てる照明手段３４の光
量と角度を如何に調節しても、ＩＣ回路が多層に重なっ
ているＩＣ部分の内部にＩＣ回路の影が発生し、この影
が、図１２（ａ）に示すように、黒っぽいＩＣパターン
３１になって見える。このＩＣパターン３１は、種々の
大きさの面積を有するモノクロ画像となるので、図１２
（ａ）に示すように、その面積が色付バッドマーク３２
の面積に類似した場合には、図１２（ａ）のＡ−Ａ断面
の輝度は図１２（ｂ）に示すようになりＩＣパターン３
１と色付バッドマーク３２との輝度が類似し、これを２
値化しても、図１２（ｃ）に示すように、ＩＣパターン
３１と色付バッドマーク３２との面積が類似するので、
ＩＣパターン３１と色付バッドマーク３２との識別が困
難になり、誤判定が発生するという問題点がある。
【００１０】本発明は、上記の問題点を解決し、ＩＣパ
ターンを色付バッドマークと誤判定することがないＩＣ
検査装置を提供することを課題としている。
ターンを色付バッドマークと誤判定することがないＩＣ
検査装置を提供することを課題としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本願第１発明のＩＣ検査
装置は、上記の課題を解決するために、ＩＣウエハーを
カラー撮像しカラー映像信号を発信するカラー撮像手段
と、前記ＩＣウエハーの不良ＩＣに付けられた色付バッ
ドマークの色分布内の予め指定された色の画像を、前記
カラー映像信号から抽出し色抽出データとして発信する
色抽出手段と、前記色抽出データの画像輪郭を追跡する
輪郭追跡手段と、前記画像輪郭内の面積を演算する面積
演算手段と、演算された面積を、予め指示された基準面
積と比較して、色付バッドマークの有無を判定する第１
判定手段とを有することを特徴とする。
装置は、上記の課題を解決するために、ＩＣウエハーを
カラー撮像しカラー映像信号を発信するカラー撮像手段
と、前記ＩＣウエハーの不良ＩＣに付けられた色付バッ
ドマークの色分布内の予め指定された色の画像を、前記
カラー映像信号から抽出し色抽出データとして発信する
色抽出手段と、前記色抽出データの画像輪郭を追跡する
輪郭追跡手段と、前記画像輪郭内の面積を演算する面積
演算手段と、演算された面積を、予め指示された基準面
積と比較して、色付バッドマークの有無を判定する第１
判定手段とを有することを特徴とする。
【００１２】本願第２発明のＩＣ検査装置は、上記の課
題を解決するために、ＩＣウエハーをカラー撮像しカラ
ー映像信号を発信するカラー撮像手段と、前記ＩＣウエ
ハーの不良ＩＣに付けられた色付バッドマークの色分布
内の予め指定された色の画像を、前記カラー映像信号か
ら抽出し色抽出データとして発信する色抽出手段と、前
記色抽出データの画像輪郭を追跡する輪郭追跡手段と、
追跡された画像輪郭に外接する四角形を演算する外接四
角形演算手段と、前記外接四角形の縦横寸法を演算する
寸法演算手段と、演算された縦横寸法を、予め指示され
た基準寸法と比較して、色付バッドマークの有無を判定
する第２判定手段とを有することを特徴とする。
題を解決するために、ＩＣウエハーをカラー撮像しカラ
ー映像信号を発信するカラー撮像手段と、前記ＩＣウエ
ハーの不良ＩＣに付けられた色付バッドマークの色分布
内の予め指定された色の画像を、前記カラー映像信号か
ら抽出し色抽出データとして発信する色抽出手段と、前
記色抽出データの画像輪郭を追跡する輪郭追跡手段と、
追跡された画像輪郭に外接する四角形を演算する外接四
角形演算手段と、前記外接四角形の縦横寸法を演算する
寸法演算手段と、演算された縦横寸法を、予め指示され
た基準寸法と比較して、色付バッドマークの有無を判定
する第２判定手段とを有することを特徴とする。
【００１３】
【作用】前記のように、加工工程中のＩＣウエハーに照
明光を当てると、ＩＣウエハーの各ＩＣの積層された多
層回路が、照明光に対して各ＩＣ内部で影を発生し、こ
の影が黒っぽいＩＣパターンになって見えるという現象
がある。このＩＣパターンを、従来例のモノクロ画像で
