JPH06221809A - 板状媒体の機械特性を測定する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】この発明は、両面記録用光ディスクに関し、各
記録面の動的機械特性を同時に検査できる光ディスクの
検査装置を提供することを目的とする。 【構成】検査装置10は、両面記録用光ディスクの第一及
び第二の記録面Rmａ及びRmｂのそれぞれに対向配置され
た第一及び第二のピックアップ30及び 130、この２つの
ピックアップ30及び 130を同時に移動可能に保持する検
出ユニット20、この検出ユニット20からの出力を合成す
ることで、各記録面Rmａ及びRmｂの動的機械特性を同時
に計数するとともに、一方の記録面Rmａに対する残りの
記録面Rmｂの動的機械特性、即ち、記録面Rmａの回転中
心に対する記録面Rmｂのトラックの軸ずれ (偏心) など
を計測できる制御部60から構成される。また、切替え装
置50を介して制御部60が簡素化されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば、光学的情報
記録に利用される情報記録媒体の検査装置に係り、特
に、両面記録タイプの情報記録媒体における記録面の表
裏の機械特性に関し、表裏同時に検査できる検査装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】光学的情報記録媒体即ち光ディスクの検
査装置は、追記型或いは光磁気型光ディスクに関し、光
ディスクが回転された状態で光ディスクの動的機械特性
を測定するために利用される。

【０００３】上記検査装置は、検査対象としての光ディ
スクを回転させるディスク駆動モータ、光ディスクの記
録面に形成されているトラックを追跡することで様々な
動的機械特性を計測する光ピックアップ、この光ピック
アップを上記記録面に平行、且つ、上記トラックに直交
する方法に沿って移動させるスライダ部、及び、上記光
ピックアップと上記光ディスクとの位置関係を一定に維
持させるとともに、上記光ピックアップを介して検出さ
れた様々なデータを処理する制御部などを含んでいる。

【０００４】上記ディスク駆動モータのスピンドルに
は、ディスククランプが配置され、検査対象である光デ
ィスクが確実に固定される。上記光ピックアップは、デ
ィスクの検査に利用される光ビームを出力する光源とし
てのレーザダイオード、上記光ビームを光ディスクの所
望の位置に集束させるに対物レンズ、記録面から反射さ
れた光ビームを検出する光検出器、及び、上記対物レン
ズを所望の方向に移動させるフォーカシングコイル及び
トラッキングコイルなどを有し、光ディスクの記録面に
光ビームを照射させるとともに、記録面からの反射光ビ
ームを検出し、電気信号に変換して、制御部に出力す
る。

【０００５】上記スライダ部は、上記光ピックアップを
移動可能に支持するスライダブロックを有し、上記光ピ
ックアップを上記記録面に沿って移動させる。上記制御
部は、レーザダイオードを付勢するレーザドライバ、光
検出器を介して検出された情報を処理し、光ディスクの
動的機械特性を算出する演算部、対物レンズのフォーカ
シング及びトラッキングを制御するレンズ制御部、及
び、スライダブロック (即ち光ピックアップ) を所望の
位置に移動させるスライダ制御部などを含み、検査対象
である光ディスクの動的機械特性を正確に検出するとと
もに、光ディスクの合否を判定する。

【０００６】上記検査装置によれば、光ディスクは、上
記ディスククランプを介してディスク駆動モータのスピ
ンドルに固定され、所望の速度で回転される。スライダ
ブロックの移動によって光ピックアップが所望の位置に
移動され、対物レンズと光ディスクの記録面の目的のト
ラックとのトラッキング及びフォーカシングが所望のレ
ベルに制御される。この状態で、レーザダイオードから
光ディスクの記録に向かって光ビームが出射される。

【０００７】レーザダイオードからの光ビームは、光デ
ィスクの動的機械特性によって変化が与えられた状態で
記録面から反射され、光検出器へ戻される。光検出器へ
戻された反射光ビームは、演算部を介して、光ディスク
の動的機械特性に関する様々な計測データとして処理さ
れ、例えば、モニタ装置などに出力される。尚、動的機
械特性として計測されるデータは、例えば、面振れ量、
面振れ加速度、径方向振れ量、径方向振れ加速度、円周
方向反り角、径方向反り角、合成反り角、偏芯量、及
び、真円度などである。また、検出器へ戻された反射光
ビームの一部は、レンズ制御部を介して、対物レンズと
光ディスクとの間のトラッキング及びフォーカシングの
ために利用される。

