JPH06218815A - 連続貼り合せ方法、感光性フィルムの貼り合わされた印刷配線板製造用基板の製造法及びその装置 - Google Patents
連続貼り合せ方法、感光性フィルムの貼り合わされた印刷配線板製造用基板の製造法及びその装置Info
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- JPH06218815A JPH06218815A JP964593A JP964593A JPH06218815A JP H06218815 A JPH06218815 A JP H06218815A JP 964593 A JP964593 A JP 964593A JP 964593 A JP964593 A JP 964593A JP H06218815 A JPH06218815 A JP H06218815A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 印刷配線板製造用基板に感光性フィルムを貼
り合せる際に、基材の凹凸に対する追従性を向上させる
連続貼り合せ方法を提供する。 【構成】 可とう性支持体及び感光性樹脂層を有する感
光性フィルムと印刷配線板製造用基板とを進行させ、表
面が変形可能な熱圧着ロールを通過させて加熱加圧積層
する貼り合せ方法において、前記通過の際に、印刷配線
板製造用基板に対して、前記熱圧着ロール以外の手段に
よって、前記基板進行方向の力を作用させることを特徴
とする連続貼り合せ方法、前記連続貼り合わせ方法によ
り感光性フィルムを貼り合わすことを特徴とする感光性
フィルムの貼り合わされた印刷配線板製造用基板の製造
法並びに可とう性支持体及び感光性樹脂層を有する感光
性フィルムを印刷配線板製造用基板に加圧加熱積層する
熱圧着ロール並びに前記基板に対して前記基板進行方行
の力を作用させる加圧ロール又は治具を備えてなる連続
貼り合せ装置。
り合せる際に、基材の凹凸に対する追従性を向上させる
連続貼り合せ方法を提供する。 【構成】 可とう性支持体及び感光性樹脂層を有する感
光性フィルムと印刷配線板製造用基板とを進行させ、表
面が変形可能な熱圧着ロールを通過させて加熱加圧積層
する貼り合せ方法において、前記通過の際に、印刷配線
板製造用基板に対して、前記熱圧着ロール以外の手段に
よって、前記基板進行方向の力を作用させることを特徴
とする連続貼り合せ方法、前記連続貼り合わせ方法によ
り感光性フィルムを貼り合わすことを特徴とする感光性
フィルムの貼り合わされた印刷配線板製造用基板の製造
法並びに可とう性支持体及び感光性樹脂層を有する感光
性フィルムを印刷配線板製造用基板に加圧加熱積層する
熱圧着ロール並びに前記基板に対して前記基板進行方行
の力を作用させる加圧ロール又は治具を備えてなる連続
貼り合せ装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、連続貼り合せ方法、感
光性フィルムの貼り合わされた印刷配線板製造用基板の
製造法及びその装置に関する。
光性フィルムの貼り合わされた印刷配線板製造用基板の
製造法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、精密加工業界、例えばプリント配
線板の製造等において、めっき或いはエッチングのため
のレジスト形成に感光性フィルムを用いることが知られ
ている。この感光性フィルムは通常、可とう性支持体、
感光性組成物層、必要に応じて用いられる保護フィルム
から成っており、保護フィルムを剥がしながら、可とう
性支持体と一緒に感光性樹脂層を印刷配線板製造用基板
に熱圧着ロールを用いて貼り合せ、その後可とう性支持
体上にネガマスクを置き、露光し、ついで可とう性支持
体をはがして、現像し、レジスト像を形成するものであ
る。近年、印刷配線板の配線の高密度化が進んでおり、
そのため、高解像度のレジスト材料が望まれているとと
もに、前記基板の表面の凹凸に対して追従し、感光性フ
ィルムと基板間の未接着部分を少なくすることにより、
印刷配線板の製造歩留りを向上しようとする試みがなさ
れている。
線板の製造等において、めっき或いはエッチングのため
のレジスト形成に感光性フィルムを用いることが知られ
ている。この感光性フィルムは通常、可とう性支持体、
感光性組成物層、必要に応じて用いられる保護フィルム
から成っており、保護フィルムを剥がしながら、可とう
