JPH062214B2 - フッ素ガスの除去方法 - Google Patents
フッ素ガスの除去方法Info
- Publication number
- JPH062214B2 JPH062214B2 JP1054097A JP5409789A JPH062214B2 JP H062214 B2 JPH062214 B2 JP H062214B2 JP 1054097 A JP1054097 A JP 1054097A JP 5409789 A JP5409789 A JP 5409789A JP H062214 B2 JPH062214 B2 JP H062214B2
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- fluorine
- liquid
- gas
- absorption
- waste gas
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はフッ素含有廃ガスからフッ素ガスを効率よく除
去して、大気放出可能とするフッ素ガスの除去方法に関
する。
去して、大気放出可能とするフッ素ガスの除去方法に関
する。
近年、フッ素ガスはプラスチックの表面をフッ素化して
ガスのバリヤ性を高めたり、各種フッ素化物の合成、エ
キシマレーザー等、各分野において使用されるようにな
った。これら使用後の廃ガスは、通常、窒素、アルゴン
等の不活性ガスで希釈された状態で排出される。このフ
ッ素を含有した廃ガスは、大気放出の許容濃度で１ppm
以下までフッ素を除去した後、大気放出されている。
ガスのバリヤ性を高めたり、各種フッ素化物の合成、エ
キシマレーザー等、各分野において使用されるようにな
った。これら使用後の廃ガスは、通常、窒素、アルゴン
等の不活性ガスで希釈された状態で排出される。このフ
ッ素を含有した廃ガスは、大気放出の許容濃度で１ppm
以下までフッ素を除去した後、大気放出されている。
従来、フッ素含有ガスからフッ素ガスを大気放出可能な
濃度まで除去する方法としては乾式法と、湿式法とがあ
る。
濃度まで除去する方法としては乾式法と、湿式法とがあ
る。
乾式法は、活性アルミナ、ソーダ灰を充填した固定床
に、種々な温度でフッ素含有廃ガスを通してフッ素を除
去する方法であり、湿式法は、ＮａＯＨ，ＫＯＨ水溶液
を吸収液として、スクラバーにフッ素含有廃ガスを通し
て除去する方法である。
に、種々な温度でフッ素含有廃ガスを通してフッ素を除
去する方法であり、湿式法は、ＮａＯＨ，ＫＯＨ水溶液
を吸収液として、スクラバーにフッ素含有廃ガスを通し
て除去する方法である。
ところで、上記乾式法は、廃ガス中のフッ素濃度によっ
て反応速度が異なり、固定床の温度を高める等の対策を
取らないと、フッ素濃度を１ppm以下とすることが困難
であり、また湿式法においては、各種濃度の廃ガスを、
フッ素濃度１ppm以下に除去することは出来るが、空塔
速度が数cm／secという小さな値しかとれないため、吸
収塔が大型となる欠点があった。
て反応速度が異なり、固定床の温度を高める等の対策を
取らないと、フッ素濃度を１ppm以下とすることが困難
であり、また湿式法においては、各種濃度の廃ガスを、
フッ素濃度１ppm以下に除去することは出来るが、空塔
速度が数cm／secという小さな値しかとれないため、吸
収塔が大型となる欠点があった。
本発明者らは、比較的小型の装置を用いて、各種濃度の
フッ素を含有する廃ガスを、容易に１ppm以下にするこ
とが出来る方法を得べく鋭意研究した結果、苛性アルカ
リ（以下化学式はアルカリ元素としてＮａを代表例とし
て示す）を吸収液とする湿式方法においては、下記
（１）式 2F2＋2NaOH→2NaF＋F2O＋H2O ……（１） によってフッ素が除去されるが、その際、生成する二フ
ッ化酸素（Ｆ2Ｏ）は毒性が強く、アルカリ水溶液との
反応速度が遅いため、吸収に時間を要し、このためフッ
素の除去速度が遅いことを知見した。
フッ素を含有する廃ガスを、容易に１ppm以下にするこ
とが出来る方法を得べく鋭意研究した結果、苛性アルカ
リ（以下化学式はアルカリ元素としてＮａを代表例とし
て示す）を吸収液とする湿式方法においては、下記