【０００８】この種の検査装置としては、例えば、小野
測器株式会社より市販されているＬＭ−１００が知られ
ている。検査装置の詳細は、小野測器技術ノートＮｏ．
５４に示されている。また、特開平３−１３２９８２号
には、光ディスクの片面を検査する装置の例が示されて
いる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】従来の記録装置では、
光ディスクに情報が記録される際には、水平方向に回転
される光ディスクの下面 (即ち、光ディスクが重力によ
って撓む方向) 方向からのみ、情報が記録される。従っ
て、光ディスクの動的機械特性を計測する場合には、光
ディスクの下面 (即ち、光ディスクが重力によって撓
む) 方向に関してのみ検査することで、光ディスクの合
否が判定可能であった。

【００１０】しかしながら、近年、記録密度が向上され
ることで、光ディスクの表裏の記録面に、同時に、情報
を記録するタイプの情報記録装置が提案されている。こ
の場合、従来の検査装置では計測することのできない新
たな動的機械特性、例えば、水平方向に回転される光デ
ィスクの上面 (即ち、光ディスクが重力によって撓む方
向に対向する) 方向に関するディスクの反り或いは振動
などが発生されることから、光ディスクの合否が判定で
きない問題がある。この発明の目的は、両面記録用光デ
ィスクに関し、各記録面の動的機械特性を両面記録可能
状態で検査できる光ディスクの検査装置を提供すること
にある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明は、上記問題点
に基づきなされたもので、光ディスクを回転させる手
段、この回転手段によって上記光ディスクが回転される
間、第一の面のスパイラル状のトラックの位置の第一の
位置の指示を検知する第一の検知手段、この第一の検知
手段によって上記第一の面の第一の位置が検知される
間、第二の面のスパイラル状のトラックの位置の第二の
位置の指示を検知する第二の検知手段、上記第一の検知
手段及び第二の検知手段が接続され、上記第一の位置に
関連して上記第一の面上の第一のトラック偏心、及び、
上記第二の位置に関連して上記第二の面上の第二のトラ
ック偏心を計算する制御手段、及びこの制御手段に接続
され、上記制御手段が計算した第一の偏心及び第二の偏
心のいづれか一方を制御する選択手段を有し、それぞれ
スパイラル状のトラックを有する第一及び第二の面を有
する光ディスクの両面の機械特性を計測する装置を提供
するものである。

【００１２】また、この発明によれば、第一の面及びこ
の第一の面に対向する第二の面を有する板状媒体を面方
向に回転させる手段、上記板状媒体の第一の面に対向さ
れ、第一の面が回転された状態の機械特性を検出する第
一の検出手段、前記板状媒体の第二の面に対向され、第
二の面が回転された状態の機械特性を検出する第二の検
出手段、この第二の検出手段及び上記第一の検出手段を
一体に保持する手段、及び、上記第一及び第二の検出手
段からの出力を合成することで、上記板状媒体が回転さ
れた状態での第一及び第二の両面に関する機械特性を演
算する手段を有する測定装置が提供される。

【００１３】さらに、この発明によれば、互いに対向配
置された第一及び第二の記録面を有する情報記録媒体を
面方向に沿って回転させる手段、上記第一の記録面に対
向配置され、上記第一の記録面が回転された状態におけ
る機械特性を検出する第一の検出手段、この第一の検出
手段と一体、且つ、上記情報記録媒体を挟みこむととも
に前記第二の記録面に対向するよう形成され、前記第二
の記録面が回転された状態の機械特性を検出する第二の
検出手段、この第二の検出手段及び上記第一の検出手段
からの出力を合成することで、上記記録媒体が回転され
た状態での第一及び第二の記録面に関する合成機械特性
を演算する手段、及び、この演算手段と上記第一及び第
二の検出手段との間に配置され、上記第一及び第二の検
出手段から出力される上記機械特性を、上記演算手段に
選択的に入力させる切替え手段を有する測定装置が提供
される。

【００１４】またさらに、この発明によれば、互いに対
向配置された第一及び第二の記録面を有する光ディスク
を面方向に沿って回転させる手段、上記光ディスクの第
一の面に対向され、この第一の面との間隔が待機状態よ
りも狭く規定されることで、第一の面が回転された状態
の機械特性を検出可能となる第一の検出手段、前記光デ
ィスクの第二の面に対向され、この第二の面との間隔が
待機状態よりも狭く規定されることで、第二の面が回転
された状態の機械特性を検出可能となる第二の検出手
段、上記第一及び第二の検出手段を、それぞれの検出手
段の間に上記光ディスクを上記光ディスクの厚さよりも
大きな間隔で挟み込んだ状態で、一体に保持する手段、
及び、この保持手段を上記光ディスクのそれぞれの記録
面と直交する方向に移動させる手段であって、上記第一
及び第二の検出手段のいづれか一方が、それぞれの検出
手段が対向される面の機械特性を検出可能な間隔まで移
動させる手段を有する測定装置が提供される。

