JPH06218723A - ワイヤソー - Google Patents

ワイヤソー

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JPH06218723A
JPH06218723A JP1225893A JP1225893A JPH06218723A JP H06218723 A JPH06218723 A JP H06218723A JP 1225893 A JP1225893 A JP 1225893A JP 1225893 A JP1225893 A JP 1225893A JP H06218723 A JPH06218723 A JP H06218723A
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JP
Japan
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wire
cutting
cutting wire
work
bobbin
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JP1225893A
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Masaru Hirabayashi
賢 平林
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SERATETSUKU JAPAN KK
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 一旦使用した切断ワイヤを再使用可能にし得
ると共に、ワイヤ繰出部の切断ワイヤを全部使用後も直
ちに稼働し得るワイヤソーを提供する。 【構成】 ボビン14aに巻回されている未使用の切断
ワイヤ16を繰り出すワイヤ繰出部12と、ワイヤ繰出
部12から繰り出された切断ワイヤ16を走行させると
共に、切断ワイヤ16をワーク22へ圧接してワーク2
2を切断する切断部18と、切断部18においてワーク
22の切断に使用した切断ワイヤ16をボビン14bに
巻き取るワイヤ巻取部36と、切断ワイヤ16をワイヤ
繰出部12からワイヤ巻取部36方向へ走行させるため
の駆動手段38a、38bとを具備するワイヤソー10
において、ワーク22の切断に使用した切断ワイヤ16
を再使用可能に再生処理する再生処理部30、34が切
断部18とワイヤ巻取部36との間設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤソーに関し、一層
詳細にはボビンに巻回されている未使用の切断ワイヤを
繰り出すワイヤ繰出部と、ワイヤ繰出部から繰り出され
た切断ワイヤを走行させると共に、切断ワイヤをワーク
へ圧接してワークを切断する切断部と、切断部において
ワークの切断に使用した切断ワイヤをボビンに巻き取る
ワイヤ巻取部と、切断ワイヤをワイヤ繰出部からワイヤ
巻取部方向へ走行させるための駆動手段とを具備するワ
イヤソーに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体の精密切断加工にワイヤソ
ーが使用されている。ワイヤソーの例としては、例えば
特公平4−11330号公報に開示される技術がある。
従来のワイヤソーでは、ボビンに巻回されている未使用
の切断ワイヤをワイヤ繰出部から繰り出す。繰り出され
た切断ワイヤは、切断部においてワークへ圧接されると
共に、駆動手段によりワイヤ繰出部からワイヤ巻取部方
向へ走行され、徐々にワークを切断する。切断部におい
てワークの切断に使用した切断ワイヤはワイヤ巻取部の
ボビンに巻き取られる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来のワイヤソーには次のような課題がある。ワークの
切断に使用された切断ワイヤはワイヤ巻取部に巻き取ら
れた後、廃棄処分される。しかし、切断ワイヤはピアノ
線から成り、比較的高価なため使用後廃棄するのは不経
済であるという課題がある。また、ワイヤ繰出部の切断
ワイヤを全部使用してしまうと、新たな切断ワイヤをセ
ットしなければならない。その際の段取作業、特に切断
ワイヤの再セットには時間がかかるためワイヤソーの停
止時間が長くなり、生産性向上の障害となっている。従
って、本発明は一旦使用した切断ワイヤを再使用可能に
し得ると共に、ワイヤ繰出部の切断ワイヤを全部使用後