（１）式 2F2＋2NaOH→2NaF＋F2O＋H2O ……（１） によってフッ素が除去されるが、その際、生成する二フ
ッ化酸素（Ｆ2Ｏ）は毒性が強く、アルカリ水溶液との
反応速度が遅いため、吸収に時間を要し、このためフッ
素の除去速度が遅いことを知見した。
本発明は上記の知見に基づいてなされたもので、フッ素
含有ガス中のフッ素を、比較的小型の装置によって、排
出ガス中のフッ素を１ppm以下とすることが出来るフッ
素の除去方法を提供することを目的とする。
含有ガス中のフッ素を、比較的小型の装置によって、排
出ガス中のフッ素を１ppm以下とすることが出来るフッ
素の除去方法を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため、本発明の方法においては、
フッ素ガスを含有するガスからフッ素成分を吸収除去す
るに際し、吸収液として亜硫酸アルカリと苛性アルカリ
とのモル比が０．５／１以下の混合液を使用する。
フッ素ガスを含有するガスからフッ素成分を吸収除去す
るに際し、吸収液として亜硫酸アルカリと苛性アルカリ
とのモル比が０．５／１以下の混合液を使用する。
本発明は上記の構成を有するので、（１）式によって生
成したＦ2Ｏは、下記（２）式 F2O＋2Na2SO3＋H2O→2Na2SO4＋2HF……（２） に示すように、容易に亜硫酸アルカリと反応してＨＦと
なる。このＨＦは、（３）式 HF＋NaOH→NaF＋H2O ……（３） に示すように、苛性アルカリとすみやかに反応する。
成したＦ2Ｏは、下記（２）式 F2O＋2Na2SO3＋H2O→2Na2SO4＋2HF……（２） に示すように、容易に亜硫酸アルカリと反応してＨＦと
なる。このＨＦは、（３）式 HF＋NaOH→NaF＋H2O ……（３） に示すように、苛性アルカリとすみやかに反応する。
第１図は、本発明の方法を実施する装置の一例を示す概
略図で、図中１は吸収塔である。
略図で、図中１は吸収塔である。
吸収塔１としては、スプレー塔、棚段塔、その他通常の
ものがいずれも使用出来るが、構造が簡単で吸収が良い
ことから充填塔が好適である。充填塔２としては、ラシ
ヒリング、サドル等一般充填物が使用出来る。
ものがいずれも使用出来るが、構造が簡単で吸収が良い
ことから充填塔が好適である。充填塔２としては、ラシ
ヒリング、サドル等一般充填物が使用出来る。
吸収塔１の下方には吸収液タンク３が設けられ、タンク
３内の吸収液３ａは、循環ポンプ４により、送液管５を
通って吸収塔１の上端部に導入され、吸収塔１内を通っ
てタンク３に循環される。上記タンク３内には、吸収液
３ａの温度を調節する冷却コイル３ｂが設けられてい
る。またタンク３には吸収液排出管３ｃが、送液管５に
は補給管５ａが設けられており、吸収液３ａを連続的に
交換出来るようになっている。
３内の吸収液３ａは、循環ポンプ４により、送液管５を
通って吸収塔１の上端部に導入され、吸収塔１内を通っ
てタンク３に循環される。上記タンク３内には、吸収液
３ａの温度を調節する冷却コイル３ｂが設けられてい
る。またタンク３には吸収液排出管３ｃが、送液管５に
は補給管５ａが設けられており、吸収液３ａを連続的に
交換出来るようになっている。
上記吸収塔１の下部には、フッ素含有廃ガスの導入管６
が設けられ、頂部には、吸収液３ａと接触してフッ素が
除去された処理ガスの出口管７が設けられている。
が設けられ、頂部には、吸収液３ａと接触してフッ素が
除去された処理ガスの出口管７が設けられている。
上記吸収液３ａは、苛性アルカリと亜硫酸アルカリとの
モル比が０．５／１以下の混合液であり、アルカリ元素
としては、水溶性で取扱い易く、入手容易で安価なこと
からＮａ或はＫを用いることが好ましい。
モル比が０．５／１以下の混合液であり、アルカリ元素
としては、水溶性で取扱い易く、入手容易で安価なこと
からＮａ或はＫを用いることが好ましい。
上記吸収液３ａとフッ素との反応は、（１）（２）
（３）式より明らかなように、下記（４）式 F2＋2NaOH＋Na2SO3→2NaF＋Na2SO4＋H2O ……（４） で示される。
（３）式より明らかなように、下記（４）式 F2＋2NaOH＋Na2SO3→2NaF＋Na2SO4＋H2O ……（４） で示される。
