JPH06231498A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH06231498A JPH06231498A JP3928693A JP3928693A JPH06231498A JP H06231498 A JPH06231498 A JP H06231498A JP 3928693 A JP3928693 A JP 3928693A JP 3928693 A JP3928693 A JP 3928693A JP H06231498 A JPH06231498 A JP H06231498A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- protective film
- recording
- magneto
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高温下で、又は、連続して繰り返し再生した
場合にも信号特性の劣化が少ない光磁気記録媒体を提供
する。 【構成】 基板、透明誘電体からなる保護膜、及び、記
録膜を積層して有する光磁気記録媒体において、基板と
記録膜の間に挾持された保護膜の、記録膜側の表面粗さ
が０．１５〜０．２５ｎｍであることを特徴とする光磁
気記録媒体。
場合にも信号特性の劣化が少ない光磁気記録媒体を提供
する。 【構成】 基板、透明誘電体からなる保護膜、及び、記
録膜を積層して有する光磁気記録媒体において、基板と
記録膜の間に挾持された保護膜の、記録膜側の表面粗さ
が０．１５〜０．２５ｎｍであることを特徴とする光磁
気記録媒体。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光磁気記録媒体に関
し、特に、連続して繰り返し再生した場合に信号特性の
劣化が少ない光磁気記録媒体に関する。
し、特に、連続して繰り返し再生した場合に信号特性の
劣化が少ない光磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光磁気記録媒体は、レーザー光を
利用した記録再生により微小記録ビットを作ることで大
容量化を実現してきた。このような記録消去過程及び再
生過程の両方でレーザーを利用する大容量の光磁気記録
媒体においては、高パワーレーザーで記録消去を行い、
低パワーレーザーで再生を行ってきたが、大容量化に伴
い使用期間が長くなり、長期にわたる記録再生の安定
性、信頼性が要求されるようになってきた。
利用した記録再生により微小記録ビットを作ることで大
容量化を実現してきた。このような記録消去過程及び再
生過程の両方でレーザーを利用する大容量の光磁気記録
媒体においては、高パワーレーザーで記録消去を行い、
低パワーレーザーで再生を行ってきたが、大容量化に伴
い使用期間が長くなり、長期にわたる記録再生の安定
性、信頼性が要求されるようになってきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、再生時に環境
温度が非常に高かったり、多数回連続して再生する場合
などは、レーザーは、記録消去過程に近いパワーに上昇
するため記録した信号が読み取りにくくなったり、また
繰り返し再生試験において読みだした信号の特性をしめ
すＣＮＲ（Carrier to Noise Ratio）が大きく低下した
りする場合があり、最悪の場合記録が消去されるおそれ
があった。本発明は上述した問題点に鑑みなされたもの
で、高温下で、又は、連続して繰り返し再生しても信号
特性の低下が少ない光磁気記録媒体を提供することを目
的とする。
温度が非常に高かったり、多数回連続して再生する場合
などは、レーザーは、記録消去過程に近いパワーに上昇
するため記録した信号が読み取りにくくなったり、また
繰り返し再生試験において読みだした信号の特性をしめ
すＣＮＲ（Carrier to Noise Ratio）が大きく低下した
りする場合があり、最悪の場合記録が消去されるおそれ
があった。本発明は上述した問題点に鑑みなされたもの
で、高温下で、又は、連続して繰り返し再生しても信号
特性の低下が少ない光磁気記録媒体を提供することを目
的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上述の目
的を達成するため鋭意検討した結果、保護膜の表面粗さ
が、高温下又は、連続して繰り返し再生した場合の信号
特性に影響を及ぼすことを見出し、本発明を完成させ
た。なお、ここで用いる表面粗さとは、ＪＩＢ０６０１
で定義された中心線平均粗さ（Ｒａ）をいい、原子間力
顕微鏡（ＡＭＦ）で測定した値を指す。
的を達成するため鋭意検討した結果、保護膜の表面粗さ