も直ちに稼働し得るワイヤソーを提供することを目的と
する。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、ボビンに巻
回されている未使用の切断ワイヤを繰り出すワイヤ繰出
部と、該ワイヤ繰出部から繰り出された前記切断ワイヤ
を走行させると共に、切断ワイヤをワークへ圧接して該
ワークを切断する切断部と、該切断部において前記ワー
クの切断に使用した前記切断ワイヤをボビンに巻き取る
ワイヤ巻取部と、前記切断ワイヤを前記ワイヤ繰出部か
ら前記ワイヤ巻取部方向へ走行させるための駆動手段と
を具備するワイヤソーにおいて、前記切断部と前記ワイ
ヤ巻取部との間に、前記ワークの切断に使用した前記切
断ワイヤを再使用可能に再生処理する再生処理部を設け
たことを特徴とする。具体的には、前記再生処理部は、
前記ワークの切断に使用した前記切断ワイヤにメッキ処
理を施すメッキ部から成り、または前記ワークの切断に
使用した前記切断ワイヤを洗浄して切断ワイヤ表面の汚
れを除去するための洗浄部と、該洗浄部で表面の汚れを
除去した前記切断ワイヤにメッキ処理を施すメッキ部と
から成るようにすればよい。さらに、前記駆動手段は、
前記切断ワイヤを前記ワイヤ巻取部から前記ワイヤ繰出
部方向へも走行させるようにするとよい。
【0005】
【作用】作用について説明する。切断部とワイヤ巻取部
との間に、ワークの切断に使用した切断ワイヤを再使用
可能に再生処理する再生処理部を設けることにより、使
用後直ちに切断ワイヤを再使用することが可能となる。
再生された切断ワイヤはワイヤ巻取部のボビンに巻回さ
れるので、駆動手段は、切断ワイヤをワイヤ巻取部から
ワイヤ繰出部方向へも走行させるようにすると切断ワイ
ヤの再セットを行うことなく切断ワイヤをワイヤ巻取部
からワイヤ繰出部方向へ走行させつつ切断部でワークを
切断可能となる。
【0006】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例について添付図
面と共に詳述する。図1には本実施例のワイヤソー10
の構成を示した説明図である。12はワイヤ繰出部であ
り、ボビン14aに未使用の切断ワイヤ16が均等に巻
回されている。ボビン14aからは、巻回されている未
使用の切断ワイヤ16が繰り出される。切断ワイヤ16
の一端はボビン14aに固定されている。18は切断部
であり、複数本(本実施例では3本)の合成樹脂製溝付
ローラ(ピッチローラ)20a、20b、20cと、ワ
ーク22を上下動させる上下動機構24から成る。ピッ
チローラ20a、20b、20cの外周面には周方向へ
溝(不図示)が刻設されており、その溝に切断ワイヤ1
6が掛合するようになっている。ワイヤ繰出部12から
繰り出された切断ワイヤ16は、テンションローラ26
aを経由してピッチローラ20a、20b、20cへ所
定のルートで掛け回されている。ピッチローラ20aま
たは20bを駆動することによりピッチローラ20aと
20bとの間の切断ワイヤ16を左右方向へ選択的に走
行させることができる。ピッチローラ20a、20b、
20cの間で切断ワイヤ16のテンションを確保するた
め、切断部18の両側にはテンションローラ26a、2
6bが設けられている。
【0007】上下動機構24は、保持テーブル28を公
知の加重機構(例えば特公平4−11330号参照)を
用いて上方(矢印A)へ付勢する構造になっている。す
なわち、保持テーブル28上に保持されたワーク22を
ピッチローラ20aと20bとの間の切断ワイヤ16へ
圧接するようになっている。従って、ワーク22をピッ
チローラ20aと20bとの間で走行している切断ワイ
ヤ16へ圧接することにより切断ワイヤ16でワーク2
2を切断することができる。なお、切断部18において
は切断中の切断ワイヤ16へ砥粒が油、水と共に供給さ
れ、ワーク22の切断が促進される。28は再生処理部
を構成する洗浄部であり、切断部18の後段に設けられ
ている。洗浄部30は例えば超音波洗浄装置を含み、切
断部18においてワーク22の切断に使用した切断ワイ
ヤ16の部分を洗浄し、切断ワイヤ16の外表面に付着
している砥粒や油等の汚れを除去する。
【0008】34は再生処理部を構成するメッキ部であ
り、洗浄部30で洗浄された切断ワイヤ16の外表面に
メッキ処理を施す。メッキ部34は電気メッキ装置を含
み、切断ワイヤ16の外表面に比較的軟らかい金属(例
えば銅、黄銅)のメッキを施す。切断ワイヤ16は硬い
ピアノ線で形成されているので、そのままでは切断部1
8で砥粒が供給されても砥粒が切断ワイヤ16へ付着し