【００１５】

【作用】この発明のディスク検査装置によれば、一体に
移動可能に形成された第一及び第二の検出手段は、両面
記録可能な光学的情報記録媒体の表裏の記録面の動的機
械特性を同時に検査できる。このことは、回転中心に対
する両記録面のトラックの軸ずれなどの、両面記録可能
な情報記録媒体が両面同時記録装置に利用された場合に
のみ問題となる動的機械特性の測定を可能する。

【００１６】

【実施例】図１には、この発明の実施例である光ディス
ク検査装置が示されている。ディスク検査装置10は、検
査対象である光ディスク (光学的情報記録媒体) Rmを情
報記録装置と実質的に等しい条件或いは任意の設定速度
で回転させるディスク駆動モータ12、この駆動モータ12
を介して回転される光ディスクRmのさまざまな動的機械
特性を検出する検出ユニット20、及び、この検出ユニッ
ト20を介して検出された様々なデータを処理する制御部
60などを含んでいる。

【００１７】ディスク駆動モータ12のスピンドルには、
光ディスクRmを固定するためのディスクマウント14及び
ディスククランプ16が配置され、検査対象である光ディ
スクRmが確実に固定される。尚、ディスク駆動モータ12
としては、例えば、エアスピンドルモータが利用され、
径方向の軸ずれ及び軸方向スラストに関し、概ね０．０
５μｍ以下の精度が確保されている。また、ディスクク
ランプ16としては、例えば、ＩＳＯ準拠のマグネット方
式或いはメカニカル方式のいづれかが用意される。

【００１８】検出ユニット20は、光ディスクRmの第一及
び第二の記録面Rmａ及びRmｂに予め形成されている図示
しないトラックを追跡することで様々な動的機械特性を
計測する第一及び第二の光ピックアップ30及び 130、及
び、この２つのピックアップ30及び 130を、上記光ディ
スクRmの第一及び第二の記録面Rmａ及びRmｂに対してそ
れぞれ対向させるための第一及び第二の保持部20ａ及び
20ｂを有している。また、この検出ユニット20は、図示
しないエアスライダが組込まれているベース22上に、上
記光ディスクRmの第一及び第二の記録面Rmａ及びRmｂに
平行な方向であって上記トラックに直交する方法に沿っ
て移動可能に載置され、ベース22の一端部に配置されて
いるスライダモータ24及びこのモータ24からの駆動力を
伝達する精密リードネジ26を介して、概ね１μｍ単位で
移動される。尚、第一及び第二の保持部20ａ及び20ｂが
一体に形成されることで、上記トラックに直交する方法
に沿って移動される第一及び第二のピックアップ30及び
130と光ディスクRmの各記録面Rmａ及びRmｂとのずれを
考慮する必要がなくなることはいうまでもない。

【００１９】第一及び第二の光ピックアップ30及び 130
は、ディスクの検査に利用される光ビームを出力する光
源としての図示しないレーザダイオード、レーザダイオ
ードから出射された光ビームを検査対象である光ディス
クRmの記録面の所望の位置に集束させるに対物レンズ32
及び 132、各記録面Rmａ及びRmｂを介して反射された光
ビームを検出する図示しない光検出器、対物レンズ32及
び 132を、例えば、ディスクの記録面と直交する方向或
いはディスクの記録面と平行であってトラックと直交す
る方向に移動させる図示しないフォーカシングコイル及
びトラッキングコイル、及び、対物レンズ32及び 132が
移動された量即ちそれぞれのレンズの変位量を計測する
ための変位センサ34及び 134などを、それぞれ、一組づ
つ有している。この光ピックアップ30及び 130によれ
ば、光ディスクRmの各記録面Rmａ及びRmｂのそれぞれに
対し、光ビームを照射され、各記録面Rmａ及びRmｂから
の反射光ビームが検出されて、制御部60に、同時に出力
される。