が、高温下又は、連続して繰り返し再生した場合の信号
特性に影響を及ぼすことを見出し、本発明を完成させ
た。なお、ここで用いる表面粗さとは、ＪＩＢ０６０１
で定義された中心線平均粗さ（Ｒａ）をいい、原子間力
顕微鏡（ＡＭＦ）で測定した値を指す。
【０００５】すなわち、本発明によって、基板、透明誘
電体からなる保護膜、及び、記録膜を積層して有する光
磁気記録媒体において、基板と記録膜の間に挾持された
保護膜の、記録膜側の表面粗さが０．１５〜０．２５ｎ
ｍである光磁気記録媒体が提供される。
電体からなる保護膜、及び、記録膜を積層して有する光
磁気記録媒体において、基板と記録膜の間に挾持された
保護膜の、記録膜側の表面粗さが０．１５〜０．２５ｎ
ｍである光磁気記録媒体が提供される。
【０００６】また、前記記録膜の上に、さらに第二の保
護膜及び反射膜を積層してなる光磁気記録媒体が提供さ
れる。
護膜及び反射膜を積層してなる光磁気記録媒体が提供さ
れる。
【０００７】また、前記保護膜がＳｉＮ，ＳｉＡｌＮ，
ＴａＯ2 ，又は、ＺｎＳの単体又は混合物からなる光磁
気記録媒体が提供される。
ＴａＯ2 ，又は、ＺｎＳの単体又は混合物からなる光磁
気記録媒体が提供される。
【０００８】さらに、前記記録層が希土類遷移金属合
金、貴金属遷移金属合金もしくはＭｎＢｉ合金の単体も
しくは混合物の、単層膜又は多層膜からなる光磁気記録
媒体が提供される。
金、貴金属遷移金属合金もしくはＭｎＢｉ合金の単体も
しくは混合物の、単層膜又は多層膜からなる光磁気記録
媒体が提供される。
【０００９】以下、本発明をさらに詳細に説明する。本
発明で用いる基板としては特に制限されないが、たとえ
ば、熱硬化エポキシ樹脂，ガラス，ポリオレフィンを挙
げることができ、具体的には光学特性に優れ、成形性が
良いことからポリカーボネートが好適に用いられる。
発明で用いる基板としては特に制限されないが、たとえ
ば、熱硬化エポキシ樹脂，ガラス，ポリオレフィンを挙
げることができ、具体的には光学特性に優れ、成形性が
良いことからポリカーボネートが好適に用いられる。
【００１０】保護膜は記録膜の腐食防止と読み出し光を
干渉させるいわゆるエンハンス効果を持たせるために用
いられる。その材質としては、特に制限されないが、た
とえば、窒化物、酸化物等の誘電体膜を好適に用いるこ
とができる。具体的には、ＳｉＮ，ＳｉＡｌＮ，ＴａＯ
2 ，ＺｎＯ等を挙げることができる。
干渉させるいわゆるエンハンス効果を持たせるために用
いられる。その材質としては、特に制限されないが、た
とえば、窒化物、酸化物等の誘電体膜を好適に用いるこ
とができる。具体的には、ＳｉＮ，ＳｉＡｌＮ，ＴａＯ
2 ，ＺｎＯ等を挙げることができる。
【００１１】基板と記録膜の間に挾持された保護膜の記
録膜側の表面粗さは０．１５〜０．２５ｎｍとし、０．
１８〜０．２２ｎｍとすることが好ましい。０．１５ｎ
ｍより細かいと再生耐久性が悪く、０．２５ｎｍより粗
いと信号特性が悪くなるからであるからである。
録膜側の表面粗さは０．１５〜０．２５ｎｍとし、０．
１８〜０．２２ｎｍとすることが好ましい。０．１５ｎ
ｍより細かいと再生耐久性が悪く、０．２５ｎｍより粗
いと信号特性が悪くなるからであるからである。
【００１２】保護膜は、上記のものの他に、記録膜の上
に記録膜の保護と読み出し光を干渉させるいわゆるエン
ハンス効果を持たせるのためさらに第二の保護膜の形で
積層して設けてもよい。この場合、表面粗さについて特
に制限されることはない。材質も上述の保護膜と同一の
ものを用いることができる。
に記録膜の保護と読み出し光を干渉させるいわゆるエン
ハンス効果を持たせるのためさらに第二の保護膜の形で
積層して設けてもよい。この場合、表面粗さについて特
に制限されることはない。材質も上述の保護膜と同一の
ものを用いることができる。
【００１３】さらに、この第二の保護膜上に反射膜を、
記録時の熱拡散層，読み出し光の反射層のため積層して
設けてもよい。この反射膜としては、読み出し光を反射
することで記録膜のファラデー効果を生じさせるためＡ
ｌ，Ｔｉ，ＡｌＴｉ等の高反射率で熱伝導率が高い金属
を好適に用いることができる。
記録時の熱拡散層，読み出し光の反射層のため積層して
設けてもよい。この反射膜としては、読み出し光を反射
することで記録膜のファラデー効果を生じさせるためＡ
ｌ，Ｔｉ，ＡｌＴｉ等の高反射率で熱伝導率が高い金属
を好適に用いることができる。
【００１４】記録膜としては、特に制限されないが、希
土類遷移金属合金、貴金属遷移金属合金、ＭｎＢｉ合金
等の単体もしくは混合物の、単層膜、又は、多層膜を好
適に用いることができる。
土類遷移金属合金、貴金属遷移金属合金、ＭｎＢｉ合金
等の単体もしくは混合物の、単層膜、又は、多層膜を好
