JPH06214162A - 共焦点走査型光学顕微鏡 - Google Patents
共焦点走査型光学顕微鏡Info
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- JPH06214162A JPH06214162A JP600593A JP600593A JPH06214162A JP H06214162 A JPH06214162 A JP H06214162A JP 600593 A JP600593 A JP 600593A JP 600593 A JP600593 A JP 600593A JP H06214162 A JPH06214162 A JP H06214162A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】試料からの反射光と蛍光を効率よく検出できる
共焦点走査型光学顕微鏡を得ることにある。 【構成】光源１からの光を試料６上に集光する対物レン
ズ５と、試料６からの反射光を検出する反射光検出用の
光検出器８と、試料６からの蛍光を検出する蛍光検出用
の光検出器８と、反射光検出用および蛍光検出用の光検
出器８，８に反射光および蛍光を導くものであって、光
源１の波長に合わせたダイクロイックミラー１１，１２
を備えたもの。
共焦点走査型光学顕微鏡を得ることにある。 【構成】光源１からの光を試料６上に集光する対物レン
ズ５と、試料６からの反射光を検出する反射光検出用の
光検出器８と、試料６からの蛍光を検出する蛍光検出用
の光検出器８と、反射光検出用および蛍光検出用の光検
出器８，８に反射光および蛍光を導くものであって、光
源１の波長に合わせたダイクロイックミラー１１，１２
を備えたもの。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、共焦点走査型光学顕微
鏡に係り、特に試料からの反射光と蛍光を効率よく検出
可能にした共焦点走査型光学顕微鏡に関する。
鏡に係り、特に試料からの反射光と蛍光を効率よく検出
可能にした共焦点走査型光学顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、共焦点走査型光学顕微鏡として、
以下のように構成されたものがある。光源からの光を対
物レンズで、試料（標本）上に集束させて光スポットを
形成し、その光スポットで試料を２次元走査すると共
に、試料からの反射光、または蛍光は対物レンズの焦点
位置と共役な位置に配設した共焦点絞りを通過させて取
り出し、その取り出した光を光電変換して当該試料の画
像情報が得られるものである。
以下のように構成されたものがある。光源からの光を対
物レンズで、試料（標本）上に集束させて光スポットを
形成し、その光スポットで試料を２次元走査すると共
に、試料からの反射光、または蛍光は対物レンズの焦点
位置と共役な位置に配設した共焦点絞りを通過させて取
り出し、その取り出した光を光電変換して当該試料の画
像情報が得られるものである。
【０００３】以下、この種従来の顕微鏡について、図８
および図９を参照して説明する。図８は、従来の第１の
例を示す図であって、これは主に材料、半導体などの観
察用に使用される。すなわち、光源１から発したレーザ
ビームを偏光ビームスプリッタ２で反射させて２次元光
偏向器３によりＸーＹに２次元走査される。
および図９を参照して説明する。図８は、従来の第１の
例を示す図であって、これは主に材料、半導体などの観
察用に使用される。すなわち、光源１から発したレーザ
ビームを偏光ビームスプリッタ２で反射させて２次元光
偏向器３によりＸーＹに２次元走査される。
【０００４】２次元走査されたレーザビームは、λ／４
板４を通り、円偏光となる。対物レンズ５によって試料
６に照射されたレーザビームの反射光は再び、対物レン
ズ５、λ／４板４を通り、光源１から発した振動方向に
直交する直線偏光となる。この直線偏光は、偏光ビーム
スプリッタ２、共焦点絞り７を通り、検出器８に導かれ
る。
板４を通り、円偏光となる。対物レンズ５によって試料
６に照射されたレーザビームの反射光は再び、対物レン
ズ５、λ／４板４を通り、光源１から発した振動方向に
直交する直線偏光となる。この直線偏光は、偏光ビーム
スプリッタ２、共焦点絞り７を通り、検出器８に導かれ
る。
【０００５】図９は、従来の第２の例を示す図であっ
て、これは主に細胞や組織などの生物の蛍光検出用に使
用される。図９は、図８の偏光ビームスプリッタ２の代
わりに、ダイクロイックミラー９が使用され、試料６か
らの蛍光が吸収フィルタ１０を通して検出される点が、
図８とは異なるが、それ以外の点は図８と同一である。