【００２０】制御部60は、上記スピンドルモータ及びス
ライダモータをそれぞれ付勢する図示しないモータドラ
イバ、上記２つのピックアップ30及び 130に含まれてい
る個々の光検出器を介して検出された情報を処理し、光
ディスクRmの動的機械特性を算出する図示しない演算部
(信号処理部62，図２参照) 、及び、この演算部を介し
て求められた光ディスクRmの動的機械特性に基づいて、
検査対象である光ディスクRmの合否を判定する図示しな
い判定部 (信号処理部62，図２参照) を含んでいる。

【００２１】図２から明らかなように、制御部60は、切
替え装置50を介して第１及び第２のピックアップ30及び
130のいづれかから供給される信号、即ち、変位センサ
34及び 134からの変位信号を増幅するセンサアンプ61、
このセンサアンプ61で増幅された信号に基づいて光ディ
スクRmの動的機械特性を算出し、表示装置70に表示させ
るとともに、第１及び第２のピックアップ30及び 130の
位置、レーザダイオードの出力、及び、対物レンズ32及
び 132の位置などを制御するための所定の信号を発生す
る信号処理部62、信号処理部62からのレーザ制御信号に
応じてレーザダイオードを付勢するＬＤコントロール6
3、信号処理部62からのレンズ位置制御信号に応じて対
物レンズ32及び 132の位置を制御するフォーカシング／
トラッキング・サーボ回路65などから構成されている。
尚、フォーカシング／トラッキング・サーボ回路65に
は、ＬＤコントロール63からのレーザ制御信号も高周波
アンプ64を経由して供給される。このようにして、対物
レンズ32及び 132は、それぞれのピックアップ30及び 1
30に組込まれている光検出器の出力に対応してフォーカ
シング／トラッキング・サーボ回路65から発生されるレ
ンズ位置制御信号に基づいて、相互に、かつ、独立に、
移動されるとともに、変位センサ34及び 134を介して、
それぞれのレンズ32及び 132の位置 (変位量) が計測さ
れる。この計測された位置 (変位量) は、制御部60の信
号処理部62を介して光ディスクRmの動的機械特性或いは
光ディスクRmの合否の判定に利用され、また、合否の結
果は、例えば、表示装置70に表示される。

【００２２】上記第一及び第二の光ピックアップ30及び
130と上記制御部60との間には、それぞれのピックアッ
プ30及び 130に含まれている光検出器からの出力を上記
制御部60に入力するための第一及び第二の信号入力部40
Ｒ及び 140Ｒ、上記制御部60から上記対物レンズ32及び
132のフォーカシング及びトラッキングのためのサーボ
信号などをそれぞれのピックアップ30及び 130に伝達す
るための第一及び第二の信号出力部40Ｓ及び 140Ｓ、及
び、それぞれの入力部及び出力部と上記制御部60とを切
替え可能に接続する切替え装置50が配置されている。
尚、切替え装置50と制御部60との間は、一組の入力部Ｒ
と出力部Ｓによって接続される。

【００２３】次に、図１に示されている検査装置10の動
作を説明する。上記検査装置10によれば、検査対象であ
る光ディスクRmは、ディスクマウント14及びディスクク
ランプ16を介してディスク駆動モータ12のスピンドルに
固定され、所望の速度で回転される。

【００２４】引続いて、スライダモータ24及び精密リー
ドネジ26を介して、検出ユニット20が光ディスクRmの各
記録面Rmａ及びRmｂと平行に移動される。既に説明した
ように、検出ユニット20には、第一及び第二のピックア
ップ30及び 130が配置されていることから、光ディスク
Rmの各記録面Rmａ及びRmｂと第一及び第二のピックアッ
プ30及び 130は、互いに、所望の位置に対向される。こ
の場合、第一及び第二のピックアップ30及び 130は、光
ディスクRmの各記録面Rmａ及びRmｂに対して、実質的に
等しい距離だけ、同時に移動される。

【００２５】検出ユニット20が移動されることで、２つ
の光ピックアップ30及び 130は、それぞれ、上記各記録
面Rmａ及びRmｂの所望のトラックの近傍に位置される。
引続いて、それぞれのピックアップ30及び 130に含まれ
ているフォーカシングコイル及びトラッキングコイルが
制御部60を介して付勢され、第一及び第二の対物レンズ
32及び 132が、それぞれ、目的のトラックの中心に移動
されるとともに、対物レンズ32及び 132に固有の焦点距
離と、対物レンズ32及び 132と各記録面Rmａ及びRmｂと
の間の距離とが整合される。即ち、各記録面Rmａ及びRm
ｂの目的のトラックに対して、それぞれの対物レンズ32
及び 132がトラッキングされ、同時に、フォーカスが整
合され、変位センサ34及び 134を介して対物レンズ32及
び 132の位置 (変位量) が計測される。この状態で、制
御部60のレーザドライバが付勢され、個々のピックアッ
プ30及び 130のレーザダイオードから、所望の強度に規
定された光ビームが光ディスクRmの各記録面Rmａ及びRm
ｂに向かって出射される。