処理すると、黒っぽい画像として処理される。一方、加
工工程中のＩＣウエハーの検査工程で検出された不良Ｉ
Ｃに付けられた色付バッドマークを、従来例のモノクロ
画像で処理すると、輝度のみによる画像処理になるの
で、ＩＣパターンと同様に黒っぽい画像として処理さ
れ、前記ＩＣパターンの画像と色付バッドマークの画像
との識別が困難になり、ＩＣパターンを色付バッドマー
クと誤認するという問題点がある。
明光を当てると、ＩＣウエハーの各ＩＣの積層された多
層回路が、照明光に対して各ＩＣ内部で影を発生し、こ
の影が黒っぽいＩＣパターンになって見えるという現象
がある。このＩＣパターンを、従来例のモノクロ画像で
処理すると、黒っぽい画像として処理される。一方、加
工工程中のＩＣウエハーの検査工程で検出された不良Ｉ
Ｃに付けられた色付バッドマークを、従来例のモノクロ
画像で処理すると、輝度のみによる画像処理になるの
で、ＩＣパターンと同様に黒っぽい画像として処理さ
れ、前記ＩＣパターンの画像と色付バッドマークの画像
との識別が困難になり、ＩＣパターンを色付バッドマー
クと誤認するという問題点がある。
【００１４】本発明は、色付バッドマークは一般にカラ
ーインクを使用してマークしているので、そのカラーイ
ンクの色分布内にある特定の色を抽出して、この特定の
色による画像処理を行い、前記のように黒っぽく見える
ＩＣパターンと色付バッドマークとの識別を確実に行っ
ている。この場合、カラーインクの色分布内にある特定
の色を抽出して画像処理を行っているので、モノクロの
場合と比較して、画像処理のハード、ソフト共にそれほ
ど複雑化させずに画像処理できる。
ーインクを使用してマークしているので、そのカラーイ
ンクの色分布内にある特定の色を抽出して、この特定の
色による画像処理を行い、前記のように黒っぽく見える
ＩＣパターンと色付バッドマークとの識別を確実に行っ
ている。この場合、カラーインクの色分布内にある特定
の色を抽出して画像処理を行っているので、モノクロの
場合と比較して、画像処理のハード、ソフト共にそれほ
ど複雑化させずに画像処理できる。
【００１５】本願第１発明は、カラー撮像手段が、ＩＣ
ウエハーをカラー撮像しカラー映像信号を発信して、モ
ノクロの場合のＩＣパターンの誤認問題を解決すると共
に、色抽出手段が、ＩＣウエハーの不良ＩＣに付けられ
た色付バッドマークの色分布内の予め指定された色の画
像を、前記カラー映像信号から抽出して色抽出データと
して画像処理を行っているので、従来例のモノクロの場
合と比較して、画像処理のハード、ソフト共にそれほど
複雑化させずに画像処理して、色付バッドマークの判定
ができる。
ウエハーをカラー撮像しカラー映像信号を発信して、モ
ノクロの場合のＩＣパターンの誤認問題を解決すると共
に、色抽出手段が、ＩＣウエハーの不良ＩＣに付けられ
た色付バッドマークの色分布内の予め指定された色の画
像を、前記カラー映像信号から抽出して色抽出データと
して画像処理を行っているので、従来例のモノクロの場
合と比較して、画像処理のハード、ソフト共にそれほど
複雑化させずに画像処理して、色付バッドマークの判定
ができる。
【００１６】そして、輪郭追跡手段が、前記色抽出デー
タの画像輪郭を追跡し、面積演算手段が、前記画像輪郭
内の面積を演算し、第１判定手段が、演算された面積
を、予め指示された基準面積と比較して色付バッドマー
クの有無を判定している。上記によって、ＩＣパターン
との誤認なく、確実に、色付バッドマークの在り無しを
判定できる。
タの画像輪郭を追跡し、面積演算手段が、前記画像輪郭
内の面積を演算し、第１判定手段が、演算された面積
を、予め指示された基準面積と比較して色付バッドマー
クの有無を判定している。上記によって、ＩＣパターン
との誤認なく、確実に、色付バッドマークの在り無しを
判定できる。
【００１７】本願第２発明は、カラー撮像手段と、色抽
出手段と、輪郭追跡手段とは本願第１発明と同様である
が、下記が本願第１発明と異なる。