て、これは主に細胞や組織などの生物の蛍光検出用に使
用される。図９は、図８の偏光ビームスプリッタ２の代
わりに、ダイクロイックミラー９が使用され、試料６か
らの蛍光が吸収フィルタ１０を通して検出される点が、
図８とは異なるが、それ以外の点は図８と同一である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】以上述べた従来の走査
型光学顕微鏡は、用途によって異なったタイプの光学系
を有していた。このため、例えば生物分野において、細
胞接着と全体の形態の蛍光観察や、骨の層構造と破骨細
胞・骨芽細胞の蛍光観察を行う場合、例えば、半導体分
野において、ウェハーやチップ上のコンタミネーション
の形と、その由来が有機物か無機物かを同定する場合に
は、図８および図９に示す２つの異なったタイプの顕微
鏡が必要であった。現実的には、標本の全く同一な場所
を異った顕微鏡で観察することは、きわめて困難であ
る。
型光学顕微鏡は、用途によって異なったタイプの光学系
を有していた。このため、例えば生物分野において、細
胞接着と全体の形態の蛍光観察や、骨の層構造と破骨細
胞・骨芽細胞の蛍光観察を行う場合、例えば、半導体分
野において、ウェハーやチップ上のコンタミネーション
の形と、その由来が有機物か無機物かを同定する場合に
は、図８および図９に示す２つの異なったタイプの顕微
鏡が必要であった。現実的には、標本の全く同一な場所
を異った顕微鏡で観察することは、きわめて困難であ
る。
【０００７】本発明は以上のような実情に基いてなされ
たもので、一つの光学系で試料からの反射光および蛍光
を同時に、または個別に観察することが可能な共焦点走
査型光学顕微鏡を提供することを目的とする。
たもので、一つの光学系で試料からの反射光および蛍光
を同時に、または個別に観察することが可能な共焦点走
査型光学顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１に対応する発明は、光源からの光を試料上
に集光する集光光学系と、前記試料からの反射光を検出
する第１の光検出器と、前記試料からの蛍光を検出する
第２の光検出器と、前記第１および第２の光検出器に前
記反射光および蛍光を導くものであって、前記光源の波
長に合わせた分光特性の少なくとも２個の波長依存性光
分割素子とを備えものである。
め、請求項１に対応する発明は、光源からの光を試料上
に集光する集光光学系と、前記試料からの反射光を検出
する第１の光検出器と、前記試料からの蛍光を検出する
第２の光検出器と、前記第１および第２の光検出器に前
記反射光および蛍光を導くものであって、前記光源の波
長に合わせた分光特性の少なくとも２個の波長依存性光
分割素子とを備えものである。
【０００９】
【作用】請求項１に対応する発明によれば、試料からの
反射光および蛍光を、少なくとも２個の波長依存性光分
割素子により第１および第２の光検出器に導くようにし
たので、一つの光学系で試料からの反射光および蛍光を
同時に、または個別に観察することが可能となる。
反射光および蛍光を、少なくとも２個の波長依存性光分
割素子により第１および第２の光検出器に導くようにし
たので、一つの光学系で試料からの反射光および蛍光を
同時に、または個別に観察することが可能となる。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。始めに、図１〜図３を参照して本発明の第
１の実施例について説明する。図１は、本発明の第１の
実施例を示す概略構成図であり、光源１と、この光源１
からの光を試料６上に微小なスポットに集光する対物レ
ンズ５と、試料６からの反射光を検出する反射光検出用
の光検出器８（図の左側）と、試料６からの蛍光を検出
する蛍光検出用の光検出器８（図の上側）と、各光検出
器８，８に光を導く少なくとも２個の波長依存性光分割
素子例えばダイクロィックミラー１１，１２と、試料６
上のスポットと試料６を相対的に２次元走査するための
走査光学系（図示せず）と、対物レンズ５の合焦位置と
光学的に共役な位置であって光検出器８，８の前に、光
検出器８，８に入射する光の光軸に開口中心を合せて配
置された開口径を可変可能な共焦点絞り７とをそれぞれ
備えている。
て説明する。始めに、図１〜図３を参照して本発明の第
１の実施例について説明する。図１は、本発明の第１の
実施例を示す概略構成図であり、光源１と、この光源１
からの光を試料６上に微小なスポットに集光する対物レ
ンズ５と、試料６からの反射光を検出する反射光検出用
の光検出器８（図の左側）と、試料６からの蛍光を検出
する蛍光検出用の光検出器８（図の上側）と、各光検出
器８，８に光を導く少なくとも２個の波長依存性光分割