【００２６】上記各記録面Rmａ及びRmｂに向かって出射
された２つのレーザ光ビームは、各記録面Rmａ及びRmｂ
の動的機械特性によって変化が与えられた状態で各記録
面Rmａ及びRmｂから反射され、それぞれ、同一のピック
アップに組込まれている個々の光検出器へ戻され、同時
に、変位センサ34及び 134から変位量信号が出力され
る。それぞれの光検出器へ戻された反射レーザビーム及
び変位量信号は、第一及び第二の信号伝達部40Ｒ及び 1
40Ｒ、及び、切替え装置50を介して、制御部60の信号処
理部62へ入力され、信号処理部62によって処理され、例
えば、面振れ量、面振れ加速度、径方向振れ量、径方向
振れ加速度、円周方向反り角、径方向反り角、第一及び
第二の記録面に関する合成反り角、偏芯量、回転中心に
対する両記録面のトラックの軸ずれ、及び、真円度など
の情報として図示しないモニタ装置などに出力される。
尚、この出力は、例えば、図示しない外部拡張装置を介
して、例えば、図示しないフロッピーディスクなどに保
存させてもよい。また、図示しないプリンタ装置を利用
することで、グラフ及び測定パラメータ／データ等解析
結果のリストを出力することも可能である。

【００２７】一方、第一及び第二の光ピックアップ30及
び 130のそれぞれの光検出器へ戻された反射光ビームの
一部は、同時に、制御部60内のレンズ制御部を介して、
２つの対物レンズ32及び 132と光ディスクRmの各記録面
Rmａ及びRmｂとの間のトラッキング及びフォーカシング
のために利用される。即ち、上記様々な動的機械特性
は、上記トラッキング及びフォーカシングが正確に維持
された状態で計測されなければならないことから、上記
それぞれの対物レンズと光ディスクRmの各記録面Rmａ及
びRmｂとの位置関係は、上記動的機械特性に先だって或
いは平行して常時モニタされ、トラッキング及びフォー
カシングに関し、ずれ (即ちエラー) が生じた場合に
は、個々の対物レンズ32及び 132の位置が補正される。

【００２８】また、第一及び第二のピックアップ30及び
130から制御部60へ入力される信号即ち多くの検出デー
タ、及び、制御部60から、第一及び第二のピックアップ
30及び 130に向かって出力される信号即ちトラッキング
信号、フォーカシング信号及びレーザドライバからのレ
ーザ駆動信号などは、切替え装置50を介して、各記録面
Rmａ及びRmｂごとに、交互に、入出力される。尚、図１
に示されている実施例では、第一及び第二のピックアッ
プ30及び 132と制御部60とは、切替え装置50を介して切
替え可能に接続されているが、例えば、図３に示されて
いるように、制御部60 (特に、演算部、レーザドライ
バ、或いは、フォーカス・トラックサーボ部などの電気
回路要素) 及び表示部70が、それぞれ、２組配置されて
もよいことはいうまでもない。この場合、検査時間が短
縮できることは、明らかである。

【００２９】以上説明したように、検査装置10によれ
ば、検査対象である光ディスクの表裏を入替えることな
く、しかも、水平方向に回転される光ディスクの上面
(即ち光ディスクが重力によって撓む方向に対向する)
方向に関するディスクの反り、或いは振動、または、回
転中心に対する両記録面のトラックの軸ずれなどの、両
面記録タイプの光ディスクが両面同時記録装置に利用さ
れた場合にのみ問題となる動的機械特性が容易に測定で
きる。

【００３０】図４には、図１ないし図３に示されている
ディスク検査装置とは異なる検査装置が示されている。
尚、この図４では、図１ないし図３に示されている検査
装置における構成及び部材と実質的に同一の構成及び部
材には、同一の符号を譜して詳細な説明を省略する。

【００３１】ディスク検査装置 200は、検査対象である
光ディスクRmを回転させるディスク駆動モータ12、この
駆動モータ12を介して回転される光ディスクRmのさまざ
まな動的機械特性を検出する検出ユニット 220、この検
出ユニット 220を光ディスクRmの記録面Rmａ及びRmｂと
直交する方向に移動 (上下動) させる検出ユニット上下
装置 250、及び、上記検出ユニット 220を介して検出さ
れた様々なデータを処理する制御部60などを含んでい
る。