性支持体と一緒に感光性樹脂層を印刷配線板製造用基板
に熱圧着ロールを用いて貼り合せ、その後可とう性支持
体上にネガマスクを置き、露光し、ついで可とう性支持
体をはがして、現像し、レジスト像を形成するものであ
る。近年、印刷配線板の配線の高密度化が進んでおり、
そのため、高解像度のレジスト材料が望まれているとと
もに、前記基板の表面の凹凸に対して追従し、感光性フ
ィルムと基板間の未接着部分を少なくすることにより、
印刷配線板の製造歩留りを向上しようとする試みがなさ
れている。
【０００３】特開昭５７−２１８９０号公報及び特開昭
５７−２１８９１号公報には基板に水を塗布したのち、
感光性フィルムを積層する方法が記載されているが、こ
の場合には水の薄い層を均一に付着させるため、基板の
表面が清浄である必要がある。また基板に小径スルーホ
ール等が存在する場合は、スルーホール中に溜まった水
分と感光性エレメントとが反応を起こしやすく、現像性
を低下させるなどの欠点が生じる。
５７−２１８９１号公報には基板に水を塗布したのち、
感光性フィルムを積層する方法が記載されているが、こ
の場合には水の薄い層を均一に付着させるため、基板の
表面が清浄である必要がある。また基板に小径スルーホ
ール等が存在する場合は、スルーホール中に溜まった水
分と感光性エレメントとが反応を起こしやすく、現像性
を低下させるなどの欠点が生じる。
【０００４】特開昭５２−１５４３６３号公報には、基
板に液状の樹脂を積層した後、感光性エレメントを圧力
によって積層する方法が示されているが、小径スルーホ
ールの現像性が低下し、２層塗布によるコスト増加等の
欠点がある。
板に液状の樹脂を積層した後、感光性エレメントを圧力
によって積層する方法が示されているが、小径スルーホ
ールの現像性が低下し、２層塗布によるコスト増加等の
欠点がある。
【０００５】特開昭５３−３１６７０号公報及び特開昭
５１−６３７０２号公報には真空ラミネーターを用いて
減圧下に積層することが示されている。しかし、装置が
高価であり真空引きに時間がかかるために、通常の回路
形成には使用されることは少なく、導体形成後に用いる
永久マスクのラミネートとして利用されている。この永
久マスクのラミネートの時も、さらに導体への追従性向
上が望まれている。
５１−６３７０２号公報には真空ラミネーターを用いて
減圧下に積層することが示されている。しかし、装置が
高価であり真空引きに時間がかかるために、通常の回路
形成には使用されることは少なく、導体形成後に用いる
永久マスクのラミネートとして利用されている。この永
久マスクのラミネートの時も、さらに導体への追従性向
上が望まれている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来技
術の問題点を除去し、生産コストを上昇させずに基板の
凹凸に対する感光性フィルムの追従性を向上することが
できる連続貼り合せ方法、感光性フィルムの貼り合わさ
れた印刷配線板製造用基板の製造法及びその装置を提供
するものである。
術の問題点を除去し、生産コストを上昇させずに基板の
凹凸に対する感光性フィルムの追従性を向上することが
できる連続貼り合せ方法、感光性フィルムの貼り合わさ
れた印刷配線板製造用基板の製造法及びその装置を提供
するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、可とう性支持
体及び感光性樹脂層を有する感光性フィルムと印刷配線
板製造用基板とを進行させ、熱圧着ロールを通過させて
加熱加圧積層する貼り合せ方法において、前記通過の際
に、印刷配線板製造用基板に対して、前記熱圧着ロール
以外の手段によって、前記基板進行方向の力を作用させ
ることを特徴とする連続貼り合せ方法及び前記連続貼り
合わせ方法により感光性フィルムを貼り合わせることを
特徴とする感光性フィルムの貼り合わされた印刷配線板
製造用基板の製造法に関する。
体及び感光性樹脂層を有する感光性フィルムと印刷配線
板製造用基板とを進行させ、熱圧着ロールを通過させて
加熱加圧積層する貼り合せ方法において、前記通過の際
に、印刷配線板製造用基板に対して、前記熱圧着ロール
以外の手段によって、前記基板進行方向の力を作用させ
ることを特徴とする連続貼り合せ方法及び前記連続貼り
合わせ方法により感光性フィルムを貼り合わせることを
特徴とする感光性フィルムの貼り合わされた印刷配線板
製造用基板の製造法に関する。
【０００８】また、本発明は可とう性支持体及び感光性