素子例えばダイクロィックミラー１１，１２と、試料６
上のスポットと試料６を相対的に２次元走査するための
走査光学系（図示せず）と、対物レンズ５の合焦位置と
光学的に共役な位置であって光検出器８，８の前に、光
検出器８，８に入射する光の光軸に開口中心を合せて配
置された開口径を可変可能な共焦点絞り７とをそれぞれ
備えている。
【００１１】ダイクロィックミラー１１，１２は、薄膜
による光の干渉を利用して可視光の特定の波長領域のみ
の光のみを反射し、残り波長領域の光は透過する鏡であ
って、光源１のレーザ波長に対応した分光特性のものを
用いる。例えば、光源１のレーザ波長が４８８ nm の場
合には、ダイクロィックミラー１１としては、図２に示
す分光特性のものを使用し、またダイクロィックミラー
１２としては、図３に示す分光特性のものを使用する。
もちろん、ダイクロィックミラー１１，１２の分光特性
を光源波長に合わせることで、光源１の波長が異なって
も同様なことが可能である。
による光の干渉を利用して可視光の特定の波長領域のみ
の光のみを反射し、残り波長領域の光は透過する鏡であ
って、光源１のレーザ波長に対応した分光特性のものを
用いる。例えば、光源１のレーザ波長が４８８ nm の場
合には、ダイクロィックミラー１１としては、図２に示
す分光特性のものを使用し、またダイクロィックミラー
１２としては、図３に示す分光特性のものを使用する。
もちろん、ダイクロィックミラー１１，１２の分光特性
を光源波長に合わせることで、光源１の波長が異なって
も同様なことが可能である。
【００１２】以下、このように構成された第１の実施例
の動作を説明する。光源１から発したレーザビームは、
ダイクロイックミラー１１で反射され、かつ２次元光偏
向器３によりＸーＹに２次元走査され、対物レンズ５に
よって試料６に照射される。試料６にレーザビームに照
射された反射光は再び、対物レンズ５、２次元光偏向器
を通り、光源１から発した振動方向に直交する直線偏光
となる。この直線偏光は、ダイクロイックミラー１２で
反射され、反射光検出用の光検出器８に導かれる。これ
により、試料６からの反射光を検出できる。ダイクロイ
ックミラー１２を通過する光は、細胞や組織などの生物
の蛍光検出用の光検出器８に入力され、試料６からの蛍
光が検出される
の動作を説明する。光源１から発したレーザビームは、
ダイクロイックミラー１１で反射され、かつ２次元光偏
向器３によりＸーＹに２次元走査され、対物レンズ５に
よって試料６に照射される。試料６にレーザビームに照
射された反射光は再び、対物レンズ５、２次元光偏向器
を通り、光源１から発した振動方向に直交する直線偏光
となる。この直線偏光は、ダイクロイックミラー１２で
反射され、反射光検出用の光検出器８に導かれる。これ
により、試料６からの反射光を検出できる。ダイクロイ
ックミラー１２を通過する光は、細胞や組織などの生物
の蛍光検出用の光検出器８に入力され、試料６からの蛍
光が検出される
【００１３】このように構成することにより、反射光と
蛍光が同時に検出でき、従って、顕微鏡の仕立てを変更
するわずらしさもなく、形態と蛍光の分布（局在）を精
度よく観察することが可能になる。
蛍光が同時に検出でき、従って、顕微鏡の仕立てを変更
するわずらしさもなく、形態と蛍光の分布（局在）を精
度よく観察することが可能になる。
【００１４】図４は本発明の第２の実施例を示す図であ
り、バンドパスフィルター１３と、光学フィルター１４
を図１の実施例に追加したものである。具体的には、バ
ンドパスフィルター１３を反射光を検出する光検出器
（図の左側）８とダイクロィックミラー１２の間に設
け、光学フィルター１４を蛍光を検出する光検出器（図
の上部側）８とダイクロィックミラー１２の間に設けた
ものである。
り、バンドパスフィルター１３と、光学フィルター１４
を図１の実施例に追加したものである。具体的には、バ
ンドパスフィルター１３を反射光を検出する光検出器
（図の左側）８とダイクロィックミラー１２の間に設
け、光学フィルター１４を蛍光を検出する光検出器（図
の上部側）８とダイクロィックミラー１２の間に設けた
ものである。
【００１５】バンドパスフィルター１３は、光源１のレ
ーザ波長に対応させた狭帯域バンドパスフィルターを使
用し、例えば光源１のレーザ波長を４８８ nm とする
と、バンドパスフィルター１３は、図５のような分光特
性となる。光学フィルター１４は、蛍光染色に合せて狭
帯域、高帯域、ロングパスフィルタ等のいずれかを使用
する。以上のように構成された第２の実施例によれば、
特に蛍光のクロスオーバーを除いて反射光のみを検出す
るのに有効となる。
ーザ波長に対応させた狭帯域バンドパスフィルターを使
用し、例えば光源１のレーザ波長を４８８ nm とする
