JPH062207U - マイクロフォーカスｘ線透視検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】マイクロフォーカスＸ線管装置１と撮像装置１
０１との間に位置する被検査物装置，透視位置決め用の
Ｘ，Ｙテーブル７の上下動により幾何学的拡大をかけて
透視像を拡大可能なマイクロフォーカスＸ線透視検査装
置において、モニタ画面表示画像の拡大率をリアルタイ
ムで知らせて検査効率の向上を図る。 【構成】Ｘ，Ｙテーブル７の上下方向の位置を検出し、
これによりモニタ画面表示画像の拡大率を求めて表示す
る画像拡大率表示手段１００（ポテンショメータ１０，
変換回路１３，表示回路１４）を設ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、モニタ画面表示画像の拡大率を表示可能のマイクロフォーカスＸ線 透視検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

Ｘ線源にマイクロフォーカスＸ線管装置を使用すると、鮮鋭度（解像力，コン トラスト）の高い画像が得られ、またマイクロフォーカスＸ線管装置及び被検査 物の距離と、マイクロフォーカスＸ線管装置及びＸ線透視像撮像装置の距離とで 定まる幾何学的拡大率を大きくとっても、被検査物をＸ線管装置により近付けて 配置することにより鮮鋭度の高い画像が得られ、検査の信頼性が高められる。こ の際の幾何学的拡大率の調整も、上記各距離の調整という簡単な作業で済む。 そこで近年、Ｘ線源にマイクロフォーカスＸ線管装置を用いたＸ線透視検査装 置（マイクロフォーカスＸ線透視検査装置）が使用されてきている。

【０００３】 従来、マイクロフォーカスＸ線管装置と被検査物のＸ線透視像（以下、単に透 視像という）を撮像する撮像装置との間に位置する被検査物装置，透視位置決め 用のＸ，Ｙテーブルの上下動により幾何学的拡大をかけ、透視像の拡大像を得る マイクロフォーカスＸ線透視検査装置においては、透視像の他には、Ｘ，Ｙテー ブルの移動距離（左右（Ｘ），前後（Ｙ）及び上下（Ｚ）の各方向の移動距離） が表示されるに過ぎなかった。 このため従来、モニタ画面表示画像の拡大率は、Ｘ，Ｙテーブルの上下（Ｚ） 方向の移動距離により計算で求めていた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上記のように従来装置では、モニタ画面表示画像の拡大率を計算により求めて いるため面倒であり、検査効率を低下させることにもなった。 特に、マイクロフォーカスＸ線管装置を用いたＸ線透視検査装置は、モニタ画 面上の拡大率を広範に調整でき、２〜１５０ないし２００倍となると、Ｘ，Ｙテ ーブルの上下（Ｚ）方向の移動距離からの計算では容易に求めにくくなり、多数 の被検査物を次々と検査する場合には検査効率を著しく低下させるという問題点 があった。

【０００５】 本考案の目的は、モニタ画面表示画面の拡大率をリアルタイムで表示し、検査 者は計算をすることなく拡大率を知ることができ、検査効率を著しく向上するこ とができるマイクロフォーカスＸ線透視検査装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記目的は、マイクロフォーカスＸ線管装置と被検査物のＸ線透視像を撮像す る撮像装置との間に位置する被検査物装置，透視位置決め用のＸ，Ｙテーブルの 上下動により幾何学的拡大をかけ、Ｘ線透視像の拡大像を得るマイクロフォーカ スＸ線透視検査装置において、前記Ｘ，Ｙテーブルの上下方向の位置を検出し、 これによりモニタ画面開示画像の拡大率を求めて表示する画像拡大率表示手段を 設けることにより達成される。