したがって、吸収液３ａは、理論的には、亜硫酸アルカ
リ／苛性アルカリのモル比は０．５／１となる。しか
し、廃ガス中には、ＨＦが含有されていることが多い
が、このＨＦは、これに見合う苛性アルカリを余分に添
加しておくことによって容易に対応出来る。
リ／苛性アルカリのモル比は０．５／１となる。しか
し、廃ガス中には、ＨＦが含有されていることが多い
が、このＨＦは、これに見合う苛性アルカリを余分に添
加しておくことによって容易に対応出来る。
また、第２図は、装置の他の例を示すもので、吸収塔の
高さを低くするため、充填塔を並列に設け、廃ガスがこ
れら充填塔を順次通過するようにしたもので、第１図と
同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。
高さを低くするため、充填塔を並列に設け、廃ガスがこ
れら充填塔を順次通過するようにしたもので、第１図と
同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。
実施例１ 第１図の装置を用いて廃ガス中のフッ素を除去した。
内径５００mmの塔に、５００ｍ2／ｍ3の表面積を有する
充填物２を高さ２．５ｍ充填した吸収塔１を用い、フッ
素ガスを１５vol％含有する廃ガスを１００Ｎｍ3／Ｈの
速度で導入した。同時に、補給管５ａよりＮａＯＨ４wt
％，Ｎａ2ＳＯ3１０wt％の水溶液を１．５ｍ3／Ｈの速
度で導入するとともに、循環ポンプ４により吸収液３ａ
を、上記吸収塔１の頂部より導入される液が４ｍ3／Ｈ
となるように供給した。また、冷却コイル３ｂに２５℃
の冷却水を通し、タンク３内の吸収液３ａを６０℃以下
に保持し、タンク３内の液面が一定となるように、排出
管３ｃよりタンク３内の吸収液３ａを抜き出した。
充填物２を高さ２．５ｍ充填した吸収塔１を用い、フッ
素ガスを１５vol％含有する廃ガスを１００Ｎｍ3／Ｈの
速度で導入した。同時に、補給管５ａよりＮａＯＨ４wt
％，Ｎａ2ＳＯ3１０wt％の水溶液を１．５ｍ3／Ｈの速
度で導入するとともに、循環ポンプ４により吸収液３ａ
を、上記吸収塔１の頂部より導入される液が４ｍ3／Ｈ
となるように供給した。また、冷却コイル３ｂに２５℃
の冷却水を通し、タンク３内の吸収液３ａを６０℃以下
に保持し、タンク３内の液面が一定となるように、排出
管３ｃよりタンク３内の吸収液３ａを抜き出した。
その結果、処理ガス出口管７より排出される処理ガス中
のフッ素は０．１ppm以下であった。また、排出管３ｃ
より抜出される液に含まれて排出されるＮａＦは５６kg
／Ｈ，Ｎａ2ＳＯ4は９５kg／Ｈであった。
のフッ素は０．１ppm以下であった。また、排出管３ｃ
より抜出される液に含まれて排出されるＮａＦは５６kg
／Ｈ，Ｎａ2ＳＯ4は９５kg／Ｈであった。
実施例２ 実施例１と同じ装置を用い、フッ素ガス１０vol％を含
有する廃ガスを１００Ｎｍ3／Ｈの速度で導入した。
有する廃ガスを１００Ｎｍ3／Ｈの速度で導入した。
吸収液は、ＫＯＨ５wt％、Ｋ2ＳＯ3１０wt％の水溶液を
１．５ｍ3／Ｈの速度で補給管５ａより供給するととも
に、循環ポンプによって６０℃以下に保持された吸収液
３ａを、吸収塔１に導入される液が、４ｍ3／Ｈとなる
ように送液した。
１．５ｍ3／Ｈの速度で補給管５ａより供給するととも
に、循環ポンプによって６０℃以下に保持された吸収液
３ａを、吸収塔１に導入される液が、４ｍ3／Ｈとなる
ように送液した。
その結果、出口管７より排出される処理ガス中のフッ素
は０．１ppm以下であった。また、タンク３の液面が一
定となるように排出管３ｃより抜出した液に含まれるＫ
Ｆは５２kg／Ｈ，Ｋ2ＳＯ4は７８kg／Ｈであった。
は０．１ppm以下であった。また、タンク３の液面が一
定となるように排出管３ｃより抜出した液に含まれるＫ
Ｆは５２kg／Ｈ，Ｋ2ＳＯ4は７８kg／Ｈであった。
以上述べたように、本発明の方法は、吸収液として苛性
アルカリと、亜硫酸アルカリのモル比が０．５／１以下
の混合液を使用しているので、苛性アルカリのフッ素と
の反応によって生成する二フッ化酸素が、ただちに反応