樹脂層を有する感光性フィルムを印刷配線板製造用基板
に加圧加熱積層する熱圧着ロール並びに前記基板に対し
て前記基板進行方行の力を作用させる加圧ロール又は治
具を備えてなる連続貼り合せ装置に関する。
樹脂層を有する感光性フィルムを印刷配線板製造用基板
に加圧加熱積層する熱圧着ロール並びに前記基板に対し
て前記基板進行方行の力を作用させる加圧ロール又は治
具を備えてなる連続貼り合せ装置に関する。
【０００９】また、本発明は、可とう性支持体及び感光
性樹脂層を有する感光性フィルムの供給機構、印刷配線
板製造用基板を次記する熱圧着ロールに向けて進行させ
る送り機構、前記基板に対する前記基板進行方向の力を
作用させる加圧ロール又は治具並びに前記感光性フィル
ムを印刷配線板製造用基板に加圧加熱積層する熱圧着ロ
ールを備えてなる連続貼り合せ装置に関する。
性樹脂層を有する感光性フィルムの供給機構、印刷配線
板製造用基板を次記する熱圧着ロールに向けて進行させ
る送り機構、前記基板に対する前記基板進行方向の力を
作用させる加圧ロール又は治具並びに前記感光性フィル
ムを印刷配線板製造用基板に加圧加熱積層する熱圧着ロ
ールを備えてなる連続貼り合せ装置に関する。
【００１０】本発明における感光性フィルムは、可とう
性支持体及び感光性樹脂層を有するものであれば特に制
限はなく、公知のものを用いることができる。通常、感
光性フィルムは、ロール状の巻物の形とされ、巻き出し
ながら使用される。感光性フィルムは、一時的に感光性
樹脂層を保護するために、感光性樹脂層上に保護フィル
ムを有していてもよく、また、感光性樹脂層以外の中間
層を有していてもよい。感光性フィルムにおける感光性
樹脂層の厚さは、３〜２００μｍであることが好まし
く、５〜１５０μｍであることがより好ましく、１０〜
１００μｍであることが特に好ましい。
性支持体及び感光性樹脂層を有するものであれば特に制
限はなく、公知のものを用いることができる。通常、感
光性フィルムは、ロール状の巻物の形とされ、巻き出し
ながら使用される。感光性フィルムは、一時的に感光性
樹脂層を保護するために、感光性樹脂層上に保護フィル
ムを有していてもよく、また、感光性樹脂層以外の中間
層を有していてもよい。感光性フィルムにおける感光性
樹脂層の厚さは、３〜２００μｍであることが好まし
く、５〜１５０μｍであることがより好ましく、１０〜
１００μｍであることが特に好ましい。
【００１１】本発明における印刷配線板製造用基板とし
ては、特に制限はなく、公知のものを用いることができ
る。印刷配線板製造用基板としては、例えば、銅貼り積
層板、表面に導体回路が形成された基板等があげられ
る。
ては、特に制限はなく、公知のものを用いることができ
る。印刷配線板製造用基板としては、例えば、銅貼り積
層板、表面に導体回路が形成された基板等があげられ
る。
【００１２】本発明における熱圧着ロールは、その表面
が変形可能なものであれば特に制限はなく、公知のもの
を用いることができる。熱圧着ロールは、その表面が厚
さ１〜３０mm、ショア硬度１６〜８０のゴム又はゴム状
樹脂でおおわれていることが好ましい。熱圧着ロールと
しては、例えば、内部にシーズヒータを設けた金属ロー
ルの表面をゴムライニングしたものをバネ、エアシリン
ダー等で加圧できるようにしたものがあげられる。熱圧
着は、熱圧着ロールの表面温度を４０〜１８０℃として
行うことが好ましく、８０〜１５０℃として行うことが
より好ましい。
が変形可能なものであれば特に制限はなく、公知のもの
を用いることができる。熱圧着ロールは、その表面が厚
さ１〜３０mm、ショア硬度１６〜８０のゴム又はゴム状
樹脂でおおわれていることが好ましい。熱圧着ロールと
しては、例えば、内部にシーズヒータを設けた金属ロー
ルの表面をゴムライニングしたものをバネ、エアシリン
ダー等で加圧できるようにしたものがあげられる。熱圧
着は、熱圧着ロールの表面温度を４０〜１８０℃として
行うことが好ましく、８０〜１５０℃として行うことが
より好ましい。
【００１３】本発明における加圧ロールは、特に制限は
なく、公知のものを用いることができる。加圧ロール
は、その表面がゴム又はゴム状樹脂で構成されているこ
とが好ましい。また、必要に応じて加熱できる機能を備
えていてもよい。加圧ロールには、ベルト、チェーン、
ギア、クランク等を介してトルクモーター等から力が与
えられる。
なく、公知のものを用いることができる。加圧ロール