と、バンドパスフィルター１３は、図５のような分光特
性となる。光学フィルター１４は、蛍光染色に合せて狭
帯域、高帯域、ロングパスフィルタ等のいずれかを使用
する。以上のように構成された第２の実施例によれば、
特に蛍光のクロスオーバーを除いて反射光のみを検出す
るのに有効となる。
【００１６】図６は本発明の第３の実施例を示す図であ
り、図４の実施例にダイクロイックミラー１５を追加
し、かつ光学フィルター１４と光検出器８をさらに１組
追加しものである。この場合には、ダイクロイックミラ
ー１５は蛍光の２重染色に合せて分光特性が調整された
ものを使用している。この第３の実施例によれば、１つ
は反射光の観察に、他の２つは蛍光プローブとしてＦＩ
ＴＬとローダミン等が同時に用いられることから、これ
らを検出するために用いられる。
り、図４の実施例にダイクロイックミラー１５を追加
し、かつ光学フィルター１４と光検出器８をさらに１組
追加しものである。この場合には、ダイクロイックミラ
ー１５は蛍光の２重染色に合せて分光特性が調整された
ものを使用している。この第３の実施例によれば、１つ
は反射光の観察に、他の２つは蛍光プローブとしてＦＩ
ＴＬとローダミン等が同時に用いられることから、これ
らを検出するために用いられる。
【００１７】図７は本発明の第４の実施例を示す図であ
り、図６の実施例のダイクロイックミラー１２，１５の
代りに、ダイクロイックキューブ１６を設けたものであ
る。このようにすることにより、図６に比べて構成が簡
単となる。
り、図６の実施例のダイクロイックミラー１２，１５の
代りに、ダイクロイックキューブ１６を設けたものであ
る。このようにすることにより、図６に比べて構成が簡
単となる。
【００１８】本発明は前述の実施例に限定されず、例え
ば以下のようにしてもよい。実施例で用いたダイクロイ
ックミラー１１，１２の代りに、これと同様な機能を有
するプリズムであってもよく、これ以外に光源１の光の
波長に合わせて分光特性が得られる波長依存性光分割素
子であればなんでも良い。また、図４、図６、図７の狭
帯域バンドパスフイルター１３も分光特性も、光源１の
波長に合せることができれば、なんでもよい。
ば以下のようにしてもよい。実施例で用いたダイクロイ
ックミラー１１，１２の代りに、これと同様な機能を有
するプリズムであってもよく、これ以外に光源１の光の
波長に合わせて分光特性が得られる波長依存性光分割素
子であればなんでも良い。また、図４、図６、図７の狭
帯域バンドパスフイルター１３も分光特性も、光源１の
波長に合せることができれば、なんでもよい。
【００１９】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、試料
からの反射光と蛍光を効率よく検出できる共焦点走査型
光学顕微鏡を提供できる。
からの反射光と蛍光を効率よく検出できる共焦点走査型
光学顕微鏡を提供できる。
【図１】本発明による共焦点走査型光学顕微鏡の第１の
実施例の概略構成を示す図。
実施例の概略構成を示す図。
【図２】図１のダイクロイックミラー１１の分光特性を
示す図。
示す図。
【図３】図１のダイクロイックミラー１２の分光特性を
示す図。
示す図。
【図４】本発明による共焦点走査型光学顕微鏡の第２の
実施例の概略構成を示す図。
実施例の概略構成を示す図。
【図５】図４の狭帯域バンドパスフィルターの分光特性
を示す図。
を示す図。
【図６】本発明による共焦点走査型光学顕微鏡の第３の
実施例の概略構成を示す図。
実施例の概略構成を示す図。
【図７】本発明による共焦点走査型光学顕微鏡の第４の
実施例の概略構成を示す図。
実施例の概略構成を示す図。
【図８】従来の共焦点走査型光学顕微鏡の第１の例の概
略構成を示す図。
略構成を示す図。
【図９】従来の共焦点走査型光学顕微鏡の第２の例の概
略構成を示す図。
略構成を示す図。
１…光源、３…２次元光偏向器、４…λ／４板、５…対
物レンズ、６…試料（標本）、７…共焦点絞り、８…光
検出器、１１，１２…ダイクロイックフィルター、１３
…狭帯域バンドパスフィルター、１４…光学フィルタ
ー、１５…ダイクロイックフィルター、１６…、１４…
ＣＣＤテレビカメラ、１５…ＣＭＤ制御回路、１６…ダ
イクロイックフィルター。
物レンズ、６…試料（標本）、７…共焦点絞り、８…光
検出器、１１，１２…ダイクロイックフィルター、１３
…狭帯域バンドパスフィルター、１４…光学フィルタ
ー、１５…ダイクロイックフィルター、１６…、１４…
ＣＣＤテレビカメラ、１５…ＣＭＤ制御回路、１６…ダ
イクロイックフィルター。
Claims (1)
- 【請求項１】 光源からの光を試料上に集光する集光光