除去されるので、効率よくフッ素が除去され、含有する
フッ素量に殆ど関係なく、比較的小型の吸収塔によっ
て、大気放出可能な濃度までフッ素除去が出来る優れた
方法である。
アルカリと、亜硫酸アルカリのモル比が０．５／１以下
の混合液を使用しているので、苛性アルカリのフッ素と
の反応によって生成する二フッ化酸素が、ただちに反応
除去されるので、効率よくフッ素が除去され、含有する
フッ素量に殆ど関係なく、比較的小型の吸収塔によっ
て、大気放出可能な濃度までフッ素除去が出来る優れた
方法である。
また、フッ素に同伴されて排出されることの多いフッ化
水素も同時に効率よく除去することができる。
水素も同時に効率よく除去することができる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の方法を実施する装置の一例を示す概略
図、第２図は装置の他の例を示す概略図である。 １……吸収塔、２……充填物、 ３……吸収液タンク（タンク）、３ａ……吸収液、 ３ｂ……冷却コイル、３ｃ……排出管、 ４……循環ポンプ、５……送液管、 ５ａ……補給管、６……導入管、 ７……処理ガス出口管。
図、第２図は装置の他の例を示す概略図である。 １……吸収塔、２……充填物、 ３……吸収液タンク（タンク）、３ａ……吸収液、 ３ｂ……冷却コイル、３ｃ……排出管、 ４……循環ポンプ、５……送液管、 ５ａ……補給管、６……導入管、 ７……処理ガス出口管。
Claims (1)
- 【請求項１】フッ素ガスを含有するガスからフッ素成分
を吸収除去するに際し、吸収液として亜硫酸アルカリと
苛性アルカリとのモル比が0.5／１以下の混合液を使用
することを特徴とするフッ素ガスの除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1054097A JPH062214B2 (ja) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | フッ素ガスの除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1054097A JPH062214B2 (ja) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | フッ素ガスの除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02233122A JPH02233122A (ja) | 1990-09-14 |
| JPH062214B2 true JPH062214B2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=12961119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1054097A Expired - Lifetime JPH062214B2 (ja) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | フッ素ガスの除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH062214B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006231105A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Fujitsu Ltd | 酸化性ガスの除去方法 |
| CN103180029A (zh) * | 2010-09-15 | 2013-06-26 | 索尔维公司 | 从气体中去除f2和/或of2的方法 |
-
1989
- 1989-03-07 JP JP1054097A patent/JPH062214B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02233122A (ja) | 1990-09-14 |
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