【０００７】

【作用】

画像拡大率表示手段は、Ｘ，Ｙテーブルの上下方向の位置（移動距離）を例え ばポテンショメータで検出する。マイクロフォーカスＸ線管装置と撮像装置との 距離は一定であり、したがってＸ，Ｙテーブルの上下方向の位置（移動距離） 、換言すればポテンショメータの電圧値は、モニタ画面表示画像の拡大率を表わ す。したがって、モニタ画面表示画像の拡大率がポテンショメータの電圧値によ って求められることになる。 画像拡大率表示手段は、適宜の表示器に上記のようなポテンショメータの電圧 値に基づくモニタ画面表示画像の拡大率を表示する。

【０００８】 これにより、検査者は計算をすることなく、表示器を見るだけでモニタ画面表 示画像の拡大率をリアルタイムで知ることができ、検査効率が著しく向上するこ とになる。

【０００９】

【実施例】

以下、図面を参照して本考案の実施例を説明する。 図１は、本考案によるマイクロフォーカスＸ線透視検査装置の一実施例を示す 構成図で、従来装置との相違点は、Ｘ，Ｙテーブルの上下方向の位置を検出し、 これによりモニタ画面表示画像の拡大率を求めて表示する画像拡大率表示手段 １００が付加された点である。以下、この図１により本考案装置について説明す る。

【００１０】 図１において、被検査物１５は、透視位置決め用のＸ，Ｙテーブル７上に置か れている。このＸ，Ｙテーブル７は、左右（Ｘ）方向及び前後（Ｙ）方向の移動 により透視位置決めを行う。 被検査物１５は、マイクロフォーカスＸ線管装置（以下、単にＸ線管装置とい う）１からのＸ線が照射され、その透視像は撮像装置１０１で撮像される。すな わち透視像は、イメージインテンシファイア（以下、Ｉ.Ｉ.と略記する）２で光 学像に変換され、光学レンズ系を配した光分配器３を通してテレビカメラ４で撮 像される。 撮像された透視像は、カメラコントローラ５を介してテレビモニタ６の画面に 映し出される。

【００１１】 ここで、拡大像を得るには幾学的拡大をかければよく、そのためには図１に示 すようにＸ線管装置１にＸ，Ｙテーブル７を近付ける。仮に検査当初、Ｘ，Ｙテ ーブル７が鎖線で示すＸ，Ｙテーブル７ａ（Ｘ，Ｙテーブル７の上限位置）との 中間位置にあるとすれば、操作器１１によりモータ駆動部９を駆動させ、ボール ネジ８を回転させて下方に移動させればよい。この駆動手段については、ボール ネジ８の他、タイミングベルトなどであってもよい。

【００１２】 また、視野サイズ切換可能なＩ.Ｉ.２では、Ｉ.Ｉ.サイズ切換器１２により視 野サイズを切り換えることによっても拡大像を得ることができる。一般的には、 標準が９インチ視野で、４.５ インチ視野に切り換えれば２倍の拡大像が得られ る。 上記幾何学的拡大，Ｉ.Ｉ.視野サイズによる拡大の他、光分配器３の光学レン ズによっても一定の拡大像を得ることができる。

【００１３】 図示本考案装置において、Ｘ，Ｙテーブル７のモータ駆動部９に連結されたポ テンショメータ１０は、Ｘ，Ｙテーブル７の上下動の移動距離（上下方向位置） に比例した値の電圧を発生する。この電圧は、変換回路１３に出力されてＡ／Ｄ 変換され、表示回路１４にて数字表示器（図示せず）、ここでは発光ダイオード による数字表示器を点灯させ、拡大率としての数字表示を行わせる。

【００１４】 ここで、視野サイズ切換可能なＩ.Ｉ.２では、前記のように視野サイズを切り 換えることによっても拡大像を得られるので、換言すれば拡大率が変えられるの で、Ａ／Ｄ変換するに当たりＩ.Ｉ.２の視野サイズによって誤差が生じないよう に、Ｉ.Ｉ.サイズ切換器１２からＩ.Ｉ.サイズに応じた補正電圧を変換回路１３ に与えて補正が施され、総合の拡大率が表示されるようになされている。