学系と、 前記試料からの反射光を検出する第１の光検出器と、 前記試料からの蛍光を検出する第２の光検出器と、 前記第１および第２の光検出器に前記反射光および蛍光
を導くものであって、前記光源の波長に合わせた分光特
性の少なくとも２個の波長依存性光分割素子と、 を備え、前記試料からの反射光および蛍光を検出可能に
したことを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP600593A JP3599754B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 共焦点走査型光学顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP600593A JP3599754B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 共焦点走査型光学顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06214162A true JPH06214162A (ja) | 1994-08-05 |
| JP3599754B2 JP3599754B2 (ja) | 2004-12-08 |
Family
ID=11626627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP600593A Expired - Lifetime JP3599754B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 共焦点走査型光学顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3599754B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6603780B2 (en) | 1999-12-27 | 2003-08-05 | Hitachi Metals, Ltd. | Laser apparatus, laser-applied apparatus and method for using same |
| JP2006337257A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Hitachi Software Eng Co Ltd | ビーズアレイ用蛍光読取装置及びビーズアレイ用蛍光読取方法 |
| CN108072613A (zh) * | 2016-11-11 | 2018-05-25 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 光学检测装置及其检测方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107037048B (zh) * | 2016-09-28 | 2019-08-20 | 华中科技大学 | 同时获取反射信号和荧光信号的成像装置、方法及成像系统 |
-
1993
- 1993-01-18 JP JP600593A patent/JP3599754B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6603780B2 (en) | 1999-12-27 | 2003-08-05 | Hitachi Metals, Ltd. | Laser apparatus, laser-applied apparatus and method for using same |
| JP2006337257A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Hitachi Software Eng Co Ltd | ビーズアレイ用蛍光読取装置及びビーズアレイ用蛍光読取方法 |
| JP4733433B2 (ja) * | 2005-06-03 | 2011-07-27 | 株式会社日立ソリューションズ | ビーズアレイ用蛍光読取装置及びビーズアレイ用蛍光読取方法 |
| CN108072613A (zh) * | 2016-11-11 | 2018-05-25 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 光学检测装置及其检测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3599754B2 (ja) | 2004-12-08 |
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