【００３２】検出ユニット 220は、光ディスクRmの記録
面Rmａ及びRmｂに関し、様々な動的機械特性を計測する
第一及び第二の光ピックアップ30及び 130、及び、この
２つのピックアップ30及び 130を、上記記録面Rmａ及び
Rmｂに対してそれぞれ対向させるための第一及び第二の
保持部20ａ及び20ｂを有している。この第一及び第二の
保持部20ａ及び20ｂは、検出ユニット 220の一部である
垂直アーム 222を介して、計測すべき光ディスクRmの厚
さに対し、少なくとも２倍の間隔で対向されている。垂
直アーム 222の長さ、即ち、上記保持部20ａと保持部20
ｂとの間の間隔は、例えば、検査対象即ち光ディスクRm
がディスク駆動モータ12のディスクマウント14に装着さ
れる際に、上記第一及び第二の光ピックアップ30及び 1
30のいづれにも接触することのない間隔 (長さ) に規定
されることはいうまでもない。

【００３３】また、検出ユニット 220は、図示しないエ
アスライダが組込まれているベース22上に、上記光ディ
スクRmの記録面Rmａ及びRmｂに沿って移動可能に載置さ
れ、さらに、上記検出ユニット上下装置 250を介して、
ベース22と一体に、上記光ディスクの記録面Rmａ及びRm
ｂと直交する方向に移動可能に形成されている。

【００３４】上記検出ユニット上下装置 250は、上記検
出ユニット 220を光ディスクRmの記録面と直交する方向
に移動可能に支持するステージ 252、このステージ 252
を上下させるための駆動力を発生する上下モータ 254、
この上下モータ 254からの駆動力を伝達する精密リード
ネジ 256、及び、精密リードネジ 256を介して伝達され
た駆動力に応じて上記ステージ 252を付勢する機械式上
下機構 258を含んでいる。いうまでもなく、例えば、上
下モータ 254、精密リードネジ 256及び機械式上下機構
258は、例えば、図示しないオイルポンプ及び油圧ピス
トンなどであってもよい。尚、検出ユニット上下装置 2
50における上記ステージ 252の位置 (ディスクの記録面
に直交する方向に関する高さ) は、ディスク装着時及び
非動作状態 (初期状態) において、光ディスクRmがディ
スク駆動モータ12に装着された状態を想定して規定され
る仮想中立点 (図３に一点鎖線で示されている) と、上
記第一或いは第二の光ピックアップ30または 130のそれ
ぞれ、との間の距離が概ね等しくなるよう設定される。

【００３５】次に、図５ (ａ) 及び (ｂ) を用いて図４
に示されている検査装置 200の動作を説明する。図５
(ａ) から明らかなように、被検査媒体即ち光ディスクR
mは、ディスク検査装置 200におけるディスクマウント1
4及びディスククランプ16を介してディスク駆動モータ1
2のスピンドルに固定され、所望の速度で回転される。
モータ12の回転数即ち光ディスクRmの回転数が安定した
時点で、スライダモータ24及び精密リードネジ26を介し
て、検出ユニット 220が光ディスクRmの各記録面Rmａ及
びRmｂと平行に移動され、検出ユニット 220に配置され
ている第一及び第二の保持部20ａ及び20ｂ即ち第一及び
第二の光ピックアップ30及び 130が、例えば、ディスク
の外形位置或いは予め設定された測定開始位置に対向さ
れる。

【００３６】引続いて、検出ユニット上下装置 250の上
下モータ 254が付勢され、精密リードネジ 256が回転さ
れて、機械式上下機構 258がステージ 252を上昇させる
方向に作動される。従って、ベース22及び検出ユニット
210が上昇され、第一の保持部20ａに載置されている第
一のピックアップ30が光ディスクの記録面Rmａに接近さ
れる。即ち、光ディスクの記録面Rmａに関し、検出可能
状態が規定される。

【００３７】この状態で、制御部60の (図示しない) レ
ーザドライバが付勢され、第一のピックアップ30の (図
示しない) レーザダイオードから、所望の強度に規定さ
れた光ビームが記録面Rmａに向かって出射される。記録
面Rmａに向かって出射されたレーザビームは、記録面Rm
ａの動的機械特性によって変化が与えられた状態で記録
面Rmａから反射され、第一のピックアップ30に組込まれ
ている (図示しない)光検出器へ戻される。この光検出
器へ戻された反射レーザビームは、第一の信号伝達部40
Ｒを介して制御部60へ入力され、制御部60内の (図示し
ない) 演算部によって処理されて、記録面Rmａに関する
動的機械特性データとして、例えば、モニタ装置に出力
される。