【００１５】 次に、図２を併用して前記拡大率について説明する。 まず、Ｘ，Ｙテーブル７の上下方向位置（上下動の移動距離）による幾何学的 拡大による拡大率をＭｇとし、また光分配器３の光学レンズによる拡大率をＭｌ とし、更にＩ.Ｉ.２の視野サイズに対するモニタ６の画面サイズによる拡大率を Ｍｉとすると、これらの拡大率は下記のようになる。

【００１６】 Ａ．幾何学的拡大による拡大率Ｍｇ Ｍｇ＝Ｌ／ｌ Ｌ：Ｘ線管焦点１ａ位置とＩ.Ｉ.２の受像面２ａ間距離 ｌ：Ｘ線管焦点１ａ位置とＸ，Ｙテーブル７間距離

【００１７】 Ｂ．光分配器３の光学レンズによる拡大率Ｍｌ Ｍｌ＝Ｋ 光学レンズの初期設計で決定

【００１８】 Ｃ．Ｉ.Ｉ.２の視野サイズとモニタ６の画面サイズによる拡大率Ｍｉ Ｍｉ＝Ｍｓ／Ｉｓ Ｍｓ：モニタ６の画面サイズ Ｉｓ：Ｉ.Ｉ.２の視野サイズ

【００１９】 Ｄ．総拡大率Ｍ Ｍ＝Ｍｇ×Ｍｌ×Ｍｉ となる。

【００２０】 したがって、一例としてＬ＝８４０mm，ｌ＝３０〜４８０mm，Ｍｌ＝３，Ｍｓ ＝１２″，Ｉｓ＝９″，７″，４.５″とすると、Ｍｇ＝１.７５〜２８，Ｍｉ＝ ０.９〜１.８となり、Ｍ≒３〜１５０倍となる。

【００２１】 なお上述実施例では、画像拡大率表示手段１００をポテンショメータ１０，変 換回路１３及び表示回路１４で構成したが、これのみに限定されることはない。 また、拡大率の表示はモニタ６で行ってもよく、この場合には表示回路１４を省 略できる。

【００２２】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、Ｘ，Ｙテーブルの上下方向の位置を検出 し、これによりモニタ画面表示画像の拡大率を求めて表示する画像拡大率表示手 段を設けたので、検査者は計算をすることなく、表示器を見るだけでモニタ画面 表示画像の拡大率をリアルタイムで知ることができ、検査効率を著しく向上させ ることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案装置の一実施例を示す構成図である。

【図２】本考案装置によるモニタ画面表示画像の拡大率
の説明図である。

【符号の説明】

１ マイクロフォーカスＸ線管装置 １ａ Ｘ線管焦点 ２ Ｉ.Ｉ.(イメージインテンシファイア) ２ａ Ｉ.Ｉ.受像面 ３ 光分配器 ４ テレビカメラ ５ カメラコントローラ ６ テレビモニタ ７ Ｘ，Ｙテーブル ８ ボールネジ ９ モータ駆動部 １０ ポテンショメータ １１ 操作器 １２ Ｉ.Ｉ.サイズ切換器 １３ 変換回路 １４ 表示回路 １００ 画像拡大率表示手段 １０１ 撮像装置

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】マイクロフォーカスＸ線管装置と被検査物
   のＸ線透視像を撮像する撮像装置との間に位置する被検
   査物装置，透視位置決め用のＸ，Ｙテーブルの上下動に
   より幾何学的拡大をかけ、Ｘ線透視像の拡大像を得るマ
   イクロフォーカスＸ線透視検査装置において、前記Ｘ，
   Ｙテーブルの上下方向の位置を検出し、これによりモニ
   タ画面開示画像の拡大率を求めて表示する画像拡大率表
   示手段を具備することを特徴とするマイクロフォーカス
   Ｘ線透視検査装置。