出手段と、輪郭追跡手段とは本願第１発明と同様である
が、下記が本願第１発明と異なる。
【００１８】外接四角形演算手段が、色抽出データの追
跡された画像輪郭に外接する四角形を演算し、寸法演算
手段が、前記外接四角形の縦横寸法を演算し、第２判定
手段が、演算された縦横寸法を、予め指示された基準寸
法と比較して、色付バッドマーク有無を判定している。
このように、バッドマーク在り無しを、画像の形状で判
断しているので、本願第１発明の面積による判定より
も、信頼性が向上する。
跡された画像輪郭に外接する四角形を演算し、寸法演算
手段が、前記外接四角形の縦横寸法を演算し、第２判定
手段が、演算された縦横寸法を、予め指示された基準寸
法と比較して、色付バッドマーク有無を判定している。
このように、バッドマーク在り無しを、画像の形状で判
断しているので、本願第１発明の面積による判定より
も、信頼性が向上する。
【００１９】
【実施例】本発明のＩＣ検査装置の一実施例を図１〜図
７に基づいて説明する。
７に基づいて説明する。
【００２０】図１において、ＩＣウエハー上のＩＣ３
を、照明手段５が照明し、カラー撮像手段６が撮像しカ
ラー映像信号７を発信する。色抽出手段８が、前記ＩＣ
ウエハー上の不良ＩＣに付けられた色付バッドマーク４
に使用したカラーインクの色分布内の色で、予め、制御
部１４から指定されている色の画像を、前記カラー映像
信号７から色抽出データとして抽出し、この色抽出デー
タを発信する。
を、照明手段５が照明し、カラー撮像手段６が撮像しカ
ラー映像信号７を発信する。色抽出手段８が、前記ＩＣ
ウエハー上の不良ＩＣに付けられた色付バッドマーク４
に使用したカラーインクの色分布内の色で、予め、制御
部１４から指定されている色の画像を、前記カラー映像
信号７から色抽出データとして抽出し、この色抽出デー
タを発信する。
【００２１】この色抽出データによる画像は、図２に示
す色抽出画像１５になり、この画像は、ＩＣ３の画像の
中に、バッドマーク４の画像と、ノイズ２７とを含んで
いる。
す色抽出画像１５になり、この画像は、ＩＣ３の画像の
中に、バッドマーク４の画像と、ノイズ２７とを含んで
いる。
【００２２】平滑化手段９が、色抽出データを受信し、
面積が小さいノイズ２７を除去して平滑化し、図３に示
す平滑化画像１６を出力する。
面積が小さいノイズ２７を除去して平滑化し、図３に示
す平滑化画像１６を出力する。
【００２３】輪郭追跡手段１０が、予め、制御部１４か
ら与えられた窓枠２１内の平滑化画像１６の輪郭を、図
４に示す輪郭２２のように追跡し、輪郭データを、面積
演算手段１１及び外接四角形演算手段１２に出力する。
ら与えられた窓枠２１内の平滑化画像１６の輪郭を、図
４に示す輪郭２２のように追跡し、輪郭データを、面積
演算手段１１及び外接四角形演算手段１２に出力する。
【００２４】面積演算手段１１が、前記輪郭２２内の画
素の数をカウントすることによって、図４の輪郭２２内
の面積を、図５の面積２６に示すように演算し、面積２
６を出力する。
素の数をカウントすることによって、図４の輪郭２２内
の面積を、図５の面積２６に示すように演算し、面積２
６を出力する。
【００２５】第１判定手段１が、演算された面積２６
が、予め、制御部１４から与えられている基準面積の許
容範囲内か否かを判断し、許容範囲内にあればバッドマ
ーク在りと判定する。これを、演算された面積２６を
Ｓ、基準面積をＳK 、許容差をＣS として数式で表す
と、
が、予め、制御部１４から与えられている基準面積の許
容範囲内か否かを判断し、許容範囲内にあればバッドマ
ーク在りと判定する。これを、演算された面積２６を
Ｓ、基準面積をＳK 、許容差をＣS として数式で表す
と、
【００２６】
【数１】
【００２７】となる。
【００２８】外接四角形演算手段１２が、図６に示すよ
うに、輪郭画像１７について、予め、制御部１４から与
えられた窓枠２１内の輪郭２２に外接する外接四角形２
３を演算し、外接四角形２３のデータを出力する。