は、その表面がゴム又はゴム状樹脂で構成されているこ
とが好ましい。また、必要に応じて加熱できる機能を備
えていてもよい。加圧ロールには、ベルト、チェーン、
ギア、クランク等を介してトルクモーター等から力が与
えられる。
【００１４】本発明における治具は、特に制限はなく、
印刷配線板製造用基板の一端に接し／又は一端を保持
し、一方へ押せるものであればよい。治具は、ベルト、
チェーン等にとり付けられて、ベルト、チェーンを介し
てトルクモーター等から力を与えてもよいし、クランク
等を介してトルクモーター等から力を与えられてもよ
い。
印刷配線板製造用基板の一端に接し／又は一端を保持
し、一方へ押せるものであればよい。治具は、ベルト、
チェーン等にとり付けられて、ベルト、チェーンを介し
てトルクモーター等から力を与えてもよいし、クランク
等を介してトルクモーター等から力を与えられてもよ
い。
【００１５】トルクモーターには、特に制限はなく、公
知のものを用いることができる。トルクモーターとして
は、例えば、エコー電機株式会社、株式会社東代電機製
作所等から市販されているものを用いることができる。
これら市販のトルクモーターの回転数は、通常、本発明
における熱圧着ロールや加圧ロールの回転数より大きい
ので、加圧ロールの回転数の制御には、加圧ロールに力
を与える（力を伝達する）際に、減速機を用いればよ
い。
知のものを用いることができる。トルクモーターとして
は、例えば、エコー電機株式会社、株式会社東代電機製
作所等から市販されているものを用いることができる。
これら市販のトルクモーターの回転数は、通常、本発明
における熱圧着ロールや加圧ロールの回転数より大きい
ので、加圧ロールの回転数の制御には、加圧ロールに力
を与える（力を伝達する）際に、減速機を用いればよ
い。
【００１６】本発明における感光性フィルムの供給機構
は、特に制限はなく、公知のものを用いることができ
る。例えば、感光性フィルムがロール状の巻物である場
合は、そのロールを回転させながら感光性フィルムを巻
き出せる機構があげられる。
は、特に制限はなく、公知のものを用いることができ
る。例えば、感光性フィルムがロール状の巻物である場
合は、そのロールを回転させながら感光性フィルムを巻
き出せる機構があげられる。
【００１７】本発明における送り機構は、特に制限はな
く、公知のものを用いることができ、例えば、一対のロ
ールを印刷配線板製造用基板進行方向に沿って一定間隔
で１組以上ならべたものをあげることができる。
く、公知のものを用いることができ、例えば、一対のロ
ールを印刷配線板製造用基板進行方向に沿って一定間隔
で１組以上ならべたものをあげることができる。
【００１８】本発明において印刷配線板製造用基板進行
方向の力を作用させる方法としては特に制限はないが、
トルクモーターによって力を与えられた加圧ロール又は
治具によって力を作用させることが好ましい。例えば、
一対の熱圧着ロールの手前にトルクモーター等によって
力を与えられた一対の加圧ロールを設けた装置を用い、
印刷配線板製造用基板を通過させればよい。印刷配線板
製造用基板が加圧ロールを通過し、加熱加圧ロールには
さまれる直前までは、加圧ロールの円周速度は熱圧着ロ
ールの円周速度と等速又は等速に近いことが好ましい。
この円周速度は、通常、印刷配線板製造用基板の進行速
度（送り速度）が、０．５〜１０ｍ／分となるように設
定される。加圧ロールを通過した印刷配線板製造用基板
の先端が熱圧着ロールにはさまれた直後、加圧ロールの
円周速度は熱圧着ロールの円周速度と等速度となる。こ
のことにより、印刷配線板製造用基板進行方向の力が印
刷配線板製造用基板に伝達される。この時必要に応じて
熱圧着ロールの印刷配線板製造用基板進行方向に対して
垂直方向への力（はさむ力）を大きくしてもよい。
方向の力を作用させる方法としては特に制限はないが、
トルクモーターによって力を与えられた加圧ロール又は
治具によって力を作用させることが好ましい。例えば、
一対の熱圧着ロールの手前にトルクモーター等によって
力を与えられた一対の加圧ロールを設けた装置を用い、
印刷配線板製造用基板を通過させればよい。印刷配線板
製造用基板が加圧ロールを通過し、加熱加圧ロールには
さまれる直前までは、加圧ロールの円周速度は熱圧着ロ
ールの円周速度と等速又は等速に近いことが好ましい。
この円周速度は、通常、印刷配線板製造用基板の進行速
度（送り速度）が、０．５〜１０ｍ／分となるように設