にくい。切断ワイヤ16へ砥粒が付着しにくいとワーク
22の切断効率が低くなる。そこで、切断ワイヤ16の
外表面を比較的軟らかい金属でメッキを施すと、砥粒が
メッキ層に食い込み易くなり、容易に付着させることが
できる。このメッキ工程で切断ワイヤ16の再生が完了
する。
【0009】36はワイヤ巻取部であり、メッキ部34
で再生が完了した切断ワイヤ16を、テンションローラ
26cを介してボビン14bに巻き取る。再生された切
断ワイヤ16はボビン14bの外周面上へ均等に巻回さ
れる。切断ワイヤ16の他端はボビン14bに固定され
ている。38a、38b、38cはモータであり、選択
的に正逆回転可能になっている。モータ38a、38b
は駆動手段の一例として、それぞれボビン14aと14
bを回転させる。切断ワイヤ16を順方向(矢印B)へ
送りながらワーク22の切断を行う場合、モータ38
a、38bはボビン14a、14bを時計方向へ回転さ
せる。また、本実施例のモータ38a、38bは回転方
向を変えることにより、ボビン14a、14bを反時計
方向へ回転させることができるので、切断ワイヤ16を
逆方向(矢印Bと逆方向)へ送りながらワーク22の切
断が可能になっている。一方、モータ38cはピッチロ
ーラ20cを回転させる。ワーク22の切断中、モータ
38cの回転方向を選択しながら駆動することにより、
ピッチローラ20aと20bの切断ワイヤ16を一方向
へ走行、または往復走行させることができる。
【0010】次に、上記の構成を備えるワイヤソー10
の動作について説明する。まず、切断ワイヤ16を順方
向(矢印B)へ送りながらワーク22の切断を行う場合
について述べる。モータ38aはボビン14aを時計方
向へ回転させ、切断ワイヤ16を送り出す。切断部18
へ送られた切断ワイヤ16は、モータ38cを介して選
択的に回転されるピッチローラ20aと20bとの間で
切断のために水平に走行する。その時、保持テーブル2
8上に保持されているワーク22は上下動機構24によ
り上方(矢印A)へ押動されるので、走行中の切断ワイ
ヤ16へ圧接され、切断が行われる。切断中、切断ワイ
ヤ16へは砥粒と油、水が供給される。ワーク22は保
持テーブル28の上動に伴って徐々に切断される。ワー
ク22の切断に使用され、摩耗した切断ワイヤ16の部
分は洗浄部30へ送られ、洗浄される。洗浄部30で洗
浄後はメッキ部34で外表面にメッキ処理が施され、再
生が完了する。再生された切断ワイヤ16は、ワイヤ巻
取部36へ送られる。ワイヤ巻取部36のボビン14b
はモータ38bによって時計方向へ回転され、再生され
た切断ワイヤ16はボビン14bの外周面上へ均等に巻
回される。
【0011】ワイヤ繰出部12の切断ワイヤ16が全部
繰り出されたら、次は切断ワイヤ16を逆方向(矢印B
と逆方向)へ送りながらワーク22の切断を行う。その
場合、モータ38bはボビン14bを反時計方向へ回転
させ、再生済の切断ワイヤ16を送り出す。送り出され
た再生済の切断ワイヤ16は、メッキ部34および洗浄
部30を単に通過して切断部18へ送られ、モータ38
cを介して回転されるピッチローラ20aと20bとの
間で切断のために水平に走行する。その時、保持テーブ
ル28上に保持されているワーク22は、順方向の場合
と同様、走行中の切断ワイヤ16へ圧接され、切断が行
われる。切断中はやはり切断ワイヤ16へ砥粒と油、水
が供給される。ワーク22の切断に使用され、再度摩耗
した切断ワイヤ16はワイヤ繰出部12へ送られる。ワ
イヤ繰出部12のボビン14aはモータ38aによって
反時計方向へ回転され、切断ワイヤ16はボビン14a
の外周面上へ均等に巻回される。
【0012】この切断ワイヤ16のワイヤ繰出部12と
ワイヤ巻取部36との間の往復動により、1本の切断ワ
イヤ16を再生させつつ何度も使用することができる。
しかも切断ワイヤ16を取り外すことがないので段取作
業が不要となる。なお、本実施例では洗浄部30とメッ
キ部34を切断部18とワイヤ巻取部36との間に設け
たが、切断ワイヤ16を逆方向(矢印Bと逆方向)へ送
る場合、切断部18とワイヤ繰出部12との間にも洗浄
部30とメッキ部34を設けると、切断ワイヤ16を逆
方向へ送りながら切断する場合にも切断ワイヤ16を再
生させることができる。本実施例では切断ワイヤ16が
1本の場合を例に挙げたが、切断ワイヤ16を複数並設
したマルチワイヤ型のワイヤソーにも採用することがで
きる。その場合、再生処理部において切断ワイヤ16同