【００３８】図５ (ｂ) に示されているように、記録面
Rmａに関する動的機械特性が検出された時点で、検出ユ
ニット上下装置 250の上下モータ 254が付勢され、精密
リードネジ 256が回転されて、機械式上下機構 258がス
テージ 252を下降させる方向に作動される。従って、ベ
ース22及び検出ユニット 210が下降され、第二の保持部
20ｂに載置されている第二のピックアップ 130が光ディ
スクの記録面Rmｂに接近される。即ち、光ディスクの第
二の記録面Rmｂの動的機械特性を検出可能状態が規定さ
れる。

【００３９】この状態で、制御部60の (図示しない) レ
ーザドライバが付勢され、第二のピックアップ 130の
(図示しない) レーザダイオードから、所望の強度に規
定された光ビームが記録面Rmｂに向かって出射される。
記録面Rmｂに向かって出射されたレーザビームは、記録
面Rmｂの動的機械特性によって変化が与えられた状態で
記録面Rmｂから反射され、第二のピックアップ 130に組
込まれている (図示しない) 光検出器へ戻される。この
光検出器へ戻された反射レーザビームは、第二の信号伝
達部 140Ｒを介して制御部60へ入力され、既に説明した
記録面Rmａと同様に制御部60内の (図示しない) 演算部
によって処理されて、記録面Rmｂに関する動的機械特性
データとして、例えば、モニタ装置に出力される。尚、
記録面Rmｂ及び記録面Rmａの動的機械特性が検出される
順序は、記録面Rmｂから検出されてもよいことは、いう
までもない。

【００４０】このようにして得られた記録面Rmｂに関す
る動的機械特性データは、既に演算処理された記録面Rm
ａに関する動的機械特性データと合成され、両面記録用
ディスクRmが両面記録可能状態における検査データとし
て出力される。尚、この出力は、例えば、図示しない外
部拡張装置を介して、例えば、図示しないフロッピーデ
ィスクなどに保存させてもよい。また、図示しないプリ
ンタ装置を利用することで、グラフ及び測定パラメータ
／データ等解析結果のリストを出力することも可能であ
る。

【００４１】以上説明したように、検査装置 200によれ
ば、水平方向に回転される光ディスクが重力によって撓
む方向と反対側の記録面に関するディスクの反り、或い
は、振動、または、回転中心に対する両記録面のトラッ
クの軸ずれなどの、両面記録タイプの光ディスクが両面
同時記録装置に利用された場合にのみ問題となる動的機
械特性が容易に測定できる。この場合、２組の光ピック
アップを両面記録タイプの光ディスクの各記録面と直交
する方向に順に移動させることで、光ディスクが両面同
時記録装置に装着された状態を維持しつつ、一組の演算
処理部或いは制御装置のみによって、１面毎に順に計測
できる。また、２組の光ピックアップが配置される間隔
が光ディスクの厚さに比較して、少なくと２倍確保され
ていることから、異なる厚さを有する光ディスクに関
し、両面同時記録装置に装着された状態での動的機械特
性を計測できる。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の検査装
置によれば、両面記録可能な光学的情報記録媒体の表裏
の記録面の動的機械特性が表裏同時に計測できる。この
場合、回転中心に対する両記録面のトラックの軸ずれな
どの、両面記録可能な情報記録媒体が両面同時記録装置
に利用された場合にのみ問題となる動的機械特性の測定
を可能する。また、検査対象である情報記録媒体の表裏
の記録面を検査途中で入替える必要がなくなることか
ら、検査時間を短縮できる。その一方で、演算処理部或
いは制御装置は、一組のみ組込まれ、選択的に、測定可
能であることから、装置のコストも低減される。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のディスク検査装置を示す概略図。