定される。加圧ロールを通過した印刷配線板製造用基板
の先端が熱圧着ロールにはさまれた直後、加圧ロールの
円周速度は熱圧着ロールの円周速度と等速度となる。こ
のことにより、印刷配線板製造用基板進行方向の力が印
刷配線板製造用基板に伝達される。この時必要に応じて
熱圧着ロールの印刷配線板製造用基板進行方向に対して
垂直方向への力（はさむ力）を大きくしてもよい。
【００１９】加圧ロール及び熱圧着ロールのところでは
すべりがないことが好ましい。印刷配線板製造用基板の
先端が熱圧着ロールにはさまったことは、例えば、セン
サー（加熱加圧ロールに付けた圧力センサー、レーザー
位置センサー等）で感知することができる。
すべりがないことが好ましい。印刷配線板製造用基板の
先端が熱圧着ロールにはさまったことは、例えば、セン
サー（加熱加圧ロールに付けた圧力センサー、レーザー
位置センサー等）で感知することができる。
【００２０】また、これとは別の方法として、上記にお
いて加圧ロールに代えて、トルクモーター等によって力
を与えられた治具によって印刷配線板の後端を進行方向
により押すことによっても、印刷配線板製造用基板進行
方向の力を作用させることができる。
いて加圧ロールに代えて、トルクモーター等によって力
を与えられた治具によって印刷配線板の後端を進行方向
により押すことによっても、印刷配線板製造用基板進行
方向の力を作用させることができる。
【００２１】この作用させる印刷配線板製造用基板進行
方向の力は、例えば、トルクモーターの出力トルクを変
化させることによって調整することができるが、０．０
５〜３０kgfであることが好ましく、０．１〜２０kgfで
あることがより好ましく、０．５〜１５kgfであること
が特に好ましく、１〜１０kgfであることが最も好まし
い。この力が少なすぎると追従性の向上効果が小さくな
る傾向があり、大きすぎると加熱加圧ロールですべりが
起きたり、印刷配線板製造用基板が曲げられたり、熱圧
着ロールが損傷したりして、印刷配線板製造用基板がス
ムーズに送られなくなり、異常な貼り合せが起こる傾向
がある。
方向の力は、例えば、トルクモーターの出力トルクを変
化させることによって調整することができるが、０．０
５〜３０kgfであることが好ましく、０．１〜２０kgfで
あることがより好ましく、０．５〜１５kgfであること
が特に好ましく、１〜１０kgfであることが最も好まし
い。この力が少なすぎると追従性の向上効果が小さくな
る傾向があり、大きすぎると加熱加圧ロールですべりが
起きたり、印刷配線板製造用基板が曲げられたり、熱圧
着ロールが損傷したりして、印刷配線板製造用基板がス
ムーズに送られなくなり、異常な貼り合せが起こる傾向
がある。
【００２２】
【実施例】本発明を実施例によって説明する。 〈追従性評価用基板の作成〉印刷配線板製造用基板とし
ての７０μｍ厚の銅箔を積層したガラスエポキシ基材
（ＭＣＬ−Ｅ６７−７０Ｓ：日立化成工業（株）製）の
銅箔の表面に１０cmの長さのキズを、そのキズ深さを１
本ごとに順次深くして（１〜５０μｍ）複数本のキズを
形成した。これらのキズは連続加重式引掻き器（ＨＥＩ
ＤＯＮ（株）製）を使用して荷重を変えて形成した。
ての７０μｍ厚の銅箔を積層したガラスエポキシ基材
（ＭＣＬ−Ｅ６７−７０Ｓ：日立化成工業（株）製）の
銅箔の表面に１０cmの長さのキズを、そのキズ深さを１
本ごとに順次深くして（１〜５０μｍ）複数本のキズを
形成した。これらのキズは連続加重式引掻き器（ＨＥＩ
ＤＯＮ（株）製）を使用して荷重を変えて形成した。
【００２３】〈追従性の評価〉日立高温ラミネーターＨ
ＬＭ−３０００（日立化成工業（株）製）のガラスエポ
キシ基材の投入側にトルクモーターにより力を与えられ
た加圧ロール２を取り付けた図１に示す装置を用いて貼
り合せを行った。この際の熱圧着ロール１のゴム硬度は
ショアー硬度５５であった。図１に示すように、感光性
フィルムの供給機構にセットされた感光性フィルム（日
立化成工業（株）製フォテックＨ−Ｆ２４０）を保護フ
ィルムを巻き取りながら、巻き出して、追従性評価用基
板である印刷配線板製造用基板（基材）８に、加圧ロー
ル２を介して基材進行方向の力を作用させて、貼り合わ
せた。図１において、３は送りロール、６はガイドロー
ル、７は保護フィルム除去後の感光性フィルム及び９は
保護フィルムを示す。
ＬＭ−３０００（日立化成工業（株）製）のガラスエポ
キシ基材の投入側にトルクモーターにより力を与えられ
