JPH06233978A - 活性炭吸着塔の水洗方法及びその装置 - Google Patents

活性炭吸着塔の水洗方法及びその装置

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JPH06233978A
JPH06233978A JP2218193A JP2218193A JPH06233978A JP H06233978 A JPH06233978 A JP H06233978A JP 2218193 A JP2218193 A JP 2218193A JP 2218193 A JP2218193 A JP 2218193A JP H06233978 A JPH06233978 A JP H06233978A
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JP
Japan
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water
activated carbon
air
washing
adsorption tower
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Withdrawn
Application number
JP2218193A
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English (en)
Inventor
Shigeru Kasatani
茂 笠谷
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 活性炭に付着した懸濁物質を脱離し易くして
洗浄水量、活性炭流出等量を低減化した活性炭水洗方法
及び装置を提供する。 【構成】 方法は、活性炭吸着塔1内に原水を通水し、
原水中の懸濁物質を濾過した後、活性炭3を洗浄して濾
過機能を再生するにあたり、空気が過剰に溶解した空気
過飽和水Woを原水通水方向と反対方向から洗浄水と共に
流入させ、上記過飽和水から発生した微細気泡を懸濁物
質に付着させて浮遊力を与え、懸濁物質を脱離する。装
置は、上下に原水通水管4及び処理水排出を兼ねた活性
炭洗浄管5を有し、通水管4から原水を通水して原水中の
懸濁物質を濾過する活性炭吸着塔1と、上記吸着塔1に洗
浄管5に並列して接続してなり、空気過飽和水Woを洗浄
管5から洗浄水と共に供給して上記過飽和水Woから発生
した微細気泡を懸濁物質に付着させて浮遊力を与え、懸
濁物質を脱離する空気過飽和水供給ユニット8とを具備
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、懸濁物質含有原水を通
水して懸濁物質を活性炭に捕集し、原水を濾過処理する
活性炭吸着塔の活性炭水洗方法及び装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】例えば、半導体製造工程において使用後
の懸濁物質含有原水を排水処理する際、上記原水を活性
炭吸着塔に通水して濾過した後、放流しており、その活
性炭吸着塔の一例を図2(a)(b)(c)を参照して
次に説明する。上記活性炭吸着塔(1)は、図2(a)
に示すように、吸着塔(2)内に活性炭(3)を収容し
たもので、塔上下に原水通水管(4)と、処理水排出を
兼ねた活性炭洗浄管(5)とをそれぞれ接続すると共
に、塔上方に活性炭洗浄空気(A)の導出管(6)と活
性炭洗浄水の排出管(7)とをそれぞれ接続してなる。
【0003】上記構成において、まず図2(a)に示す
ように、例えば半導体製造工場から排出された懸濁物質
含有原水(Wa)を通水管(4)から塔内に通水し、懸
濁物質を活性炭(3)に捕集して排出管(5)から被処
理水を排出する。そして、使用する間に活性炭(3)に
その数%位の懸濁物質が付着して詰まってくると、活性
炭(3)を洗浄して懸濁物質を脱離・除去し、活性炭
(3)の濾過機能を再生する。
【0004】上記洗浄に際しては、まず図2(b)に示
すように、原水(Wa)を一部抜いた状態で通水管
(4)を閉じて導出管(6)を開き、洗浄管(5)から
原水通水方向と逆方向に洗浄空気(A)を導入して導出
管(6)から空気(A)を抜く。そうすると、塔内が泡
立って活性炭(3)に付着している微小な懸濁物質が流
動化して空洗される。次に、図2(c)に示すように、
導出管(6)を閉じて排出管(7)を開き、空気(A)
に代えて洗浄管(5)から洗浄水(Wb)を同じ方向に
通水する。そうすると、活性炭(3)の占有容積が大き
くなって、その高さが(H)だけ上昇し、且つ、図3
(a)に示すように、流動化している懸濁物質(M)が
脱離して活性炭上方に洗い流され、更に、排出管(7)
から排出される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする課題
は、活性炭(3)に洗浄水を原水通水方向と逆方向から
通水し、活性炭(3)に付着している懸濁物質(M)を
脱離する際、活性炭(3)の比重が小さいため、比較
的、比重が大きい懸濁物質(M)に対して比重差が小さ
くなると、その懸濁物質(M)が脱離し難く、洗浄効率
が低下する点で、特に大径の懸濁物質(M)が残留する
と、通水抵抗になる不具合が生じる。この場合、それを
脱離するため、洗浄水(Wb)の水圧や水量を大きくし
たり、洗浄時間を長くすると、活性炭(3)まで懸濁物
質(M)と共に流出してしまい、特に、水量を大きくし
たり、洗浄時間が長くなると、生産性が低下し、且つ、
コスト高になる。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、方法として、