【図２】図１に示されているディスク検査装置の制御部
の一例を示すブロックダイアグラム。

【図３】図１に示されているディスク検査装置の変形例
を示す概略図。

【図４】図１に示されているディスク検査装置とは異な
る検査装置を示す概略図。

【図５】図４に示されているディスク検査装置の動作を
説明する概略図。

【符号の説明】

10…ディスク検査装置、12…ディスク駆動モータ、14…
ディスクマウント、16…ディスククランプ、20…検出ユ
ニット、20ａ，20ｂ…第一及び第二の保持部、22…ベー
ス、24…スライダモータ、26…精密リードネジ、30， 1
30…第一及び第二の光ピックアップ、32， 132…第一及
び第二の対物レンズ、34， 134…変位センサ、40Ｒ， 1
40Ｒ…第一及び第二の信号入力部、40Ｓ， 140Ｓ…第一
及び第二の信号出力部、50…切替え装置、60…制御部、
61…センサアンプ、62…信号処理部、63…ＬＤコントロ
ール、64…高周波アンプ、65…フォーカシング／トラッ
キング・サーボ、70…表示装置、Ｒ…入力部、Ｓ…出力
部、Rm…光ディスク、Rmａ，Rmｂ…第一及び第二の記録
面、 200…ディスク検査装置、 220…検出ユニット、 2
22…垂直アーム、 250…検出ユニット上下装置、 252…
ステージ、 254…上下モータ、 256…精密リードネジ、
258…機械式上下機構。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】板状媒体を回転させる手段、 この回転手段によって上記板状媒体が回転される間、第
   一の面のスパイラル状のトラックの位置の第一の位置の
   指示を検知する第一の検知手段、 この第一の検知手段によって上記第一の面の第一の位置
   が検知される間、第二の面のスパイラル状のトラックの
   位置の第二の位置の指示を検知する第二の検知手段、 上記第一の検知手段及び第二の検知手段が接続され、上
   記第一の位置に関連して上記第一の面上の第一のトラッ
   ク偏心、及び、上記第二の位置に関連して上記第二の面
   上の第二のトラック偏心を計算する制御手段、及び、 この制御手段に接続され、上記制御手段が計算した第一
   の偏心及び第二の偏心のいづれか一方を制御する選択手
   段、を有し、それぞれスパイラル状のトラックを有する
   第一及び第二の面を有する板状媒体の機械特性を計測す
   る装置。
2. 【請求項２】第一の面及びこの第一の面に対向する第二
   の面を有する板状媒体を面方向に回転させる手段と、 上記板状媒体の第一の面に対向され、第一の面が回転さ
   れた状態の機械特性を検出する第一の検出手段と、 前記板状媒体の第二の面に対向され、第二の面が回転さ
   れた状態の機械特性を検出する第二の検出手段と、 この第二の検出手段及び上記第一の検出手段を一体に保
   持する手段と、 上記第一及び第二の検出手段からの出力を合成すること
   で、上記板状媒体が回転された状態での第一及び第二の
   両面に関する機械特性を演算する手段、とを有する測定
   装置。
3. 【請求項３】互いに対向配置された第一及び第二の記録
   面を有する情報記録媒体を面方向に沿って回転させる手
   段と、 上記第一の記録面に対向配置され、第一の記録面が回転
   された状態の機械特性を検出する第一の検出手段と、 この第一の検出手段と一体、且つ、上記情報記録媒体を
   挟みこむとともに、前記第二の記録面に対向するよう形
   成され、前記第二の記録面が回転された状態の機械特性
   を検出する第二の検出手段と、 この第二の検出手段及び上記第一の検出手段からの出力
   を合成することで、上記記録媒体が回転された状態での
   第一及び第二の記録面に関する合成機械特性を演算する
   手段と、 この演算手段と上記第一及び第二の検出手段との間に配
   置され、上記第一及び第二の検出手段から出力される上
   記機械特性を、上記演算手段に選択的に入力させる切替
   え手段、とを有する測定装置。
4. 【請求項４】互いに対向配置された第一及び第二の記録
   面を有する光ディスクを面方向に沿って回転させる手段
   と、 上記光ディスクの第一の面に対向され、この第一の面と
   の間隔が待機状態よりも狭く規定されることで、第一の
   面が回転された状態の機械特性を検出可能となる第一の
   検出手段と、 前記光ディスクの第二の面に対向され、この第二の面と
   の間隔が待機状態よりも狭く規定されることで、第二の
   面が回転された状態の機械特性を検出可能となる第二の
   検出手段と、 上記第一及び第二の検出手段を、それぞれの検出手段の
   間に上記光ディスクを上記光ディスクの厚さよりも大き
   な間隔で挟み込んだ状態で、一体に保持する手段と、 この保持手段を上記光ディスクのそれぞれの記録面と直
   交する方向に移動させる手段であって、上記第一及び第
   二の検出手段のいづれか一方が、それぞれの検出手段が
   対向される面の機械特性を検出可能な間隔まで移動させ
   る手段と、を有する測定装置。。