た加圧ロール２を取り付けた図１に示す装置を用いて貼
り合せを行った。この際の熱圧着ロール１のゴム硬度は
ショアー硬度５５であった。図１に示すように、感光性
フィルムの供給機構にセットされた感光性フィルム（日
立化成工業（株）製フォテックＨ−Ｆ２４０）を保護フ
ィルムを巻き取りながら、巻き出して、追従性評価用基
板である印刷配線板製造用基板（基材）８に、加圧ロー
ル２を介して基材進行方向の力を作用させて、貼り合わ
せた。図１において、３は送りロール、６はガイドロー
ル、７は保護フィルム除去後の感光性フィルム及び９は
保護フィルムを示す。
【００２４】この際の基板進行速度（ラミネート速度）
は２ｍ／分、熱圧着ロールの表面温度は１００℃及び熱
圧着ロールのエアシリンダー圧力は３kgf/cm2とした。
次に２００μｍライン幅のネガティブ像を形成するネガ
マスクとストーファー２１段ステップタブレットを基材
のキズの長さ方向と直角に交差する方向に置き、高圧水
銀灯で１０秒間露光した。
は２ｍ／分、熱圧着ロールの表面温度は１００℃及び熱
圧着ロールのエアシリンダー圧力は３kgf/cm2とした。
次に２００μｍライン幅のネガティブ像を形成するネガ
マスクとストーファー２１段ステップタブレットを基材
のキズの長さ方向と直角に交差する方向に置き、高圧水
銀灯で１０秒間露光した。
【００２５】次いで、支持体を除去し、１重量％炭酸ナ
トリウム水溶液で８０秒間スプレー現像し、基材上にレ
ジスト像を得た。ストファーの２１段ステップタブレッ
トの残存段数は９段を示し、良好なレジスト像を有して
いた。さらに、塩化第２銅エッチング液（２mol/l Ｃ
ｕＣｌ2、２ＮＨＣｌ水溶液、５０℃、スプレー圧力２k
gf/cm2）を１００秒間スプレーし、レジストで保護され
ていない部分の銅を溶解し、基材上に銅のラインを形成
した。基材上のキズに感光性フィルムが追従していない
場合はレジストと基材間に空隙があるため、銅のライン
はレジストとキズの交点部分でエッチング液が浸み込
み、銅が溶解し、銅ラインが接続しないこととなり、断
線となる。この断線が開始するキズ深さ（μｍ）を追従
性として作用させる力（作用力）を変えた結果を表１に
示した。
トリウム水溶液で８０秒間スプレー現像し、基材上にレ
ジスト像を得た。ストファーの２１段ステップタブレッ
トの残存段数は９段を示し、良好なレジスト像を有して
いた。さらに、塩化第２銅エッチング液（２mol/l Ｃ
ｕＣｌ2、２ＮＨＣｌ水溶液、５０℃、スプレー圧力２k
gf/cm2）を１００秒間スプレーし、レジストで保護され
ていない部分の銅を溶解し、基材上に銅のラインを形成
した。基材上のキズに感光性フィルムが追従していない
場合はレジストと基材間に空隙があるため、銅のライン
はレジストとキズの交点部分でエッチング液が浸み込
み、銅が溶解し、銅ラインが接続しないこととなり、断
線となる。この断線が開始するキズ深さ（μｍ）を追従
性として作用させる力（作用力）を変えた結果を表１に
示した。
【００２６】
【表１】
【００２７】
【発明の効果】本発明により、印刷配線板製造用基板に
対する感光性フィルムの感光性樹脂層の凹凸追従性、ス
ルホールへの均一な埋め込み性等を大幅に向上させるこ
とができる。
対する感光性フィルムの感光性樹脂層の凹凸追従性、ス
ルホールへの均一な埋め込み性等を大幅に向上させるこ
とができる。
【図１】本発明の連続貼り合せ方法に用いられる装置の
一例を示す模式図。
一例を示す模式図。
【符号の説明】 １ 熱圧着ロール ２ 加圧ロール ３ 送りロール ４ 感光性フィルム ５ 保護フィルム巻き取りロール ６ ガイドロール ７ 保護フィルム除去後の感光性フィルム ８ 印刷配線板製造用基板（基材） ９ 保護フィルム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ２９Ｌ 31:34 4Ｆ
Claims (8)
- 【請求項１】 可とう性支持体及び感光性樹脂層を有す
る感光性フィルムと印刷配線板製造用基板とを進行さ
せ、表面が変形可能な熱圧着ロールを通過させて加熱加
圧積層する貼り合せ方法において、前記通過の際に、印
刷配線板製造用基板に対して、前記熱圧着ロール以外の
手段によって、前記基板進行方向の力を作用させること
を特徴とする連続貼り合せ方法。 - 【請求項２】 感光性樹脂層の厚さが３〜２００μｍで
ある請求項１記載の連続貼り合せ方法。 - 【請求項３】 熱圧着ロールが、その表面が厚さ１〜３