うに、輪郭画像１７について、予め、制御部１４から与
えられた窓枠２１内の輪郭２２に外接する外接四角形２
３を演算し、外接四角形２３のデータを出力する。
【００２９】寸法演算手段１３は、図７に示すように、
輪郭画像１７について、予め、制御部１４から与えられ
た窓枠２１内の前記外接四角形２３の横寸法２４と、縦
寸法２５とを演算し、横寸法２４と縦寸法２５とのデー
タを出力する。
輪郭画像１７について、予め、制御部１４から与えられ
た窓枠２１内の前記外接四角形２３の横寸法２４と、縦
寸法２５とを演算し、横寸法２４と縦寸法２５とのデー
タを出力する。
【００３０】第２判定手段２が、演算された横寸法２４
と縦寸法２５とを、予め、制御部１４から与えられてい
る基準寸法の許容範囲内か否かを判断し、許容範囲内に
あればバッドマーク在りと判定する。これを、横寸法２
４をＬX 、縦寸法２５をＬY、基準横寸法をＬXK、基準
縦寸法をＬYK、許容差をＣL として数式で表すと、
と縦寸法２５とを、予め、制御部１４から与えられてい
る基準寸法の許容範囲内か否かを判断し、許容範囲内に
あればバッドマーク在りと判定する。これを、横寸法２
４をＬX 、縦寸法２５をＬY、基準横寸法をＬXK、基準
縦寸法をＬYK、許容差をＣL として数式で表すと、
【００３１】
【数２】
【００３２】となる。
【００３３】本発明のＩＣ検査装置は、上記の実施例に
限らず種々の態様が可能である。例えば、ＩＣウエハー
の不良ＩＣに付けられた色付バッドマークに使用するカ
ラーインクの色分布内の予め指定された色を使用した画
像処理を目的に合わせて行うことができれば、色抽出手
段、平滑化手段、輪郭追跡手段、面積演算手段、第１判
定手段、外接四角形演算手段、寸法演算手段、第２判定
手段等の設計は自由である。
限らず種々の態様が可能である。例えば、ＩＣウエハー
の不良ＩＣに付けられた色付バッドマークに使用するカ
ラーインクの色分布内の予め指定された色を使用した画
像処理を目的に合わせて行うことができれば、色抽出手
段、平滑化手段、輪郭追跡手段、面積演算手段、第１判
定手段、外接四角形演算手段、寸法演算手段、第２判定
手段等の設計は自由である。
【００３４】
【発明の効果】本発明のＩＣ検査装置は、従来例のＩＣ
検査装置が、画像処理において、モノクロ画像の輝度情
報のみを使用しているので、ＩＣパターンと色付バッド
マークとの識別が困難な場合があるのに対して、ＩＣウ
エハーの不良ＩＣに付けられた色付バッドマークに使用
するカラーインクの色分布内の予め指定された色を使用
して画像処理をすることによって、比較的簡単なハード
とソフトで、ＩＣパターンと色付バッドマークとの識別
を確実に行え、信頼性が高いバッドマークの検出ができ
るという効果を奏する。
検査装置が、画像処理において、モノクロ画像の輝度情
報のみを使用しているので、ＩＣパターンと色付バッド
マークとの識別が困難な場合があるのに対して、ＩＣウ
エハーの不良ＩＣに付けられた色付バッドマークに使用
するカラーインクの色分布内の予め指定された色を使用
して画像処理をすることによって、比較的簡単なハード
とソフトで、ＩＣパターンと色付バッドマークとの識別
を確実に行え、信頼性が高いバッドマークの検出ができ
るという効果を奏する。
【図１】本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】色抽出データによる色付バッドマークとノイズ
とを示す図である。
とを示す図である。
【図３】図２の平滑化画像を示す図である。
【図４】図３の平滑化画像の輪郭追跡を示す図である。
【図５】図４の輪郭内の面積を示す図である。
【図６】図４の輪郭の外接四角形を示す図である。
【図７】図５の外接四角形の横寸法と縦寸法とを示す図
である。
である。
【図８】従来例の構成を示すブロック図である。
【図９】モノクロ画像による色付バッドマークを示す図
である。
である。
【図１０】図９の２値化画像を示す図である。
【図１１】図１０の白黒反転画像を示す図である。