適に用いることができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明を実施例によってさらに詳細に
説明する。厚さ１．２ｍｍ、大きさφ８６ｍｍのポリカ
ーボネート基板上に、マグネトロンスパッタ法によって
全ての薄膜を形成した。最初に保護膜であるＳｉＡｌＮ
を成膜し、次にＴｂＦｅＣｏ記録膜、さらに第二保護膜
のＳｉＡｌＮ、最後に反射膜のＡｌＴｉを成膜した。従
って、層構成はＰＣ基板／ＳｉＡｌＮ／ＴｂＦｅＣｏ／
ＳｉＡｌＮ／ＡｌＴｉとなった。保護膜の粗さは成膜時
の圧力で調整することが可能で、今回使用した成膜装置
においては成膜時の圧力を上げるほど表面は粗くなり、
粗さ０．１５ｎｍ以上を実現するには保護膜を３ｍＴｏ
ｒｒ以上のガス圧で成膜することが必要であった。今回
の実施例においては保護膜はアルゴン、窒素の混合ガス
を用いた反応性スパッタリングを行い、成膜時の圧力は
３．６ｍＴｏｒｒ、窒素分圧は３６％とした。記録膜は
１．５ｍＴｏｒｒ、反射膜は４ｍＴｏｒｒで成膜した。
表面粗さは、０．２０ｎｍであった。
説明する。厚さ１．２ｍｍ、大きさφ８６ｍｍのポリカ
ーボネート基板上に、マグネトロンスパッタ法によって
全ての薄膜を形成した。最初に保護膜であるＳｉＡｌＮ
を成膜し、次にＴｂＦｅＣｏ記録膜、さらに第二保護膜
のＳｉＡｌＮ、最後に反射膜のＡｌＴｉを成膜した。従
って、層構成はＰＣ基板／ＳｉＡｌＮ／ＴｂＦｅＣｏ／
ＳｉＡｌＮ／ＡｌＴｉとなった。保護膜の粗さは成膜時
の圧力で調整することが可能で、今回使用した成膜装置
においては成膜時の圧力を上げるほど表面は粗くなり、
粗さ０．１５ｎｍ以上を実現するには保護膜を３ｍＴｏ
ｒｒ以上のガス圧で成膜することが必要であった。今回
の実施例においては保護膜はアルゴン、窒素の混合ガス
を用いた反応性スパッタリングを行い、成膜時の圧力は
３．６ｍＴｏｒｒ、窒素分圧は３６％とした。記録膜は
１．５ｍＴｏｒｒ、反射膜は４ｍＴｏｒｒで成膜した。
表面粗さは、０．２０ｎｍであった。
【００１６】
【比較例】保護膜の成膜時のガス圧を１．８ｍＴｏｒｒ
とした以外は実施例と同様にして比較用サンプルを作成
した。表面粗さは０．０６ｎｍであった。
とした以外は実施例と同様にして比較用サンプルを作成
した。表面粗さは０．０６ｎｍであった。
【００１７】実施例及び比較例で得られた光磁気記録媒
体を、再生回数に従ってＣＮＲが低下する程度を図１に
示す。なお、測定で用いた機器はレーザー波長８３０ｎ
ｍ，Ｎ．Ａ．が０．５３の光磁気ディスク評価装置（Ｍ
ＯＰＰＬＥ−９オリンパス社）であった。
体を、再生回数に従ってＣＮＲが低下する程度を図１に
示す。なお、測定で用いた機器はレーザー波長８３０ｎ
ｍ，Ｎ．Ａ．が０．５３の光磁気ディスク評価装置（Ｍ
ＯＰＰＬＥ−９オリンパス社）であった。
【００１８】
【発明の効果】本発明は、高温下で、又は、連続して繰
り返し再生した場合にも信号特性の劣化が少ないという
効果を発揮する。
り返し再生した場合にも信号特性の劣化が少ないという
効果を発揮する。
【図１】本発明の実施例及び比較例で得られた光磁気記
録媒体を、再生回数に従ってＣＮＲが低下する程度を示
す説明図である。
録媒体を、再生回数に従ってＣＮＲが低下する程度を示
す説明図である。
Claims (4)
- 【請求項１】 基板、透明誘電体からなる保護膜、及
び、記録膜を積層して有する光磁気記録媒体において、 基板と記録膜の間に挾持された保護膜の、記録膜側の表
面粗さが０．１５〜０．２５ｎｍであることを特徴とす
る光磁気記録媒体。 - 【請求項２】 前記記録膜の上に、さらに第二の保護膜
及び反射膜を積層してなることを特徴とする請求項１記
載の光磁気記録媒体。 - 【請求項３】 前記保護膜がＳｉＮ，ＳｉＡｌＮ，Ｔａ
Ｏ2 ，又は、ＺｎＳの単体又は混合物からなるものであ
る請求項１又は２記載の光磁気記録媒体。 - 【請求項４】 前記記録膜が、希土類遷移金属合金、貴
金属遷移金属合金もしくはＭｎＢｉ合金の単体もしくは
混合物の、単層膜又は多層膜からなるものでることを特
徴とする請求項１〜３記載の光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3928693A JPH06231498A (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3928693A JPH06231498A (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06231498A true JPH06231498A (ja) | 1994-08-19 |
Family