０mmの、ショア硬度１６〜８０のゴム又はゴム状樹脂で
おおわれたロールである請求項１又は２記載の連続貼り
合せ方法。 - 【請求項４】 基板進行方向の力を作用させる、熱圧着
ロール以外の手段が、トルクモーターによって力を与え
られた加圧ロール又は治具である請求項１、２又は３記
載の連続貼り合せ方法。 - 【請求項５】 基板進行方向の力が０．０５〜２０kgf
である請求項１、２、３又は４記載の連続貼り合せ方
法。 - 【請求項６】 請求項１、２、３、４又は５記載の連続
貼り合せ方法により感光性フィルムを貼り合わせること
を特徴とする感光性フィルムの貼り合わされた印刷配線
板製造用基板の製造法。 - 【請求項７】 可とう性支持体及び感光性樹脂層を有す
る感光性フィルムを印刷配線板製造用基板に加圧加熱積
層する熱圧着ロール並びに前記基板に対して前記基板進
行方行の力を作用させる加圧ロール又は治具を備えてな
る連続貼り合せ装置。 - 【請求項８】 可とう性支持体及び感光性樹脂層を有す
る感光性フィルムの供給機構、印刷配線板製造用基板を
進行させる送り機構、前記基板に対して前記基板進行方
向の力を作用させる加圧ロール又は治具並びに前記感光
性フィルムを印刷配線板製造用基板に加圧加熱積層する
熱圧着ロールを備えてなる連続貼り合せ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP964593A JPH06218815A (ja) | 1993-01-25 | 1993-01-25 | 連続貼り合せ方法、感光性フィルムの貼り合わされた印刷配線板製造用基板の製造法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP964593A JPH06218815A (ja) | 1993-01-25 | 1993-01-25 | 連続貼り合せ方法、感光性フィルムの貼り合わされた印刷配線板製造用基板の製造法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06218815A true JPH06218815A (ja) | 1994-08-09 |
Family
ID=11725960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP964593A Pending JPH06218815A (ja) | 1993-01-25 | 1993-01-25 | 連続貼り合せ方法、感光性フィルムの貼り合わされた印刷配線板製造用基板の製造法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06218815A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009241267A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Fujifilm Corp | 積層体の製造方法 |
| US7645561B1 (en) | 1997-09-19 | 2010-01-12 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Photosensitive film |
-
1993
- 1993-01-25 JP JP964593A patent/JPH06218815A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7645561B1 (en) | 1997-09-19 | 2010-01-12 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Photosensitive film |
| US7687224B2 (en) | 1997-09-19 | 2010-03-30 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Photosensitive film |
| JP2009241267A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Fujifilm Corp | 積層体の製造方法 |
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