濾過用活性炭を収容した活性炭吸着塔内に被処理用原水
を通水し、原水中の懸濁物質を活性炭に捕集させて濾過
した後、活性炭を洗浄して濾過機能を再生するにあた
り、空気が過剰に溶解した空気過飽和水を原水通水方向
と反対方向から塔内に洗浄水と共に流入させ、上記過飽
和水から発生した微細な気泡を上記懸濁物質に付着させ
て浮遊力を与え、活性炭に付着している懸濁物質を脱離
・除去して洗浄水と共に排出することを特徴とし、
【0007】又、装置として、濾過用活性炭を収容する
と共に、上下に被処理用原水通水管及びその処理水排出
を兼ねた活性炭洗浄管を有し、上記通水管から活性炭内
に原水を通水して原水中の懸濁物質を活性炭に捕集して
濾過する活性炭吸着塔と、上記吸着塔に洗浄管に並列し
て接続してなり、空気が過剰に溶解した空気過飽和水を
洗浄管から塔内に洗浄水と共に供給して上記過飽和水か
ら発生した微細な気泡を上記懸濁物質に付着させて浮遊
力を与え、活性炭に付着している懸濁物質を脱離・除去
する空気過飽和水供給ユニットとを具備したことを特徴
とする。
【0008】
【作用】上記技術的手段によれば、空気が過剰に溶解し
た空気過飽和水を洗浄水に混合して活性炭内に供給する
と、空気過飽和水から微細の気泡が発生して懸濁物質の
周表面に付着して懸濁物質に浮遊力が生じ、比重が大き
く、特に大径の懸濁物質が活性炭から脱離し易くなる。
【0009】
【実施例】本発明に係る活性炭吸着塔の水洗方法及び装
置を図1及び図3(b)を参照して以下に説明する。図
2に示す部分と同一部分には同一参照符号を付してその
説明を省略する。本発明の特徴は、活性炭吸着塔(1)
の吸着塔(2)に空気過飽和水供給ユニット(8)を洗
浄管(5)に並列して接続したことである。上記空気過
飽和水供給ユニット(8)は、上部に空気導入管(9)
を接続して内部に空気過飽和水(Wo)を収容した加圧
容器(10)と、2入力口(Va)(Vb)を給水ポン
プ(11)と空気コンプレッサ(図示せず)にそれぞれ
配管接続して出力口(Vo)を加圧容器(10)に配管
接続した混合器(エジェクタ)(12)と、加圧容器
(10)をポンプ(13)を介して吸着塔(2)に接続
した供給管(14)とを具備する。そして、予め加圧容
器(10)内に空気を導入してその内部を大気より高圧
保持すると共に、上記混合器(12)において、給水ポ
ンプ(11)から供給した高圧水(Wc)に、より高圧
の圧搾空気(Ao)を過剰に溶解させて空気過飽和水
(Wo)を出力し、加圧容器(10)に収容する。そこ
で、活性炭洗浄時に供給管(14)を介して空気過飽和
水(Wo)を洗浄水(Wb)と共に吸着塔(2)に供給
する。
【0010】上記構成に基づき本発明の動作(方法)を
次に説明する。まず従来と同様、活性炭(3)により被
処理用原水(Wa)を濾過処理した後、活性炭(3)を
洗浄して濾過機能を再生するにあたり、最初に洗浄管
(5)から空気(A)を導入して空洗し、活性炭(3)
に付着している懸濁物質(M)を流動化する。次に、洗
浄管(5)から洗浄水(Wb)を供給して活性炭(3)
を水洗する際、洗浄水(Wb)と共に、その1/5〜1
/3の混合割合で空気過飽和水(Wo)を供給管(1
4)から緩やかに供給する。そうすると、図3(b)に
示すように、空気過飽和水(Wo)から数〜数10μm
オーダーの微細の気泡(B)が発生し、同時に、懸濁物
質(M)の表面が活性炭(3)よりも粗くなっているた
め、特に表面積がより大きくて通水抵抗となる10mm
程度の大径の懸濁物質(M)の周表面に気泡(B)が付
着し、それによって懸濁物質(M)に浮遊力が生じる。
そこで、懸濁物質(M)がそれ自体で浮遊し、洗浄水
(Wb)の量や圧力を大きく、或いは洗浄時間を長くし
なくても、特に通水抵抗になる大径の懸濁物質(M)が
活性炭(3)から容易に脱離・除去され、洗浄水(W
b)と共に排出管(7)から排出される。
【0011】尚、空気過飽和水(Wo)と洗浄水(W
b)とによって水洗するだけでも良いが、その後、更に
従来同様、洗浄水(Wb)だけでその水量、水圧及び洗
浄時間を少なくして付加的に仕上げの水洗をしたり、
又、水洗前の空洗を省略しても良く、懸濁物質(M)の
大きさや比重等の汚れの質によって、適宜、選択的に組
み合わせれば良い。
【0012】具体的には、本発明は「給水ポンプからの
4〜5気圧にした高圧水とコンプレッサからの7〜8気
圧の圧搾空気とを混合器により空気過飽和水を生成し、
加圧容器に収容すると共に、この加圧容器の空気過飽和
水をポンプを介して活性炭吸着塔に逆方向から供給する
ことを特徴とする活性炭吸着塔の水洗方法」を開示し、
給水圧力と圧搾空気との適正圧力による空気過飽和水の
生成とその逆洗使用にある。
【0013】
【発明の効果】本発明によれば、活性炭吸着塔の活性炭
を洗浄・再生する際、洗浄水と共に空気過飽和水を所定
の混合割合で供給したから、活性炭に付着している懸濁
物質に、空気過飽和水から発生した微細な気泡が付着し
て懸濁物質に浮遊力が生じて脱離・除去され易くなり、
洗浄水量、活性炭流出量及び活性炭磨耗量が低減化され
て洗浄効率と生産性向上及びコスト低減化を図ることが
出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る活性炭吸着塔の水洗装置の実施例
を示す概略構成図である。
【図2】(a)(b)(c)は従来の活性炭吸着塔の一
例を示す各動作順の概略側面図である。
【図3】(a)は従来の活性炭吸着塔の動作を示す懸濁
物質脱離状態の要部側断面図である。(b)は本発明に
係る活性炭吸着塔の動作を示す懸濁物質脱離状態の要部
側断面図である。
【符号の説明】
1 活性炭吸着塔 3 活性炭 4 通水管 5 洗浄管 8 空気過飽和水供給ユニット Wo 空気過飽和水