ID=12548921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3928693A Pending JPH06231498A (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06231498A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1096486A2 (en) * | 1999-10-29 | 2001-05-02 | Sony Corporation | Magneto-optical recording medium |
-
1993
- 1993-02-04 JP JP3928693A patent/JPH06231498A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1096486A2 (en) * | 1999-10-29 | 2001-05-02 | Sony Corporation | Magneto-optical recording medium |
| EP1096486A3 (en) * | 1999-10-29 | 2002-06-12 | Sony Corporation | Magneto-optical recording medium |
| US6638597B1 (en) | 1999-10-29 | 2003-10-28 | Sony Corporation | Magneto-optical recording medium |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100251979B1 (ko) | 광기록매체(optical recording medium) | |
| JPS62177736A (ja) | 光学記憶素子 | |
| JP3178025B2 (ja) | 光磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JP2547768B2 (ja) | 光学的磁気記録媒体 | |
| US4578322A (en) | Recording medium | |
| JPH06231498A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2955112B2 (ja) | 光磁気記憶媒体 | |
| JP2622206B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2555113B2 (ja) | 光学的磁気記録媒体の製造法 | |
| JPS6316439A (ja) | 光学的磁気記録媒体の製造法 | |
| JP2904989B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2624128B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP3414823B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP3109927B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP3109926B2 (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2843418B2 (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2663881B2 (ja) | 光磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JP3148017B2 (ja) | 光磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JP2865159B2 (ja) | 光磁気記録媒体とその再生方法 | |
| JP3030713B2 (ja) | 光磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JP2740814B2 (ja) | 光磁記録媒体 | |
| JP3116430B2 (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2801984B2 (ja) | 磁気光学記憶素子 | |
| JPH05242525A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH06124488A (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法 |