士の絡みを防止する機構(例えば隔壁)を設けるとよ
い。以上、本発明の好適な実施例について種々述べてき
たが、本発明は上述の実施例に限定されるのではなく、
発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るの
はもちろんである。
【0013】
【発明の効果】本発明に係るワイヤソーを用いると、切
断部とワイヤ巻取部との間に、ワークの切断に使用した
切断ワイヤを再使用可能に再生処理する再生処理部を設
けることにより、使用後直ちに切断ワイヤを再使用する
ことが可能となるので、何度も再使用できランニングコ
ストの削減が可能となる。また、再生された切断ワイヤ
はワイヤ巻取部のボビンに巻回されるので、請求項4の
ように、駆動手段が、切断ワイヤをワイヤ巻取部からワ
イヤ繰出部方向へも走行させるようにすると切断ワイヤ
の再セットを行うことなく切断ワイヤをワイヤ巻取部か
らワイヤ繰出部方向へ走行させつつ切断部でワークを切
断可能となるので、改めて切断ワイヤのセットを行う必
要がなく、直ちに再生された切断ワイヤでの切断が行
え、生産性を向上させ得る等の著効を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るワイヤソーの構成を示した説明
図。
【符号の説明】
10 ワイヤソー 12 ワイヤ繰出部 14a、14b ボビン 16 切断ワイヤ 18 切断部 22 ワーク 30 洗浄部 34 メッキ部 36 ワイヤ巻取部 38a、38b モータ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ボビンに巻回されている未使用の切断ワ
    イヤを繰り出すワイヤ繰出部と、 該ワイヤ繰出部から繰り出された前記切断ワイヤを走行
    させると共に、切断ワイヤをワークへ圧接して該ワーク
    を切断する切断部と、 該切断部において前記ワークの切断に使用した前記切断
    ワイヤをボビンに巻き取るワイヤ巻取部と、 前記切断ワイヤを前記ワイヤ繰出部から前記ワイヤ巻取
    部方向へ走行させるための駆動手段とを具備するワイヤ
    ソーにおいて、 前記切断部と前記ワイヤ巻取部との間に、前記ワークの
    切断に使用した前記切断ワイヤを再使用可能に再生処理
    する再生処理部を設けたことを特徴とするワイヤソー。
  2. 【請求項2】 前記再生処理部は、前記ワークの切断に
    使用した前記切断ワイヤにメッキ処理を施すメッキ部か
    ら成ることを特徴とする請求項1記載のワイヤソー。
  3. 【請求項3】 前記再生処理部は、前記ワークの切断に
    使用した前記切断ワイヤを洗浄して切断ワイヤ表面の汚
    れを除去するための洗浄部と、 該洗浄部で表面の汚れを除去した前記切断ワイヤにメッ
    キ処理を施すメッキ部とから成ることを特徴とする請求
    項1記載のワイヤソー。
  4. 【請求項4】 前記駆動手段は、前記切断ワイヤを前記
    ワイヤ巻取部から前記ワイヤ繰出部方向へも走行させる
    ことを特徴とする請求項1、2または3記載のワイヤソ
    ー。
JP5012258A 1993-01-28 1993-01-28 ワイヤソーとワイヤソーを使用したワークの切断方法 Expired - Lifetime JPH0780176B2 (ja)

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JPH06218723A true JPH06218723A (ja) 1994-08-09
JPH0780176B2 JPH0780176B2 (ja) 1995-08-30

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2477953A (en) * 2010-02-19 2011-08-24 Belron Hungary Kft Zug Branch Wire Handling For Vehicle Glazing Panel Cut Out

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5854198A (ja) * 1981-09-12 1983-03-31 ドレツサ−・ユ−ロツプ・ソシエテ・アノニム 長壁掘削装置
JPH0445806U (ja) * 1990-08-21 1992-04-17

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