【図１２】ＩＣパターンと色付バッドマークとを示す図
である。
である。
１ 第１判定手段 ２ 第２判定手段 ４ 色付バッドマーク ６ カラー撮像手段 ７ カラー画像信号 ８ 色抽出手段 １０ 輪郭追跡手段 １１ 面積演算手段 １２ 外接四角形演算手段 １３ 寸法演算手段 １４ 制御部 １５ 色抽出画像 １７ 輪郭画像 ２２ 輪郭 ２３ 外接四角形 ２４ 横寸法 ２５ 縦寸法 ２６ 面積
Claims (2)
- 【請求項１】 ＩＣウエハーをカラー撮像しカラー映像
信号を発信するカラー撮像手段と、前記ＩＣウエハーの
不良ＩＣに付けられた色付バッドマークの色分布内の予
め指定された色の画像を、前記カラー映像信号から抽出
し色抽出データとして発信する色抽出手段と、前記色抽
出データの画像輪郭を追跡する輪郭追跡手段と、前記画
像輪郭内の面積を演算する面積演算手段と、演算された
面積を、予め指示された基準面積と比較して、色付バッ
ドマークの有無を判定する第１判定手段とを有すること
を特徴とするＩＣ検査装置。 - 【請求項２】 ＩＣウエハーをカラー撮像しカラー映像
信号を発信するカラー撮像手段と、前記ＩＣウエハーの
不良ＩＣに付けられた色付バッドマークの色分布内の予
め指定された色の画像を、前記カラー映像信号から抽出
し色抽出データとして発信する色抽出手段と、前記色抽
出データの画像輪郭を追跡する輪郭追跡手段と、追跡さ
れた画像輪郭に外接する四角形を演算する外接四角形演
算手段と、前記外接四角形の縦横寸法を演算する寸法演
算手段と、演算された縦横寸法を、予め指示された基準
寸法と比較して、色付バッドマークの有無を判定する第
２判定手段とを有することを特徴とするＩＣ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2122093A JPH06235697A (ja) | 1993-02-09 | 1993-02-09 | Ｉｃ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2122093A JPH06235697A (ja) | 1993-02-09 | 1993-02-09 | Ｉｃ検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06235697A true JPH06235697A (ja) | 1994-08-23 |
Family
ID=12048937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2122093A Pending JPH06235697A (ja) | 1993-02-09 | 1993-02-09 | Ｉｃ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06235697A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114612474A (zh) * | 2022-05-11 | 2022-06-10 | 杭州众硅电子科技有限公司 | 一种晶圆清洁干燥模组状态检测方法、装置及平坦化设备 |
-
1993
- 1993-02-09 JP JP2122093A patent/JPH06235697A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114612474A (zh) * | 2022-05-11 | 2022-06-10 | 杭州众硅电子科技有限公司 | 一种晶圆清洁干燥模组状态检测方法、装置及平坦化设备 |
| CN114612474B (zh) * | 2022-05-11 | 2023-12-19 | 杭州众硅电子科技有限公司 | 一种晶圆清洁干燥模组状态检测方法、装置及平坦化设备 |
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