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 濾過用活性炭を収容した活性炭吸着塔内
    に被処理用原水を通水し、原水中の懸濁物質を活性炭に
    捕集させて濾過した後、活性炭を洗浄して濾過機能を再
    生するにあたり、空気が過剰に溶解した空気過飽和水を
    原水通水方向と反対方向から塔内に洗浄水と共に流入さ
    せ、上記過飽和水から発生した微細な気泡を上記懸濁物
    質に付着させて浮遊力を与え、活性炭に付着している懸
    濁物質を脱離・除去して洗浄水と共に排出することを特
    徴とする活性炭吸着塔の水洗方法。
  2. 【請求項2】 給水ポンプからの4〜5気圧にした高圧
    水とコンプレッサからの7〜8気圧の圧搾空気とを混合
    器により空気過飽和水を生成し、加圧容器に収容すると
    共に、この加圧容器の空気過飽和水をポンプを介して活
    性炭吸着塔に逆方向から供給することを特徴とする活性
    炭吸着塔の水洗方法。
  3. 【請求項3】 濾過用活性炭を収容すると共に、上下に
    被処理用原水通水管及びその処理水排出を兼ねた活性炭
    洗浄管を有し、上記通水管から活性炭内に原水を通水し
    て原水中の懸濁物質を活性炭に捕集して濾過する活性炭
    吸着塔と、上記吸着塔に洗浄管に並列して接続してな
    り、空気が過剰に溶解した空気過飽和水を洗浄管から塔
    内に洗浄水と共に供給して上記過飽和水から発生した微
    細な気泡を上記懸濁物質に付着させて浮遊力を与え、活
    性炭に付着している懸濁物質を脱離・除去する空気過飽
    和水供給ユニットとを具備したことを特徴とする活性炭
    吸着塔の水洗装置。
JP2218193A 1993-02-10 1993-02-10 活性炭吸着塔の水洗方法及びその装置 Withdrawn JPH06233978A (ja)

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JP (1) JPH06233978A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009189938A (ja) * 2008-02-13 2009-08-27 Akita Univ マイクロバブルによる活性炭の再生方法及びその装置
CN108862674A (zh) * 2018-07-13 2018-11-23 张琴 一种活性炭吸附式污水处理装置

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Effective date: 20000509